ICP发射光谱仪讲义_原理构成维护保养(组图)剖析
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电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP的使用和维护保养
电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP）的使用和维护保养1目的为使操作者能够正确，合理地使用、维护和保养好ICP光谱仪，确保测量数据的准确、可靠、有效。
2适用于本公司的ICP光谱仪。
3ICP光谱仪的使用3.1ICP的开机规程3.1.1打开电源开关，打开电脑主机，启动ICP操作软件（Perkin Elmer WinLab32）。
同时可以将仪器低压电源打开，使之稳定。
3.1.2打开水冷器按ON（温度设定至20℃）、RF电源、仪器高压电源开关；打开Ar（氩）气瓶，注意气体减压表指针调到0.7～0.8Mpa。
3.1.3回到电脑桌面再击WinLab32，出现诊断（Diagnostics）窗口，ICP主机与电脑联机图，联线显示绿色仪器可以正常预热，出现红色则要重新开启ICP。
3.1.4ICP主机首次开启需要预热5小时才可以正常使用；主机始终处于开启状态，预热90分钟可以正常使用。
3.2 ICP的使用3.2.1 ICP的点火及进样系统的清洗3.2.1.1 在仪器预热20-30分钟之后，进行波长校正：击菜单（Tools）光谱仪控制（）仪器设置（Instrument Setup）窗口选择波长标定（Wavelength Calibration）页，按下标定（Calibrate）按钮，仪器将自动打开汞灯，预热后开始校正（校正时使用汞灯十一条特征谱线来对波长进行校正），校正结束后自动在最终偏差（Diff. to last）项中将给出光栅偏移的位置；3.2.1.2 点火之前确认等离子室门关严并锁紧，接通水电气、装好蠕动泵管，点击工具栏中点火（Plasma）图标，出现等离子体控制（Plasma Control）窗口，击Plasma On即自动点火，等离子体（Plas）、辅助气（Aux）、雾化器（Neb）、泵（Pump）的绿灯全部亮起，即ICP点火成功。
3.2.1.3 将进样毛细管放入10%的硝酸中清洗10分钟，再用清水清洗5分钟即可进行样品分析。
ICP-700培训讲义
ICP-OES-720 电感耦合等离子体发射光谱仪一ICP-OES的基本原理二ICP-OES的组成部分三ICP-OES的操作步骤四ICP-OES的样品分析五ICP-OES 的日常使用及维护要点六ICP-OES的应用一 ICP-OES 的基本原理原子发射光谱分析是一种已有一个世纪以上悠久历史的分析方法，院子发射光谱分析的进展，在很大程度上依赖于激发光源的改进。
到了60年代中期，Fassel 和greenfield分别报道了各自取得的重要研究成果，创立了电感耦合离子体原子发射光谱新技术，这在光谱化学分析上是一次重大的突破，从此，原子发射光谱分析技术又进入了一个崭新的发展时期。
与此同时，其他的等离子体光谱分析技术（直流等离子体、微波等离子体）也得到了长足的进步。
1、原子发射光谱的定性原理对于特定元素的原子或离子可产生一系列不同波长的特征光谱，通过识别待测元素的特征谱线存在与否进行定性分析2定量原理（1）定量分析基础I=KN X其中：I 光谱强度K 常数N 原子浓度X 接近1的指数（2）半定量：是对样品中一些元素的浓度进行大致的估算，与定量分析相比，半定量希望通过较少的努力来大致得到许多元素的浓度。
我们可以对许多元素进行一次曲线矫正，并将标准曲线储存起来，当测样时，直接采用原来的曲线进行测试。
3、ICP-OES的性能特点（1）光谱干扰少（同时记录待测元素的所有发射谱线，所以可以通过选择合适的谱线，有效地避免的光谱干扰）（2）宽的线性范围（同一元素具有很多的分析谱线不同元素有不同的灵敏度）（3）可分析70多种元素（4）精密度高（同时记录样品的背景信号，有效地扣除了背景干扰）（5）分析速度快二 ICP-OES 的组成部分1、样品导入系统2、 Vista Chip ，CCD 检测器3、 多色器4、 RF 发生器5、 数据处理系统装置原理图如下三 ICP-OES 的操作步骤1、开机（1）冷开机1)开计算机、显示器和打印机，进入操作系统。
