无尘室认证
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无尘室认证无尘室性能测试〈Cleanroom Performance Testing〉和无尘室认证〈Cleanroom Certification〉有何分别?基本上无尘室认证就是做无尘室的性能测试,但是认证者对所测试的结果要负完全责任,要保证测试仪器、测试程序都满足NEBB 规定。
这话说来简单,做起来可不容易,因为空调系统与无尘室的设计变化很多,有些时候业主的要求也不尽相同。
在不同的设计理念与不同的业主要求之下,测试的执行就有些差异。
因此做无尘室认证,首要之务是熟悉空调系统与无尘室设计。
无尘室认证人员的基本要求有四,一是对空调系统和无尘室的了解,二是对相关规范的了解,三是对测试仪器与测试程序的了解,四是本身的经验。
因此无尘室性能测试谁都可以做,只要会操作仪器就可以;但是要得到严谨可信赖的测试数据,就必须依靠资格符合的专业人士。
以下数据是无尘室的各项性能测试说明,首先是测试简介,说明一些基本概念,之后是测试程序及注意事项。
至于测试的底线,就是数据不可更改也不可抛弃,这是不变的铁律。
1.测试简介1.无尘室测试规范2.无尘室常用名词3.无尘室等级定义4.无尘室测试范围2.测试程序1.气流量测2.压力测试3.滤网泄漏测试4.无尘室洁净度测试5.温湿度量测6.照度量测7.恢复率测试8.粒子沉降测试9.振动噪音测试10.导电度量测11.静电量测回资源中心测试简介在测试无尘室之前,若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解,对测试当有帮助。
这里是一些背景资料,提供给读者参考。
一、无尘室测试规范有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的国际标准,在网络上用〝contamination control〞搜寻,可以找到很多相关数据。
无尘室的定义,最早是在美国联邦标准209上出现,之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。
在欧洲与日本,随着工业的日益发展,各国的版本也逐渐出现。
到了90年代后期,产业界体认到若是无共同标准,就不能实现经济的全球化,于是有ISO-14644的产生。
无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.检测方法:采用尘埃粒子计数器进行检测,按照国家相关标准进行操作。
2.检测标准:无尘室的空气洁净度应符合以下标准:3.a) 沉降法:以地面为参照物,室内空气中含尘量应小于等于3000个/m³。
4.b) 压差法:以相邻两个区域之间的压差为依据,压差值应大于等于5Pa。
5.结果判断:经过空气洁净度检测,无尘室应满足以上标准,方可视为合格。
二、温度和湿度检测1.检测方法:采用便携式温度计和湿度计进行测量,记录无尘室的温度和湿度数据。
2.检测标准:无尘室的温度和湿度应符合以下标准:3.a) 温度:20℃±2℃;4.b) 湿度:50%±5%。
5.结果判断:经过温度和湿度检测,无尘室的温度和湿度应满足以上标准,方可视为合格。
三、风速和风量检测1.检测方法:采用风速计和风量计进行测量,记录无尘室的风速和风量数据。
2.检测标准:无尘室的风速和风量应符合以下标准:3.a) 风速:小于等于0.3m/s;4.b) 风量:符合设计要求。
5.结果判断:经过风速和风量检测,无尘室的风速和风量应满足以上标准,方可视为合格。
四、压力检测1.检测方法:采用压力表进行测量,记录无尘室的压力数据。
2.检测标准:无尘室的压力应符合以下标准:3.a) 正压区:大于等于50Pa;4.b) 负压区:小于等于-50Pa。
5.结果判断:经过压力检测,无尘室的压力应满足以上标准,方可视为合格。
五、噪声和振动检测1.检测方法:采用噪声计和振动表进行测量,记录无尘室的噪声和振动数据。
2.检测标准:无尘室的噪声和振动应符合以下标准:3.a) 噪声:小于等于70dB;4.b) 振动:小于等于0.05mm/s。
5.结果判断:经过噪声和振动检测,无尘室的噪声和振动应满足以上标准,方可视为合格。
六、照明检测1.检测方法:采用亮度计和照度表进行测量,记录无尘室的照明数据。
2.检测标准:无尘室的照明应符合以下标准:3.a) 亮度:大于等于300LX;4.b) 照度:大于等于300勒克斯。
无尘室等级标准
