PLC在低温等离子体处理仪应用

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汇控PLC在低温等离子体处理仪应用
1.设备简介
1.1 特点
■一键式操作,使用方便;
■腔体容积大,处理样品数量多;
■离子浓度高,效率高;
■结构紧凑,经济使用;
■放电均匀,装卸料方便;
■微机自动控制,操作方便;
■高性能参数控制元件,参数控制精度高,重复性好。

1.2 应用
■表面清洗:如粘结前、锡焊前或电镀前的表面处理;
■表面活化:如生物材料的表面修饰,印刷前、上漆前或粘结前的表面处理;
■表面刻蚀:如硅的微细加工、聚四氟乙烯件表面刻蚀处理;
■表面接枝:如材料表面特定基团的产生和表面活化的固定,避免时效性;
■表面沉积:如疏水性或亲水性层等的离子体聚合沉积。

2.系统架构
2.1 主要产品功能规格
⏹控制器:汇控ID100-1410BRA主机,14点DI,10点DO,继电器输
出;
⏹比例阀:PLC通过0-10V模拟量控制比例阀的开始量;
⏹真空计:仪表测出真空度同时输出0—10V的非线性模拟量。

⏹人机界面:通过RS232以艾默生协议与汇控PLC进行通信。

2.2 系统结构
⏹核心部分:汇控PLC作为控制器,承担着信号采集、处理、输出的
任务;
⏹上位部分:人机介面通过port1与PLC通讯,可对设备进行操及工
作参数的调整,同时监控当前状况;
⏹下位部分:主要是通过PLC输控制真空电机的启动停止,同时通过
模拟量输出来控制比例阀的开始量,通过模拟量输入来采集真空度、进气流量。

3.工作流程
3.1 一遍处理程序
在触摸屏上设定:处理功率、进气流量(两路)、处理时间三个参数。

+
3.2 两遍处理程序:
在触摸屏上分别设定:
第一遍的处理参数:处理功率、进气流量(两路)、处理时间。

第二遍的处理参数:处理功率、进气流量(两路)、处理时间。

+
注:清洗参数与进气参数不一样。

3.3 接枝管路清洗
在触摸屏上选择:“接枝管路清洗功能”,显示清洗进行的时间
4.结束语
汇控PLC以它的高精度、高稳定性及超高的性价比,使其在实验设备中的应用能更可靠;此低温等离子体处理仪使用汇控PLC作为控制核心,使其稳定性及控制放电功率方面的精度有大大的提高。