电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)的维护和保养
电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP）的维护和保养ICP能够分析从几个ppb到百分之几乃至百分之几十的样品浓度。
若对分析的环境条件不严格控制，势必造成实验的不准确；也要求在使用中严格对仪器维护保养，才能达到严格控制分析质量和延长仪器寿命。
维护及保养措施如下：1、环境ICP要求一般室温维持在20～25 摄氏度之间的一个固定温度，温度变化应小于±1摄氏度。
室内湿度应小于70%，好控制在45%~60%之间，并配有空气净化装置。
2、供电线路为了保证ICP仪的安全运行，供电线路必须要有足够大的容量，否则仪器运行时线路的电压将过大，影响仪器寿命。
电路环境的具体要求请参考《仪器安装条件》。
3、防尘实验室内需要采用排风机，排除仪器的热量及工作时产生的有毒气体时，实验室与外部就形成压力差，实验室产生负压，室外含有大量灰尘的空气从门窗的缝隙中流入室内，大量积聚在仪器的各个部位上，容易造成高压组件或接头打火，电路板及接线、插座等短路、漏电等各种各样的故障，因此，需要经常进行除尘。
特别是计算机、电子控制电路、高频发生器、显示器、打印机、磁盘驱动器等，定期拆卸或打开，用小毛刷清扫，并同时使用吸尘器将各个部分的积尘吸除。
对光电倍增管负高压电源线、及计算机显示器的高压线及接头，还要用纱布沾上少许无水酒精小心的抹除积炭和灰尘。
磁盘驱动器及打印机清出灰尘之后，要在机械活动部件滴加少许仪表油。
打印机的打印头还要拆下，用软毛刷刷扫，并用绒布抹净，防止针孔被纸屑堵塞，然后按照说明书调整一定的打印压力。
对于仪器除尘，一般由电子，仪修或计算机的专业人员帮助，仪器使用或管理人员如不懂电子知识，不了解仪器结构，不要轻易触动，以免发生意外，除尘应事先停机并关掉供电电源后再进行。
4、雾化器的维护雾化器是进样系统中脆弱，关键的部份，需要很好的维护和使用。
要定期的清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的顶部，炬管喷嘴会积有盐份，造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是测定强度下降，仪器反射功率升高等。
icp电感偶合等离子光谱仪维护和保养
icp电感偶合等离子光谱仪维护和保养ICP电感偶合等离子光谱仪是一种重要的科研设备，它广泛应用于材料科学、环境保护、医药和食品安全等领域。
作为一位使用者，定期进行维护和保养，不仅能够延长设备寿命，保障仪器的高效稳定运行，还可以提高实验室的安全性和研究数据的可靠性。
本文将详细介绍ICP电感偶合等离子光谱仪的维护和保养工作。
一、日常维护1. 对仪器外观进行定期清洁，可使用软布擦拭，保持仪器干燥、清洁。
2. 定期检查仪器电源线和接地线是否损坏，如有损坏应及时更换。
3. 定期检查仪器的冷却系统，保证系统正常运行。
4. 检查管道和阀门是否有堵塞，如发现问题应及时清理。
5. 定期进行氩气罐的更换，避免氩气不足影响仪器的使用。
二、周常保养1. 定期更换有机溶剂和质控样品的管道，避免样品污染。
2. 定期检查有机溶剂泵的橡胶件是否有损坏，如有需要及时更换。
3. 定期清理电极表面和玻璃管道内壁，保证仪器稳定性和精度。
4. 定期更换电极和离子源，避免因元素积累引起分析偏差。
5. 定期检查I/O板卡和线路，避免线路老化和损坏。
三、月度保养1. 定期更换扫描器和光栅元件，避免元件老化影响测试精度。
2. 定期对仪器进行标准曲线和质量控制实验，测试仪器的稳定性和准确性。
3. 定期对仪器进行校准，避免分析偏差。
4. 定期检查回收装置的泵和管路，清理泵和更换管路。
四、年度保养1. 定期更换光源和镜头，避免影响测试精度。
2. 对仪器进行系统升级，保证仪器的高效稳定运行。
3. 对仪器进行全面检查和维修，保证各项指标符合标准。
