管式扩散炉操作规程

1.工艺控制软件的使用1.1软件的启动按下“上电”按钮，启动工控计算机，双击“扩散监控系统”图标后启动工艺控制软件，启动软件后，程序进入登录界面，选择用户名，输入密码，即可登陆。

如果修改密码，则先输入原密码，再在相应的恶框内输入新密码，按确认后就可完成修改。

正确输入密码登录后，进入手动操作界面。

1.2温度设置界面上有三个模拟温度控制器图形，分别对应扩散炉的三端温度控制器。

温度控制器图形中第一行三个绿色的示值为左、中、右三个温区的控温热电偶测量值。

三个热电偶之间的区域正是该设备的恒温区。

第二行的三个红色示数为温度控制器的温度设定值（SV值）。

三个点的SV值可以单独设置，主要供调试和维护所用，在自动运行界面中，没有开放。

温度设定值在本窗口可以修改。

修改方法：点击温度控制器上的SET按钮，ＳＶ值的颜色改变，通过＂＋１＂等按钮进行修改数值，然后再次点击SET按钮，该端点的ＳＶ值将得到修改。

1.3手动界面的温度曲线和流量曲线显示在手动操作界面中有一个记录并描叙温度的曲线图。

横坐标为时间轴，起始长度为１小时，记录到一小时时，时间区域长度自动翻倍，依次类推，一直记录，在两种情况下将自动停止：1）点击“退出系统”按键，退出工作程序；2）进入程序工艺运行（此时将启动运行状态下的温度曲线记录）。

温度曲线是控制热电偶ＰＶ的温度记录，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录为红线条，右端温度记录为绿线条。

见面右上角显示有系统时间，每月要注意将其与标准时间核对。

本界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作间界面上的“温度曲线／流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的装换。

1.4阀动作设置在手动操作界面的中上部有系统的气路总图和气路简图的显示，两者可以通过“气路总图／气路简图）按钮进行切换。

在窗口的右下侧，有一个“设置区域”，在该区域可对电磁阀状态和气体流量进行设置。

设置键为右侧中部的“＋１”等按键。

在设置O2阀、N2阀、小N2阀气体阀门及流量时，相应的气体阀门将会打开，反映在屏幕上是气体简图中的阀门将会改变颜色（绿色为开，红色为关）。

M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统安全使用说明书中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目 录1．使用环境要求 (1)2．工作条件要求 (1)3．设备调试时注意事项 (1)4．设备使用注意事项 (2)5．运行H/O合成工艺注意事项 (4)6．真空系统注意事项 (5)7．化学品的安全使用 (6)8．气体的安全使用 (7)9． 保养与维修 (8)10、碳化硅制品使用说明 (8)11、石英器件使用说明 (11)1、使用环境要求1.1 环境温度5～40℃。

1.2 相对湿度＜75％。

1.3 海拔不超过2500m。

1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。

1.5 环境洁净度不劣于：1000级。

1.6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量3000～5000L/min。

1.7 无高频及较强的磁场干扰。

2、工作条件要求2.1 供电：3Ф＋中线+地线，50HZ；设备功率：序号 反应管形式 炉膛内径 单台管数 单台总功率1 开管 Ф300mm 3管/台 105KVA2 开管 Ф300mm4管/台 140KVA3 闭管 Ф330mm3管/台 128KVA4 闭管 Ф330mm4管/台 170KVA5 闭管 Ф350mm4管/台 195KVA2.2 供水：3／4＂管供自来水，水压0.1～0.3MPa，冷却用；去离子水，清洗及工艺用。