无尘室是指通过一系列技术手段,控制室内空气中颗粒物和微生物的数量,达到特定的洁净度要求的封闭环境。
无尘室的等级标准通常使用ISO14644-1国际标准来进行分类和评定。
以下是ISO14644-1标准中常见的无尘室等级及其对应的颗粒物浓度要求:
1.ISO1:该等级的无尘室对颗粒物的控制最高,适用于特殊高精密制造工艺,颗粒物浓度要求为每立方米不超过10个0.1微米的颗粒物。
2.ISO2:适用于需要高度精密制造的场所,如半导体生产等,颗粒物浓度要求为每立方米不超过100个0.1微米的颗粒物。
3.ISO3:适用于对洁净度要求较高的工艺,如光学仪器、医疗器械等,颗粒物浓度要求为每立方米不超过1,000个0.1微米的颗粒物。
4.ISO4:适用于对洁净度要求一般的场所,如电子组装、精密仪器等,颗粒物浓度要求为每立方米不超过10,000个0.1微米的颗粒物。
5.ISO5:适用于对洁净度要求较低的场所,如医疗手术室、实验室等,颗粒物浓度要求为每立方米不超过100,000个0.1微米的颗粒物。
需要注意的是,以上只是ISO14644-1标准中常见的几个等级,实际应用中还可能存在其他等级的无尘室,具体的要求可能会因不同行业和应用而有所差异。
因此,在选择和评估无尘室时,应根据具体需求和行业标准进行合理的选择和设计。
1/ 1。
无尘室设计资质证书
首先,无尘室设计资质证书可能包括相关的工程设计资质证书,这需要设计单位或设计师具备相关的工程设计资质,例如建筑工程
设计乙级资质等。
这些资质证书通常由国家相关部门颁发,标志着
设计单位或设计师在相关领域具备一定的设计能力和水平。
其次,无尘室设计资质证书还可能涉及到相关的行业认证,例
如空气净化行业的认证资格。
这些认证通常由行业协会或组织颁发,设计单位或设计师需要通过相关的考核和评审才能获得相应的资质
证书。
这些资质证书是设计单位或设计师在无尘室设计领域具备专
业能力的重要证明。
此外,无尘室设计资质证书还可能涉及到相关的专业培训和教
育背景。
设计单位或设计师可能需要具备相关的工程、建筑、环境
等专业的学历背景,以及参加过与无尘室设计相关的培训或教育课程,并取得相应的结业证书或资格证书。
总的来说,无尘室设计资质证书是设计单位或设计师在无尘室
设计领域具备相关设计能力和专业知识的重要标志,涵盖了工程设
计资质、行业认证以及专业培训等多个方面。
持有相关的资质证书
可以有效地证明设计单位或设计师在无尘室设计领域具备一定的实力和水平。
在洁净室中,除了对温度、压力和湿度进行检测之外,颗粒物计数器和空气采样器也是洁净室空气质量的主要监控工具。
像所有的事物都有两面性一样,洁净室生产过程中一方面要保护产品不受细菌和污染物的污染;另一方面,也对在洁净室内工作的职工提出了特殊的要求。
例如工作时要使用细胞抑制剂。
因此,保证工作时的工作参数,如室内压力、相对空气湿度、室内温度等都是非常重要的,要连续进行检测和记录。
另外,颗粒物监控,也就是对空气中含有颗粒物的大小进行监控,也是A类和B类洁净室区域内一个非常重要的检测监控参数。
空气中具有交叉污染颗粒物的检测不仅仅在ISO标准(ISO 14644)中有所规定,而且在医药产品生产技术规范中有所规定。
例如,在非生产状态下、在A级洁净室的工作状态下,允许最多20个颗粒大于5.0um/m3。
在连续性监控时,利用抽气泵规定速度抽取一定流量的空气(1cfm,相当于28.3L/min),并数出其中(0.5和5um)的颗粒物数量。
较少的流量能够很快的得出结论。
在洁净室的检验认证时,要按照GMP药品生产安全指南附录1和ISO 14644标准的规定和要求检测1m³内空气中的颗粒物数量。
若按照这一容积进行连续性的检测监控时,检测的持续时间会长达35min,而这样长的检测时间在紧张的洁净室生产过程中是没有说服力的。
因此相对检测仪都把流通速率提高了。
固定式或者移动式原则上,固定式的监控检测仪器设备用于洁净室空气的精确监控,移动式则用于每年一度的认证审核或者在特殊要害点处的检测。
在洁净室的生产过程中自始至终要使用固定式的仪器设备。
在连续性应用时,这些仪器设备都集成在隔离装置或者安全柜中。
一般情况下,它们都与上一级的控制系统相互连接,从而能够在出现超过临界值时发出报警提示。
最新研发的颗粒计数器的重点集中在操作简单或者易于在检测环境中集成等方面。
这里的最佳实例就是TSI公司最新研发的6310、6510和6510-VHP系列的空气静力学颗粒计数器,一种无需外部真空泵的新产品。