在使用ICP电感偶合等离子光谱仪时，需要遵循以下操作规范：1. 严格遵守安全操作规程，避免安全事故的发生。
2. 选择适当的工作条件，保证测试结果的准确性。
3. 定期对工作环境进行检查和清洁，保证环境干净整洁。
4. 定期进行仪器漏水测试，保证仪器的密封性。
总之，ICP电感偶合等离子光谱仪的维护和保养工作不仅是实验室管理的重要环节，还是保障科研工作和研究成果正确可靠的基础。
ICP发射光谱仪讲义原理构成维护保养(组图)
第一部分 ICP发射光谱仪的构成一、ICP的构成ICP 分光器检测器数据处理R.F发生器溶液-雾化发光元素光-电信号结果二、进样系统进样系统是ICP仪器中极为重要的部分，也是ICP光谱分析研究中最活跃的领域，按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体直接进样。
2．1气动雾化和超声雾化进样2.1. 1气动雾化器和超声雾化器在ICP装置中常采用气动雾化装置，一般要求雾化器能采用较低的载气流量，如0.5-1 L/min、具有较低的样品提升量，如0.5-2 ml/min、较高的雾化效率、记忆效应小、雾化稳定性好，且适于高盐分溶液雾化及较好耐腐蚀能力，这些要求给雾化器的设计、制造带来苛刻的限制。
ICP所用的气动雾化器有两种基本的结构：同心型雾化器和正交型雾化器。
在同心型雾化器上，通入试样溶液的毛细管被一股高速的与毛细管轴相平行的氩气流所包围，见右图。
采用固定式结构，具有不用调节、雾化效率较高、记忆效应小、雾化稳定性好、耐酸（HF除外）等优点，但制作时各参数不易准确控制且毛细管容易堵塞。
目前常用的商品化同心型雾化器有Meinhard和GE两种品牌。
新型的同心雾化器可以用不同的材料制造，以用于不同的目的，同时对高盐量溶液的雾化性能也有较大的提高，例如：GE公司的海水雾化器能海水直接进样而不堵塞。
正交型（又称交叉型）气动雾化器的进液毛细管和雾化气毛细管成直角，见左图。
过去常采用可调式结构，调节两毛细管之间的距离，以获得较好的雾化稳定性，但这种调节的人为因素很大，因此目前的正交型雾化器也大多采用固定式结构。
相对同心型雾化器而言，它比较牢靠、耐盐性能较好，但雾化效率稍差。
气动雾化器溶液的提升，一般利用文丘里效应在进液毛细管未端形成负压自动提升，溶液的提升受载气的流量、压力及溶液的粘度和密度的影响，采用蠕动泵来提升，可减小溶液物理性质的影响及选择合适提升量，有利于与等离子体系统相匹配。
为适应高盐分试样的需要，Babington(巴比顿)设计了一种简便而不易堵塞的雾化器。
ICP发射光谱仪讲义---原理构成维护保养
第一部分 ICP发射光谱仪的构成一、ICP的构成溶液-雾化发光元素光-电信号结果二、进样系统进样系统是ICP仪器中极为重要的部分，也是ICP光谱分析研究中最活跃的领域，按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体直接进样。
2．1气动雾化和超声雾化进样2.1. 1气动雾化器和超声雾化器在ICP装置中常采用气动雾化装置，一般要求雾化器能采用较低的载气流量，如0.5-1 L/min、具有较低的样品提升量，如化器。
塞的雾化化效率较低，见右图液流掉。
去溶装置几部分组成（如下图）。
使用时常用进样器（蠕动泵）把试样溶液输入雾室，由超声波发生器的电磁振荡通过高频电缆与雾室中的换能器（例如锆钛酸铅压电晶片）相连，晶片在高频电压作用下产生谐振，将电磁能转变为机械能而产生超声波，当超声波连续辐射到雾室中试样溶液时，由于样品溶液与空气界面间的空化作用，使液体形成气溶胶，然后用载气通过雾室把试样气溶胶去溶后引入炬管。
采用超声雾化时气溶胶产生速度和载气流量可分别选择最佳条件，所产生的气溶胶雾滴更细更均匀，雾化效率可提高10倍（如右图），如果样品基体不复杂的话，超声雾化器的检出限要比气动雾化器的好一个数量级左右，如果有干扰，例如背景漂移或光谱重叠，则这些效应亦以同样的程度增加。
同样，当被雾化的溶液含盐较高时，在等离子炬管的中心管上的积盐也会增加。
超声雾化器的记忆效应较大，与气动雾化器相比，稳定性还有待进一步提高。
