光学三维测量技术综述精选文档

光学检测的综述光学检测的综述摘要随着科学技术和⼯业的发展，测量检测技术在⾃动化⽣产、质量控制、机器⼈视觉、反求⼯程、CAD/CAM以及⽣物医学⼯程等⽅⾯的应⽤⽇益重要。

传统的接触式测量技术存在测量⼒、测量时间长、需进⾏测头半径的补偿、不能测量弹性或脆性材料等局限性，因⽽不能满⾜现代⼯业发展的需要。

近年来由于光学⾮接触式测量技术克服了上述缺陷，其⾮接触、⾼效率、⾼准确度和易于实现⾃动化的特点，成为近年来测量技术研究的热点。

本⽂介绍了多种基于各种测量原理的光学检测⽅法。

关键词:光学检测；三维测量; 数字相移;1.光电检测技术光电检测技术以激光、红外、光纤等现代光电器件为基础，通过对载有被检测物体信号的光辐射（发射、反射、衍射、折射、透射等）进⾏检测，即通过光电检测器件接收光辐射并转换为电信号。

由输⼊电路、放⼤滤波等检测电路提取有⽤的信息，再经过A/D变换接⼝输⼊微型计算机运算、处理，最后显⽰或打印输出所需检测物体的⼏何量或物理量[1]。

如图1所⽰光电检测系统的组成。

图1 光电检测系统光电检测技术的特点：–⾼精度：从地球到⽉球激光测距的精度达到1⽶。

–⾼速度：光速是最快的。

–远距离、⼤量程：遥控、遥测和遥感。

–⾮接触式检测：不改变被测物体性质的条件下进⾏测量。

–寿命长：光电检测中通常⽆机械运动部分，故测量装置寿命长。

–数字化和智能化：强的信息处理、运算和控制能⼒。

光电检测的⽅法：直接作⽤法差动测量法补偿测量法脉冲测量法光电检测系统◆主动系统/被动系统(按信息光源分)–主动系统通过信息调制光源,或者光源发射的光受被测物体调制。

如图2所⽰图2 主动系统的组成框图–被动系统光信号来⾃被测物体的⾃发辐射。

如图3所⽰图3 被动系统的组成框图◆红外系统/可见光系统(按光源波长分)[2]–红外系统多⽤于军事,有⼤⽓窗⼝,需要特种探测器。

–可见光系统多⽤于民⽤◆点探测/⾯探测系统(按接受系统分)–⽤单元探测器接受⽬标的总辐射功率。

文章编号:1005-5630(2005)02-0090-06镜面反射面形光学三维测量技术综述X陶　涛,郭红卫,何海涛(上海大学精密机械工程系,上海200072) 摘要:讨论了用于测量镜面反射物体三维面形的各种光学技术。

这些技术分为被动式测量和主动式测量两大类。

被动式测量包括基于光度学的测量技术和基于镜面反射成分恢复面形技术。

主动式测量主要是采用结构光技术测量镜面物体。

同漫反射物体的三维测量技术相比,现有镜面物体三维测量技术的发展还不成熟,其技术研究已严重滞后于其需求的快速增长。

文章可为深入研究镜面反射物体的三维测量技术提供有益的参考。

关键词:三维面形测量;镜面反射;漫反射;主动测量;被动测量中图分类号:T N247 文献标识码:AOverview of optical three -dimensional measurement technique for specular reflection surfacesTA O Tao ,GUO H ong -w ei ,H E H ai -tao(Depart ment of P recisio n M echanical Engineer ing ,Shanghai U niver sity ,Shanghai 200072,China ) Abstract :In this paper ,different kinds of optical m ethods used fo r three -dimensional (3-D )shape measurement of specular reflectio n objects are discussed .They can be classified into tw o gro ups :passive measurement m ethods and active measurement m ethods.The fo rmer includes the methods base on photom etric and shape fr om specularity.T he latter makes use o f the structur ed light pared to those for diffuse reflection objects,the existing 3-D measurem ent techniques fo r specular objects are not ripe and fall behind the urgent need .This article pro vides beneficial references for research and development of 3-D measurement metho ds for specular reflection o bjects .Key words :three-dimensional shape m easur em ent;specular reflection;diffuse reflection;active measurement;passiv e measurement1　引　言上个世纪70年代以来,光学三维测量技术以其高精度、高效率和非接触性的优点在高速检测,产品开发、质量控制、反求工程、CAD/CAM 等领域得到广泛的应用和发展[1]。

