Cascade探针台介绍
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业 绩
ESSUN
ESSUN
Essun为您提供诚实可信的专业服务
中国电子集团公司第14研究所
中国电子集团公司第55研究所
中国电子集团公司第24研究所
中国电子集团公司第58研究所
中国电子集团公司第13研究所
中国科学院微电子所
东南大学
靠性测试与参数提取或建模。
Cascade公司简介 深圳易商公司简介 Cascade探针台介绍 探针台集成系统实例
ESSUN
系统集成方案
太赫兹系统示意图 负载牵引系统示意图
ESSUN
太赫兹系统示意图 500G测试系统
毫米波系统示意图（1） 毫米波测试系统
毫米波系统示意图（2）
搭载在12K半自动探针台上的毫米波测试系统
2.00E-02
ID
1.00E-02
0.00E+00 0.00E+00 5.00E-01 1.00E+00 1.50E+00 2.00E+00
用于加 DC信号
Cascade 12K—射频测试中的应用
ESSUN
RF cables
LN A 5G G
S G
D C
Cascade 12K—校准及S参数提取
光电子工程测试。
应用：
MEMS/MOEMS 加速传感器 偏航率感测器/陀 仪传感器 RF-MEMS 开关，谐 振器
微型热辐射仪 微镜/光开关 下一代技术 有机发光二极管
气体加速器
Cascade Summit 12K 探针台
ESSUN
Cascade 12K—直流测试中的应用
可以作为芯片的直流偏执使用 由于配置4个直流探针，可满足多
ESSUN
在高真空环境中物有所值的手动片上探测
SUSS的PLV50是非常物有所值和操作简便的一
款探针台，同时能够满足晶圆可达到100mm的
高价格测试方案。特别满足实验室的设计要求，
它提供的测试范围很广，包括I-V，C-V和HF测
试，而且能够在真空度达到10^-5mbar时进行
测试。应用灵活确保了DC和HF的测量。MEMS和
ESSUN
ELITE 300 – 300mm 半自动晶圆探针台
提供300mm高性能晶圆级器件的自动 测试能力（12英寸）
能够用于RF以及DC器件性能分析、 晶圆级可靠性测试、探针接触式测试、 器件模型或者是良率的提取。
可测试温度范围：-60°C到300 °C
Edge -闪烁噪声测量系统
Essun产品介绍
致力于直流、微波、光等器件方面的测试系统探索
ESSUN
器件级测试
晶圆级测试
封装后夹具测试
Essun市场占有率
Cascade授权公司 Anritsu仪器中国区总代理 XX中国区内的独家代理 拥有建立微组装线的技术团队 拥有直流、微波、光器件测量解决方案 ······
ESSUN
Cascade探针台介绍
Cascade探针台特点及优势 Cascade全线产品介绍 Summit 12K图示
直流测试中的应用 直流测试参数的提取 射频测试中的应用 射频测试的校准与S参数提取 高低温测试中的应用
ESSUN
Cascade探针台特点及优势
Micro chamber：
端口器件测量 MOSFET DIODE RES CAP ······
ESSUN
ESSUN
Cascade 12K—直流测试参数提取
利用直流电缆，通过与半导 体参数分析仪的接口相连即 可实现晶圆级器件的测试与 参数提取。
5.00E-02
MOS(ID_VG)
4.00E-02
3.00E-02
公司成立于2005年 总部设立在中国深圳 得到Cascade与安利等原厂的授权 拥有自己优秀的技术团队致力于探针台的技术支持 可以提供专业的探针台的安装调试和完善的售后服务
易商站点分布
ESSUN
易商坚持从客户需求出发，经过多年的努力，公司已经建立起十分完 善的市场营销与技术支持的网络。公司总部设在深圳，同时在北京、 上海、南京、成都、云南等地设有办事处。
华东区: SMIC
Inst. 13th ….etc.
GSMC
HeJian
TSMC
Fudan Univ.
SEU
AUO
Inst. 55th
Microsystem Inst.
Inst. Tech. Physics
Fairchild
NS
….etc.