2.1. 2雾化室气溶胶输送效率定义为：实际到达等离子体的被雾化溶液的质量百分数。
为了提高着一百分数和为了使到达等离子体的气溶胶微粒快速地去溶、蒸发和原子化，雾化器必须产生小于10?m直径的雾滴。
遗憾的是，一些雾化器，特别是气动雾化器所产生的气溶胶都具有高度的分散性，其雾滴直径可达100?m。
这些大雾滴必须用雾化室除去。
常用的雾化室有筒型、梨型和旋流雾化室。
见下图：筒型雾化室是利用雾化室内壁上的湍流沉降作用，或利用重力作用除去较大的雾滴。
ICP等离子体发射光谱仪
ICP等离子体发射光谱仪仪器组成及工作原理ICP等离子体单道扫描光谱仪,是多元素顺序测量的分析测试仪器。
该仪器由扫描分光器、射频发生器、试样引入系统、光电转换、控制系统、数据处理系统、分析操作软件组成。
等离子体是在三重同心石英炬管中产生。
炬管内分别以切向通入氩气，炬管上部绕有紫铜负载线圈〈内通冷却水〉当高频发生器产生的高频电流（工作频率40MHz 功率1KW左右）通过线圈时，其周围产生交变磁场，使少量氩气电离产生电子和离子，在磁场作用下加速运动与其它中性原子碰撞，产生更多的电子和离子，在炬管内形成涡流，在电火花作用下形成等离子炬（即等离子体），这种等离子体温度可达10000K以上。
待测水溶液经喷雾器形成气溶胶进入石英炬管中心通道。
原子在受到外界能量的作用下电离，但处于激发态的原子十分不稳定，从较高能级跃迁到基态时，将释放出巨大能量，这种能量是以一定波长的电磁波的形式辐射出去。
不同元素产生不同的特征光谱。
这些特征光谱通过透镜射到分光器中的光栅上，计算通过控制步进电机转动光栅,传动机构将分光后的待测元素特征谱线光强准确定位于出口狭缝处，光电倍增管将该谱线光强转变为电流，再经电路处理和V/F转换后，由计算机进行数据处理，最后由打印机打出分析结果。
仪器型号：HKYT-2000型实用文档技术指标整机技术指标(1) 分析速度快(2) 扫描范围：扫描范围180~500nm、方式为正弦杆，由计算机控制的脉冲马达驱动，最小扫描步距0.0005nm(3) 波长示值误差和重复性：波长示值误差：±0.03nm 重复性≤ 0.005nm(4) 相关系数≥0.9998%(5) 精密度高相对标准偏差RSD≤1.5%（HKYT－2000型RSD≤2.0%）(6) 稳定性：相对标准偏差RSD≤2.0%（HKYT－2000型RSD≤3.0%）(7) 测量范围：超微量到常量(8) 检出限低ppb（ug/L）级(部分元素检出限见附录一)_(9) 分析元素多可对72种金属元素和部分非金属元素（如B、P、Si、Se、Te）进行定量或定性分析(10) 测量方式单、多元素顺序测量(11) 功率800W—1200W 可调(12) 操作便捷全新WindowsXP下运行的第三代多窗口升级中文或英文分析软件速度更快，功能更全,多窗口多任务同时执行(国内独此一家)实用文档射频发生器（RF）（1）电路类型：电感反馈自激式振荡电路、同轴电缆输出、匹配调谐、取功率反馈信号，进行闭环自动控制。
《ICP发射光谱》课件
《ICP发射光谱》PPT课件
在这个ICP发射光谱的PPT课件中，我们将详细介绍ICP发射光谱的原理和技术， 仪器配置，实验步骤，应用领域，以及其优势和局限性。通过本课件，您将 对ICP发射光谱有更深入的了解。
原理和技术
光谱原理
解释ICP发射光谱的光谱原理和作用机制，包括电离、激发和辐射过程。
光谱分析方法
实验步骤
1
样品准备
详细说明如何准备样品，包括取样、溶解和稀释的步骤。
2
仪器调试
讲解如何正确调试ICP发射光谱仪器参数，以获得准确和可重复的分析结果。
3
数据处理
介绍如何对ICP发射光谱数据进行处理和分析，包括数据解释和结果报告。
应用领域
1 环境监测
探索ICP发射光谱在环境监测中的应用，如水质分析和大气污染检测。
2 金属分析
展示ICP发射光谱在金属分析领域的重要性和广泛应用。
3 生物医学研究
介绍ICP发射光谱在生物医学研究中的新进展和前景。
优势与局限性
优势
• 高灵敏度 • 广泛的元素分析范围 • 快速和准确的分析结果
局限性
• 样品处理复杂 • 高成本的仪器和设备 • 对样品状况敏感
总结和展望
