超纯水设备满足电子级超纯水制取需求

半导体超纯水设备用水水质标准半导体超纯水设备是应用于半导体生产零件清洗的超纯水设备，需要符合特定的用水水质标准，下面具体介绍下半导体超纯水设备。

半导体超纯水设备水质标准：半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。

半导体超纯水设备制备工艺：1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(传统工艺)2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(最新工艺)3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥17MΩ.CM)(最新工艺)4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)(最新工艺)5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)(传统工艺)半导体超纯水设备的应用领域：电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。

电子管生产、显像管和阴极射线管生产配料用纯水。

黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水。

生产液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液。

晶体管生产中纯水主要用于清洗硅片。

集成电路生产中高纯水清洗硅片。

半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路用纯水。

半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。

高品质显像管、萤光粉生产。

汽车、家电表面抛光处理。

超纯水设备产品功能说明书超纯水机制水流程示意图经济型超纯水制水机中柜式超纯水机本机是一种对水质符合卫生部《生活饮用水水质卫生规范》（2001）规定的市政自来水进行二次深度净化处理并进行抛光脱盐的超纯水生产设备，通过聚丙烯（PP）熔喷滤芯过滤器初滤、颗粒活性炭滤芯过滤器去除余氯和重金属等、活性炭棒滤芯过滤器深层次吸附等预处理而成为滤过水，对滤过水加压进行反渗透生产出纯水，对纯水进行混床抛光脱盐处理生产出符合用户要求的超纯水。

产品特点1.以进口名牌反渗透膜（RO膜）为核心，辅以多级预处理的膜式纯水机，运用目前国际上先进的反渗透技术和混床脱盐工艺制备超纯水。

2.五级不同功能的滤芯，组成先进的复合深度净化水处理工艺，综合发挥各滤芯的有效作用，清除原水中的泥沙、悬浮物、胶体、余氯、有机物、重金属、可溶性固体、细菌、和其他有害杂质。

3.采用名牌静音高压泵，使用寿命长，运行质量可靠。

4.电磁阀控制进水，泵停浓缩水排放即停。

5.使用20″三级预处理（三支滤筒），预处理效果好、滤芯使用寿命长。

6.采用快速接头连接塑料水管，连接可靠、拆装方便。

7.每次放水时自动高压冲洗反渗透膜，可有效延长RO膜寿命。

8.原水缺水、储水桶水满自动控制停机。

9.微电脑全自动控制制水过程，并显示电源、造水、冲洗、满水、缺水、检修。

10.电阻率仪在线检测，显示超纯水的电阻值（MΩ-CM)。

11.全封闭柜式结构，制水单元不会受灰尘等污物污染。

12.制成的水为可直接供实验室或工业用的超纯水。

超纯水水质符合国家标准GB11446.1-1997《电子级水》（1级水：18MΩ·cm以上；2级水：15MΩ·cm；3级水：12MΩ·cm；4级水：0.5MΩ·cm）国家标准GB6682-1992《分析实验室用水规格和试验方法》（1级水：10MΩ·cm；2级水：1MΩ·cm；3级水：0.2MΩ·cm）产水处理单元滤材与功能简介聚丙烯（PP）熔喷滤芯（过滤器）滤材：聚丙烯（PP）塑料，熔喷成型，过滤精度10μ功能：聚丙烯（PP）熔喷滤芯对原水进行初过滤，滤除原水中的泥砂、杂质、胶体、悬浮物等。

超纯水制备系统
超纯水在许多领域的应用中起着至关重要的作用，如制药、电子、
化工等。

为了满足对超纯水的需求，超纯水制备系统应运而生。

本文
将对超纯水制备系统的工作原理、组成部分以及应用进行详细介绍。

一、工作原理
超纯水制备系统通过一系列工艺来去除水中的各种杂质，从而获得
高纯度水。

其工作原理主要包括预处理、反渗透、电离交换等过程。

首先，原水经过预处理设备去除大部分的固体颗粒、胶体和有机物质；然后，通过反渗透膜的作用，去除水中的溶解盐和无机物质；最后，
通过电离交换树脂的吸附作用，进一步去除水中的离子杂质，得到超
纯水。

二、组成部分
超纯水制备系统一般由进水过滤器、活性炭过滤器、反渗透膜组件、电离交换柱、紫外线消毒器等部分组成。

进水过滤器用于去除水中的
大颗粒杂质，活性炭过滤器用于去除有机物质和氯等物质，反渗透膜
组件是去除溶解盐和无机物质的关键部件，电离交换柱用于去除水中
的离子杂质，紫外线消毒器则是为了保证超纯水的无菌性。