Cascade客户分布
ESSUN
SUSS MicroTec
高真空条件下探 测可达10^-7mbar
高灵活性：系统 能够根据用户需 求进行自定义
不同的晶圆衬底 载体可以达到8英 寸或者一个DIE
测量范围广 （I-V，C-V，HF）
PAV150 半自动真空探针
ESSUN
应用
MEMS： 加速传感器 RF MEMS开关 气体加速器 微型热辐射仪
MOEMS：
•电磁屏蔽专利技术 •业内唯一低温电压的测量
•完成500G器件测量
Chuck：
•区别于传统，采用以微孔吸附模式
Auto Chuck
······
ESSUN
ESSUN
Summit 12000 – 8英寸 半自动晶圆探针台
提供高性能在片测试，并具 有200mm的晶圆探测能力
负载牵引系统示意图（1）
负载牵引系统示意图（2） 噪声测试系统
谢谢！
美博通通信技术（上海）有限公 司
南京电子技术研究所 Ningbo Sagem Bird Research 宁波萨基姆波导研发有限公司 香港城市大学 Fortress Technology Ltd. National Chiao Tung
University
深圳富士康 BYD Company Limited 深圳比亚迪
micro-mirrors 光开关
特点和优势：
高真空条件下探测可 高灵活性：系统能够
达10^-7mbar
根据用户需求进行自定
不同的晶圆衬底载体 义
以达到8英寸或者一 测量范围广（I-V，C-V，
个DIE
HF）
SUSS探针工作台 其他测试要求也能够
实现（例如 运动分析）
手动真空探针台PLV50
Cascade探针台
Cascade 探针台 Cascade 探针台简产介品介绍
内容提纲：
Cascade公司简介
深圳易商公司简介
Cascade探针台介绍
集成系统分析
ESSUN
Cascade 公司介绍
Cascade公司背景介绍 Cascade探针台市场占有率 Cascade产品介绍
清华大学微电子学研究所
清华大学电子系微波组
杭州电子科技大学
宁波大学
北京诺基亚
北京贝尔罗斯
北京鼎桥科技
深圳华为
傲文科技
INPAQ Technology Co., Ltd.
波尔威技术（苏州）有限公司
佳邦科技
Powerwave (Suzhou)
Broadcom Corporation（博通公司） TeleCommunication Products
Chi Mei Communication Systems Inc. Co., Ltd.
奇美通讯
Broadcom Tech Shanghai Co.
RFIC Technology Corporation 朗弗科技(股)有限公司 National Taiwan University Walsin Technology Corp. 华新科技股份有限公司 WIN Semiconductors Corp. 稳懋半导体 Chang Gung University
ESSUN
ESSUN
Cascade 公司背景
Cascade是全球领先的的探测系统、探针、探测器等产品的 设计生产商
•成立于1983年 •总部设在美国俄勒冈州西北部城镇 •为全球晶圆级测试的销售、服务和应用而存在 •自主拥有150多项专利技术 •成为了行业的一种标志
ESSUN
Cascade探针台中国市场占有率
长庚大学 National Central University 中央大学
国立交通大学 Asia Pacific Microsystems
Inc.
台湾宏达电
High Tech Computer Corp.