总结ICP发射光谱的重要性和应用价值，展望其未来发展方向和研究方向。
介绍ICP发射光谱的光谱分析方法，如定量分析和定性分析。
光谱仪器
讲解ICP发射光谱所使用的仪器和设备，包括光谱仪、气体压缩机等。
仪器配置
主要设备
展示ICP发射光谱的主要设备，如 光源、样品输送系统和光电检测 器。
气体压缩机
介绍气体压缩机在ICP发射光谱中 的作用和配置要点。
探针与喷雾器
解释探针与喷雾器的作用和原理， 并介绍常见的探针和喷雾器类型。
在这个ICP发射光谱的PPT课件中，我们将详细介绍ICP发射光谱的原理和技术， 仪器配置，实验步骤，应用领域，以及其优势和局限性。通过本课件，您将 对ICP发射光谱有更深入的了解。
原理和技术
光谱原理
解释ICP发射光谱的光谱原理和作用机制，包括电离、激发和辐射过程。
光谱分析方法
实验步骤
1
样品准备
详细说明如何准备样品，包括取样、溶解和稀释的步骤。
2
仪器调试
讲解如何正确调试ICP发射光谱仪器参数，以获得准确和可重复的分析结果。
3
数据处理
介绍如何对ICP发射光谱数据进行处理和分析，包括数据解释和结果报告。
应用领域
1 环境监测
探索ICP发射光谱在环境监测中的应用，如水质分析和大气污染检测。
2 金属分析
展示ICP发射光谱在金属分析领域的重要性和广泛应用。
3 生物医学研究
介绍ICP发射光谱在生物医学研究中的新进展和前景。
优势与局限性
优势
• 高灵敏度 • 广泛的元素分析范围 • 快速和准确的分析结果
局限性
• 样品处理复杂 • 高成本的仪器和设备 • 对样品状况敏感
总结和展望
总结ICP发射光谱的重要性和应用价值，展望其未来发展方向和研究方向。
介绍ICP发射光谱的光谱分析方法，如定量分析和定性分析。
光谱仪器
讲解ICP发射光谱所使用的仪器和设备，包括光谱仪、气体压缩机等。
仪器配置
主要设备
展示ICP发射光谱的主要设备，如 光源、样品输送系统和光电检测 器。
气体压缩机
介绍气体压缩机在ICP发射光谱中 的作用和配置要点。
探针与喷雾器
解释探针与喷雾器的作用和原理， 并介绍常见的探针和喷雾器类型。
ICP-AES的工作原理与维护保养
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Ｓ ｍｐ ｅｆ ｗ ａ ｌｌ ｏ
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图 １ Ｉ ＣＰ焰 炬 的 温 度 分 布 图
图 ３ 电感 耦 合 高频 等 离子 体发 射 光 谱 仪 工作 演 示 图
２２ 电感耦 合 高频等 离子 体发 射光 谱仪 的特点 ． 与 其 它 光 学 分 析 仪 器 方 法 相 比 ．ＩＰ Ａ Ｓ方 Ｃ—Ｅ
同 ．但 由于带 电粒 子 的存在 ．其 电磁 学性 质却 与普
通 中性气 体相差 甚 远 这种 气体不 仅 含有 中性 原子
和分 子 ．而且 含有 大量 的 电子和 离子 ．是 电 的 良导
体 采 用频 率 为 ７ ５ ～ ０兆 赫 的 高频 电源感 应 加 热 原 理 ，将 气体 （ ｒ Ａ 、Ｎ 、空气 等 ）加热 、电离 ，并 在 管 口形 成一 个火 炬状 的稳 定 的等离 子体 焰炬 （ Ｐ 体焰 炬分 为 ３ 区域 ：感 应 区 、标 准 分析 区 个 和 尾 焰 区 。感 应 区 在 耦 合 线 圈 中 心 ． 温 度 达 １ ０ ０ ０Ｋ：标 准分 析 区位 于感 应 区的 上方 。这 是光 谱 ０
分 析 的取 光 区 ｆ 称 测 光 区） 或 ，温 度 达 ７０ ０Ｋ左 ０ 右 ：尾焰 区在 标准 分析 区 的上方 。如 图 ２所示 。
成测定 数 据不稳 定 我们 实验 室 的温度一 般控 制在 ２ Ｃ，变化 幅度 应 小 于± ３ｃ １℃ ：而 环 境 湿 度 过 大 ，
小 时 内 ．多次 测量 结 果 的相对 标 准 偏差 ≤２５％。 ．
第 ３期
王 海 燕 ：ＩＰ Ａ Ｓ的 工作 原 理 与 维 护 保 养 Ｃ— Ｅ
电感耦合等离子体光谱仪(ICP)及其应用介绍 PPT课件
4.样品处理
高压密封罐消解
