FEI (飞利浦)旗下Phenom飞纳台式扫描电镜手册

Phenom 飞纳 台式扫描电镜
简易操作步骤
1. 装样
将制作完成的样品用专用镊子放入样品杯
调平：顺时针方向旋低样品杯，保证样品的最高点和样品杯口平面持平； 调低：继续顺时针旋低五个刻度，即样品下降2.5mm ；
插入样品杯，试样灯亮起，关闭舱门，舱门会自动锁上。

2. 观察
在光学模式下找到要观测的样品，然后点击切换到电子模式。

调焦，辅以亮度、对比度调节，由低倍到高倍依次调节，直至获得最清晰的图片效果为止。

3. 取图
建议“高倍聚焦，低倍拍照”，即在较高倍数下调节焦距，然后保持焦距不变，缩小放大倍数拍照取图。

在setting 界面设置图像的分辨率（resolution ）和图片质量(quality)，修改图片名称，返回image 界面后点击拍照即可。

4. 卸样
点击image 界面的退出样品图标
，点击“√”确定，可实现舱门自动解锁，
取出样品即可。

PHENOM TM台式扫描简明操作规程如何激活phenom当处于不活动状态1小时后，机子切换到待机状态。

电源指示灯呈橙色。

当处于72小时不活动状态时，机子进入省电模式，橙色电源灯开始闪烁。

■从待机或省电模式激活电脑：按电源控制按钮。

√在机子再次完全激活前，绿色电源指示灯会一直闪烁。

从待机状态激活需要大约4mim；从省电模式激活需要大约6min。

√机器立刻可以进行光学成像分析。

√进度条显示仍然处于正在苏醒中。

√沙漏图标显示苏醒正在进行中。

当载入试样时，触摸显示屏上的出仓按钮也可激活机器。

相见4.3载入试样。

试样的工作距离选择大部分试样应使用中工作距离（样品台旋下5-7mm即10-14格），其他的推荐使用长工作距离10-12mm。

不要使用短工作距离，目前发现的几次损害多是由于粉末样品距离太近碰到探头导致的。

试样的准备a.机器能够容纳的试样：直径25mm，高30mm。

b.严禁潮湿试样放入机器里面。

潮湿试样在真空下会放出气体。

这对成像能力造成严重问题，并且对机器造成永久性损坏。

在放入试样时务必将试样进行彻底干燥。

c.在试样放入机器中时，用压缩空气多次吹试样，确保试样中没有松散的颗粒。

d.务必将试样紧紧地固定在试样台上。

将试样从空气移动到真空可能导致松散的试样材料残留下来形成沉积物。

这些碎片能够形成柱状物，并且会歪曲电子束。

普通试样的制备在随后会有合适的说明。

这样可以获得更高质量的图像，并且减少维护。

制备试样时需要的工具：试样台（直径不超过25mm）；试样台夹；标准钳子；试样台盘；牙签（或其他可随意使用的尖锐东西）；这些工具之一即可：石墨乳（润滑剂）、银的涂料、或双面胶；更详细的试样制备过程请阅读操作手册。

其它试样的说明不能用石墨乳和银浆的试样，可以使用双面胶。

粉末试样粉末颗粒包括但不限于粉末、花粉、小铁屑、硅藻材料和其他粉尘状物质。

1、为了准备颗粒试样，先将双面胶粘在光的试样台上。

2、挑一根牙签、镊子或其他带尖的东西，弄一点颗粒试样在尖端。

FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品PHENOM TMG2飞纳台式扫描电子显微镜第二代数秒之内，遍览微观世界飞纳将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的便捷操作，详情请咨询Phenom World BV中国公司：复纳科学仪器（上海）有限公司本文由深圳易商仪器有限公司/提供！数秒之内，遍览微观世界>>> 数秒之内，遍览微观世界现在，Phenom-World B.V.向您隆重介绍第二代Phenom(飞纳)台式扫描电镜：Phenom G2和电镜能谱一体化的Phenom proX。

Phenom(飞纳) G2和proX 采用全新的硬件及软件架构，在继承了前代快速成像、简单易用等优点的同时，为您提供更加卓越的图像质量和精确的元素分析功能。

FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品01 自2007年美国FEI 公司发布第一代Phenom(飞纳)台式扫描电镜以来，Phenom(飞纳)因其卓越的图像质量、30秒超快成像速度、简单易用的操作界面以及接近光学显微镜的超值价格，成为诸多科学家及工业研究人员的首选显微成像工具。

2009年，为了进一步促进Phenom(飞纳)台式扫描电镜的研发，FEI 公司与国际知名的NTS-Group 公司、Sioux 嵌入式系统公司合作，成立Phenom-World B.V.公司，专门从事新一代Phenom(飞纳)的研发生产。

