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CDA系统及制程真空系统简介精讲教案资料

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CDA及制程真空简介

CDA及制程真空简介

STOP 絕絕絕
製程真空系統
真空機組成
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕
絕 絕 絕 絕 絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
絕絕絕絕絕
製程真空系統
真空機工作流程
絕絕絕絕絕 絕絕絕絕絕
空氣部份
絕絕絕絕絕 絕 絕 絕 絕 絕
潤滑油部份
絕 絕 絕 絕 絕
絕絕絕絕 絕絕絕絕
Standard&Normal風量轉換範例
100SCMM= NCMM 理想氣體定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) Ans：93.17NCMM Q(Standard) > Q(Normal)
壓縮乾燥空氣系統
T
B桶槽高溫切換 保護開關(50℃)
A桶槽建壓 壓力開關 (45psi) P
加熱器溫度 保護開關 (370℃) T
加熱溫度 控制開關 (維持200℃) T
B桶槽建壓 壓力開關 (45psi) P
空氣出口溫度 監視點 T
壓縮乾燥空氣系統
Cycle Time(22hr)
單一桶槽依續完成吸附與再生過程之總時間
壓縮乾燥空氣處理流程
壓縮乾燥空氣系統
離心式空氣壓縮機
壓縮乾燥空氣系統
離心式空氣壓縮機
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀 後冷却器 進口調節導葉 橈性接頭 止回阀
油過滤器 油温控制阀
中間冷卻 器 中間 冷卻 器 排油氣風扇及過滤器 油 空氣 水 冷凝水 油加热器 油箱 主油泵
油冷却器
辅油泵 过滤網
B桶洩壓閥(OFF)

《真空》教案共28页word资料

《真空》教案共28页word资料

《真空技术与设备》教案
任课教师：曹冠英
授课班级：电信042
课程总学时： 48
课程周学时： 6
上课周次： 8
基本教材：《真空技术及其在光源中的应用》
教学进度计划
希望以上资料对你有所帮助，附励志名言3条：
1、常自认为是福薄的人，任何不好的事情发生都合情合理，有这样平常心态，将会战胜很多困难。

2、君子之交淡如水，要有好脾气和仁义广结好缘，多结识良友，那是积蓄无形资产。

很多成功就是来源于无形资产。

3、一棵大树经过一场雨之后倒了下来，原来是根基短浅。

我们做任何事都要打好基础，才能坚固不倒。

CDA系统及管材介绍

CDA系统及管材介绍
影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低 顺序EP＞BA＞MP>AP 一般BULK GAS（GN2、CDA、Ar、H2、O2），其中GN2、CDA 选用BA 级其余之 BULK GAS 及APECIALTY GAS皆用EP级之管材，材质为SUS316L ，有时，业主 亦因成本之考量GN2、CDA如用在PUMP之动力源，会考虑使用SUS304。
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上
CDA 潔淨管路材料規範
一.管材、管件、閥件規格： 1.CDA管材、管件材質為SUS304L APS管內焊道需經清潔、脫 脂＆洗淨及包裝，5S 無縫(自動焊)。 1.1材質基準SUS304L，JIS G3459 / ASTM A312 GR，規範要求 較嚴格者以規範為主。 1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。 1.3 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 1.4油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 1.6標記(MARK)：請註明如何標記。 1.7尺寸：JIS A SIZE。 1.8環境：無塵室包裝環境。 1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。 1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。