高压密封罐由聚四氟乙烯密封罐和不锈钢套筒构成。试样和酸放在带盖的 聚四氟乙烯罐中，将其放入不锈钢套筒中，用不锈钢套筒的盖子压紧密封聚四 氟乙烯罐的盖子，放入烘箱中加热。加热温度一般在120~180℃。聚四氟乙烯 罐的壁较厚，导热慢一般要加热数小时。停止加热后必须冷却才能打开。溶剂： 硝酸；硝酸+过氧化氢
谱线强度与浓度的关系
1. 标准曲线法
在ICP-AES定量分析中，谱线强度I与待测元素浓 度c在一定的浓度范围内有很好的线性关系I=KCb。K与 光源参数、进样系统、试样的蒸发激发过程以及试样 的组成等有关。b与试样的含量、谱线的自吸有关，称 为自吸系数。在高浓度时，b1，曲线发生弯曲。
光谱定量分析的依据是： I = ACb
2.仪器结构
2.ICP发射光谱仪的构成
2.ICP结构-仪器类型
单道扫描型光谱仪 固定多通道型光谱仪 全谱直读型光谱仪
• 谱线选择灵活 • 定量、定性和半定量分
析 • 仪器价格低 • 分析速度慢，精度稍差
• 多元素同时测定，分析速 度快
• 分析精度高、稳定性好 • 操作简单，消耗少
全谱直读式的等离子光谱仪，它采用 中阶梯光学系统结合固体检测器(CID ，CCD)，既具有单道的灵活性，又 有多道的快速与稳定。
Plasma点火原理
炬管中的原子氩并不导电，因而也不会形成放电 。当点火器的高频火花放电在炬管内使小量氩气电离 时，一旦在炬管内出现了导电的粒子，由于磁场的作 用，其运动方向随磁场的频率而振荡，并形成与炬管 同轴的环形电流。
原子、离子、电子在强烈的振荡运动中互相碰撞 产生更多的电子与离子。磁场的强度和方向随时间而 变化，受磁场加速的电子和离子不断改变其运动方向 ，导致焦耳发热效应并附带产生电离作用。这种气体 在极短时间内在石英的炬管内形成一个新型的稳定的 “电火焰”光源。
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第一部分 ICP发射光谱仪的构成一、ICP的构成ICP 分光器检测器数据处理R.F发生器溶液-雾化发光元素光-电信号结果二、进样系统进样系统是ICP仪器中极为重要的部分，也是ICP光谱分析研究中最活跃的领域，按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体直接进样。
2．1气动雾化和超声雾化进样2.1. 1气动雾化器和超声雾化器在ICP装置中常采用气动雾化装置，一般要求雾化器能采用较低的载气流量，如0.5-1 L/min、具有较低的样品提升量，如0.5-2 ml/min、较高的雾化效率、记忆效应小、雾化稳定性好，且适于高盐分溶液雾化及较好耐腐蚀能力，这些要求给雾化器的设计、制造带来苛刻的限制。
ICP所用的气动雾化器有两种基本的结构：同心型雾化器和正交型雾化器。
在同心型雾化器上，通入试样溶液的毛细管被一股高速的与毛细管轴相平行的氩气流所包围，见右图。
采用固定式结构，具有不用调节、雾化效率较高、记忆效应小、雾化稳定性好、耐酸（HF除外）等优点，但制作时各参数不易准确控制且毛细管容易堵塞。
目前常用的商品化同心型雾化器有Meinhard和GE两种品牌。
新型的同心雾化器可以用不同的材料制造，以用于不同的目的，同时对高盐量溶液的雾化性能也有较大的提高，例如：GE公司的海水雾化器能海水直接进样而不堵塞。
正交型（又称交叉型）气动雾化器的进液毛细管和雾化气毛细管成直角，见左图。
过去常采用可调式结构，调节两毛细管之间的距离，以获得较好的雾化稳定性，但这种调节的人为因素很大，因此目前的正交型雾化器也大多采用固定式结构。
相对同心型雾化器而言，它比较牢靠、耐盐性能较好，但雾化效率稍差。
气动雾化器溶液的提升，一般利用文丘里效应在进液毛细管未端形成负压自动提升，溶液的提升受载气的流量、压力及溶液的粘度和密度的影响，采用蠕动泵来提升，可减小溶液物理性质的影响及选择合适提升量，有利于与等离子体系统相匹配。
为适应高盐分试样的需要，Babington(巴比顿)设计了一种简便而不易堵塞的雾化器。
其结构原理是气流从一细孔中高速喷出，将沿V型槽流下的蒲层液流破碎成雾滴，避免了高盐分堵塞喷嘴的弊端，但这种雾化器没有负压自动提升能力，其雾化效率较低，而影响仪器的检出限。
Babington雾化器实际上是正交型雾化器的一种。
