微型元件量产
年后微型元件量产迅速发展起来, 从1990年后微型元件量产迅速发展起来,目前,生产中多用 年后微型元件量产迅速发展起来 目前, 电脑控制,可自动,大批量生产. 电脑控制,可自动,大批量生产. 德国某陶瓷材料研究中心( 德国某陶瓷材料研究中心(Ceramic Laboratory at the Institute for Materials Research at the Research Centre in Karlsruhe)建立了微装配系统,能满足传送,装配,测量, )建立了微装配系统,能满足传送,装配,测量, 调试等工序,其中一个主要部件工具变换系统,包含多个工位, 调试等工序,其中一个主要部件工具变换系统,包含多个工位, 其压电平台可覆盖100 m×100 m,分辨率达 其压电平台可覆盖 × ,分辨率达1nm.日本也利用 . 压电瓷驱动器,制出精密定位系统及显微滑座,分辨率25nm,定 压电瓷驱动器,制出精密定位系统及显微滑座,分辨率 , 位误差小于0.2 m. 位误差小于 . 国际上已经发展出一些结构部件,如显微光学,显微驱动, 国际上已经发展出一些结构部件,如显微光学,显微驱动,显 微流动,显微医疗等以及微型泵,微混合器,吸附器, 微流动,显微医疗等以及微型泵,微混合器,吸附器,微型反应 器等,并实现连续生产. 器等,并实现连续生产. 微型技术中所用的陶瓷材料主要为压电铁电等功能陶瓷, 微型技术中所用的陶瓷材料主要为压电铁电等功能陶瓷,但也 常涉及氧化铝瓷,氧化锆瓷及羟基磷灰石瓷等. 常涉及氧化铝瓷,氧化锆瓷及羟基磷灰石瓷等.
高温超导基片
目前,我国高温超导技术已奠定了较好的基础,其中, 目前,我国高温超导技术已奠定了较好的基础,其中,钇系 块材料已成功地应用于世界首辆高温超导磁悬浮列车. 块材料已成功地应用于世界首辆高温超导磁悬浮列车.虽然我国 铋系和钇系超导材料实现了批量化生产,但针对不同的应用, 铋系和钇系超导材料实现了批量化生产,但针对不同的应用,其 性能仍需进一步提高. 性能仍需进一步提高.