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1、 光外差检测原理
光外差检测是利用两束频率不相同的相干光,在满足波 前匹配条件下,在光电检测器上进行光学混频。检测器的输 出是频率为两光波频差的拍频信号,该信号包含有调制信号 的振幅、频率和相位特征。从理论上讲,外差检测能准确检 测到这些参量所携带的信息,比直接检测具有更大的信息容 量和更低的检测极限。
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② 当两束光的频率不同,干涉条纹将以 的角频率随时
间波动,形成光学拍频信号,也叫外差干涉信号。如果两 束光的频率相差较大,超过光电检测器件的频响范围,将
观察不到干涉条纹。在两束光的频率相差不大( 较小)
的情况下,采用光电检测器件可以探测到干涉条纹信号, 并且可以通过电信号处理直接测量拍频信号的频差及相位 等参数,从而能以极高的灵敏度测量出相干光束本本身的 特征参量,形成外差检测技术。
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以双光束干涉为例,设两相干平面波的振动E1(x,y)和E2(x,y)分 别为:
E1 ( x, E2 (x,
y) y)
a1 a2
exp{ exp{
j[1t j[2t
1(x, y)]} 2 (x, y)]}
两束光合成时,所形成干涉条纹的强度分布I (x, y)可表示为:
I (x, y) a12 a22 2a1a2 cos[t (x, y)]
下式进行:
x
r
M
B N
1
n n
其中,B为脉冲计数器的计数值,第Δ2n0/页n /是共7折1页射率的相对变化。
③ 干涉条纹跟踪法
干涉条纹跟踪法是一种平衡测量法。在干涉仪测 量镜位置变化时,通过光电接收器实时地检测出干 涉条纹的变化。同时利用控制系统使参考镜沿相应 方向移动,以维持干涉条纹保持静止不动。这时, 根据参考镜位移驱动电压的大小可直接得到测量镜 的位移。