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§13-2 超导体传感器 13被测量→ 被测量→超导体电特性变化 一.超导红外传感器
受红外辐射的超导体电导率 受红外辐射的超导体电导率 发生变化
可在烟雾、 可在烟雾、粉尘环境中工作
光照
二.超导可见光传感器
约塞夫逊效应（不加电压） 约塞夫逊效应（不加电压） 可见光照射→ 可见光照射→ 约塞夫逊结电流变化
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§13-3 液晶传感器 13液晶受电、 液晶受电、磁、热、声作用→ 声作用→ 液晶光学特性变化
一.液晶的光学特性
▲双折射：两折射光偏振方向正交 双折射： ▲二色性：白光经液晶反射和透射成不同颜色 二色性： ▲旋光性：具有改变偏振光振动方向的性能 旋光性：
二.液晶电磁场传感器
▲集成电路印刷板图形检测
2.结构 2.结构
▲表皮指纹状感受触觉 ▲表皮小凸点状感受滑觉
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§13-5 微机械传感器 13MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) 微机械、 微机械、微系统
▲构成： 构成： 微型机构、微型传感器、 微型机构、微型传感器、微型执行器 和相应的处理电路等几部分。 和相应的处理电路等几部分。 目前主导产品： ▲目前主导产品： 压力传感器、加速度计、微陀螺仪、 压力传感器、加速度计、微陀螺仪、 墨水喷咀和硬盘驱动头等。 墨水喷咀和硬盘驱动头等。
尺寸： 3.尺寸：微机械陀螺的平面外轮廓的结构参数 厚度仅为2μm. 双音叉结构） 2μm.（ 为1mm2 ,厚度仅为2μm.（双音叉结构） 文献：振动轮式硅微机械陀螺的直径为1 ,厚 文献：振动轮式硅微机械陀螺的直径为1 mm ,厚 度为19μm ,宽度为 宽度为5μm ,电极间距为7μm. 电极间距为7μm 度为19μm ,宽度为5μm ,电极间距为7μm.