无尘室等级标准无尘室是一种具有特殊环境控制条件的洁净生产场所,广泛应用于电子、医药、生物工程、航空航天等领域。
无尘室等级标准是衡量无尘室洁净程度的重要指标,不同的行业和应用领域对无尘室的要求也不尽相同。
本文将就无尘室等级标准进行详细解读,以便于各行各业更好地了解和应用无尘室。
首先,无尘室等级标准通常采用国际通用的ISO标准进行评定。
ISO14644-1是国际上最常用的无尘室等级标准,分为ISO1至ISO9共10个等级,等级越低表示洁净程度越高。
其中ISO1为最高等级,适用于对洁净度要求极高的场合,如半导体生产等;ISO9为最低等级,适用于对洁净度要求较低的场合,如一般装配车间等。
各行业和应用领域可以根据自身需求选择适合的无尘室等级标准。
其次,无尘室等级标准主要通过空气中悬浮颗粒物的数量来进行评定。
ISO标准规定了不同等级下空气中允许的颗粒物浓度范围,如ISO1级无尘室中直径大于0.1μm的颗粒物浓度不得超过10个每立方米,而ISO9级无尘室中直径大于5μm的颗粒物浓度不得超过1000个每立方米。
通过对空气中颗粒物浓度的监测和控制,可以有效评定和维持无尘室的洁净程度。
此外,无尘室等级标准还包括了空气流速、洁净度维持等方面的要求。
空气流速是指在无尘室内部的空气流动速度,通常采用立方米每小时的单位进行描述。
不同等级的无尘室对空气流速也有相应的要求,以确保洁净空气能够有效地流动和循环。
同时,洁净度维持也是无尘室等级标准的重要内容,包括对无尘室内部设施、设备的维护和清洁,以及对操作人员的培训和管理等方面的要求。
总的来说,无尘室等级标准是衡量无尘室洁净程度的重要标准,对于各行各业来说都具有重要意义。
了解和应用无尘室等级标准,可以帮助企业和机构更好地选择和使用无尘室,保障生产环境的洁净度,提高生产效率和产品质量。
希望本文所述内容能够对大家有所帮助,谢谢!以上就是本文的全部内容,希望对您有所帮助。
無塵室認證這篇無塵室認證,是許博士在新加坡所使用教材,因此是英文版。
中文版尚陸續翻譯中,將逐步貼上分享各位。
無塵室性能測試〈Cleanroom Performance Testing〉和無塵室認證〈Cleanroom Certification〉有何分別?基本上無塵室認證就是做無塵室的性能測試,但是認證者對所測試的結果要負完全責任,要保証測試儀器、測試程序都滿足NEBB規定。
這話說來簡單,做起來可不容易,因為空調系統與無塵室的設計變化很多,有些時候業主的要求也不盡相同。
在不同的設計理念與不同的業主要求之下,測試的執行就有些差異。
因此做無塵室認證,首要之務是熟悉空調系統與無塵室設計。
NEBB對無塵室認證人員〈稱為Cleanroom Performance Testing Supervisor〉的基本要求有四,一是對空調系統和無塵室的了解,二是對相關規範的了解,三是對測試儀器與測試程序的了解,四是本身的經驗與口碑。
這些是入門的要求,通過檢定成為Supervisor之後,須受NEBB管轄,並且要時時溫習法規規範與關注新科技發展,每年向NEBB報到至少一次,兩年複檢一次資格,要求很多。
因此無塵室性能測試誰都可以做,只要會操作儀器就可以;但是要得到嚴謹可信賴的測試數據,就必須依靠資格符合的專業人士。
以下資料是塵室的各項性能測試說明,首先是測試簡介,說明一些基本概念,之後是測試程序及注意事項。
至於測試的底線,就是數據不可更改也不可拋棄,這是不變的鐵律。
測試簡介在測試無塵室之前,若是能對測試規範、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解,對測試當有幫助。
這裡是一些背景資料,提供給讀者參考。
一、無塵室測試規範有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準,在網路上用〝contamination control〞搜尋,可以找到很多相關資料。
無塵室的定義,最早是在美國聯邦標準209上出現,之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。
无尘室等级标准无尘室是一种特殊的洁净环境,广泛应用于电子、半导体、制药、航空航天等领域。
无尘室的等级标准对于确保生产过程中的洁净度至关重要。
本文将对无尘室等级标准进行详细介绍,以便各行各业的相关人员了解无尘室等级标准的相关知识。
首先,无尘室等级标准主要包括ISO14644-1和GMP标准两种。
ISO14644-1标准是国际上公认的无尘室等级标准,主要适用于洁净室和洁净区域。
