灯具产品生产工艺流程图
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LED灯生产工艺流程§1 LED制造流程概述LED的制作流程包括上游的单晶片衬底制作、外延晶片生长;中游的芯片、电极制作、切割和测试分选;下游的产品封装。
图2.1 LED制造流程图上游晶片:单晶棒(碑化稼 ' 磷化稼)单晶片衬底在衬底上生长外延层外延片成品:单晶片'外延片中游制程:金属蒸镀光罩腐蚀热处理(正负电极制作)切割测试分选成品:芯片下游§2 LED 芯片生产工艺LED 照明能够应用到高亮度领域归功于LED 芯片生产技术的不断提高,包括单颗 晶片的功率和亮度的提高。
LED±游生产技术是LED 行业的核心技术,目前在该技术 领先的国家主要日本、美国、韩国,还有我国台湾,而我国大陆在 LED 上游生产技术的发展比较靠后。
下图为上游外延片的微结构示意图。
生产出高亮度LED 芯片,一直是世界各国全力投入硏制的目标,也是LED 发的 方向。
目前,利用大功率芯片生产出来的白光1WLED 流明值已经达能到1501m 之高。
LED 上游技术的发展将使LED 灯具的生产成本越来越低,更显LED 照明的优势。
以下 以蓝光LED 为例介绍其外延片生产工艺如下:首先在衬低上制作氮化錄(GaN)基的 外延片,这个过程主要是在金属有机化学气相沉积外延片炉(MOCVD 中)完成的。
准备 好制作GaN 基外延片所需的材料源和各种高纯的气体之后,按照工艺的要求就可以逐 步把外延片做好。
常用的衬底主要有蓝宝石、碳化硅和硅衬底,以及GaAs 、AIN 、 ZnO 等材料。
MOCVD 是利用气相反应物(前驱物)及UI 族的有机金属和V 族的NH3在衬底表 面进行P 型 GaN 负极P 型 AIGaN InGaN 量子阱(well )N 型 InGaNN 型 AIGaNN 型 GaNP 型 GaNGaN 缓冲层(buffer )蓝宝石衬底(subatrate )图2.2蓝光外延片微结构 图正极反应,将所需的产物沉积在衬底表面。