镀膜机维护方法
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镀膜机保养工艺
1、机械泵:
A、当停机前,听是否有异常的声音,检查油面波动情况;
B、停机后,检查油质和污物,检查阀座和阀片的密封性能及是否有损坏;
C、如换油时,应密封进气口,先开泵约半小时,再从放油孔放出脏油,然后进气口通大气运转约半分钟后停机,同时从进气口缓缓加入少量清洁机械泵油,以便排出泵腔内的脏油并保持润滑,让其放出后旋紧放油螺塞,从加油孔加入清洁油,切勿让颗粒杂物入内。
2、真空窒:
A、衬板先放入碱池内浸泡,等膜层反应完后清洗晒干再用带钢丝的抛光片磨光;
B、真空窒内腔,用砂轮片的磨光机打光,但必须在远离腔内焊缝10毫米以外磨光,不得磨焊缝处。
其次门的密封处只能用钢丝抛光片磨光。
C、公自转上下台面,将各零件拆掉,用砂轮磨光即可,但不得损坏零件,决不允许敲打,轴类零件可放在车床上磨光;
D、各台将工位轴摆动较大的轴找出另作处理,决不允许将摆动较大的轴组装后装机使用。
E、将各工位轴上的弹簧片(铜片)正确装配,确保有弹性。
3、车间未安排到的项目,但又影响机器性能和正常使用的,必须主动提出以便立项维修。
若是有问题没有提出的,等正常生产暴露出来的,按维修不合格处理。
4、将以下零件清洗、烘干后,然后放在小镀膜机内抽真空。
名称如下:靶座尼龙屏蔽罩、工位轴套等。
5、所有零件(含真空窒)最后一次必须用酒精、或丙酮清洗擦拭。
6、第一天保养,下午必须装配完毕,开机、预热、抽气,确保无处漏气,真空进入1.0×10-2Pa时。
7、第二天上午开始调参数。
(按公司规定执行)
8、执行新工艺中,工时定额可根据实际情况修改。
车间
2009年6月18日。
中山市东升镇冠新五金电器厂
保养计划
1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复
擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。
再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。
方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。
拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。
连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
在重新开机前,要注意检漏工作。
方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。
检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。
排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
真空镀膜机维护方法第一章电子枪1.电子枪枪头罩内容:电子枪头罩,须每日清洁一次;清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升,扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应,以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。
1.1清洁方法:1)分解枪头罩后进行喷沙方式清洁;2)喷沙必须只操作枪头罩的外部;3)枪头罩的内里面绝对不可以喷沙,如果对内部经常性喷沙处理,会导致固定螺丝的磨损使得组装时不再扣紧,如长时间喷沙处理,严重影响或损坏螺纹结构,导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。
此因素会导致以下问题:①电子束扫描偏移或变化;②电子束闪动现象;③镀膜条件变化;④电子器件的故障等。
1.2 枪头分解事项内容:电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。
1)电阻丝更换周期如下:例)A品电阻丝更换使用时,Zro2蒸发时所显示的电流值为 240A左右; IC/5中 Zro2的速率设定为(6.5 Rate)时,电阻丝使用较长, Zro2的电流值会上升到 270~280左右。