而GMP标准则是制药行业对无尘室等级的要求,是制药企业在生产过程中必须遵守的标准。
其次,根据ISO14644-1标准,无尘室等级主要分为ISO1至ISO9级别,数字越小表示洁净度越高。
ISO1级为最高级别,适用于对洁净度要求极高的场合,比如一些高端电子产品的生产。
ISO9级则为最低级别,适用于对洁净度要求不是很高的场合,比如一般的办公室环境。
再次,GMP标准对无尘室等级的要求也非常严格。
根据GMP标准,制药企业的无尘室等级主要分为A、B、C、D四级。
A级为最高级别,适用于对洁净度要求极高的生产环境,比如注射剂的生产。
D级则为最低级别,适用于对洁净度要求不是很高的生产环境,比如一般的药品包装环境。
最后,无尘室等级标准的确立和遵守对于保障生产过程中的洁净度至关重要。
各行各业的相关人员应当了解和遵守相应的无尘室等级标准,以确保生产过程中的洁净度符合要求,从而保障产品质量和生产安全。
综上所述,无尘室等级标准是各行各业必须遵守的重要标准,对于保障生产过程中的洁净度至关重要。
各行各业的相关人员应当了解和遵守相应的无尘室等级标准,以确保生产过程中的洁净度符合要求,从而保障产品质量和生产安全。
無塵室認證這篇無塵室認證,是許博士在新加坡所使用教材,因此是英文版。
中文版尚陸續翻譯中,將逐步貼上分享各位。
無塵室性能測試〈Cleanroom Performance Testing〉和無塵室認證〈Cleanroom Certification〉有何分別?基本上無塵室認證就是做無塵室的性能測試,但是認證者對所測試的結果要負完全責任,要保証測試儀器、測試程序都滿足NEBB規定。
這話說來簡單,做起來可不容易,因為空調系統與無塵室的設計變化很多,有些時候業主的要求也不盡相同。
在不同的設計理念與不同的業主要求之下,測試的執行就有些差異。
因此做無塵室認證,首要之務是熟悉空調系統與無塵室設計。
NEBB對無塵室認證人員〈稱為Cleanroom Performance Testing Supervisor〉的基本要求有四,一是對空調系統和無塵室的了解,二是對相關規範的了解,三是對測試儀器與測試程序的了解,四是本身的經驗與口碑。
這些是入門的要求,通過檢定成為Supervisor之後,須受NEBB管轄,並且要時時溫習法規規範與關注新科技發展,每年向NEBB報到至少一次,兩年複檢一次資格,要求很多。
因此無塵室性能測試誰都可以做,只要會操作儀器就可以;但是要得到嚴謹可信賴的測試數據,就必須依靠資格符合的專業人士。
以下資料是塵室的各項性能測試說明,首先是測試簡介,說明一些基本概念,之後是測試程序及注意事項。
至於測試的底線,就是數據不可更改也不可拋棄,這是不變的鐵律。
測試簡介在測試無塵室之前,若是能對測試規範、無塵室基本概念、無塵室的術語等有些了解,對測試當有幫助。
這裡是一些背景資料,提供給讀者參考。
一、無塵室測試規範有關無塵室定義、建造、控制、管理等等的國際標準,在網路上用〝contamination control〞搜尋,可以找到很多相關資料。
無塵室的定義,最早是在美國聯邦標準209上出現,之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業接受。
在歐洲與日本,隨著工業的日益發展,各國的版本也逐漸出現。
到了90年代後期,產業界體認到若是無共同標準,就不能實現經濟的全球化,於是有ISO-14644的產生。
以下說明無塵室的各種標準與規範。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯邦標準209E,209的出版發行,是在1960年代,之後不斷改版以因應科技進步與工業發展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的最後一版209E。
在2001年11月29日,美國正式宣佈廢止209E,改用ISO-14644,於是209E在書面上走入歷史。
但是在產業界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、台灣、與中國大陸,都還沿用209E。
微粒計數器的製造商,雖然都推出滿足公制計數法的新機型,但是要等舊機器完全淘汰,恐怕還要很長時間,因此新規範ISO-14644還沒能取代209E。
2.ISO-14644系列;美國政府為了推動經濟全球化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公制的國際標準ISO-14644。