2.3 供气：N2、O2 、H2、压缩空气，进气压力0.4～0.6Mpa，工艺气体纯度99.99﹪。

2.4 气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。

2.5 设备应接入专用接地线，接地电阻≤3 Ω。

3、调试时注意事项3.1 逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。

3.2控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器、流量计电源等是否正常。

在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。

管式加热炉操作规程1 适用范围本规程适用于集输泵站升温用管式加热炉的操作。

本规程规定了管式加热炉投产前的准备、投运、运行检查及停运操作步骤。

2 操作内容2.1投运前的准备2.1.1 正确穿戴劳保用品，并进行危害辨识和风险分析，落实必要的风险削减措施。

2.1.2 岗位人员要求经过培训特殊工种作业培训，取得相应操作证书持证上岗。

2.1.3 点炉前的检查2.1.3.1炉体、保温层、安全阀、压力表、温度计齐全完好，在检定有效期内。

检查人孔应严密，附属设备正常。

2.1.3.2倒通燃料流程，检查火嘴无结焦、无堵塞，点火电极间距合适，燃烧器良好，风门、烟道挡板灵活好用。

2.1.3.3观火孔保持完好，烟道畅通，防爆门完好。

2.1.3.4顺序打开被加热介质出口阀门、进口阀门，确认流程畅通后，关闭旁通阀门，倒通工艺流程后循环10min，替换盘管内介质。

2.1.3.5烟囱绷绳和接地线良好。

2.1.3.6检查配电系统及附属线路完好后，戴绝缘手套合闸送电。

2.1.4启动鼓风机强制通风5～10min，负压水套炉应自然通风15min以上，排净炉膛内残余的可燃气体。

2.1.5点炉前与相关岗位进行联系。

2.2投运2.2.1通风结束后，按点火开关点火，燃烧稳定后，调节风门和烟道挡板开度，保持火焰处于最佳燃烧状态。

2.2.2小火烘炉4～5小时后，方可调节火焰升高炉温，按升温曲线要求进行升温。

2.2.3根据生产要求调节加热温度。

2.3运行2.3.1检查各部位无漏气、漏油、漏风等现象，燃气（油）流量计应运行正常，火焰稳定、均匀，烟囱无冒黑烟现象，燃烧器运行正常。

2.3.2 根据生产参数控制燃料用量，保证被加热介质出口温度满足工艺要求。

2.3.3定期巡检并做好参数的录取。

2.4停炉2.4.1正常停炉2.4.1.1 通知相关岗位做好流程切换前的准备工作。

2.4.1.2提前4～5小时关小燃料阀门，同时调节燃烧器风门及烟道挡板，控制火焰使炉膛温度逐渐下降。

管式炉的使用流程解1. 管式炉的基本介绍管式炉是一种常用的工业加热设备，主要用于加热物体或材料。

它的工作原理是通过在管道中流通热介质，将热能传递给管道外的物体，从而实现加热的目的。

管式炉广泛应用于石油化工、电子、冶金等领域。

2. 管式炉的使用流程使用管式炉前，需要进行以下流程：2.1 准备工作•检查管式炉的外观是否完好，无损坏或漏气情况；•清理管道和加热腔的杂物和残留物；•检查并确认管道的连接是否紧固；•确保管道入口和出口处的阀门处于关闭状态。

2.2 开启燃气系统•打开燃气系统的进气阀门；•检查燃气进气管道是否有泄漏，如有泄漏应立即进行修复；•打开燃气系统的燃气调节阀。

2.3 点火准备•打开点火系统的电源开关；•检查点火系统的电源是否正常；•检查点火电极和火焰探测器的连接是否良好。

2.4 点火操作•用打火机或点火器将火焰点燃，接触到点火电极处；•点火后，观察燃烧情况，确保火焰稳定和齐全；•没有问题后，可以关闭点火电源开关。

2.5 温度设定和控制•打开温控装置的电源开关；•设置所需的加热温度；•确认温度控制装置显示正确目标温度；•确认温度调节装置的工作正常。

2.6 加热操作•打开管道入口处的阀门，让热介质流入管道；•观察管道内的温度变化，确保加热效果符合要求；•根据需要调整温度和加热时间。

2.7 关闭操作•关闭管道入口处的阀门，停止热介质流入；•关闭温控装置的电源开关；•关闭燃气系统的调节阀和进气阀门；•阻止燃气进入管式炉；•关闭管式炉的电源开关。

3. 使用注意事项为确保安全使用管式炉，应注意以下事项：•使用前必须检查设备的完好性和安全性；•打开或关闭燃气系统时，要小心防止火花；•避免管道和加热腔内的积水和潮湿；•加热过程中，不可将易燃物品靠近管道；•当设备出现故障或异常时，必须及时停止使用和排除故障。