三、应用
超纯水制备系统广泛应用于制药、电子、化工、实验室等领域。

在
制药行业，超纯水用于药品生产的洗涤、溶解、配制等过程；在电子
行业，超纯水被用于半导体芯片的制造过程；在化工领域，超纯水则
用于精细化工产品的生产；在实验室中，超纯水则是科研工作中必不可少的实验试剂。

综上所述，超纯水制备系统通过一系列的工艺步骤，去除水中的各种杂质，获得高纯度水，满足不同领域对超纯水的需求。

其在制药、电子、化工和实验室等领域具有广泛的应用前景，对推动相关产业的发展起着至关重要的作用。

超纯水制备知识点总结超纯水是一种纯度极高的水，通常用于实验室研究、电子工业等领域。

超纯水的制备需要严格控制水质，除去杂质和离子，以获得高纯度的水。

下面将总结超纯水制备过程中的关键知识点。

1. 超纯水的定义超纯水是指去离子水，也称为高纯水或电子级水。

其主要特点是水中的溶解固体物质和游离离子极少，通常是纯净水或蒸馏水的千分之一或万分之一。

2. 超纯水的制备方法超纯水的制备方法主要有蒸馏法、反渗透法和电去离子法。

（1）蒸馏法蒸馏法是通过加热水蒸气，然后再冷凝形成纯净水。

这种方法可以去除水中的有机物、微生物和部分无机盐。

但是，这种方法产生的水还不能称为超纯水，还需要进一步处理。

（2）反渗透法反渗透法是通过高压将水经过半透膜过滤，去除水中的离子和微生物，从而得到纯净水。

这种方法能够生产较高纯度的水，但仍然不足以满足超纯水的要求。

（3）电去离子法电去离子法是通过两极电解膜将水中的离子去除，从而得到极其纯净的水。

这种方法是制备超纯水的主要手段，能够产生质量极高的水。

3. 超纯水的制备工艺电去离子法是最常用的超纯水制备工艺。

其制备步骤主要包括进水、预处理、阳极氧化、阳极吸附、离子交换树脂吸附、阴极吸附、超纯水储存等环节。

（1）进水首先，需要使用去离子水进料，去离子水质量要求高，一般要求电导率低于0.2μS/cm。

（2）预处理进水后需要进行预处理，包括石英砂过滤、活性炭过滤和微孔滤器过滤等步骤。

这些步骤能够去除水中的颗粒物、有机物和氯等物质。

（3）阳极氧化在阳极氧化池中，水中的氧化性物质通过电解反应被氧化和析出。

据此通过氧化性物质析出，从而降低水中的溶解氧。

（4）阳极吸附在阳极氧化后，水中的铁、锰等杂质通过活性炭吸附的方式进行处理。

（5）离子交换树脂吸附通过离子交换树脂的吸附作用，将水中的阴离子和阳离子去除，从而获得更纯净的水。

（6）阴极吸附在这一步骤中，通过负极活性炭的吸附作用，将水中的有机物和残余离子进一步去除。

EDI超纯水设备介绍超纯水设备（Electron Demineralized Water)是一种用来生产超纯水的设备。

超纯水是一种仅含有水分子的物质，不含任何溶解固体、气体和细菌等物质。

它通常应用于高纯化实验室、制药工业、化工工业和电子工业等领域。

本文将介绍EDI超纯水设备的原理、应用和优势。

1.原理：EDI是电渗析（Electrodeionization）的简称，通过电场作用实现溶液的离子交换和电泳迁移，从而达到水中杂质的去除。

EDI超纯水设备主要由阴极、阳极和离子交换膜组成。

水通过离子交换膜，阳离子和阴离子被分离，经过电场作用，离子迁移到对应的离子交换膜上。

经过多个单元的交替排列，阳离子和阴离子逐渐被去除，生成纯净水和浓缩液。

2.设备结构：EDI超纯水设备通常由水预处理系统、EDI单元和后处理系统三部分组成。

水预处理系统主要用来去除水中的颗粒物、有机物和化学物质等，以保护EDI单元的性能和寿命。

EDI单元是核心部件，其结构由离子交换膜、阴极、阳极、导电液和电源等组成。

后处理系统用于进一步提升水的纯度，如深度去离子、凝聚和过滤等。

3.应用：-高纯化实验室：在实验室中，高纯水被用于溶解、稀释、浸泡和反应等操作，以确保实验结果的准确性。