14644系列有8個子題〈Part〉,稱為14644-1,14644-2,一直到14644-8。
整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規範、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其他的有關設備等,範圍很廣。
有些主題已經定案,如Part 1和Part 2,有些只有初稿〈Draft〉,有些連初稿都還沒有,讀者可以到ISO或IEST的網站上訂購。
3.JIS B9920 (1989):日本的潔淨標準,規定無塵室中浮游粒子的濃度測定方式,及潔淨度的等級定義。
4.VDI 2083 (1993):德國的潔淨標準,規定潔淨度等級的定義方式,以及潔淨度的量測技術。
5.Gost-R 50766 (1995):俄國的潔淨標準,定義無塵室的分類與一般需求。
以上是無塵室等級規定,與潔淨度量測的相關標準。
另外有關無塵室污染控制〈也就是潔淨度控制〉,和環境控制〈如溫溼度、震動噪音等〉,也有一些重要的測試規範,因為這些環境影響因素,都包含在無塵室性能測試的範圍之內。
1.IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規範,目的就是為了補209的不足。
209只有微粒量測,006 包括了風速風量、濾網洩漏、潔淨度、溫溼度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。
006 的第一版稱為006-84-T,006.2是第二版。
現在由於NEBB 的興起,0062已經功成身退,逐漸消失了。
2.NEBB 無塵室測試規範第二版:這是目前最廣為流行的測試規範,提到無塵室認證,就非NEBB 莫屬。
NEBB 無塵室測試規範,可說是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋範圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴謹,儀器使用也有詳細規定。
因此NEBB 無塵室測試規範的出現,解決了不少測試的爭議,也因此NEBB 無塵室測試規範成功的成為產業標準。
有關NEBB,請參照本站NEBB。
3.ISO-14698 系列:14698 有Part 1、Part 2、Part 3 三個子題,是有關無塵室裡面生物污染的控制,目前都只有初稿。
每一種行業,甚至每一家公司或工廠,對無塵室的要求可能都不一樣。
以上所列無塵室定義與無塵室測試規範,雖然以可滿足大部份廠商的需求,但是嚴格來講,這些規範也只是一個參考。
各公司在訂定測試規格時,應依照自己的製程需求,在上述規範裡取出自己適用的部份,並要求供應商與測試單位照辦,必要時可以酌情修改測試標準,才能真正滿足自己的需求。
二、無塵室常用名詞1.無塵室定義:無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制,所建造的特殊封閉性建築。
一般而言,無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。
2.微粒控制:無塵室微粒控制的第一步,是把室內微粒對製程影響的程度做完整分析,然後針對分析結果,訂定恰當的微粒控制方式與無塵室管理模式,才能有效率的控制微粒污染。
在做微粒影響分析時,必須特別注意數據的量化,也就是粒徑與其數量對製程的影響,才是有用的數據。
3.外來污染源:從無塵室外進入系統的污染源,外來污染源主要是由空調通風系統所導入,另外門、窗、牆壁裂縫等也是外來污染源的成因。
4.內部污染源:無塵室內部產生污染的來源,一般是製程機器與操作員工,最嚴重的內部污染源一般是操作員工。
5.隔離:隔離是污染控制的一種觀念,也就是讓污染源隔絕在無塵區域之外。
這種觀念多應用在高潔淨度的無塵環境,例如Class 100,Class 10,Class 1等高濾網覆蓋率的無塵室,或是使用迷你潔淨室將機台整個包住。
6.稀釋:稀釋是污染控制的另一種觀念,多應用在潔淨度不高的無塵室。
例如在Class 10000的無塵室,因為換氣量不大,製程與人員產生的粒子就會在室內打轉,要比較常的時間才會排出。
因此新的乾淨空氣只能稀釋室內的微粒濃度,讓室內潔淨度控制在某一等級之下就可以了,部要求把人員與製程隔開。
