M-330MX就真空计校正方法
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便携式真空计校准装置的校准方法介绍研制的便携式真空计校准装置集成了静态比对法、静态膨胀法和动态流量法三种校准方法,本文就详细介绍了便携式真空计校准装置的这三种校准方法。
1、静态比对法静态比对法采用电容薄膜真空计G2 和G3 作为参考标准,在关闭阀门V2 后通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力实现校准。
2、静态膨胀法静态膨胀法基于Boyle-Mariotte 理想气体定律,将标准体积中可精确测量的较高压力气体膨胀到校准室中,通过计算得到膨胀后的压力,以此压力作为标准校准真空计。
标准压力通过式(1)计算式中:p0、p 为标准体积中初始压力和膨胀后的气体压力;Vc1、Vc2 分别为标准体积和校准室的容积;V’1/V’1+V’2为体积比。
3、动态流量法在式中:p1、p2、p3 分别为小孔(C1 或C2)入口、校准室、分子泵抽气口的压力;C1,2 为小孔C1 或C2 的流导;C3 为限流抽气小孔C3 的流导。
由于校准过程中p2《p1,且在满足分子流的条件下小孔C3 两端压力的比值总是常数(定义为返流比A,p3=Ap2),因此式(2)可简化为从式(3)可知,标准压力p2 由进气小孔入口压力p1、进气小孔与抽气小孔流导比C1,2/C3 及(1-A)计算得到。
本文加工的C1、C2、C3 小孔对氮气的分子流导分别为10-8,10-6,10-2 m3/s 量级,进气小孔和抽气小孔的流导比C1/C3,C2/C3 为10-6,10-4 量级,因此通过两个不同流导小孔进气的方法拓宽了装置的校准范围。
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HJ-P-059-2009复合真空计校准规范2009-11-20发布 2009-12-01实施陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部HJ-P-059-2009 本规范签署人员编制:校对:审核:审定:标审:批准:发放单位及份数HJ-P-059-2009代替 HJ-P-059-96复合真空计校准规范1.范围本规范适用于使用中和修理后的指针式复合真空计的校准。
2.概述复合真空计由热偶计和电离计复合而成,是测量低真空和高真空压强用的通用仪器,适用于实验室及生产车间中使用。
在测量低真空时,是根据热电势与气体压强关系的原理,通过测量热电势的大小,间接的测量出气体压强的高低;在测量高真空时,是根据离子电流与气体压强的关系原理,通过测量离子电流的大小,间接的测量出气体压强的大小。
3.引用文件WZK-1A型 WZK-1AP型热偶电离真空计使用说明书FZh-1A型复合真空计使用说明书FZh-1型复合真空计使用说明书陕西华燕航空仪表有限公司质保部4.技术要求4.1外观质量仪器外观应良好,各开关、旋钮安装应牢固,转动灵活;指针式表头应无卡针、迟滞现象。
4.2测量范围低真空:13.3Pa~0.133 Pa高真空:0.133 Pa~6.65×10-6 Pa5.校准环境5.1环境温度:10℃~35℃,相对湿度:≤80%RH。
5.2供电电源:220 V±10%; 50H Z±1%。
5.3仪器附近无强的电磁场干扰,无剧烈震动,无腐蚀性气体。
6.校准项目及设备陕西华燕航空仪表有限公司质保部7.校准方法7.1用目力检查仪器的外观应无明显的缺陷;开关、按钮应安装牢固;仪器的接插件及连线应可靠连接。
7.2测量范围检查7.2.1热偶部分检查将未开封的热偶规管通过相应缆线与仪器连接,并使管座垂直向上,接通电源预热15分钟,调整加热电流至热偶管原始工作电流值,把加热电流开关或按钮打至测量位置,此时指示表头内读数即为热偶管内的真空度。
一、校对真空计1、热偶规ZJ—54D校零:要使热偶规工作在正常的状态下,就要对两个通道(前级、复合)进行初始化校零。
两个通道的校零方法相同。
比如首先对复合通道校零:a、用短路线将-INA+两孔短路(图右上部)将万用表拨到直流电压200mv档。
黑表笔按GND(图中上部)。
红表笔接TA1(图三中部)。
调整VT1(或面板上“大气—右”孔内电位器),使表的读数为-10mv。
b 、同理前级通道校零。
短路-INB+,用表测GND—TB1的电压,调整VT3(或面板上“大气—左”孔内电位器),使表的读数为-10mv即可。
2、校满热偶的最大输出为10mv,显示为1.0-1~1.1-1。
这时必须用校对仪对真空计两个热偶通道的满度进行精确校检。
a、用专用导线将校对仪与真空计复合计插头相联,用万用表直流电压200mv档,将表笔按正负方向接到-INA+测试点上。
旋动校对仪热偶规侧的两个电位器,使万用表指示10mv。
这时调整VT2,使复合显示窗口为1.1-1。
b、同理用导线联到前级通道的插头上,用表笔测-INB+测试点,调整校对仪电位器,使之达到10mv。
调整VT4,使前级窗口显示1.1-1即可。
3、校对电离规管(ZJ—10)a、①将校对仪热偶规专用导线联接到校对仪与真空计复合计插座上。
②将电离规导线联到真空计电离规插座上,并插入未切口的电离规管。
③将收集线将校对仪与真空计相联,并将真空计上自动/手动开关拨到手动位置。
b、开启校对仪和真空计电源开关,预热10分钟。
c、用万用表直流电压200mv档,把表笔按照其正负级联接到校对仪电离规侧的接线柱上调整设定电位器,使表的读数为120mv+10mv即可。
将波段开关拨到40MΩ档,这时真空计复合窗口应显示1.1-1,(真空计上的自动/手动开关在手动位置,复合计未转换到电离规上)。
将自动/手动开关拨到自动位置,复合窗口应显示4.0-4+0.1-4,同时电离规管亮。
如果不是这个数值,调整VT8(附图中部),使之达到4.0-4即可。
