硅烷

中文同义词：硅烷;四氢化硅;甲硅烷;甲矽烷;RB-602硅烷偶联剂;RB-902硅烷偶联剂[1]

英文名称：Sulfane[2]

英文同义词：flots100sco;Monosilane;SiH4;Silicane;Silicon hydride;Silicon hydride

(SiH4);tetrahydrure;tetrahydruredesilicium[1]

CAS号：7803-62-5[3]

分子式：SiH4[2]

分子量：32.12[2]

EINECS号：232-263-4[2]

Mol文件：7803-62-5.mol[2]

2物理性质

1. 性状：无色气体，有大蒜恶心气味。

2. 密度（g/L,25°C）：1.44

3. 相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：1.1

4. 熔点（ºC）：-185

5. 沸点（ºC,常压）：-111.9

6. 沸点（ºC,760mmHg）：-112

7. 蒸发热（KJ/mol）：12.5

8. 熔化热（KJ/mol）：0.67

9. 生成热（KJ/mol）：32.6

10. 比热容（KJ/(kg·K),25ºC）：1.335

11. 临界温度（ºC）：-3.5

12. 临界压力（MPa）：4.864

13. 溶解性：溶于水，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。[4]

3化学性质

毒性资料

LD50：－ LC50：9600ppm/4小时 毒性效应：

其他注意事项：研究发现，当老鼠暴露在10000ppm下1小时或 ≥2500ppm下4小时会 对肾产生影响。老鼠暴露在1000ppm，6小时/天，5天/周下2到4周后只有轻微的呼吸道刺激。硅烷会引起细菌的变异。

致癌性：至今未被发现致癌。

生态资料

可能之环境影响/环境流布：

水中毒性：－

流动性：由于在空气中自燃，它会在进入土壤之前燃烧掉。

持续性及生物降解：由于在空气中燃烧并分解，硅烷不会在环境中长期存在。

潜在的生物富集：硅烷不会在生物中积累。

注：硅烷不含有任何1类或2类的分解臭氧的化学物质。

通式

SinH2n+2 ,n=1~15。[5]

反应方程式

Si+2H2=高温=SiH4(无色气体) 硅烷在空气中易自燃，反应方程式为：

反应方程式

SiH4+2O2=点燃=SiO2+2H2O

稳定性

避免强氧化剂,强碱，卤素。标准状态下气体密度为1.44g/L，液体的相对密度为0.68(-185℃)。蒸气压11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。红外光谱波长2191cm-1、914cm-1。在室温时为气体状态，在储存过程中，数月之内无显著分解。因为甲硅烷几乎不溶于润滑脂，可以储存在瓶塞涂有润滑脂的容器内。

硅烷的化学性质比烷烃活泼得多，极易被氧化。在与空气接触时可发生自燃。25℃以下与氮不起作用，室温下与烃类化合物不起反应。与氧反应异常激烈，即使在-180℃温度下也会猛烈反应。

硅烷与氟氯烃类灭火剂会发生激烈反应，所以不能用这类灭火剂灭火。爆炸极限为0.8%～98%。[4]

4制备

在反应瓶和加料漏斗里分别装入1.14g LiAlH4于70mL乙醚中的溶液和2.30mL SiCl4于50mL乙醚中的图硅烷的制备装置溶液。在整个合成过程中，把冷浴和指型冷却管分别保持在-15～-20℃和-78.5℃。将仪器抽空后，乙醚开始回流，此时必须要注意避免过多的骤沸。然后，将靠近反应装置的U形管接收器冷却到-95℃(用甲苯冻膏)，其余四个接收器冷却到-196℃(液氮)。在搅拌下，用15min将SiCl4+乙醚溶液加入到LiAlH4悬浮液中。为了避免乙醚剧烈回流，使甲硅烷连续地以中等速度分出。调节反应器和真空管路之间的玻璃活塞便可以容易地控制反应速度。将SiCl4加完后，继续搅拌15～20min，以保证反应完全。在此期间，将反应器和真空系统切断以免乙醚逃逸过多。当甲硅烷从真空系统排净之后，将空气通入反应器，拆开真空系统。[4]

5应用

用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等。[2]

硅烷气：

7

硅烷气 硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下，硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后，剩下的就是纯硅了。此外，硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。

6注意事项

危害辨识

最重要危害与效应：

眼接触：硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。

吸入：

1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。

2.硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。

3.暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。

摄入：摄入不可能成为接触硅烷的途径。

皮肤接触：硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。皮肤接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。