(电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化,都会产生电流上升现象)这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。
2)枪头清洁方式①对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。
如确切需要采用喷沙方式清洁,可在不分解枪头的状态下进行,之后将枪头分解,对表面的残留物资进行清洁后组装即可。
②进行喷沙清洁时,尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙,对固定部分用细砂纸轻微擦拭。
(固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤,导致紧固电阻丝时不紧密和偏形等结果)以上因素会导致以下问题:(.)光斑形状不规则;(.)光斑定位偏移;(.)会成为数据条件变化的因素。
1.3 电子枪扫描架1)电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。
电子枪角铁(合金材料)物性虽然是强性,但通过延续使用过程中,因电子枪的高热而会转变为软性,所以,如遇较强冲击会导致变形,特别注意在喷沙过程中不可仍抛物现象,清洁过程中一定要注意。
真空镀膜机及附属装置操作保养规程随着科技的发展,真空镀膜技术已经被广泛应用在各种领域,包括电子产品、太阳能电池、汽车零件、玻璃制品等。
真空镀膜技术主要是将金属或非金属材料镀覆在基材表面,以增加其机械、光学和电学性能。
本文将介绍真空镀膜机的操作保养规程,以确保设备的正常运行和延长其寿命。
1. 设备操作规程1.1 开机前准备1.确保电源和空气源稳定,无异常。
2.检查真空室、抽气系统、镀膜材料和其他配件是否齐全。
3.清理真空室内部和复合阀的石英玻璃,使用专业的清洁剂,确保表面无杂质。
1.2 开机操作1.按照设备界面上的提示,使用遥控器开启电源。
2.等待设备运行到指定状态,打开复合阀门,开始抽真空。
3.根据设备的预设参数配置反应室温度、真空度等参数。
4.开始加热和镀膜处理,根据所需时间和厚度调整镀膜过程,直到完成。
5.关闭复合阀门,停止运行。
1.3 关机操作1.关闭加热系统和气动系统。
2.关机前,先将真空室抽空。
然后按指令关闭设备电源。
1.4 日常操作注意事项1.避免在设备温度高的情况下开门,防止产生热冲击,损坏设备。
2.镀膜材料每次使用完毕,必须清理干净,防止对后续操作产生影响。
3.定期检查和更换设备配件,确保设备完好无损。
2. 设备保养规程2.1 真空室清洁1.每次使用后,清理室内表面,防止杂质沉积以影响镀膜的质量。
2.镀膜完成后,用专业清洁剂清洗和擦拭内壁,避免污染下一次反应。
3.周期性检查和更换阀门、胶垫等易损配件,确保设备密封性。
2.2 抽气系统保养1.每次使用结束后,释放抽气系统中的胶垫和管道内的积水和气体杂质。
2.定期检查和更换抽气系统中的过滤器和机油。
2.3 加热系统保养1.镀膜完成后,关掉加热系统,避免超时运行造成设备损坏.2.定期检查和更换加热反应器和镀膜材料,确保其表面光洁,无擦伤和氧化膜。
3. 安全注意事项3.1 避免接触真空室内部设备运行时,真空室处于高真空状态,室内的气压非常低,容易生产危险,因此,操作人员不应在未维护安全措施的情况下接触真空室内部。
钙钛矿镀膜机安全操作及保养规程一、安全操作规程1.1 设备启动前的准备工作1.确认机器停机状态,将电源开关拨至“关”位,拔掉插座电源;2.检查机器输送系统、真空系统和电气系统的各种电器设备是否齐全;3.检查说乎漏电保护装置是否正常,填写日常检查记录表;4.技术人员检查设备各部位,确定设备正常运行。
1.2 设备操作规程1.操作前应测量电气绝缘阻抗和支持压缩空气压力是否正常,选择正确的电源电压,开启冷却水阀门;2.所有从事设备操作的人员必须经过正式的培训和操作规程的指导,持证上岗,未被授权者不得操作设备;3.设备操作人员应当穿戴完整的工作服,佩戴符合工资要求的隔离手套、保护眼镜和呼吸防毒面具;4.开启设备前,要保证设备上卷料机构与下卷收料机构处于筒形膜状态;5.控制系统调试完毕,正式启动设备,必要时调整运转参数,以达到预设产品品质要求;6.操作人员应当时刻关注设备运行状态,如发现异常情况,应立即关闭设备并报告质量监控专责人员,协同处理。