第5期1998年9月 光学技术O PT ICA L T ECHN O L OG YN o.5Sept.1998光学投影式三维轮廓测量技术综述郝煜栋　赵洋　李达成(精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系,北京100084)摘　要:主要用于散射物体的宏观轮廓测量的光学投影式轮廓测量技术可以分为两大类:直接三角法和相位测量法。

直接三角法包括激光逐点扫描法、光切法和新近出现的二元编码图样投影法。

相位测量法以测量投影到物体上的变形栅像的相位为基础,包括莫尔法、移相法、傅氏变换法等等。

本文以基于相位测量和光栅投影法为重点综述了光学投影式轮廓测量技术的几种典型方法,讨论了它们的优缺点,并分析了研究热点和发展方向。

关键词:光学轮廓测量,光学投影,三角法,相位测量,莫尔技术,移相法,傅氏变换法,叠相还原。

Review of optical profilometry based on light pattern projectionHao Yudong　Zhao Yang　Li Dacheng(State K ey La bo rat or y o f Pr ecision M easur em ent T echno lo gy and Instr ument s Dept.o f Pr ecision Instr uments and M echano lo gy,T sing hua U niver sity,Beijing100084) Abstract:Optical pr ofilo metr y based o n lig ht pat tern pro jectio n for m acr oscopic shape measur e-ment of diffuse objects can be classified into tw o g ro ups:dir ect tr iang ulation and g ra ting pr oject ion phase measurem ent met ho d.T he for mer includes laser spot scanning,lig ht sect ioning and newly devel-oped binar y-enco ded pa ttern pr ojection pro filometr y.T he latter,w hich is based on the phase measur e-ment o f def or med gr ating pro jected o nt o t he object surface,includes mo ir contour ing,phase shifting method,F our ier tra nsfo rm technique,etc.So me typical techniques are r eviewed,w ith emphasis on gr ating pro jectio n phase measurement metho d.T heir advantag es and disadv antag es ar e discussed.Some cur r ent ho t spo ts and futur e directio ns a re analyzed.Keywords:o pt ical pro filomet ry,light pa tter n pro jectio n,triangulatio n,phase mea sur ement,moir conto ur ing,phase-shifting,F ourier tr ansfor m pr o filometr y,phase unwr apping. 一、引　言物体的三维轮廓测量在高速在线检测、质量控制、机器/机器人视觉、反求工程、CAD/ CAM以及医疗诊断等领域的应用日益重要。