以上是管式炉的使用流程解，希望能对使用管式炉的人员有所帮助，确保安全和高效的使用管式炉。

管式炉点火操作规程
一、点火前准备工作
1、检查管式炉油路系统阀门开闭是否正确富油泵压力是否正常。

2、检查管式炉蒸汽阀门开度是否正确压力是否正常。

3、检查管式炉系统阀门仪表是否安全好用。

4、打开煤气主阀门，打开排气阀门，待冒出煤气二分钟后关闭。

5、检查煤气压力，煤气压力应大于1000Pa。

6、打开管式炉蒸汽扫阀门，（蒸汽不低于0.1MPa）待放散处大量冒蒸汽十分钟后将蒸汽关闭。

二、点火
1、首先点着点火棒伸入要点火嘴附近。

2、将分煤气阀门找开10/——20/，当火嘴点着后将煤气加大。

3、用此法依次将三个火嘴点燃。

4、调节管式炉上部翻板和下部通风翻板。

三、熄火
1、将煤气阀门逐渐关闭把炉膛内火熄灭。

2、通入蒸汽吹扫。

四、特殊操作
1、停电时或停风机时应先将煤气阀门关闭立即打开蒸汽阀门，对管式炉内气体置换。

长时间停管式炉时应将管式炉内富油吹静，关闭蒸汽阀在闭煤气阀门。

扩散制结操作规程1. 目 的为规范扩散制结操作流程，正确的操作设备、高效的进行生产，特制定本规程。

2. 使用范围上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的扩散车间。

3. 职 责3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗，在进行操作之前，务必仔细阅读本规程。

3.2熟练掌握每道操作步骤。

4. 定 义4.1扩散车间只负责按规程操作，更改数据需技术部授权。

5. 程 序5.1 开启非区排风开关及扩散炉总电源。

5.2 开启水浴槽循环开关，检查每个水浴槽的设定温度以及有无循环，观察每个源瓶容量多少。

5.3开启氧气瓶开关，将阀门调节至最大，检查氧气压力是否正常（图2），正常扩散中不断查看氧气压力表，及源瓶温度（图3）。

（图2） （图3）5.4开启的扩散炉的“电源”开关按钮，进入程序操作界面，按下“炉体开”按钮，开始升温（图4）。

（图4） 5.5 插片，将清洗好的硅片从花篮中取下，两片为一单元，插进石英舟内，要求硅片较洁净的一面朝向外面。

如遇硅片表面较脏，须请示工艺员是否对其扩散。

5.6 选定相应工艺参数组，待炉温到达设定值后，按下“装舟”按钮（图5）。

（图5） 5.7 将装有硅片的石英舟用拉舟棒架于悬臂桨上，4个舟依次靠紧，按下“运行”按钮（图6），进行扩散。

（图6）5.8 扩散过程中要检查非区水浴槽的温度，水循环状况，源瓶鼓泡状况，若发现异常，应及时上报并处理。

5.9 扩散结束待悬臂桨完全出炉后用拉舟棒依次取下石英舟放入净化台，开启吹风按钮（图7），进行降温。

图（7）5.10 在扩散开始时，开启半导体电阻率测试仪器。

图（8） 开启测试仪电源、测试探针电源，方块电阻测试旋扭置于“短路”，仪器通电预热半小时。

5.11 抽检扩散后硅片的方块电阻图（9）从风冷后的每个石英舟内不同位置各取两片硅片放于盛片盒内，将测试探针升降脚踏板踩下，取下探针保护套，放下探针，旋紧螺丝将其固定。

将测试旋扭置于测试状态，把硅片扩散面朝上放在测试台上，选取硅片中心及四个边的中心，改变电源极性测出每个测试点正负两个数据并做好各项记录表单。

管式炉操作规程(总2页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--双温区真空管式炉操作规程一、开机1. 打开电源。

2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。

二炼气1. 放置四个管堵，安装法兰。

2. 左右温区均以3o C/min升温至150 o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至 MPa保持30min。

三、气体置换1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至，再关闭抽气口针阀。

3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。

4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。

四、实验1. 充入保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。

2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。

3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至，分阶段完全打开针阀至，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。

4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。

5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。

6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。

7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至 MPa，充入保护气体，关闭进气口针阀。

管式炉用法
管式炉是一种常见的热处理设备，广泛应用于金属加工、陶瓷烧结、玻璃制造等领域。

下面是一般情况下使用管式炉的基本步骤：
1. 准备工作：确保管式炉周围环境安全，并检查炉体、加热元件等设备部件是否完好。

清理炉膛，移除杂质和残留物，以免对热处理过程产生不良影响。

2. 加载物料：根据热处理的要求和物料的特性，将待处理的物料装入炉膛中。

确保物料摆放整齐，避免相互接触或堵塞炉膛。

3. 设定热处理参数：根据物料的种类、尺寸、要求以及热处理的目的，设定合适的炉温、保温时间、升温速率等参数。

这些参数将直接影响到热处理效果和物料的质量。

4. 加热过程：启动管式炉，根据设定的热处理参数，逐渐升温至目标温度。

在升温过程中，要确保升温速率适宜，避免温度变化过快或过慢对物料造成不利影响。

5. 保温处理：当达到目标温度后，保持稳定的温度和保温时间，使物料得到所需的热处理效果。

在此期间，要注意炉内的温度均匀性，避免出现温度梯度过大的情况。

6. 冷却过程：热处理完成后，将管式炉的加热源关闭，并进行适当的冷却处理。

冷却速度可以根据物料的要求选择自然冷却或辅助冷却方法，确保物料冷却到安全温度。

7. 取出物料：待物料冷却到适当温度后，可以打开炉门，小心取出物料。

注意避免烫伤或其他安全问题。

8. 清洁和维护：热处理结束后，对管式炉进行清洁和维护工作，确保设备的正常运行和延长使用寿命。

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