### 1.3 设备停止操作规程7.停止生产前应关闭气源系统、真空系统输送系统及电气装置,彻底清洁设备;8.锁定并挂上“警告”牌,以免误操作;9.停机后,应及时关闭所有贮存器具,将其放入指定的安全地点。
二、保养和维护规程2.1 日常保养1.将设备表面及使用的工具、器具等杂存物品进行清洗;2.定期检查各部位的螺钉紧固情况及润滑点的润滑油情况;3.装置配件、电器元件、线路排板等的检查及更换;4.对设备电器线路及油压管路系统进行清洗和维护;5.操作人员应及时上报设备生产过程中产生的故障或设备异常情况。
2.2 定期保养1.对镀膜机输送系统、真空系统和冷却水系统进行检查保养;2.对计算机实现控制相关程序的更新,保证软件系统高效运行;3.对设备的气源系统、电气系统进行全面检查、清洗和故障维修;4.对机器设备进行全面的润滑和维护,防范机器事故和人身伤害;5.对机器各个部位及设备周边环境进行定期维护和清理。
溅射镀膜机安全操作及保养规程操作前须知1.安全第一:在使用溅射镀膜机之前必须遵守相关安全规定,不得轻举妄动。
特别是需要志愿者要进行相关的安全培训并由专业人员指导。
2.清洁检查:在使用溅射镀膜机之前,需要对设备的外部和操作面进行清洁,确保加工环境的清洁度,避免影响工件的质量。
3.仪器检查:在使用过程中需要检查仪器各部件是否正常,如电源、油压、水流等,对于发现不正常情况时,需要及时向专业人员报告,禁止个人修改或拆除。
4.操作流程:在操作溅射镀膜机时需要按照规范操作流程进行。
5.操作规范:根据操作规范按要求进行加工处理,保证工件的生产质量。
安全操作规程1.穿戴防护装备:操作人员在对机器进行操作时,必须穿戴好安全帽、隔热手套等安全设备,确保操作时对人员的身体无危险。
2.注意加工顺序:在加工不同材质的工件时,需要采用不同的加工顺序,不能够把不同的工件一起进行加工,避免造成材质在加工中的交叉污染。
3.避免损伤残留:在加工的过程中需要保证没有废弃物残留在机器上,避免对下一轮的加工产生影响。
4.防止材料的混淆:加工相同材料的工件时,需要按照不同的材料放入对应的料筒中进行加工,以避免材料的混淆。
保养规程在使用溅射镀膜机之后,需要进行机器的保养和维护,以下是一些注意事项:1.清洁工具:在清洁机器时,需要使用专门清洁的工具进行,不能够使用硬质物品对机器进行清洁,以免造成机器的破损。
2.避免振动:对于加工过程中出现的振动问题,需要及时进行处理,避免机器因震动而导致的加工偏差等问题。
3.保证主机稳定性:在进行长时间稳定性加工时,需要保证机器的主机处于稳定状态,不能存在振荡情况,避免影响加工效率。
4.更换压制器:在使用溅射镀膜机的过程中,如果压制器受损需要及时进行更换处理,以免影响加工质量。
5.维护防爆装置:在使用时保持防爆装置的灵敏度,以保证在紧急情况下的人身安全。
结论总而言之,在使用溅射镀膜机的过程中,必须注意相关安全规定和操作要求,遵守规范操作流程,以保证机器稳定运行。
化仪热贴合机/镀膜机安全操作及保养规程前言化仪热贴合机和镀膜机是常用于印刷、包装、电子、化工等行业的设备,其作用是将不同材质的薄膜或纸张通过热压、冷压、喷涂等方式进行复合或镀膜处理。
在使用这些设备时,为了保证操作人员和设备的安全性,需要制定相应的操作规程和保养规程,以确保设备安全、稳定地运行。
一、化仪热贴合机镀膜机安全操作规程1.1 设备操作前的准备工作在进行设备操作之前,需要进行以下准备工作:1.确认操作人员已经具备使用设备的相关知识和技能,并穿戴必要的劳保用品。
2.检查设备的电源、气源、真空等供应系统是否正常运作,并检查设备各部位是否有异常。
3.将设备内的残留物清理干净,确保无杂质的材料进行加工处理。
4.将下面接料的转台、转辊等设施调至最低位置,以拿出材料和进行保养等目的。
1.2 设备操作过程中的注意事项在使用设备过程中,需要注意以下事项:1.设备各部位的运转是否正常,注意防止卡机和材料误放等情况发生。
2.保证操作人员双手远离设备机头,防止手部损伤。
3.操作人员不得在设备正在进行加工处理时离开操作场所,未经允许不得随意调整设备、拆卸设备部件等。
4.严禁在设备工作过程中随意放置工具、材料等物品,保持工作现场干净、整洁。
5.如发现设备异常,请立即停机并通知相关人员进行检修处理。