Phenom G2包含两款： 专业版 G2 pro 标准版 G2 pure 主要参数:产品主要特点:◎高质量的图像◎30s 快速成像◎操作简便，结合控制旋钮和触摸显示器便可获得 高倍SEM 图像◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝(1500 h)◎自动灯丝对中，自动聚焦◎图像亮度、对比度自动调节◎光学与低倍电子双重导航，想看哪里点哪里◎直接观测绝缘体，无需喷金◎兼得样品表面形貌与成份信息◎防震设计，对放置环境无特殊要求◎丰富的拓展模块：全景图像拼合、3D 粗糙度重 建、纤维测量系统......◎多功能样品杯选件：控温样品杯（-25~50℃）、 自动倾斜/旋转样品杯、降低荷电效应样品杯......0220-120x (G2 pro)20x (G2 pure)80-45,000x (G2 pro)70-17,000x (G2 pure)<25nm (G2 pro)<30nm (G2 pure)5 kV <30s四分割背散射电子探测器台式电脑大小普通实验室或办公室、厂房光学显微镜：电子显微镜： 分 辨 率：加速电压：成像时间：探 测 器：主机体积：放置环境：新一代电镜能谱一体化Phenom proX 台式扫描电子显微镜电镜主要参数光学显微镜：电子显微镜：分辨率：探测器：加速电压：成像时间：主机体积：放置环境：20-120x 80-45,000x <25nm四分割背散射电子探测器5kV、10kV、15kV <30s 台式电脑大小普通实验室或办公室能谱仪主要参数探测器类型：硅漂移探测器（SDD）冷 却 方 式：无液氮Peltier 效应电制冷探测器晶体活性面积：25mm 2能量分辨率：<137eV（Mn Kα） X 射线分析模式：15kV元素探测范围：Boron（5）-Uranium（92）FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品>>> 数秒之内，遍览微观世界032012年Phenom Word BV公司推出了全世界第一款电镜能谱一体化台式扫描电镜Phenom proX系统 。

扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。

本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。

二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。

2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。

3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。

4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。

三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。

2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。

3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。

4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。

5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。

6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。

7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。

8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。

四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。

2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。

3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。

4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。

5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。

6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。

五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。

浅析fei扫描电镜的工作方式和操作流程fei扫描电镜是一种高分辨率的电子显微镜，它利用电子束而不是光束来形成图像。

下面是fei扫描电镜的工作方式和操作流程的概述。

1、准备样品：首先，需要准备要观察的样品。

样品通常需要被切割、研磨、涂覆导电材料或冷冻处理等预处理步骤，以便在FE-SEM中进行观察。

样品也可以是固体、粉末、薄片、纤维等不同形式。

2、投射电子束：电子枪生成高能电子束。

这个电子束通过一个称为“透镜系统”的装置来控制和聚焦。

透镜系统由多个磁透镜组件组成，用于聚焦和形成非常小的束斑。

3、扫描样品表面：样品放置在一个可移动的样品台上。

样品台可以水平和垂直移动，以便对样品进行精确定位。

一旦样品定位正确，电子束开始在样品表面上进行扫描。

4、探测信号：当电子束照射到样品表面时，与电子相互作用的产生多种信号。

常见的信号包括二次电子和反射电子。

这些信号被称为“显微镜图像”，可以提供关于样品表面形貌、元素分布或晶体结构等信息。

5、接收和处理信号：使用一系列探测器来接收不同类型的信号，并将其转换成电子图像。

例如，二次电子探测器用于产生样品表面形貌图像，而反射电子探测器用于获取更深入的信息，如材料的组成和晶体结构。

6、形成图像：接收到的信号经过放大、滤波和数字化处理后，传送到显示器上形成图像。

通过调整扫描参数(如电子束能量、聚焦、扫描速度等)，可以获得所需的图像对比度和分辨率。

7、分析和解释图像：一旦获得了图像，研究人员可以对图像进行进一步的分析和解释。

他们可以观察样品的微观结构、孔隙性质、晶体取向等，并根据需要进行定量测量和形态分析。

8、数据记录和保存：FE-SEM通常配备有数据记录和保存的功能，可以将观察到的图像和相关信息保存在计算机或其他储存设备中。

这样，研究人员可以随时回顾、比较和分享结果。

fei扫描电镜广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术等领域，帮助研究人员获得高分辨率的表面形貌和微结构信息。

操作需要一定的专业知识和技能，以确保样品的准备和操作步骤正确无误，并获得可靠和准确的显微图像。

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Specifications and prices are subject to change without notice. All rights reserved. Reproduction, copying, usage, modifying, hiring, renting, public performance, transmission and/or broadcasting in whole or in part is prohibited without the written consent of Phenom-World BV.Find your Phenom-World contact information at B R 00101W W v 1.3。

扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。

确保样品具有足够的稳定性和导电性。

2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。

3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。

4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。

5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。

6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。

7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。

8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。

9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。

三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。

2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。

3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。

4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。

5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。

四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。

2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。

如需要，请更换老化的组件。

3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。

4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。

5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。

扫描电镜使用技巧 Get，有机颗粒样品分析有妙招飞纳台式扫描电镜颗粒统计分析测量系统（Phenom Particle Metric），简称颗粒系统，由荷兰Phenom-World 公司发布于2013 年11 月。

颗粒系统通过颗粒与背景衬度的差异对颗粒进行图像识别，在获取SEM 图像的同时可以获取所有颗粒的形貌数据，例如直径、等效面积、等效体积、圆度等。

并且可以将这些数据进行统计。

颗粒探测范围：100 nm - 0.1 mm，颗粒探测速度高达1000 颗/分。

图1. Phenom Particle Metric 配置图在实际操作过程中，颗粒与背景元素差异大的颗粒可以很好的识别，但由于图像识别技术局限性，如颗粒与背景元素差异较小，例如有机颗粒，则软件难以进行有效识别，在这种情况下，我们可以采用喷金的办法人为创造出黑色颗粒边界，从而增加软件识别的准确性。

粘在导电胶表面的颗粒与导电胶之间形成空隙区，如图2 右上所示，在喷金过程中，此孔隙区无法被金覆盖。

喷金完成之后，结构示意图如图3 所示。

此时在SEM 视图下，可以清晰看到颗粒边缘的黑色边界，图4 为颗粒在喷金后阴影边界与颗粒识别案例。

识别结果证明适当喷金有利于提升颗粒系统识别的准确性。

而喷金多少呢？我们通过实践总结规律得出，喷金厚度为颗粒尺寸5 ~ 10% 范围内，可以有效增强颗粒系统识别的准确性。

图2. 颗粒样品喷金过程示意图图3. 颗粒样品喷金结果示意图图4. 喷金后阴影边界与颗粒识别案例在拍照过程中，应注意调节图像的亮度/对比度，如亮度对比度都较低，则容易造成软件识别率下降，如图5 所示。

因此，我们在实际操作过程中，可适当增大亮度，增大对比度，待颗粒周围出现明显黑色边缘时，尚可开展颗粒系统统计，如图6 所示。

图5. 亮度对比度偏小，造成识别率较低图6. 亮度对比度合适，识别率较高。

飞钠电镜操作规程飞钠电镜（FIB-SEM）是一种结合了离子束刻蚀和扫描电子显微镜技术的先进仪器。

它可以在纳米尺度下观察和加工样品，因此在材料科学、纳米科学和生命科学等领域广泛应用。

为了保证操作的安全和正常进行，下面是飞钠电镜的操作规程。

1. 飞钠电镜的安全注意事项：- 飞钠电镜是一台复杂的设备，请严格按照操作规程进行操作，操作前应进行相关培训和指导。

- 在操作过程中，要避免对人身造成伤害。

戴上个人防护装备，如实验室白大褂、手套、护目镜等。

- 确保实验室有良好的通风系统，并在操作过程中注意防尘和防化学品溅出。

遵守实验室安全操作规范和化学品安全操作规程。

- 注意保持工作区域整洁，放置有序，避免拥挤和混乱。

- 不允许任何不必要的进口和出口，以保持操作环境的干净和安全。

2. 飞钠电镜的操作流程：- 准备样品：将待观察的样品固定在样品台上，并保证样品平整。

根据分析目的选择合适的显微镜参数和样品导航方式。

- 真空系统：启动飞钠电镜前，先启动真空系统，并排除任何漏气问题。

确保真空度达到规定的要求。

- 离子束操作：根据需要，选择合适的离子束参数进行离子束刻蚀或刻蚀修整。

可以使用离子束抛光等技术来精确制备样品表面。

- 扫描电子显微镜操作：切换到扫描电子显微镜模式，调整电子束参数（如电流、放大倍数等），使得样品表面能够清晰地被观察到。

- 数据收集和分析：使用扫描电子显微镜记录图像和数据，可以采用断层扫描和三维重建等技术来获取更详细的信息。

- 结束操作：实验结束后，要关闭所有设备，并进行必要的清洁和保养。

3. 飞钠电镜的日常维护：- 每次使用结束后，要清理仪器，包括离子束和电子显微镜部分。

使用吹风机或无尘布轻轻清理，避免损坏仪器。

- 定期检查仪器的真空系统，确保其正常工作。

如果出现问题，及时联系维修人员进行维护。

- 注意保持仪器的稳定温度和湿度，避免在潮湿或过热的环境中使用。

以上是针对飞钠电镜的操作规程。

在操作飞钠电镜时，严格遵守安全规程，按照操作流程进行操作，做好日常维护工作，可以保证飞钠电镜的正常运行和样品的准确观察与加工，同时也能保证操作人员的安全。