真空系统讲义教学教材

真空系统讲义教学教材

供水量
2-6 m3/h
生产厂家 广东佛山水泵有限公司
真空系统的主要技术参数：
电机 ： 型号
Y315M-8
功率
75KW
转速
740rpm
频率
50HZ
电压
380V
电流
148.9A
生产厂家 上海电机厂
1#真空泵控制逻辑描述：（2#相仿） 程序启动：1）启动真空泵；2）打开1#真空泵进口阀。 程序停运：1）关闭1#真空泵进口阀；2）停真空泵。 允许启泵条件：入口气动阀关且分离罐水位正常（没有
“L”信号存在） 。 允许停泵条件：无。 自动启泵条件（同时满足）： 1、允许启泵条件满足； 2、程序启泵指令
或联锁投入条件下，2#真空泵故障； 或联锁投入条件下，2#真空泵运行时，凝汽器真空 低开关动作（整定值：－80KPa）。 自动停泵条件：程序停泵指令。
1＃真空泵进口气动阀： 作用：1、真空泵不运行时关闭，防止气体反流。
真空系统讲义
2．系统组成：
本系统主要配备的是广东佛山水泵有限公 司公司的2BW4253-OEK4单级水环式真空 泵、低速电机、气水分离罐、水环水冷却 器（板式换热器）、真空泵进口气动阀、 真空破坏阀以及相关管道、阀门及热工仪 表等设备组成。
3．真空系统流程：
从凝汽器抽吸来的气体经气体抽吸口、泵组进口气动阀，与 水环水混合进入真空泵（该泵由740rpm低速电机驱动）， 经真空泵作功后，由真空泵的水/气体混合物输送管送到分离 器进行气水分离，分离后的气体经排汽逆止阀、气体排出口 排向大气；分离出来的水流至分离罐底部。分离罐底部的水 在真空泵排气压力作用下通过热交换器冷却，冷却后的水， 一路经孔板（两小支路）喷入真空泵进口，使即将抽入真空 泵的气体中可凝结部分凝结，提高真空泵的抽吸能力；另一 路直接进入泵体作为工作介质，维持真空泵的水环和降低水 环的温度，同时也用于泵端填料密封水。热交换器为板式换 热器，水环水与工业水进行热量交换，冷却水由工业水泵提 供。工作水存在损失（蒸发和泵端漏水），分离罐水位会降 低，通过补水电磁阀将除盐水直接补入分离罐。

《真空系统介绍》PPT课件

《真空系统介绍》PPT课件
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种 类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
精选ppt
7
1.2.1、气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借 以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类 型：
1) 变容真空泵
变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸 气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。 这种泵分为往复式及旋转式两种 。其中旋转式真 空泵又分为油封式真空泵、干式真空泵、液环式真 空泵、罗茨真空泵。
另一种说法是,凡压力比大气压力低的容器里 的空间都称做真空。真空有程度上的区别:当 容器内没有压力即绝对压力等于零时,叫做 完 全真空;其余叫做不完全真空。
精选ppt
3
压强关系图
点相对压强
点绝对压强值
一个大气压
点真空度 点绝对压强值
绝对真空
精选ppt
4
4、真空常用单位：
Torr mmHg InHg 换算关系：
利用低温表面捕集气体的真空泵
精选ppt
10
2、水环真空泵
2.1水环真空泵简介
简称水环泵，是一种粗真空泵，它所能获
得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷
射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩
机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩
机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。由于
真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空
精选ppt
17
5）振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀
6）驱动功率小，机械摩擦损失小；
7）结构紧凑，占地面积小；
8）运转维护费用低。 因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电 子工业部门得到广泛的应用。

CDA系统及制程真空系统简介解读

CDA系统及制程真空系统简介解读

真空度大于28.0inHg(vac) (轻载)
制程真空系统
➢ 真空机~油温控制器
水量控制旋鈕
冰水流向
油溫感測器 (揮發性液體)
制程真空系统
➢ 主电源回路/控制回路
480-110V
Local Remote
On Off PLC Start
PLC Stop Kp1
TR3 CR2
PPR(Phase Protection Relay)
Relay
M2
M1
OL2
OL1
M
Fan Motor
M
Vacuum Pump Motor
制程真空系统
➢ 主电源回路/控制回路
480-110V
Local Remote
On Off PLC Start
PLC Stop Kp1
TR3 CR2
PPR(Phase Protection Relay)
ITS(油溫保護點)
系統末端真空度監視點 TFT CF LCD LCM2F LCM3F LCM4F LCM5F LCM6F
Tank-1
Tank-2 P
加減載真空度 延 遲 時 間
自動加載設定 -26.0 inHg
20 sec
自動減載設定 -28.0 inHg
60 sec
RUN
RUN
STOP
STOP
待機一
待機二
制程真空系统
➢ 压缩干燥空气处理流程
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀
進口調節導葉
止回阀
橈性接頭 後冷却器
油過滤器 油温控制阀