1.3 设备操作后的处理工作在设备操作完成后,需要进行以下处理工作:1.关闭设备电源、气源、真空等供应系统,并将加工的材料清除干净。
2.对设备进行简单的清洁和保养,包括清除设备残留物,加润滑油等。
3.给设备进行全面的维护保养,定期更换易损件,确保设备的长期稳定运作。
二、化仪热贴合机镀膜机保养规程2.1 日常保养工作日常保养工作是确保设备长期稳定运作的重要保障。
日常保养工作包括以下内容:1.定期检查设备各部位的配件是否完好,如传动系统、加热系统、气动系统等,如有异常应及时更换。
2.定期清理设备内部以及周边的杂物、灰尘等,并定期对设备进行润滑。
镀金机镀膜仪安全操作及保养规程对于使用镀金机镀膜仪的人员来说,安全操作和保养规程至关重要。
按照正确的操作和维护流程,可以延长设备寿命,提高镀膜效果。
本文将为您介绍镀金机镀膜仪的安全操作和保养规程。
安全操作规程1. 了解设备在使用镀金机镀膜仪之前,需要对设备进行初步了解,包括设备构造、控制方式、操作方法等等。
必须熟悉所有的按钮和开关的作用以及对设备性能的影响。
2. 进行安全检查在操作镀金机镀膜仪之前,需要进行全面的安全检查,以确保设备运行时没有任何危险。
首先要检查电源开关是否关闭,并确认所有地面线和光缆连接是否牢固。
同时,需要确保设备内部的所有压力和温度传感器调谐良好,并且水箱、水泵、气缸等设备外观是否有损坏。
如果发现有任何问题,需要及时采取措施予以解决。
3. 佩戴个人保护设备在使用镀金机镀膜仪的过程中,必须佩戴个人保护设备,以确保工作场所的安全。
例如,需要戴上手套、护目镜、口罩等,以防止金属物质、腐蚀性或毒性气体等对人体造成伤害。
4. 确认涂层物质的性质在选择涂层物质之前,必须进行系统的分析和测试,其中包括涂层物的基础材料、颜色、耐腐蚀性等等。
此外,还需要选择一种相应的涂层方法,以确保涂层质量。
5. 清洁设备在设备开始工作之前需要清洁,制备前需进行设备的全面洗涤,包括清洗涂层室、光源、天线等。
此外,镀金机镀膜仪需要进行定期检查和维护,以确保工作效果的稳定性。
6. 调试涂层程序在使用镀金机镀膜仪进行涂层处理时,必须对涂层程序进行严格的监控和调试,以确保装置的稳定性、均匀性和涂层厚度的Consistency。
任何明显的失控现象都需要立即停止操作,然后调查问题的根本原因。
偶发的失误可能会导致严重的机器损坏或人员伤亡。
7. 合理规划生产时间在涂层处理结束后,需要合理规划生产时间,以确保设备的正常运行。
此外,还需要妥善保管机器的所有部件和备件,以备不时之需。
设备保养规程1.定期检查设备,并更换损坏的部件。
镀膜机制冷机安全操作及保养规程前言镀膜机制冷机是一种特殊的设备,对于需要进行表面镀膜的工作来说,是必不可少的设备。
在使用过程中,需要注意安全操作,否则就会给人员的生命和健康带来极大的威胁。
在这篇文档中,我们将介绍关于镀膜机制冷机的安全操作及保养规程,希望大家认真阅读,并严格按照规程进行操作和保养。
安全操作规程1. 先进先出在使用镀膜机制冷机时,需要遵循先进先出的原则,即先进入机器的样本要先取出来,防止后续进入的样本的污染和变形,同时也会影响实验的准确性。
2. 眼睛保护在机器工作时,需要保护好自己的眼睛,否则机器运行时飞溅出来的物质可能会直接伤害眼睛,导致不必要的伤害和事故。
3. 声音保护机器在工作时有一定的噪声,对于长期工作在此环境下的工作人员来说,需要注意保护好听力,防止长期噪声刺激导致听力损伤。
机器需要防水、防潮、防火,尤其在操作过程中,必须保持机器在干燥、通风、清洁的场地上运行。
同时也不能将机器暴露在日照下,以免损坏机器。
5. 充电安全在充电时,遵守充电规程,必须使用原厂配套的充电器,并确保充电环境适宜,防止充电器被淋水或肆意摆放导致安全事故。
6. 紧急停机在操作过程中,如果发现机器出现异常,如异响、异味、异物等现象,必须立刻进行紧急停机操作,排除故障并进行修理,以防止更严重的事故发生。
保养规程1. 周期保养每月对机器进行一次维护工作,包括清洗、加润滑油、更换耗材(如滤芯、橡胶圈等)等操作。
2. 维护清洁避免水分、有害气体等对机器产生伤害,维护机器内部界面清洁干燥,防止对机器正常工作产生干扰。
在操作过程中,必须遵守操作规程,切勿擅自改动机器结构或参数设置,以免对机器造成损坏、变形,影响机器工作质量。
4. 耗材更换机器正常工作需要使用耗材,如滤芯、橡胶圈、热敏纸等,对于这些耗材必须使用正规材料,更换耗材时选择符合要求的耗材品牌。
