废气处理技术方案

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1 废气处理方案

太阳能电池线的生产过程中涉及制绒、扩散、镀膜、印刷等工艺，在生产过程中会使用大量的化学试剂，如盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、氢氧化钾（或氢氧化钠）、硅烷、氨气、醇类等，这些化学试剂在使用过程中会释放出大量的有害废气，所排放的废气主要为氯化氢、氟化氢、氯气、氮氧化物、氨气、硅烷、醇类废气等，这些废气需要被有效的处理，完全达到国家和地方的排放标准后才能排入大气中。

（一）废气分析

1、制绒工艺废气分析

在制绒工艺过程中，废气源主要为制绒及清洗设备，废气种类因工艺不同而有区别，主要废气为氮氧化物、氟化氢气体（多晶工艺）；碱蒸汽及醇类（单晶）。

2、扩散工艺废气分析

扩散工艺涉及废气排放的设备主要是：扩散炉、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气，本项目酸性废气主要为含氯废气，如氯气等。石英管清洗机、石墨舟清洗机产生的废气主要为含氟化氢及氯化氢成分的酸性气体。

3、镀膜工艺废气分析

镀膜工艺涉及的主要设备为去磷硅玻璃清洗机及PECVD等。去磷硅玻璃清洗机产生的废气主要成分为氟化氢及氯化氢等；PECVD尾气主要包含硅烷、氨气等。

4、印刷工艺废气分析

印刷工艺涉及的主要设备为印刷机和烧结炉，产生的废气主要是一些以脂类和醇类废气为主的有机废气。

（二）废气抽风量设计及设备选择 百度文库 - 让每个人平等地提升自我

2 根据上述废气分析，太阳能电池生产线产生的废气以处理方式来分可分为三类：酸碱废气、硅烷及氨气等特气、有机废气。

1、酸碱废气净化系统

本项目涉及的酸碱废气来自制绒清洗机、扩散炉、去磷硅玻璃清洗机、石英管清洗机及石墨舟清洗机等，主要成分为HF/HCl/Cl2/碱蒸汽等，这些废气均可溶于水，可以采用酸碱中和的方式进行废气处理。一般采用碱液喷淋方式进行废气净化。本项目废气处理分为二部分：扩散间及其他废气。扩散间的酸碱废气为15000 m3/h，选一套DGS-B-15型废气洗涤塔进行处理；其他的酸碱废气采用一套DGS-B-40型废气洗涤塔进行处理其处理风量为40000 m3/h。废气洗涤塔主要有以下几部分组成：洗涤塔、自动加药系统、玻璃钢离心风机、玻璃钢风管、排风烟囱及保护钢架、电气控制柜等组成。

1- 1 – 目 录

第1章 项目概况 ............................................................................................................................. 2

南方医科大学深圳医院行政楼、综合楼部分场地装修改造工程，地址位于于深圳市宝安区新湖路1333号。本项目中SPF实验动物实验室拟利用原高压氧仓楼的负1和1楼（原高压氧舱因选址不适合，拟选址重建）预留用房进行改造。实验动物饲养室及实验室在日常运作过程中会产生相应的废气，如未经处理直接排放入大气中势必会对周边环境造成污染。 ....... 2

第2章 废气中主要污染物特征及危害 ......................................................................................... 2

污染物的种类 ........................................................................................................................... 2

主要污染物对人体的危害 ....................................................................................................... 2

第3章 方案编制 ........................................................................................................................... 7

化工废水和废气处理工程技术方案(完整版)

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江苏**化工有限公司

废水和废气处理工程技术方案

扬州市**环境科技工程有限公司

2011年5月化工废水和废气处理工程技术方案(完整版)

2 / 552 / 55 目 录

0B第一部分 技术方案 ........................................................................................ 5

4B1.1 概述 ...................................................................................................... 6

1.2 编制依据 .................................................................................................. 7

6B1.3 编制原则 ............................................................................................. 7

7B1.4 设计范围 ............................................................................................. 8

1.5 废水与废气处理要求 ............................................................................. 9

1.5.1 废水水量、水质与处理要求 ....................................................... 9

废气处理系统

技

术

文

件

编制日期：2010年10月17日

废气处理工程

2010-10-17

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目录

1 工程概况 ......................................................................................................................................................................... 2

1.1 项目名称 ................................................................................................................................................................. 2

1.2 项目简介 ................................................................................................................................................................. 2

2 工程范围 ......................................................................................................................................................................... 2