CDA系统培训资料

CDA系统培训资料

空压机系统培训资料
Confidential Staff Only
空压机系统培训资料
空压机的维护及保养
维护措施
维护部件
维护周期/h
更换用量
备注
添加
电机专用润滑脂
2000
0.5听
第一次使用150h时即需更换
更换 更换 清洁 更换 更换 检查
油过滤芯 油分离芯 油分离器滤网及小孔 空气滤芯 超级冷却剂 启动器接触器
Confidential Staff Only
空压机系统培训资料
排气过程
齿间容积与排气口连通后即开始排气过程，随着齿间容积 的不断缩小，具有内压缩终了压力的气体逐渐通过排气口被 排出，这一过程一直持续到齿末端的型线完全啮合为止，此 时齿间容积内的气体通过排气口被完全排出，封闭的齿间容 积的体积将变为零。
2000 4000 4000
4000 8000 8000
1只 1只 NA 2只 28升 NA
更换时注入油达过滤器容积的1/2 NA NA
具体更换视环境而定 NA NA
注意：超级冷却剂38459582容量为20升每桶
Confidential Staff Only
空压机系统培训资料
部分实体图 总览
Confidential Staff Only
吸气过程结束的同时阴阳转子的齿峰与机壳密封，齿槽内的气体被转子齿和机壳
包围在一个封闭的空间中，即封闭过程。
Confidential Staff Only
空压机系统培训资料
压缩过程
随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合 而不断减少，被密封在齿间容积中的气体所占据的 体积也随之减少，导致气体压力升高，从而实现气 体的压缩过程。压缩过程可一直持续到齿间容积即 将与排气口连通之前。

CDA系统及制程真空系统简介精讲教案资料

CDA系统及制程真空系统简介精讲教案资料
Relay
M2
M1
OL2
OL1
M
Fan Motor
M
Vacuum Pump Motor
制程真空系统
➢ 主电源回路/控制回路
480-110V
Local Remote
On Off PLC Start
PLC Stop Kp1
TR3 CR2
PPR(Phase Protection Relay)
ITS(油溫保護點)
入口阀
T A桶排气阀(ON)
冷却桶槽 A桶槽
T
T
B桶排气阀(OFF)
35℃
B桶槽 吸附桶槽
P
T
A桶泄压阀(OFF)
T P
B桶泄压阀(OFF) 建压阀(ON)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~建压程序(15min)
入口阀
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶排气阀(OFF)
T 35℃
B桶排气阀(OFF)
➢特定风量条件
?Standard Condition(SCMM)：1atm、20℃、 65%R.H
?Normal Condition(NCMM)：1atm、0℃、 0%R.H
压缩干燥空气系统
➢ Standard&Normal风量转换
?理想气体定律 ?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 ?P：绝对压力 ?T：绝对温度
Relay
M2
M1
OL2
OL1
M
Fan Motor
M
Vacuum Pump Motor
~敬请指教~
此课件下载可自行编辑修改，仅供参考！ 感谢您的支持，我们努力做得更好！谢谢

