真空镀膜机及附属装置安全操作保养规程

真空镀膜机安全操作规程

一． 开机前作到：

1. 检查工作环境清洁、干净。

2. 检查电线无破损，接地牢固。

3. 检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。

4. 机械泵、罗茨泵油位过半。

5. 检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真空脂。

6. 罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。

7. 准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％的铝丝。

8. 接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。

二． 操作要点：

1. 通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预热1-1.5小时。

2. 镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温度、时间符合工艺）。

3. 开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转动平稳无异常振动。

4. 关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开启复合真空计。

5. 当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。 6. 当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3，开阀1。

7. 当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺），分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关复合真空计。

8. 停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。

9. 开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待镀产品，装上铝丝，进行下次工作。

10. 严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。

11. 生产中注意产品安装到位牢固。

12. 注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。

13. 及时更换断裂、积球、老化的钨丝。

三． 关机及保养：

1. 拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3，关机械泵。

2. 关整机电源，关冷却水、关高压空气。

3. 每星期检查清洁镀膜转架工装。

4. 每三个月检查更换机械泵油。

5. 每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。

制定：王思忠 审批：

真空镀膜机安全操作规程

1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。

2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。

3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。

4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。

5.开启放气阀，打开箱门。

6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。

7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到1.0-0Pa时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。

8.逐步调试增加蒸发室内温度。

9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。

10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。

11.逐步降低蒸发室内温度。

12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。

13.关总电源，关总水源，关总气源。

真空电镀设备设备安全操作规程

一、前言

为了保障人员的安全和设备的稳定运行，严格按照以下操作规程执行操作。

二、操作规范

1. 操作前应检查各个设备的电气、机械、气源等状态，确保设备处于正常工作状态。

2. 操作前，应进行安全操作培训，必须由受过专业培训的人员操作设备，不得擅自调整设置和操作参数。

3. 操作时，应穿戴符合规定的劳动保护用品，包括手套、护目镜、过滤面罩等。

4. 严禁操作人员触碰高电压设备，操作位置应远离高压区域。

5. 进行操作时，应注意电路安全，严禁使用带电手段。

6. 真空电镀设备应保持良好的通风情况，以防止有害气体对人员的危害。

7. 在真空电镀设备运行过程中，不得擅自拆卸、调整或更改设备的保护装置和安全装置。

8. 电镀液体、气体等等易燃、易爆物品或有害气体，必须严格按照相关规定放置及保管，不能随意堆放。 9. 在设备检修和维护过程中，应按照有关规定切断电源，并设有专人负责监控。

三、设备维护

1. 设备维修时，必须按照相关规定操作，保持设备处于关闭状态。

2. 设备停止运转后，应断开所有电源，等待设备冷却后再进行维护工作。

3. 在清洁设备之前，必须切断电源，并等待设备冷却后再开始操作。

4. 每隔一段时间，应按照配合设备制造厂商的要求对设备进行保养，包括清洁、油加注、机器灰尘清理等。

四、事故处理

1. 在发生设备事故时，应及时停止设备运作，并按照事故应急预案处理。

2. 在发生设备故障时，应及时通知相关人员和设备制造厂商进行处理。

3. 在设备运行过程中，如有异常情况发生，应及时上报，并通知相关人员和设备制造厂商进行处理。

五、监督与检查

1. 对电气设备的检修及操作应有专人负责，并制订相应的检查表进行检查。 2. 操作人员应定期进行反复学习，以熟练操作设备，确保人员操作规范。

3. 设备使用期内，应进行定期的检查和维护，并建立设备档案。

六、总结

以上是真空电镀设备安全操作规程，如有违规操作或发现安全隐患，应及时上报，保障人员的安全和设备的稳定运行。

真空镀膜工安全操作规程

1. 引言

真空镀膜工是一项高风险和高技能要求的工作，操作人员必须熟悉各种设备的操作和安全规程，以保障工作场所的安全并确保工作人员的身体健康。本安全操作规程旨在提供真空镀膜工操作人员进行工作时的安全指导，并规范操作流程，减少事故和伤害的风险。

2. 真空镀膜工作场所安全要求

2.1 环境安全

• 工作区域内应保持清洁整洁，无杂物堆放，并确保紧急通道畅通。

• 使用易燃、易爆物品时，应按照相应安全规定贮存和使用。

2.2 通风要求

• 工作区域应保证良好的通风系统，有效排除有害气体和粉尘。

• 随时检查通风系统的工作状态是否正常，并及时维修或更换损坏的部件。

2.3 温度和湿度要求

• 控制工作区域的温度和湿度，确保在合理范围内，避免对人体和设备的损害。

2.4 照明要求

• 确保工作区域的充足照明，避免操作人员因照明不足而导致事故。

2.5 防护设备要求

• 操作人员应佩戴符合标准的防护眼镜、手套和防护服等个人防护设备。

3. 操作准备与要求

3.1 设备检查

• 确保真空镀膜设备处于正常工作状态。

• 预先检查所有关键设备的电源、气源和水源等连接是否正常。

3.2 物料准备

• 需要镀膜的物料应按照操作要求准备并清洁，确保表面无杂质。 3.3 操作人员准备

• 操作人员必须穿戴好个人防护设备，并熟悉操作流程和急救措施。

• 进行真空镀膜操作前，操作人员应接受相关培训并获得相应的操作证书。

4. 操作流程与注意事项

4.1 真空镀膜设备操作

• 操作人员应按照设备操作手册指导进行操作，并确保操作正确、稳定。

• 对设备的维护保养应按照规定周期进行，定期检查和更换磨损或故障的部件。

4.2 镀膜物料处理

• 操作人员需按照操作规程准确放置物料，并确保各个步骤符合操作要求。

• 确保物料和设备之间的接触处密封良好，避免泄漏和污染。

4.3 紧急情况处理

• 操作人员需要对紧急情况有清晰的应急预案，并按照预案进行应急处理。