表面光散射法

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表面光散射法是指利用散射光的光强及其分布来测量表面粗糙度参数的方法。

当一束激光投射到样品表面上后,其镜向方向的反射光和散射光分布在一个半球面内,半球面内各点的光强不同。当表面非常光滑时,光强主要分布在镜向方向。表面越粗糙,镜向方向的反射光强就越弱,其它点的散射光就越强。用光探测器接收这些不同分布的光强,然后经过统计学和光谱分析或者经过光的反射散射计算,就可以得到被测表面的粗糙度值。