真空系统组成与设计基础课件

真空系统组成与设计基础课件
真空系统组成与设计基础
2 真空系统元件及连接
• 2.1 真空阀门 • 2.2 捕集器（阱） • 2.3 除尘器 • 2.4 真空继电器 • 2.5 可拆卸密封连接 • 2.6 运动导入与动密封连接 • 2.7 引入接口
真空系统组成与设计基础
2.1 真空阀门
• 2.1.1 真空阀的分类与型号 • 2.1.2 真空阀门的工作型式 • 2.1.3 阀门密封结构与密封力计算
真空系统组成与设计基础
真空硬地垃圾清洁机
“象鼻”真空吸尘 机
真空系统组成与设计基础
• 典型高真空系统
➢ 前级泵 ➢主 泵 ➢ 高真空管路 ➢主 阀 ➢ 预真空抽气泵 ➢ 预真空管路 ➢ 预真空管道阀 ➢ 前级管路 ➢ 前级管道阀 ➢ 软连接管道
真空系统组成与设计基础
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
1.2 真空系统的组成元件
一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道； 4 ．真空测量装置：例如真空压力表、 各种规管； 5．其它元件：例如捕集器、除尘器、 真空继电器规头、储气罐等。
• 离子束从固体材料表面弹回来，或 穿出固体材料而去，叫做散射；
• 而当离子束射到固体材料后，受固 体材料抵抗速度慢慢减低，并最终 停留在固体材料中，叫做离子注入。
• 离子注入引起材料表面成分、结构 和性能变化，从而优化材料表面性 能，或获得某些新的优异性能 ➢ 特点：无公害、不改变尺寸和 表面光洁度、无剥落、不需再 加工和热处理。
工作压强范围:1.33～1.33×10-1Pa。 优点:抽气能力大，系统简单，振动小，工作稳定 可靠，维修方便，成本低。 缺点:预抽时间长(同罗茨泵系统比较)，工作中需
要较贵重的增压泵油。 下图为采用油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵) 的真空感应熔炼炉的真空系统。

CDA基本步骤讲解PPT课件

CDA基本步骤讲解PPT课件

开会地点 会议记录员
辅导员
一、讨论内容： □主题选取 □活动计划与工作分配 □现状分析 □目标值设定 □对策讨论 □效果确认 □标准化 □今后计划 □ 报告会事宜 □发表事宜 □ 其它 __________________________
二、决议事项：
三、保留事项及其理由：
四、上级主管意见：
主管签名：
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九、确认效果
确认 时间
应用 工具
效果 种类
效益 计算
1、在活动途中 评估活动效果
1、对策表 2、查检表 3、推移图
1、直接效果 实际值-基准值=效果 2、间接效果 例如：以降低氧气使用 为目标，活动结果，促 使炉材（即耐火砖）的 单位使用量也减低。 3、有形效果 效果中可以直接定量化 4、无形效果 指无法直接数量化
1．充分理解自主管理 活动的意义。
2．积极地提供意见， 创意盎然地解决问题。
3．完成自己分担的责 任，并互相支持。
4．透过自主管理活动， 努力自我启发，以加强 自己的能力。
1．2．婉转调整圈员不正确 的意见和想法；
3．尽量采用举例诱导方 式，协助圈长解决会中 困难；
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自主管理活动对策标准化作业表
CDA标准化名称
CDA标准化编号
活动主题
圈名
起草人
起草单位
实施日期
（新订□修订□）标准 标准编号（含三大规程、图号）：
一、作业标准程序
1、 作业前准备工作
2、 作业前检查项目（定修、机械维修类）
⑴ 物料——
□⑴ 动火申请（电焊）
⑵ 工具——
□⑵ 断电、挂卡、上锁（电气、油压）
7
三、暂时登记
时间
主体编号

真空系统设计 ppt课件

真空系统设计 ppt课件

3.1 选主泵
选主泵要考虑两个方面,一是选择主泵的类型, 二是确定主泵抽速的大小。
3.1.1 主泵的类型
确定主泵类型的依据:
(1) 根据被抽容器所要求达到的极限真空度和
真
工作真空度。一般选取主泵的极限真空度稍高
空
于被抽容器所要求的极限真空度(如高半个数量
系
级)。每一种泵都有其最佳工作压强范围,应保
统
1 1 1 Se C Sp
可以改写为 :
真 空
Se