······
Cascade公司简介 深圳易商公司简介 Cascade探针台介绍 探针台集成系统实例
能够准确测量 1Hz to 40MHz的闪烁噪声 提供前所未有的抗噪声性能 能够实现1/F和DC参数测量模式的无缝过渡
PMV150
半自动真空探针
ESSUN
应用：
MEMS 加速传感器 RF MEMS开关 气体加速器 微型热辐射仪
MOEMS：
micro-mirrors 光开关
特点和优势：
ESSUN
这是一个单用户解决方案。它通过优化从探头到数据采集的整个测量 路来满足您对闪烁噪声数据的精度，可重复性和可靠性的要求
它包括： • 一个ELITE 或 Summit 12K 探针台 • 信号采集单元 • 噪声处理单元 • 系统电缆和SMU电缆 • 闪烁噪声测量软件 • 低噪声互连模块
Wafer的吸附 提供一个低噪声且全方面保护的封闭
的测试环境 拥有功率控制能力
最大电压 最大电流 功率损耗
1,100V (Triax); 3,000V (Coax) 60A (Pulsed); 10A (DC) 100 W/cm²
ESSUN
ESSUN
Essun为您提供诚实可信的专业服务
中国电子集团公司第14研究所
中国电子集团公司第55研究所
中国电子集团公司第24研究所
中国电子集团公司第58研究所
中国电子集团公司第13研究所
中国科学院微电子所
东南大学
靠性测试与参数提取或建模。
Cascade公司简介 深圳易商公司简介 Cascade探针台介绍 探针台集成系统实例
ESSUN
系统集成方案
太赫兹系统示意图 负载牵引系统示意图
ESSUN
太赫兹系统示意图 500G测试系统
毫米波系统示意图（1） 毫米波测试系统
毫米波系统示意图（2）
搭载在12K半自动探针台上的毫米波测试系统
2.00E-02
ID
1.00E-02
0.00E+00 0.00E+00 5.00E-01 1.00E+00 1.50E+00 2.00E+00
用于加 DC信号
Cascade 12K—射频测试中的应用
ESSUN
RF cables
LN A 5G G
S G
D C
Cascade 12K—校准及S参数提取
光电子工程测试。
应用：
MEMS/MOEMS 加速传感器 偏航率感测器/陀 仪传感器 RF-MEMS 开关，谐 振器
微型热辐射仪 微镜/光开关 下一代技术 有机发光二极管
气体加速器
Cascade Summit 12K 探针台
ESSUN
Cascade 12K—直流测试中的应用
可以作为芯片的直流偏执使用 由于配置4个直流探针，可满足多
ESSUN
在高真空环境中物有所值的手动片上探测
SUSS的PLV50是非常物有所值和操作简便的一
款探针台，同时能够满足晶圆可达到100mm的
高价格测试方案。特别满足实验室的设计要求，
它提供的测试范围很广，包括I-V，C-V和HF测
试，而且能够在真空度达到10^-5mbar时进行
测试。应用灵活确保了DC和HF的测量。MEMS和
ESSUN
ELITE 300 – 300mm 半自动晶圆探针台
提供300mm高性能晶圆级器件的自动 测试能力（12英寸）
能够用于RF以及DC器件性能分析、 晶圆级可靠性测试、探针接触式测试、 器件模型或者是良率的提取。
可测试温度范围：-60°C到300 °C
Edge -闪烁噪声测量系统
Essun产品介绍
致力于直流、微波、光等器件方面的测试系统探索
ESSUN
器件级测试
晶圆级测试
封装后夹具测试
Essun市场占有率
Cascade授权公司 Anritsu仪器中国区总代理 XX中国区内的独家代理 拥有建立微组装线的技术团队 拥有直流、微波、光器件测量解决方案 ······
ESSUN
Cascade探针台介绍
Cascade探针台特点及优势 Cascade全线产品介绍 Summit 12K图示
直流测试中的应用 直流测试参数的提取 射频测试中的应用 射频测试的校准与S参数提取 高低温测试中的应用
ESSUN
Cascade探针台特点及优势
Micro chamber：
端口器件测量 MOSFET DIODE RES CAP ······
ESSUN
ESSUN
Cascade 12K—直流测试参数提取
利用直流电缆，通过与半导 体参数分析仪的接口相连即 可实现晶圆级器件的测试与 参数提取。
5.00E-02
MOS(ID_VG)
4.00E-02
3.00E-02
公司成立于2005年 总部设立在中国深圳 得到Cascade与安利等原厂的授权 拥有自己优秀的技术团队致力于探针台的技术支持 可以提供专业的探针台的安装调试和完善的售后服务
易商站点分布
ESSUN
易商坚持从客户需求出发，经过多年的努力，公司已经建立起十分完 善的市场营销与技术支持的网络。公司总部设在深圳，同时在北京、 上海、南京、成都、云南等地设有办事处。
华东区: SMIC
Inst. 13th ….etc.
GSMC
HeJian
TSMC
Fudan Univ.
SEU
AUO
Inst. 55th
Microsystem Inst.
Inst. Tech. Physics
Fairchild
NS
….etc.