光学测量三维形貌的综述摘要。

我们首先对使用各种光学方法对三维形貌的测量进行了概述。

然后，我们着重介绍结构光技术，以及结构光技术的各种光学配置，图像采集技术，数据后处理和分析方法以及此技术的优势和局限性。

并展示了一些工业应用的例子。

对需要进一步研发的重要领域进行了讨论。

文章最后，对有关三维形貌测量的参考文献做了总结，虽然并不旨在完全详细的。

2000年光照片仪表工程师学会。

关键词：三维形貌测量，坐标测量，光学方法，综述。

1999年7月12日接收论文；1999年8月23日接收修订稿；1999年8月23日准许出版。

1 引言在工业上，对精确测量物体的三维形貌测量有需求，以加速产品的开发和保证制造质量。

三维形貌测量的应用包括智能机器人的控制，车辆引导的障碍物检测，模具开发的尺寸测量，冲压面板的几何检查，应力/应变以及振动的精确测量。

此外，自动在线检测与识别的问题可以转换成三维塑造对象的测量，例如车身面板油漆缺陷和凹痕检查。

近来，随着计算机技术的发展，再加上数码影像设备，电光元件，激光等光源设备的发展，现在三维形貌测量中的一些技术已经被成功地商业化。

对于一个小规模的深度或形貌，使用共焦显微镜或者其他三维显微镜可以达到微米甚至纳米级精度的测量。

然而，关键是相对准确性或测量深度的一部分。

这对大尺寸的形貌测量形成一个真正的挑战。

例如，0.5米深度的测量如何才是准确的？此外，对于大尺寸的深度和形貌测定，通常需要更多的摄像机和照相机的位置来获得多个形貌从而最终拼合整体的大形貌。

这就引出了如何高精度拼接这些形貌以及进行局部和全局坐标转换。

这随后产生另一个要解决的问题，即克服镜头畸变和像差。

三位形貌测量后的数据必须与计算机辅助工程（CAE）模型进行比对。

本文对使用各种光学方法的三维形貌的测量进行了概述。

然后，着重于结构光测量系统，来测量较大尺寸和360度的形貌。

然后，概述了各个细节方面，如绝对相位测量，结构光光源，图像采集传感器，摄像头模型和标定，随后讨论了全局和局部坐标转换方法。

三维光学轮廓测量仪综述
三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

三维光学轮廓测量仪典型特点：
1) 使用白光干涉测量技术，非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析；
2) 台阶高度测量分辨率达0.1 nm；
3) 可搭配黑白或彩色相机进行2D、3D显示和测量功能；
4) 配置电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用；
5) 采用双光源模式，适应特殊样品测量；
6) 测量范围100×100mm(可按客户定制尺寸)；
7) 配置低倍率物镜(2.5×和5×倍率)，可进行大面积3D测量；
8) 提供多种表面参数测量功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、
薄膜厚度及平面度；
9) 提供超过250多种各类参数（含2D、3D）计算；
10) 友好的人机界面，简便的图形化控制系统及3D图型显示；
11) 多种交换文件格式，可储存与读取多种3D轮廓文件格式；
三维光学轮廓测量仪典型应用：
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：
三维光学轮廓测量仪主要技术指标：。

浅谈光学三维测量技术光学三维测量属于非接触式光学面形测量方法，能快速准确测量出物体的表面形状，被广泛地应用在机械、电影等领域。

文章概述了光学三维测量技术的分类，介绍了几种常见的光学测量技术及其在各个领域的应用。

标签：光学三维测量；三维激光扫描；面结构光光学三维测量是指运用光学方法获取物体表面的三维立体坐标的技术。

光学三维测量利用现代光学技术成就，结合光电子学、计算机图像处理等学科成就发展起来的一种先进测量技术。

1 光学三维测量的分类图1 光学三维测量技术分类图光学三维测量技术按测量原理可以分为摄影测量方法、结构光技术和光学干涉方法。

摄影测量法是基于多视角的非主动式测量方法。

在普通照明（阳光、日光灯）情况下，由摄像头获取多视角物体图像，利用计算机查找多幅图像的同态标记点，进而获得物体的表面形貌。

结构光技术通过不同宽度且明暗相间的结构光照射被测物体表面，获取到的经物体调制的图像，再经过计算获取物体的立体形貌信息。

光学干涉法是利用干涉原理进行测量，具有高精度、高分辨率等优点。

以下介绍几种常见的光学三维测量方法。

图2 三维激光扫描工作原理图三维激光扫描技术根据光学三角形测量原理，以激光作为光源，光电探测器接收反射光，通过对采集到数据进行计算得到物体的深度信息。

三维激光扫描仪包括发射器和接收器。

发射器射出一束脉冲激光，激光经过物体表面漫反射，沿相同路线射入接收器。

由脉冲激光发射到反射被接收的时间tL可计算出扫描点到扫描仪的距离值S。

扫描仪内精密测量系统获取每个激光脉冲的水平方向角α和垂直方向角度β。

依据上述数据计算出扫描点的三维空间坐标（XP、YP、ZP）[1]。

双目视觉技术属于摄影测量方法，是通过视差原理被动测量三维数据的技术。

双目视觉技术测量物体三维形貌的原理是，从两个或以上的视角去观察一个物体，获得多张不同视角下物体的二维图片，根据三角测量原理得出同一个像素点的坐标偏差，以此获得测量物体的三维形态。