CSp C Sp
(a)
或
Se
Sp 1 Sp
(b)
或
Se

1
C C
(c)
系
C
Sp
统
方程(a),(b),(c)本质上是同一个方程,在真空系统
设
设计中是一个非常重要的方程,如果知道泵的抽
计
速Sp和管路的流导C,就可以计算出系统对容器
有效抽速,这个方程被称为真空技术基本方程。
14
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
2.4 真空技术基本方程在真空系统设计中 的意义
从方程(2b)可以看出:如果管路的流导C远大于
泵的抽速Sp,则Sp /C的值远小于1,此时真空系统
对容器的有效抽速Se≈ Sp 。这就是说为了充分
发挥泵对容器的抽气作用,在设计真空系统管路
真 空 系 统
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
真空系统设计
真 空 系 统 设 计
1
东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之六
真空系统设计
➢ 1.真空系统的组成
➢ 2.真空技术基本方程
➢ 3.真空系统的设计计算

CDA系统及管材介绍

CDA系统及管材介绍

不锈钢检测
合金分析仪 （专业）
工作原理：采用X射线荧光（XRF）技术进行多元素分析
分析元素：Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Zr Nb Mo Ag Pd Sn Hf Ta W Re Pb Bi Se Sb 应用范围：各种高低合金钢、不锈钢、工具钢、铬/钼钢、镍合金、钴 合金、镍/钴耐热合金、钛合金、铜合金、青铜、锌合金、钨合金等； 可通过对其它合金元素的测定，实现对铝、镁轻合金的牌号鉴定。
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
型号 301—延展性好，用于成型产品。也可通过机械加工使其迅速硬化。焊接性好。 抗磨性和疲劳强度优于304不锈钢。 型号 302—耐腐蚀性同304，由于含碳相对要高因而强度更好。 型号 303—通过添加少量的硫、磷使其较304更易切削加工。 型号 304—通用型号；即18/8不锈钢。GB牌号为0Cr18Ni9。 SUS304L 型号 309—较之304有更好的耐温性。 型号 316—继304之后，第二个得到最广泛应用的钢种，主要用于食品工业和外科手术 器材，添加钼元素使其获得一种抗腐蚀的特殊结构。由于较之304其具有更好的抗氯化 物腐蚀能力因而也作“船用钢”来使用。SS316则通常用于核燃料回收装置。18/10级 不锈钢通常也符合这个应用级别。 SUS316L 型号 321—除了因为添加了钛元素降低了材料焊缝锈蚀的风险之外其他性能类似304。 400 系列—铁素体和马氏体不锈钢 型号 408—耐热性好，弱抗腐蚀性，11%的Cr，8%的Ni。 型号 409—最廉价的型号（英美），通常用作汽车排气管，属铁素体不锈钢（铬钢）。 型号 410—马氏体（高强度铬钢），耐磨性好，抗腐蚀性较差。 型号 416—添加了硫改善了材料的加工性能。 型号 420—“刃具级”马氏体钢，类似布氏高铬钢这种最早的不锈钢。也用于外科手术 刀具，可以做的非常光亮。 型号 430—铁素体不锈钢，装饰用，例如用于汽车饰品。良好的成型性，但耐温性和抗 腐蚀性要差。 型号 440—高强度刃具钢，含碳稍高，经过适当的热处理后可以获得较高屈服强度，硬 度可以达到58HRC，属于最硬的不锈钢之列。最常见的应用例子就是“剃须刀片”。 常用型号有三种：440A、440B、440C，另外还有440F（易加工型）。 500 系列—耐热铬合金钢。 600 系列—马氏体沉淀硬化不锈钢。 型号 630—最常用的沉淀硬化不锈钢型号，通常也叫17-4；17%Cr，4%Ni。