Cascade客户分布
ESSUN
SUSS MicroTec
高真空条件下探 测可达10^-7mbar
高灵活性：系统 能够根据用户需 求进行自定义
不同的晶圆衬底 载体可以达到8英 寸或者一个DIE
测量范围广 （I-V，C-V，HF）
PAV150 半自动真空探针
ESSUN
应用
MEMS： 加速传感器 RF MEMS开关 气体加速器 微型热辐射仪
MOEMS：
•电磁屏蔽专利技术 •业内唯一低温电压的测量
•完成500G器件测量
Chuck：
•区别于传统，采用以微孔吸附模式
Auto Chuck
······
ESSUN
ESSUN
Summit 12000 – 8英寸 半自动晶圆探针台
提供高性能在片测试，并具 有200mm的晶圆探测能力
负载牵引系统示意图（1）
负载牵引系统示意图（2） 噪声测试系统
谢谢！
美博通通信技术（上海）有限公 司
南京电子技术研究所 Ningbo Sagem Bird Research 宁波萨基姆波导研发有限公司 香港城市大学 Fortress Technology Ltd. National Chiao Tung
University
深圳富士康 BYD Company Limited 深圳比亚迪
micro-mirrors 光开关
特点和优势：
高真空条件下探测可 高灵活性：系统能够
达10^-7mbar
根据用户需求进行自定
不同的晶圆衬底载体 义
以达到8英寸或者一 测量范围广（I-V，C-V，
个DIE
HF）
SUSS探针工作台 其他测试要求也能够
实现（例如 运动分析）
手动真空探针台PLV50
Cascade探针台
Cascade 探针台 Cascade 探针台简产介品介绍
内容提纲：
Cascade公司简介
深圳易商公司简介
Cascade探针台介绍
集成系统分析
ESSUN
Cascade 公司介绍
Cascade公司背景介绍 Cascade探针台市场占有率 Cascade产品介绍
清华大学微电子学研究所
清华大学电子系微波组
杭州电子科技大学
宁波大学
北京诺基亚
北京贝尔罗斯
北京鼎桥科技
深圳华为
傲文科技
INPAQ Technology Co., Ltd.
波尔威技术（苏州）有限公司
佳邦科技
Powerwave (Suzhou)
Broadcom Corporation（博通公司） TeleCommunication Products
Chi Mei Communication Systems Inc. Co., Ltd.
奇美通讯
Broadcom Tech Shanghai Co.
RFIC Technology Corporation 朗弗科技(股)有限公司 National Taiwan University Walsin Technology Corp. 华新科技股份有限公司 WIN Semiconductors Corp. 稳懋半导体 Chang Gung University
ESSUN
ESSUN
Cascade 公司背景
Cascade是全球领先的的探测系统、探针、探测器等产品的 设计生产商
•成立于1983年 •总部设在美国俄勒冈州西北部城镇 •为全球晶圆级测试的销售、服务和应用而存在 •自主拥有150多项专利技术 •成为了行业的一种标志
ESSUN
Cascade探针台中国市场占有率
长庚大学 National Central University 中央大学
国立交通大学 Asia Pacific Microsystems
Inc.
台湾宏达电
High Tech Computer Corp.
······
Cascade公司简介 深圳易商公司简介 Cascade探针台介绍 探针台集成系统实例
能够准确测量 1Hz to 40MHz的闪烁噪声 提供前所未有的抗噪声性能 能够实现1/F和DC参数测量模式的无缝过渡
PMV150
半自动真空探针
ESSUN
应用：
MEMS 加速传感器 RF MEMS开关 气体加速器 微型热辐射仪
MOEMS：
micro-mirrors 光开关
特点和优势：
ESSUN
这是一个单用户解决方案。它通过优化从探头到数据采集的整个测量 路来满足您对闪烁噪声数据的精度，可重复性和可靠性的要求
它包括： • 一个ELITE 或 Summit 12K 探针台 • 信号采集单元 • 噪声处理单元 • 系统电缆和SMU电缆 • 闪烁噪声测量软件 • 低噪声互连模块
Wafer的吸附 提供一个低噪声且全方面保护的封闭
的测试环境 拥有功率控制能力
最大电压 最大电流 功率损耗
1,100V (Triax); 3,000V (Coax) 60A (Pulsed); 10A (DC) 100 W/cm²