光学测量三维形貌的综述汇总光学测量三维形貌是一种非接触式的测量技术，可以实时且非破坏地获取物体表面的三维形貌信息。

这种测量技术在工业制造、医学、文化遗产保护等领域具有广泛的应用。

本文将综述光学测量三维形貌的原理、方法、应用以及未来的发展方向。

光学测量三维形貌的原理是基于光的散射与反射特性。

光线在物体表面的反射或散射会受到物体表面形貌的影响，通过测量光线的变化可以确定物体表面的形状和高度信息。

光学测量三维形貌的主要方法可以分为三种：三角法、光栅投影法和相位移法。

三角法是光学测量三维形貌最常用的方法之一、它基于三角形的几何关系，通过测量物体表面上多个点与光源之间的距离和角度，计算出物体表面的形状和高度信息。

这种方法简单直观，测量精度较高，适用于表面比较平整的物体。

光栅投影法是一种通过投射光栅纹影来测量三维形貌的方法。

它利用光栅的周期性纹理，在物体表面投射一组光栅纹影，通过测量光栅纹影的形变和位移，推导出物体表面的形状和高度信息。

这种方法适用于表面比较复杂的物体，如曲面和薄膜。

相位移法是一种通过测量光波的相位变化来计算三维形貌的方法。

它利用光的干涉原理，通过在物体表面上投射一组相干光束，并通过相位移的测量得到物体表面的高度信息。

这种方法具有测量精度高、适用范围广的优点，但需要复杂的光学系统和数据处理算法。

光学测量三维形貌在工业制造中有广泛的应用。

例如，在汽车制造中，可以用光学测量技术来评估车身的质量和精度；在航空航天制造中，可以利用光学测量技术来检测飞机表面的缺陷和变形；在电子制造中，可以通过光学测量技术对电路板和芯片进行形貌测量。

在医学领域，光学测量三维形貌也具有重要的应用。

例如，可以利用光学测量技术来测量人体的表面形貌，用于人体测量、假肢制造和医学成像；还可以利用光学测量技术对生物组织的表面形貌进行分析和诊断。

光学测量三维形貌的未来发展方向主要包括提高测量精度、扩展测量范围和提高测量速度。

随着光学技术、图像处理算法和计算机性能的不断提高，光学测量三维形貌的应用将更加广泛。

光学投影式三维轮廓测量技术研究光学投影式三维轮廓测量技术是一种利用光学原理进行三维物体表面形状测量的技术。

它可以通过对物体表面投影光线，并观察投影结果，来获得物体表面的三维轮廓信息。

光学投影式三维轮廓测量技术主要包括两个关键步骤：光源的投影和投影结果的测量。

在光源的投影阶段，通常采用点光源或线光源来照射待测物体。

通过改变光源的位置、光源的形状或光的颜色等参数，可以实现不同投影效果，进而获取不同程度的表面轮廓信息。

在投影结果的测量阶段，使用合适的测量仪器（如相机或扫描仪）对投影结果进行捕捉，并进行图像处理和数据分析，从而获得物体表面的三维轮廓信息。

1. 非接触性测量：光学投影式三维轮廓测量技术可以在不接触物体的情况下进行测量，避免了传统测量方法中可能产生的物体损伤或变形问题。

2. 高精度测量：通过合适的光源和测量仪器，以及精确的数据处理算法，可以实现高精度的物体表面形状测量。

对于一些具有复杂表面形状或微小特征的物体，光学投影式三维轮廓测量技术可以提供更准确的测量结果。

3. 快速测量：与传统的三维测量方法相比，光学投影式三维轮廓测量技术通常具有较快的测量速度。

这主要得益于光学投影的非接触性和计算机图像处理的高效性。

光学投影式三维轮廓测量技术在众多领域都有广泛的应用。

例如在工业制造中，可以用于产品质量检测、尺寸测量和形状分析等方面；在医学领域，可以用于人体无创检测、病变分析和手术导航等方面；在文化遗产保护中，可以用于文物修复和数字化保存等方面。