CDA 空压机培训

CDA 空压机培训

气路系统
• 出中间冷却器的压缩空气经过不锈钢管到达 水分离器(内部有环氧涂层),在进入2nd 主机之 前将冷凝水排出. • 2nd 排出的压缩空气直接进入消音器, 然后进 入后冷却器. • 压缩空气被冷却到比环境温度高20°F后,通 过不锈钢管并经过止逆阀到达水分离器. • 压缩空气由于温度的降低而产生的冷凝水在 水分离器中被排出,然后进入用户的管网系统.
一级压 缩主机
二级压 缩主机
后冷 却器 排气阀
后水 分离器
气路系统
• 大气中的空气经过右端的盒子内的消音管道 吸入. • 当机器控制蝶阀打开时,空气进入 1st主机并 被压缩至 26 ~ 31 PSIG. • 压缩空气经过具有消震功能的文氏管排出主 机. • 文氏管出来的压缩空气经过一段不锈钢的弹 性管进入中间冷却器并被冷却至比环境温度高 20°F.
CDA侧面
工艺流程图
二级压缩基本原理
• 理论上的排气温度 单级压缩至 125 Psig ......… 600°F • 在良好的中间冷却的情况下,两级压缩至 125 Psig ， ........… 310°F 基于100°F环境空气温度的数据 • Sierra 正常操作温度: • 1st 级排气 355° - 370°F • 2nd 级排气 370° - 460°F • 上述数据是在排气压力125 Psig ,环境温 度 100°F 条件下获得
一、压缩机日常维护
每年或8000小时（C级保养） 小时（ 级保养 级保养） 每年或 小时 a)更换油吸呼器上过滤器 更换油吸呼器上过滤器 b)更换空滤、油滤、油 更换空滤、 更换空滤 油滤、 c)进行安全阀测试（客户做） 进行安全阀测试（ 进行安全阀测试 客户做） d)清洁机器、油冷、中冷、后冷却器 清洁机器、 清洁机器 油冷、中冷、 e)检查、紧固电器，电线、电缆线 检查、 检查 紧固电器，电线、 f)检查联轴器，加下载阀，更换加下载 检查联轴器， 检查联轴器 加下载阀， 膜片， 膜片，马达加黄油等
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B桶泄压阀(OFF)
建压阀(OFF)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~泄压程序(8min)
入口阀
T
T
T
A桶排气阀(OFF)
B桶排气阀(OFF)
泄压桶槽 A桶槽
P
T
A桶泄压阀(ON)
B桶槽 吸附桶槽
T P
B桶泄压阀(OFF) 建压阀(OFF)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~加热程序(240min max)
(45psi) P
T
加热结束温度 控制开关 (80℃)
加热器温度 保护开关 (370℃)
T
加热温度 控制开关 (维持200℃)
T
B桶槽建压 压力开关
(45psi) P
T
B桶槽高温切换 保护开关(50℃)
空气出口温度 监视点
T
压缩干燥空气系统
➢ Cycle Time(22hr)
?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间
入口阀
T A桶排气阀(ON)
冷却桶槽 A桶槽
T
T
B桶排气阀(OFF)
35℃
B桶槽 吸附桶槽
P
T
A桶泄压阀(OFF)
T P
B桶泄压阀(OFF) 建压阀(ON)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~建压程序(15min)
入口阀
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
➢ 吸附过程(11hr)
?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序
➢ 再生过程(11hr)
?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力 ?加热程序(240min max)：加温移除干燥粒子所含水份 ?冷却程序(410min max)：冷却干燥粒以恢复吸附能力 ?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力
Moisture Indicator 1.蓝色?正常 2.粉红?含水
P Outlet Pressure
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力表(机械式)
P T
T P
T
B桶槽
P
冷却压力 P
P
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力控制开关(电子式)
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶槽建压 压力开关
➢ Standard&Normal风量转换范例