见右图气动雾化器的雾化效率较低，一般为3-5%左右，试样溶液大部分以废液流掉。
超声雾化器是用超声波振动的空化作用把溶液雾化成气溶胶（如左图）。
超声雾化器装置比气动雾化装置复杂，由超声波发生器、进样器、雾室、去溶装置几部分组成（如下图）。
使用时常用进样器（蠕动泵）把试样溶液输入雾室，由超声波发生器的电磁振荡通过高频电缆与雾室中的换能器（例如锆钛酸铅压电晶片）相连，晶片在高频电压作用下产生谐振，将电磁能转变为机械能而产生超声波，当超声波连续辐射到雾室中试样溶液时，由于样品溶液与空气界面间的空化作用，使液体形成气溶胶，然后用载气通过雾室把试样气溶胶去溶后引入炬管。
采用超声雾化时气溶胶产生速度和载气流量可分别选择最佳条件，所产生的气溶胶雾滴更细更均匀，雾化效率可提高10倍（如右图），如果样品基体不复杂的话，超声雾化器的检出限要比气动雾化器的好一个数量级左右，如果有干扰，例如背景漂移或光谱重叠，则这些效应亦以同样的程度增加。
同样，当被雾化的溶液含盐较高时，在等离子炬管的中心管上的积盐也会增加。
超声雾化器的记忆效应较大，与气动雾化器相比，稳定性还有待进一步提高。
2.1. 2雾化室气溶胶输送效率定义为：实际到达等离子体的被雾化溶液的质量百分数。
为了提高着一百分数和为了使到达等离子体的气溶胶微粒快速地去溶、蒸发和原子化，雾化器必须产生小于10μm直径的雾滴。
遗憾的是，一些雾化器，特别是气动雾化器所产生的气溶胶都具有高度的分散性，其雾滴直径可达100μm。
这些大雾滴必须用雾化室除去。
常用的雾化室有筒型、梨型和旋流雾化室。
见下图：筒型雾化室是利用雾化室内壁上的湍流沉降作用，或利用重力作用除去较大的雾滴。
在早期的ICP中，筒型雾化室用得较为普遍。
旋流雾化室是圆锥形的，气溶胶以切线方向喷入雾化室并向下盘旋行进，这种运动产生了作用在雾滴上的离心力，从而将雾滴抛向器壁。
在雾化室底部，气溶胶改变方向并与原来路线同轴地成更紧密的螺旋形向容器顶部移动。
抛向器壁的大雾滴由底部的废液管排出，而小雾滴通入伸入容器顶部一小段管进入炬管。
旋流雾化室具有高效、快速和记忆效应小的特点，在现代ICP中已得到广泛的应用。
梨型雾化室的去溶剂能力较强，特别适用于有机（油样）进样系统。
2. 2挥发性氢化物或金属进样在原子吸收光谱法和原子荧光光谱法中广泛应用挥发性氢化物或金属进样技术，也可应用于ICP光谱法，目前商品ICP光谱仪中也常带这些附件，这种方法可应用于Ge、Sn、Pb、As、Sb、Bi、Se、Te和Hg九种元素，这些元素在酸性介质中，在还原剂NaBH4作用下，前八种元素形成相应的挥发性氢化物GeH4、SnH4、PbH4、AsH3、SbH3、BiH3、H2Se和H2Te，其反应为：NaBH4+3H2O +HCl+ M n+→H3BO3 +NaCl+MHn↑+ H2↑而汞盐则被还原为金属汞而挥发，用载气把反应后生成的气态氢化物或汞蒸发气引入ICP进行分析。
该技术对以上九种元素的检出限可比气动雾化法降低1--2个数量级，已在卫检、环境及玩具检测、钢铁等领域得到很好的应用。
2. 3固体进样固体进样包括固体或粉末样品直接气化，然后将蒸气或固体气溶胶用载气引入等离子体，以及把固体或粉未样品直接送进或插进等离子体的方法。
激光、控波火花、微电弧都可以成为固体或粉末样品气化的采样装置，并已有商品仪器出售，其采样气化原理与一般激光光源、火花和电弧光源并无什么不同。
美国热电公司的SSEA固体进样技术（见下图）采用控波火花烧蚀气化技术，该技术具有火花直读光谱的快速、方便，又具有ICP光谱的宽线性范围，已成功地应用于冶金、机械等分析领域，特别是在铝及铝合金分析、贵金属杂质分析等方面更现特色。
属于直接把固体和粉末送进或插进等离体的方法主要有双高频进样法、射流展开法和样品直接插入进样法等。
双高频进样法是根据吹样法原理，采用高频放电产生的振动来驱动试样周围的空气。
使<200目的粉末试样变为尘雾飞扬起来，并被从漏斗边缘缝隙吹入的载气引入ICP中心通道，这种装置送样量可达到70%，由于进样量多，曝光时间短，检出限比电弧光源可降低1-2个数量级。