光学投影式三维轮廓测量技术是一种灵活、精确和高效的三维测量方法，具有广泛的应用前景。

随着相关技术的不断发展和改进，相信它将在更多领域展示出更多的潜力和优势。

基于光学技术的三维检测与测量随着科学技术的不断发展，人们对于实物的量测和检测需求也越来越高。

而传统的二维量测方法已经不能满足现代人的需求，更加精准和快速的三维量测方法因此应运而生。

其中基于光学技术的三维检测与测量技术非常的受人们的青睐，因其非接触测量、高精度、高速度等特点而得到广泛的应用。

一、光学三维检测技术光学三维检测技术是一种通过发射光源，在观测区域内接收返回的光线，利用光学的原理，进行三维形状和尺寸量测的检测技术。

光学三维检测具有接触面积小、高精度、高速度等显著特点，是应用相机成像、投影等技术实现的。

目前，光学三维检测技术主要包括结构光法、激光三角测量法、视觉测量法及数字全息术等。

二、结构光法结构光法依托于光源对被测物体表面投射光图案进行三维检测。

利用由投影器投射的光栅或随机图案，位于另一固定位置的相机采集对应图案，根据成像图案的偏移量，便可推断出相机与目标投影面之间的距离。

从而可以计算出被测物体的三维测量结果。

结构光法可以实现高速度测量，准确度比较高，同时也可以适用于很多不规则物体的量测，因此受到了广泛的关注和应用。

例如除了常规工业制造过程中的三维量测外，近年来，也引入半导体厂所使用的牛顿环对象检测以及胶合板打孔定位等方面，成功取得了应用。

三、激光三角测量法激光三角测量法，顾名思义，就是利用激光进行三角测量，常用于高精度测量。

其原理就是三角形中，若知道了两条边的长度和其夹角，那么就可以计算出第三条边的长度。

利用此原理，我们可以将激光光束投射到被测物体表面，观测光线在表面上反射的位置，计算反射位置与投射位置之间的夹角，再与激光光线和被测物体表面法线（直接垂直于表面的一条线）之间的夹角，即可得出被测物体所在空间的位置坐标。

一旦给定了空间坐标的数据，就可以得到被测物体的三维形状和尺寸测量结果。

四、视觉测量法视觉测量法简单来说，就是利用飞行时间被称为“TOF“的技术（利用飞行时间计算距离），测定距离来获得物体测量数据。

光学遥感立体测绘技术综述及发展趋势摘要：遥感测绘技术不仅是我们获得地球地理空间信息的重要方式，而且是我们解决全球无图区、困难区测绘的重要手段。

测绘卫星具非常强的立体测绘功能，以立体化角度来观测地面目标的物理特性与几何属性。

而光学遥感立体测绘技术以及具有光学传感器、高分辨率测绘卫星最为常见。

关键词：光学遥感立体测绘技术；未来发展；发展趋势；高分辨率一、光学遥感立体测绘技术光学遥感立体测绘技术的具体来说有以下几项：测绘相机与时间同步技术、卫星定轨定姿技术、影像压缩和质量评价技术、几何定标和立体测图技术。

1、测绘相机与时间同步技术三线阵测绘相机是由三个独立 CCD摄像机组成的，三个 CCD摄像机保持正视、前视、后视特定的交会角度构成。

卫星运行期间，三个测绘相机随意扫描都将获得三个不同角度并且相互重叠的影像。

只有测绘相机镜头质量优良，内方位元素稳定，才能维持高精度的三维测量。

测绘卫星通过三线阵测绘相机进行扫描摄像，分毫之间的差异都将导致定位几米的差距，导致测绘影像的定位精度明显下降。

因此，测绘卫星应当适当添加具有高效载荷时间、高精度的系统，确保卫星在CCD推扫摄影上的时间保持一致，从而满足测绘任务的相关要求。

2、卫星定轨定姿技术在利用航天遥感影像对地面进行精密定位时，为确保其测量精度、姿态方面的准确度，往往还需利用地面控制点进行辅助。

若不能在区域内设置控制点，则无控制点摄影测量技术的优势就难以突显。

三线阵测绘卫星在无控制点摄影测量时要符合三个条件，从而最终实现立体测量工作与定位目标任务。

一是要利用仪器设施对卫星运行轨道进行了位置测定，给出了三个外方位位置要素；二是应利用三线阵测绘相机对地面进行推进扫描，获得三个重叠的航带影像；三是对卫星姿态进行了三个外方位角的测定。