5. 定期校验对机器必要的参数和检测点按照制定的周期进行校验,包括温度、压力等,确保机器正常处于工作状态下。
真空镀膜机保养计划一、日常保养1.每次使用后,应及时清洁设备。
使用干净的布或擦拭器擦拭设备表面,确保设备无灰尘和杂物。
2.定期检查设备的密封件,确保密封性能良好。
如发现密封件有损坏或老化现象,应及时更换。
3.定期检查真空泵和涡轮分子泵的工作状态,保持泵的清洁。
如发现泵运行异常或噪音过大,应及时维修或更换。
4.定期检查真空腔的真空度,确保设备正常工作。
如发现真空度下降或不稳定,应及时检查真空系统,排除故障。
5.定期对真空镀膜机进行校准和调试,保证设备的精度和稳定性。
如发现设备有偏差或不稳定现象,应及时调整参数和设备。
6.定期检查设备的电源线和接线端子,确保电气连接正常。
如发现电线老化或破损,应及时更换。
7.定期清洁真空镀膜机内部和外部的各种传感器和控制器,确保设备的灵敏度和稳定性。
8.定期检查设备的润滑油和冷却液的使用情况,确保设备的润滑和降温效果。
如发现润滑油或冷却液有问题,应及时更换。
9.定期检查设备的真空镀膜材料和耗材的使用情况,确保设备有足够的材料供应。
如发现材料不足,应及时采购。
10.定期对设备的所有部件进行保养和维护,确保设备的正常运行和延长使用寿命。
如发现设备有故障或损坏,应及时维修或更换。
二、周年保养1.每年进行一次全面的设备检查和维护,对设备的各个部件进行全面清洁和检修。
如发现设备有大的故障或磨损,应及时更换零部件。
2.每年对设备的真空系统进行全面检查和清洁,保证设备的真空度和工作效率。
如发现真空系统有问题,应及时维修或更换。
3.每年对设备的电气系统进行全面检查和维护,保证设备的电气连接正常。
如发现电气系统有问题,应及时修复。
4.每年对设备的润滑系统进行全面检查和维护,保证设备的润滑效果和降温效果。
如发现润滑系统有问题,应及时更换润滑油。
5.每年对设备的控制系统进行全面检查和维护,确保设备的控制精度和稳定性。
如发现控制系统有问题,应及时调整参数和设备。
6.每年对设备的外观进行全面检查和维护,确保设备的外观精美和无损伤。
真空镀膜机维护方法
第一章电子枪
1.电子枪枪头罩
内容:电子枪头罩,须每日清洁一次;清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升,扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应,以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。
1.1清洁方法:
1)分解枪头罩后进行喷沙方式清洁;
2)喷沙必须只操作枪头罩的外部;
3)枪头罩的内里面绝对不可以喷沙,如果对内部经常性喷沙处理,会导致固定螺丝的磨损使得组装时不再扣紧,如长时间喷沙处理,严重影响或损坏螺纹结构,导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。
此因素会导致以下问题:
①电子束扫描偏移或变化;
②电子束闪动现象;
③镀膜条件变化;
④电子器件的故障等。
1.2 枪头分解事项
内容:电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。
1)电阻丝更换周期如下:
例)A品电阻丝更换使用时,Zro2蒸发时所显示的电流值为 240A左右; IC/5
中 Zro2的速率设定为(6.5 Rate)时,电阻丝使用较长, Zro2的电流值会上升到 270~280左右。
(电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化,都会产生电流上升现象)这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。
2)枪头清洁方式
①
对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。
如确切需要采用喷沙方式清洁,可在不分解枪头的状态下进行,之后将枪头分解,对表面的残留物资进行清洁后组装即可。
②
进行喷沙清洁时,尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙,对固定部分用细砂纸轻微擦拭。