射流展开法是采用类似水平电极电弧撒样法的振动送样器将14微米粒径的粉末样送入样品管，借助来自底部毛细管的约0.3升/分的载气流将试样吹进ICP中心通道，这种装置送样率可达100%，检出限也可改善。
但这两种方法与吹样法和撒样法无本质区别，很难保证样品稳定、均匀引入等离子体，以及因样品颗粒及状态不同影响试样的蒸发。
对于样品直接进样法是将1-20毫克的粉末样品置于石墨电极小孔中，然后直接插入ICP放电中心通道，这种方法对于易挥发元素，例如Na、Cu、Zn、Ga、In、Tl、Pb、As、Bi等检出限可优于碳电极小孔直流电弧法。
从上面可以看出，固体进样技术仍是ICP光谱分析的一个重要难题，特别是粉末进样法，至今仍是一个不成熟的技术。
三、电感耦合等离子体光源（ICP）3．1 ICP光源的装置及其形成炬管的组成：三层石英同心管组成（如右图）。
冷却（等离子）氩气以外管内壁相切的方向进入ICP炬管内，有效地解决了石英管壁的冷却问题。
防止其被高温的ICP烧熔。
炬管置于高频线圈的正中，线圈的下端距中管的上端2-4mm，水冷的线圈连接到高频发生器的输出端。
高频电能通过线圈耦合到炬管内电离的氩气中。
当线圈上有高频电流通过时，则在线圈的轴线方向上产生一个强烈振荡的环形磁场如图所示。
开始时，炬管中的原子氩并不导电，因而也不会形成放电。
当点火器的高频火花放电在炬管内使小量氩气电离时，一旦在炬管内出现了导电的粒子，由于磁场的作用，其运动方向随磁场的频率而振荡，并形成与炬管同轴的环形电流。
原子、离子、电子在强烈的振荡运动中互相碰撞产生更多的电子与离子。
终于形成明亮的白色Ar-ICP放电，其外形尤如一滴刚形成的水滴。
在高度电离的ICP内部所形成的环形涡流可看作只有一匝的变压器次级线圈，而水冷的工作线圈则相当于变压器的初级线圈，它们之间的耦合，使磁场的强度和方向随时间而变化，受磁场加速的电子和离子不断改变其运动方向，导致焦耳发热效应并附带产生电离作用。
这种气体在极短时间内在石英的炬管内形成一个新型的稳定的“电火焰”光源。
样品经雾化器被气动力吹散击碎成粒径为1-10um之间的细粒截氩气由中心管注入ICP中，雾滴在进入ICP之前，经雾化室除去大雾滴使到达ICP的气溶胶微滴快速地去溶、蒸发和原子化。
3.2 ICP光源的特性1)趋肤效应：高频电流在导体上传输时，由于导体的寄生分布电感的作用，使导线的电阻从中心向表面沿半径以指数的方式减少，因此高频电流的传导主要通过电阻较小的表面一层，这种现象称为趋肤效应。
等离子体是电的良导体，它在高频磁场中所感应的环状涡流也主要分布在ICP的表层。
从ICP的端部用肉眼即可观察到在白色圈环中有一亮度较暗的内核，俗称“炸面圈”结构。
这种结构提供一个电学的屏蔽筒，当试样注入ICP的通道时不会影响它的电学参数，从而改善了ICP的稳定性。
2)通道效应由于切线气流所形成的旋涡使轴心部分的气体压力较外周略低，因此携带样品气溶胶的载气可以极容易地从圆锥形的ICP底部钻出一条通道穿过整个ICP。
通道的宽度约2mm，长约5cm。
样品的雾滴在这个约7000K的高温环境中很快蒸发、离解、原子化、电离并激发。
即通道可使这四个过程同时完成。
由于样品在通过通道的时间可达几个毫秒，因此被分析物质的原子可反复地受激发，故ICP光源的激发效率较高。
3.3 ICP光源的气流ICP光源自问世以来主要是在氩气氛中工作的，三股气流所起的作用各不相同，它们分别是：1)冷却气：沿切线方向引入外管，它主要起冷却作用，保护石英炬管免被高温所熔化，使等离子体的外表面冷却并与管壁保持一定的距离。
其流量约为10-20L/min，视功率的大小以及炬管的大小、质量与冷却效果而定，冷却气也称等离子气。
2)辅助气：通入中心管与中层管之间，其流量在0-1.5L/mim，其作用是“点燃”等离子体，并使高温的ICP底部与中心管，中层管保持一定的距离，保护中心管和中层管的顶端，尤其是中心管口不被烧熔或过热，减少气溶胶所带的盐分过多地沉积在中心管口上。
另外它又起到抬升ICP，改变等离子体观察度的作用。
雾化气：也称载气或样品气，作用之一是作为动力在雾化器将样品的溶液转化为粒径只有1-10um的气溶胶，作用之二是作为载气将样品的气溶胶引入ICP，作用之三是对雾化器、雾化室、中心管起清洗作用。