目录1、安全说明 (1)2、技术参数 (2)3、工作原理 (3)4、性能概述 (4)5、使用概述 (5)6、规管性能概述 (7)7、规管外形及安装 (10)8、真空计与规管连线 (12)9、真空计开机及显示说明 (13)10、真空计使用方法 (13)10.1电阻2单元使用方法 (13)10.2电阻1与电离复合单元使用方法 (15)11、真空计去气 (17)*12、控制功能及设定方法 (17)*13、控制输出 (18)*14、扩展功能 (20)机箱规格 (22)15、附录规管接口 (24)常见问题 (27)*号内容属选配功能说明,仅选配了此功能相应配置有效1、安全说明▲为确保该真空计的正常功能,使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命,请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。
·操作、维护和维修该真空计时,请遵守电气设备的安全规范。
′·避免大气压下开启电离规灯丝,这将烧毁电离规灯丝。
·避免真空系统或管道有真空时,强制拆卸规管。
·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管,应安装承受“正压”的规管。
·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极,以延长规管寿命。
·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。
·如未按本说明书操作,我们将不承担任何责任;有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。
该说明书使用符号说明:▲注意:表示必须遵循的信息,如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。
●表示重要的附加信息和技巧或建议。
炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利,而无需事先通知,产品及配件以实物为准。
2、技术参数2.1 电阻单元技术参数:·配用规管型号:ZJ-52T电阻规·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω)·真空度测量范围(对干燥空气或氮气)1.0×105~2.5×103可测范围。
精密型麦氏真空计使用方法真空计操作规程1、在抽气管内塞入的钢针及橡皮头均是用于防止真空计在运输途中水银流失用的,请在真空计安置之后,与真空系统相连时再作抽出(请别丢弃,以后送维护和修理时,还需塞紧1、在抽气管内塞入的钢针及橡皮头均是用于防止真空计在运输途中水银流失用的,请在真空计安置之后,与真空系统相连时再作抽出(请别丢弃,以后送维护和修理时,还需塞紧后寄回)。
2、对于您选择的挂壁或带杠杆式的真空计,接受罗栓作固定的安装时必需保证真空计与水平面的垂直度,接受支撑式或带杠杆的请将三根支撑杆一一拧上(杠杆式的在左侧还配有一根平衡杆),选择一个适合摆放支撑真空计的平台面,安置好真空计。
3、测量真空度时(a)以旋转手轮进行测量的,从真空计上方看手轮,顺时针旋转的是提升水银,旋转进度必需缓慢,当抽气管(也称比较管)中汞面升到SET设定处,再看右侧测量管中的汞面位置,其相对应的读数,即为系统的真空度,(b)以杠杆式测量的,左手按住平衡杆,右手将杠杆扳出并向下匀速掀下,让抽气管中汞面升至SE下设定处,(在极限真空时,汞面升到SE下设定处时,杠杆会自动地停留在这个位置),再看右侧真空度数。
(c)对于PM一6型真空计的读数,低真空的测量方式与a、b两种一样,左侧粗真空的测量方法是让右侧测量管中的汞面升到测量管下端的“0'位线,然后再看左侧比较管中的汞面所对应的读数,即为系统的粗真空度。
4、假如你的被测真空系统达不到5尸a以上的低真空度时,请选择壹台能抽到0.IPa以上的ZX或ZXZ型的真空泵对真空计单独进行一次真空排气,当真空计能显示出5pa的以上真空度数时,再让真空计与被检测的真空系统进行相互联接,若接受真空橡胶管相连的,请将胶管的长度缩短到50公分以内,当然,若真空计与真空系统配套的话,先用中6mm的优质紫铜管与真空计铜接嘴相互焊接,与真空系统之间配置一个可以掌控的阀门,它对真空计的使用寿命来说,会得到更的保障。
1、复合真空计使用说明1.1 主要性能:1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成.热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ-54D 热偶规和一支ZJ-10 电离规进行测量。
1.1.2 测量范围:热偶计:103Pa~10-1Pa复合计:103Pa~10-4Pa 。
其中电离规3.5Pa~10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口,可与带相应接口的计算机联机。
测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电:本复合真空计采用单相220V 交流供电。
电压范围:220V AC±10%;消耗功率:≤30W1.1.5 使用和储存环境:温度:5℃~35℃湿度:0~85 %严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。
严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸:宽×高×深=480×119×320重量:约7Kg1.1.7 出厂时规管引线均为5m。
最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。
屏蔽线与机壳相连,并接地。
1.1.9 电离规的启动方式:由面板上的自动、手动开关控制。
自动方式下,热偶规测量值<3.5Pa时接通,>4.0Pa 时关闭。
手动方式下,由面板上的二个ON和OFF按纽控制。
当真空度大于10Pa时,请不要打开电离规。
2.操作说明:本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后,真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。
没有接入规管或规管暴露在大气中时,都是显示103Pa。
复合计:分手动和自动启动方式,在面板上,设有电离规状态指示灯。
电离规关闭或没接或故障时,ZJ-10 指示灯亮。
在手动方式下,在没有接通电离规之前,若热偶规正常,则指示热偶规测量的真空值。
接通电离规后,显示的是电离规测量的真空度。
电离规测量值≥5.0Pa 时,自动关闭电离规灯丝。