(固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤,导致紧固电阻丝时不紧密和偏形等结果)以上因素会导致以下问题:
(.)光斑形状不规则;
(.)光斑定位偏移;
(.)会成为数据条件变化的因素。
1.3 电子枪扫描架
1)电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。
电子枪角铁(合金材料)物性虽然是强性,但通过延续使用过程中,因电子枪的高热而会转变为软性,所以,如遇较强冲击会导致变形,特别注意在喷沙过程中不可仍抛物现象,清洁过程中一定要注意。
2)如果上述因素而导致角铁变形,延续产生以下问题:光斑不稳/光斑大小调整异常/ 扫描等不稳定状态。
3)有时,电子枪的角铁与基台之间没有固定部分前提下组装,再加上操作者不注意,将导致每次的光斑位置不同,延伸可导致光斑不移动状态。
(角铁上部的组装要比下部更重要)
1.4 电子枪部件
组成部件:
1)坩埚盘
2)电子枪角铁
3)扫描线圈接点
4)磁力线圈
5) 冷却水入口
6)坩埚盘旋转轴
7)高压端子
8)坩埚盘旋转感应器
9)旋转电机
10)扫描线圈
第2章离子源
2.1 离子源
目前,我们使用两种模式的离子源。
1.
霍尔源模式:一般在树脂光学领域使用霍尔源的比率较多,霍尔源的输射角度宽,设定均匀性的操作上表现非常优越,但,电源电流上升限制在220V,所以针对金属材质等产品的使用时比较弱而无明显效果。
2.
考夫曼模式:简单说明可以理解,霍尔离子源主要为辐射角度宽,电源(压)低,相对比考夫曼模式辐射角度小,电源(压)高;调整作业条件时比起霍尔源难度较高,但电流电源可上升到800V,对金属材质的产品等使用适当。
3.
各部件:
①电源线固定点;
②电阻丝固定点;
③气体分配器 .;
④冷却水盘;
⑤磁控立柱;
⑥冷却水盘固定柱;
2.2 气体分配器
离子源气体分配器:
1)方法:约使用 15日左右后更换,(刻蚀,辅助功能同时使用时);
2)清洁周期:清洁周期为 12小时一次;
3)问题:如果气体分配器不洁净,会影响离子反应,导致影响产品表面膜层的牢固度。
离子反应不到位,电弧加深,可对产品造成很严重的影响;
如产生较多异物质,中合电流值会上升;
中合电流值显示上升,说明气体分配器的状态不好;
中合电流值应保持在 1以下最好。
4)离子源灯丝
基本上电阻丝正常使用 2~3天,更换电阻丝时应如下:(参考值)
(阳极)电源-80,(阴极)电流-29.5, 放射电流-4.8,
(阳极)电流-4.8,中合电流 00.0
(根据电阻丝的种类区别多少会有差距)
★阴极电流值约 (21)~(20)状态时,需要更换电阻丝。
5)气体分配器
① 气体分配器的使用寿命月 50小时;
②以眼镜镀膜为准,可使用 16日~17日后给于更换;
③(氩气 2分30秒)(氧气 1分10秒)(清扫后预热时间)等等。
④ 离子源清扫每日进行一次。
第 3章泵
3.1 增压泵
1)方法:确认 oil量。
2)周期:每周一次,
3)效果:如发现泵油急剧减少现象出现,将说明问题存在需要检验,通过视窗发现泵油里积水,或有明显气泡需将油全部更换。
停止运转,并对电路等进行检修或从新安装操作时,必须对泵的旋转方向进行确认无误后方可启动运转(请参考旋转标示)。
3.2 机械泵
1)方法:确认油量;
2)周期:每天一次;
3)效果:
必须保障油量满足在上下基准显示值范围内;
每3个月将油全部排除,并作过滤处理之后回填,将不足油量补充;油量补充到油标视窗的 2/3 的高度;
使用 6个月后,最好将油全部更换;油过滤器--- 如有微小的移动空隙,就应给于清洁或更换。
3.3 扩散泵
扩散泵各部件:
1)F/V汽缸结合部
2) M/V结合部位
3)扩散泵油注入口
4)扩散泵油排出口
5)扩散泵加热器安装位置
D/P 泵
扩散泵管理方法:
1)对扩散泵每年进行一次全面检查;( 通过定期维护管理,延长和维持设备性能)
2)扩散泵规格为 22英寸时,两组扩散泵各注入扩散泵油 4.5升;
3)扩散泵规格为 24英寸时,两组扩散泵各注入扩散泵油 5.5升;
4)镀膜参数变化及沉积异常/真空异常等可以现象时,需要将确认扩散泵油量;※为了确认扩散泵,首先将设备关闭,再等到扩散泵完全冷却以后方可允许气体注入;
(如果在正常操作状态下,扩散泵中有空气进入将导致扩散泵油与空气结合发生爆炸,所以特别实施注意!)