GPS接收机是一种常见的用于测量卫星轨道的仪器，星敏感器、红外姿态测量仪等仪器是最常见的卫星姿态测量设施。

3、影像压缩质量评价技术随着测绘卫星成像技术不断增强，遥感测绘技术不断优化，影像数据的规模不断扩大，但由于传输渠道限制，目前只能对影像数据进行压缩处理。

光学投影式 3D 轮廓测量专利技术综述摘要：本文立足于专利文献，从专利的角度对光学投影式3D轮廓测量技术进行了介绍和分析，对该领域全球专利文献数据进行统计、筛选、定量、定性分析，借助计算机分析软件实现专利分析图表的绘制，为相关领域的审查工作提供技术支持，并对光学投影式3D轮廓测量技术的技术发展趋势提供参考。

关键词：光学投影 3D轮廓测量叠相还原专利技术分析一、光学投影式3D轮廓测量技术概述光学投影式3D轮廓测量是光学式三维测量领域中基于结构光法中重要分支，光学投影式3D轮廓测量是通过向被测物表面投射能量，由图像传感器接收并记录投射的光斑位置，由于物体高度起伏产生了变形成像，通过系统间的几何关系，恢复被测物体的面形轮廓。

由于其具有非接触、自扫描、高精度的特点规避了传统机械扫描方式（例如扫坐标测量）设备冗余、数据处理慢、接触式测量的缺陷，已成为信息光学研究的前沿技术，因此，对其进行专利技术分析具有重要意义。

光学投影式3D轮廓测量技术总体分为两大类，基于光学三角法的轮廓测量和基于相位测量的轮廓测量[1][2]。

光学三角法轮廓测量可以用“像点位移”的概念解释，坐标系OXYZ中空间一点P射出的光线PB与参考平面XOY交于B点，并成像于探测器平面XOY上的B＇点，当放入被测物时，光线PB交物面于H点，H点像点A＇。

从探测器像面上看，由于被测物体的存在，像点由B＇移动到A＇，对应于参考面上的距离为AB，该距离AB与H点高度符合三角关系，因此，可通过测量像点位移得到物体的高度信息。

而相位轮廓测量也是基于光学三角法，但它不是直接寻找和判断位置变动后的像点，而是通过测量相位间接实现。

通过将规则的光栅图像投射到被测物表面，通过CCD探测器从另一角度观察由于受物体高度影响而产生的条纹变形，该种变形可解释为相位和振幅均被调制的空间载波信号，对变形条纹进行解调，恢复相位信息，通过相位确定高度，进而得出轮廓信息。

工程应用中光学投影3D轮廓测量涉及的技术分支较多，必须考虑其所涉及的多个技术分支，通过采用对宏观数据进行定量分析及对重点技术进行定性分析相结合的研究方式，发现目前申请人最关注的技术为：投影方式、叠相还原、误差分析补偿三个一级分支，而投影方式涉及投影采用的仪器设备和投影的条纹调制方式两个二级分支；叠相还原分为基于一幅干涉图像解调相位信息的空域叠相还原和基于多幅图像的时域叠相还原二级技术分支；而误差分析补偿常见的为基于对硬件或软件补偿两个二级技术分支。

三维测量技术综述基于工业摄影与机器视觉的三维测量技术综述摄影测量(Photogrammetry)是一门通过分析记录在胶片或电子载体上的影像来定被测物体的位置、形状和大小的科学，属于测绘学的分支学科。