-制药工业：在药物制造和生产过程中，超纯水被用于注射液、灌装和洗涤等，以确保药品的安全和纯度。

-化工工业：在化工生产过程中，超纯水常用于合成、冷却、洗涤和稀释等，以防止水中杂质对产品和设备的损害。

-电子工业：在电子元器件制造和芯片生产过程中，超纯水被用于清洁、泡水和刻蚀等，以确保产品的质量和可靠性。

4.优势：-操作简单：EDI设备没有酸碱再生过程，不需要使用酸碱药剂，操作更加简便和安全。

-节能环保：EDI设备不需要热能和大量水作为再生用水，节约能源和水资源。

-稳定性高：EDI设备采用电场作用实现离子去除，稳定性较高，不易受水质波动影响。

-产品纯度高：EDI设备可以将水中的溶解固体去除至极低水平，生产出高纯度的超纯水。

EDI超纯水设备参数详细介绍
EDI超纯水设备是一种通过交换树脂和电离膜技术来制取超纯水的设备。

EDI是Electrodeionization的缩写，意为电极电离，是一种结合了电化学迁移和离子交换技术的水处理过程。

它是一种无化学反应和无需补充化学药剂的连续净化系统，可以用于制取高纯度的水。

下面将对EDI超纯水设备的参数进行详细介绍。

1.水处理能力：
2.净化效果：
3.运行压力：
4.电压要求：
5.控制系统：
6.水质监测：
7.设备尺寸：
8.设备构造：
9.自洗功能：
10.维护保养：
总结起来，EDI超纯水设备的参数包括水处理能力、净化效果、运行压力、电压要求、控制系统、水质监测、设备尺寸、设备构造、自洗功能和维护保养等方面。

这些参数的选择和调整将根据不同的应用需求和实际情况来确定，以确保EDI超纯水设备的稳定运行和产水质量。

From：谷腾环保网> 水处理> 技术专题> EDI 技术应用EDI 推荐工艺流程什么是EDIElectrodeionization的缩写，中文全称为“连续电去离子技术”，其主要用于替代传统混床技术。

超纯水的生产在过去的二十年间，在成本、环境及品质等因素的驱动下，其供水系统发生了许多变化，特别值得一提的是，目前存在一个明确的方向，就是减少对离子交换工艺的依赖性，以便尽可能减少化学药品的使用，并提高产水量。

有一项重要的事实可以说明该趋势—反渗透作为阴阳床的替代技术正在普及。

反渗透作为有效的脱盐技术，其脱盐率可以达到95~99%。

但是，RO对离子的去处效果有一定的限度，一般来说，产水电导率0.5us/cm（2 MOhm-cm）是其脱盐的极限。

当产水水质有更高的要求的时候，就需要采用混床或等同技术。

EDI能高效去除残余离子和离子态杂质，尤其当用户产水水质要求高，比如对电阻率（>10 或者16MOhm-cm）, 二氧化硅（<10ppb或者<1ppb）,钠离子,硼等有严格的要求的时候, EDI技术更体现了其品质的优越性，且EDI系统的运行成本明显低于与混床，与混床装置及其辅助设备相比，其设备的生命周期总成本占有优势。

EDI技术在大约50年前就出现了，但是大型的商业化直到1986年才真正开始，时至如今EDI制造商已经为全球制造了1000套以上的EDI系统。

图1描述了RO，EDI取代传统离子交换工艺的过程。

图1 EDI技术的发展国内EDI技术的现状近几年来，国内陆续有EDI技术的研究和应用报道，但少有成果报道，而且未见纯水水质达到电子级水I级标准的报道。

现有的EDI纯水工程中以进口EDI膜堆居多，不仅价格高，而且由于缺乏经验，应用中尚存在不少的问题。

卫生装备研究所EDI技术研究及应用情况卫生装备研究所经过多年攻关，掌握了EDI的关键技术，不断有阶段性的研究成果推出，并于2001年3月通过了天津市科委组织的“电去离子技术和反渗透一电去离子高纯水设备”技术鉴定。

实验室超纯水机使用说明实验室用超纯水机应用于很多行业之中，它为各行业研发新的产品提高优质的实验用水，随着用户需求的不断增多，市场中纯水机产品多种多样，所以用户在选择使用时必须对使用手册进行了解。