扩散泵问题确认:
1)确认油量是否保持定量? . 如果发现油量不足,必须补充到规定油量。
2)确认扩散泵油的颜色是否透明? .如发现油的颜色变为深色(黑),应给于更换。
3)确认扩散泵油里是否掺杂异物质? .如发现异物质,没有发现颜色变化时仅将异物质给于过滤后再使用即可。
( 如以上问题状况,需要制定时间表来周期性操作设备检查维护)
第 4章冰水机(冷却机)
1)方法:每天一次确认水箱水位;
2)周期:每个月更换一次水;
3)效果:首先将水箱内的水排出,更换水进行循环后再次给于更换。
如水质因素导致水管生锈堵塞,影响水的循环和压力,会导致扩散泵温度上升,甚至会有返油的现象;再者,如影响到电子枪扫描线圈,导致光斑不稳定而变化或不移动;加上低压保护装置而需要随时确认;(冷却水循环压力在 3K~3.5K 为最佳状态,低于2K 会导致问题发生。
)
第 5章镀膜机气压调节装置
此装置的压力显示低时,M/V的盖子及各气阀的设定压力值不足而导致返油现象发生。
※ 目前设备的压力值应保持在 5.5kg。
第6章真空室
内部组成说明:
1)高真空探头
2)低真空探头
3)电子枪
4)离子源
5)真空室冷冻机管路
6)加热灯管
顶部组成说明
1)M/V阀气缸
2)R/V阀汽缸
3)L/V阀气缸
4)L/V阀消音器
第 7章真空确认方法
(相关真空的问题发生时主要的确认方法过程是通过真空计显示画面的数值)(确认和诊断方法)
1.如操作时间比往常出现延长状态时,主要确认真空方向;
2.将作业时间与正常状态时间作比较;
3.确认真空计显示的数值是否有反弹现象;
4.确认各气缸动作时的真空状态是否有泄漏现象;
5.确认真空计显示真空度,是否按照一定规律顺序变动,还是上下有偏差的状态变动;
对可疑的部位进行丙酮喷洒,并及时确认真空计显示上的变化,来确认是否有真空泄漏现象;
6.M/V主阀气缸作为多发生问题部位,主阀轴的密封圈与主轴之间的摩擦而导致磨损现象是漏真空的主要原因;
7.与真空相关联的部位结构都有密封圈,所以在处理问题时更换密封圈时直接解决方式;
8.与上述第4项内容,电子枪与离子源的密封圈也可能作为问题因素,导致泄露或冷却水微漏现象;
9.电子枪旋转装置的齿轮轴会有泄漏现象有可能发生,主要因素是轴承和轴封的老化所致,更换即可;
10.相对平常作业时间延长2~3分钟左右,可以看作为操作管理的不足而产生的结果;例如)
-- 将真空室门开启的时间过长;
-- 设备内部的湿气导致的现象;
-- 加热灯管的污染严重时;
-- 设备内部的污染严重时;。