使用稀釋法作為粒控制時,要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性,能掌握微粒的產生速率,才能有效的稀釋微粒。
7.氣流模式:指的是流場型態,氣流分佈,氣流的流向等性質。
由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式,因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域,對氣流模式的掌控就愈重視。
基本上要先掌握氣流模式,才能掌握潔淨度。
8.單一流向型氣流:氣流以同一個方向移動,這種無塵室稱為單一流向型無塵室,以前稱為層流型無塵室,定義並無多大改變。
高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。
9.非單一流向型氣流:氣流方向不受控制,就是所謂的亂流型無塵室,潔淨度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節省成本。
10.As-built cleanroom(剛完工的無塵室):已經完成且可以操作,所有相關支援設施皆已完成的潔淨室,但並沒有設備及操作設備的人員。
11.At-rest cleanroom(準備中的無塵室):已經完成且可以操作,所有相關支援設施皆已動作的無塵室,設備已載入並可以操作或已在運轉,1如所指定,但沒有操作設備的人員。
12.Operational cleanroom(操作中的無塵室設施):一個已在正常運轉的無塵室,所有相關支援設施皆已動作,設備及人員皆已載入,運轉狀況可以呈現和達到其正常的功能。
三、無塵室等級定義無塵室的等級使用者在開無塵室的等級給供應商時,有以下幾個小技巧。
首先是等級定義的模式如下:Class X (at Y μm )其中X 是無塵室的等級,例如100 或10000 等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm 等,可複選。
意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。
這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)Class 100(0.2μm , 0.5μm )Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....) ,一般看一個粒徑即可。
在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ) ,一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規定無塵室的狀態,例如:Class X (at Y μm ),At-rest供應商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built 時無塵室都很乾淨,微粒控制能力測試不易,這時可以乾脆把驗收上限壓低,例如:Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-builtClass 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built這樣做的目的是確保無塵室在Operational 狀態時,依然有足夠的微粒控制能力。
以下兩個表是Fed-Std-209E 的等級定義,和ISO-14644的等級定義。
Fed-Std-209E 潔淨度定義ISO-14644 潔淨度定義比較以上兩表我們可看出1.209E 的公制和英制兩套標準,雖然有公式做互換,但是仍究很難一眼看出其相關性。
兩制放同一表,徒然造成混淆2.在兩表中0.5 μm 幾乎出現在每一個等級定義中,表示粒徑0.5 μm 的粒子非常具有代表性3.在潔淨度的分類上,不管是在高潔淨度,或是低潔淨度,ISO-14644 的範圍比209E 都來的廣,因此具有未來性四、無塵室測試範圍凡是和無塵室環境控制有關的因素,都在無塵室認證的範圍之內。
在無塵室完工之前,業主、施工單位、與測試單位‧應就以下幾個主題做詳細討論並達成協議,以利測試進行。
1.待測無塵室涵蓋範圍、等級、面積、濾網位置、與數量2.測試的目的3.測試程序4.使用儀器5.測試報告撰寫方式與內容6.工期在測試前,將以上項目定義清楚,可以使測試順利進行,發現問題時也可以儘快排除,對業主和施工單位都有利。