超纯水机是采用了源于美国宇航科技的逆渗透(RO)技术，逆渗透膜又称反渗透膜，简称RO。

逆渗透技术是美国六十年代研制成功的，最初用于美国宇航技术，以解决宇航员在太空中循环用水的问题。

分析实验用纯水机：是以自来水或深井水为源水，直接制备GB 实验室级纯水、GB/T电子级纯水、ASTM级纯水的实验装备，广泛应用于分析实验(化验)室、小型中试车间等领域。

莱特莱德分析实验用纯水机采用了膜分离、核子纯化、紫外消解、传感器、单片机、PLC、压力容器等先进技术工艺，紧密集成的安全可靠、性能稳定、使用方便、运行费用低廉的全自动超纯水装备，是一套能完全替代传统的蒸馏、离子交换和进口纯水机的智能化系统。

适用范围一般实验用水有机物分析用水加湿器/高纯蒸汽发生器实验动物饮水全自动生化仪用水以蒸馏水为源水的纯水器进水水源玻璃器皿清洗原子吸收/发射/荧光生理、病理、吸收光谱用水免疫诊断析水环境、环保实验用高精度光学镜片冲洗用水试管婴儿用水精密分析仪器用水各类分析试剂及药品配置稀释用水一般仪器供水高精度电化学配置用水各类液相、气相、离子色谱用水学生实验用水高精度染料配置稀释用水细胞培养-细菌/动物/植物组织微电子行业各种部件的清洗毒性检测氨基酸分TOC分析DNA/RNA制备物理学、电化学及界面研究用水蛋白质分析/纯化/组学/HTS 高通量筛超痕量硼/烃/苯/分析培养基制备、生物工程用水HPLC/lcp-MS/LC-MS/MALDI-TOF MS/PH/S。

超纯水的制备及检测技术超纯水是指除去所有杂质和离子的水，其纯度高于一般纯净水。

在许多领域，如电子、制药、化工等，超纯水被广泛应用。

本文将以超纯水的制备及检测技术为主题，介绍超纯水的制备方法和常用的检测技术。

一、超纯水的制备方法1.反渗透法反渗透法是目前制备超纯水最常用的方法之一。

它通过半透膜将水中的离子和杂质分离出去，从而得到纯净的水。

反渗透设备通常由预处理系统、反渗透系统和后处理系统组成。

预处理系统用于去除水中的悬浮物、胶体、有机物等杂质；反渗透系统采用高压将水通过半透膜，将离子、溶解性无机物和有机物等分离出去；后处理系统用于进一步去除残留的离子和杂质，以获得最终的超纯水。

2.电离交换法电离交换法是利用离子交换树脂将水中的离子和杂质去除的方法。

离子交换树脂具有特定的化学性质，能够吸附水中的离子，并释放出等量的其他离子。

该方法可以去除水中的阳离子和阴离子，得到纯净的水。

电离交换法制备超纯水的设备主要由离子交换柱、再生柱和混床柱组成。

离子交换柱用于去除水中的阳离子或阴离子；再生柱用于对交换柱进行再生，使其恢复吸附能力；混床柱用于进一步去除残留的离子和杂质。

二、超纯水的检测技术1.电导率检测法电导率是电解质溶液导电能力的度量，也是评价水的纯度的重要指标之一。

超纯水由于几乎没有离子存在，因此具有极低的电导率。

电导率检测法通过测量水溶液的电导率来判断超纯水的纯度。

常用的电导率检测仪器有电导率计，通过测量电导池两端的电压和电流，计算出电导率值。

电导率值越低，表示水的纯度越高。

2.总有机碳检测法总有机碳（TOC）是指水中所有有机物的总含量。

超纯水中的有机物含量非常低，因此测量TOC可以评价超纯水的纯度。

常用的TOC检测仪器有氧化炉-红外检测器法和紫外光氧化法。

氧化炉-红外检测器法通过将水样中的有机物氧化为二氧化碳，并利用红外检测器测量产生的二氧化碳含量来计算TOC值。

紫外光氧化法则是通过紫外光照射水样，将有机物氧化为二氧化碳，再用红外检测器测量二氧化碳含量。

中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级水代替GB 11446.1--89Electronic grade water1 范围本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．GB/T 11446.3——1997 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 定义本标准采用下列定义．3.1电子级水electronic grade water制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity在规定温度下,1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．3.3全硅total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅soluble silicon以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granular matter除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) total organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。