它包括航空摄测量、航天摄影测量和近景摄影测量等。

其中，近景摄影测量是指测量范围小于100米，相机布设在物体附近的摄影测量。

近年来，随着微电子和半导体技术的飞速发展，尤其是固体阵相机和计算机硬件的发展，使得工业摄影测量已进入全数字近景摄影测量时代。

同时，随着机器视觉理论的迅速发展，机器视觉也逐渐发展成一门由计算机技术、控制理论、人工智能和模式识别等众多领域交叉综合的新学科。

1.三维形貌与变形测量技术简介光学三维形貌与变形测量技术经过近年来的快速发展，涌现出多种技术及方法。

其中主要有：时间飞行法、全息干涉法、莫尔条纹法、结构光方法（点、线、面）、数字摄影测量法和数字图像相关法等，下面介绍几种常用的三维测量方法，并分析在这些方面的研究发展情况。

1）时间飞行法时间飞行法(Time of Flight)基于三维形貌对激光束产生的时间调制。

原理如图1所示。

激光脉冲信号从发射器发出，经待测物体表面反射后，沿近乎相同的路径反向传回接收器，检测激光脉冲从发出到接收时刻之间的时间差，就可以计算出距离。

结合扫描装置使激光脉冲扫描整个物体就可以得到三维形貌数据。

图1 时间飞行法原理图时间飞行法的分辨率约为1 mm。

若采用亚皮秒激光脉冲和高分辨率的电子器件，深度分辨率可达亚毫米级。

采用时间相干的单光子计数法，测量lm距离，深度分辨率可达30μm;另一种称之为飞行光全息技术的测量方法利用超短光脉冲结合数字重建，深度分辨率可达6.5μm，这种方法的优点是不存在阴影和遮挡问题。

但是要得到较高的测量精度，对信号处理系统的时间分辨率有较高的要求。

2）全息干涉法全息干涉法测量技术利用光的相干性原理，如图2所示，当两束相干性好的光束在被测物体表面相遇时，其光波发生干涉，形成的干涉条纹反映了物体的形貌信息。

－72－科技论坛1概述非接触光学投影式三维形貌测量技术是获取物体表面形态特征的一种重要手段，是一种逆向工程技术，亦称为反求工程(Reverse En-gineering)，简称RE [1]。

由于这种三维形貌测量技术具有速度快、分辨率高和非接触等优点而广泛应用于工程设计、质量控制、医疗诊断和计算机辅助制造等方面[2]。

本文以相位测量轮廓术中的光栅投影法为重点，介绍了其测量基本原理、组成以及应用，研究了正弦光栅投影技术和数字图像处理技术，并利用德国GOM 公司生产的Advanced TOpometric Sensor 系列（简称ATOS ）流动式光学扫描仪是对鼠标进行了测量与分析。

实验表明：三维光学形貌测量技术简单实用、测量精度高、便于实现自动测量，是一种较为理想的光学测量方法。

2相位测量轮廓术的基本原理相位测量轮廓术的基本原理如图1所示。

D 点为投射系统出瞳中心，DO 为投影光轴。

C点为成像系统入瞳中心，CO 为探测光轴，设DC=d 且与xoy 参考面平行。

从D 点对E 点投影位置本该落到B 点，但由于物体表面形状调制的原因，在CCD 镜头上则成像于A 点。

设AB=S R (x ，y)，表示偏移量，则E 点的高度为可见只要计算出偏移量，就能得到被测物体表面各点的高度，实现三维轮廓测量，具体计算是采用相移技术。

将正弦光栅投影到待测物体表面上，并规定坐标原点O 处系统相位为零，采用四步相移技术，每步，利用CCD 摄像机分别获得四幅畸变光栅条纹的光强，利用光强关系计算得到E 点相位。

再利用光栅直接投影在参考面上的光强关系计算得到A 点相位[3]，它们相位差为若被测物高度远小于L ，则E 点高度，将其代入（2）式则有其中，是可通过对测量系统标定来确定的系数，进而根据相位差可得物体高度。

3ATOS 流动式光学扫描仪原理ATOS 系列流动式光学扫描仪是目前国际市场上比较先进的三维扫描设备，该设备采用光栅投影相位测量轮廓技术。