?100SCMM= NCMM ?理想气体定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0℃+273) ?Ans：93.17NCMM ?Q(Standard) > Q(Normal)
压缩干燥空气系统
CDA系统及制程真空系统简介 精讲
压缩干燥空气系统
➢ 系统目的
?提供低含水量之压缩洁净空气
➢ 需求设备
?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机) ?吸附式干燥机(冷冻式干燥机) ?微粒子过滤器
➢ 质量要求(各厂需求略有不同)
?系统末端压力高于7.0kg/cm2 ?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm) ?微粒数少于10颗/ft3
➢ 绝对压力
?表压力+大气压力
➢ 压力换算
?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi
真空度 絕對壓力
零度錶壓
錶壓力
絕對壓力 大氣壓力
絕對真空
压缩干燥空气系统
➢风量单位
?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)
➢单位换算
?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM
压缩干燥空气系统
➢ 压力单位
?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr
➢ 大气压力
?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr
➢ 压缩干燥空气处理流程
压干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
压缩干燥空气系统
➢ 离心式空气压缩机
進口空氣过滤器和消音器 旁通阀
進口調節導葉
止回阀
橈性接頭 後冷却器
油過滤器 油温控制阀
中間冷卻 器
油 空氣 水 冷凝水
排油氣風扇及過滤器
油加热器
油箱
中間 冷卻 器
主油泵
过滤網
油冷却器 辅油泵
压缩干燥空气系统
➢ IGV&BOV
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机组件介绍
空氣入口
A吸附桶槽
A桶安全洩壓閥 (10.6kg/cm2)
A桶槽偵濕器
B桶安全洩壓閥 (10.6kg/cm2)
B桶槽偵濕器 鼓風機
B吸附桶槽
電加熱器
限流孔板
空氣出口
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机组件介绍~气动控制阀件
空氣入口
入口閥
A桶排氣閥 A吸附桶槽
入口阀
加热桶槽
T
T
A桶排气阀(ON)
B桶排气阀(OFF)
加热结束温度
控制开关
(80℃)
A桶槽
P
1.鼓风机启动
2.加热器启动
加热器温度
保护开关
加热温度
(370℃) T
T 控制开关 (维持200℃)
P
T
B桶槽
吸附桶槽
A桶泄压阀(OFF)
B桶泄压阀(OFF)
建压阀(OFF)
T
压缩干燥空气系统
➢ 再生过程~冷却程序(410min max)
压缩干燥空气系统
➢ 工作流程~吸附过程
入口阀(桶槽切换时作动)
A桶槽高温切换 保护开关(50℃)
T
A桶排气阀(OFF)
T B桶排气阀(OFF)
T
B桶槽高温切换 保护开关(50℃)
吸附桶槽
A桶槽
桶槽切换依据 1.侦湿器作动(7.5~13kHz) 2.时间控制(11hr)
T
P
T
B桶槽 待机桶槽
P
A桶泄压阀(OFF)
B桶排氣閥 B吸附桶槽
逆止閥 A桶洩壓閥
B桶洩壓閥 建壓閥
空氣出口
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力表(机械式)
入口壓力 P
T 排氣出口溫度
T A桶槽溫度 P A桶槽壓力
B桶槽溫度 T B桶槽壓力 P
冷卻壓力 P
P 出口壓力
压缩干燥空气系统
➢ 干燥机温度/压力表(机械式)
Inlet Pressure P
A桶槽
Purge P P Left Chamber Pressure
B桶槽
P Right Chamber Pressure
Left Chamber Moisture Right Chamber
Pressure
Indicator
Pressure
Inlet Pressure
Purge
Outlet Pressure
➢特定风量条件
?Standard Condition(SCMM)：1atm、20℃、 65%R.H
?Normal Condition(NCMM)：1atm、0℃、 0%R.H
压缩干燥空气系统
➢ Standard&Normal风量转换
?理想气体定律 ?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 ?P：绝对压力 ?T：绝对温度