慢性：

侵入途径：

症状：如今不清楚长期暴露于硅烷中对健康的进一步影响。

损害器官：未建立

过度暴露造成的病情恶化 ：有皮肤和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中会加重病情。

致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列为致癌物。

急救措施

不同暴露途径之急救方法：

热灼伤：由于硅烷泄漏引起人员灼伤时应由受过培训的人员进行急救，并立即寻求医疗处理。

眼睛接触：立即用水冲洗最少15分钟，水流不要太快，同时翻开眼睑。使受难者为“O”形眼，立即寻求眼科处理。

吸入：将患者尽快移到空气清新处。如有必要由受过培训的人员进行输氧或人工呼吸。 皮肤接触：

1.用大量的水冲洗最少15分钟。脱掉已暴露在硅烷中或被污染的衣服，小心不要接触到眼睛。

2.如果患者有持续的刺激感或其他进一步的健康影响需立即进行医疗处理。

医生须知：如有必要需吸氧。观察患者是否有肺炎初期症状。

灭火措施

适用灭火剂：切断气源灭火。用水雾减少空气中形成的燃烧产物。不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火焰中的钢瓶。

灭火时可能遭遇之特殊危害：

1.可自燃气体。本产品是一种无色、易与空气反应的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。

2.如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没

硅烷

有自燃会非常危险，不要靠近。

3.大多数钢瓶设计了温度升高时的泄放装置。由于热量的作用气瓶内压力会升高，如果泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸。

特殊灭火程序：

1.从泄漏区疏散所有人。如有可能，在没有危险的情况下切断气源之后根据燃烧的物质灭火 。

2.用水雾减少空气中形成的燃烧产物。水可能对扑灭硅烷的火灾不起作用。

3.不要用卤化物类灭火剂。如有可能，阻止泄漏。

4.不要试图在切断气源之前灭火。这样可以避免可燃性气体混合物的累积和重燃。

5.对于小型的泄漏，如果不能阻止泄漏而且泄漏也不会伤害人员，让火焰自然熄灭。用大量的水为周围的钢瓶喷淋降温，直到火焰熄灭。

6.在大的火灾中，应该用自动管支架和控制喷嘴从远距离灭火 。

7.处理火灾初起时，要对眼睛进行保护。如果是大火，需要自给式呼吸器和全身防护服，包括防火服。如有必要，用肥皂水刷洗灭火设备。 有害燃烧产物：包括二氧化硅在内的燃烧产物

泄漏处理

清理方法：

1.撤离立即受影响区域。

2.硅烷是一种可自燃气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的黄色的无定型二氧化硅烟雾。

3.不受控制的泄漏需要由经过培训的人员按照事先拟好的计划进行处理。硅烷的泄漏一般都会引起火灾。

4.如果硅烷泄放时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。

5.如有可能切断泄漏的气源，隔离泄漏的钢瓶。如果不能阻止泄漏(或不能接近阀门)，让钢瓶在原地泄放或将钢瓶移到一个安全的地方泄放。

6.若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，请与供商联系。

7.若泄漏来自用户系统，关掉钢瓶阀门，在修复前一定要泄压并用惰性气体吹扫。

8.所有人员都要有防护，泄漏区要受到控制。

9.所有应急反应人员都要有适当的防护，以避免暴露于硅烷中。监测周围环境中的硅烷含量。只有硅烷含量在允许范围内时(见第二部分)，人员才能在没有自给式呼吸器的情况下进入。进入前，可燃性气体的浓度一定要低于0.14%，也就是硅烷LEL的10%。进入前要争取关闭气体的总阀门。

安全处置

储存：

1.在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。

2.存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft 。

3.或者在中间放置至少5英尺高的非易燃材料作为屏障，以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。

苯基氯硅烷

4.存储温度不可高于125℉(52℃)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长。

5.使用先进先出系统。应考虑在储存区内安装测漏器和报警设备。

使用：

1.使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。

2.如果出现故障或其他操作问题，请立即与最近的分销商联系。

3.如有可能应避免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行——一旦发生泄漏，处理紧急情况的人员可以立即赶到。

4.用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器都应有内锁，一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。

5.监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。

6.硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。

7.一定不要拉、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。

8.用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放气体。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加热钢瓶的任何部分。

9.一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使用，并与供应商联系。

10.不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内。 否则会损坏阀门并引起泄漏。

11.使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。

特殊注意事项:

1.系统温度不可低于－170℉ (－112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物。

2.不要让硅烷与重金属卤化物或卤素接触，硅烷与它们剧烈反应。应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物。