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喷雾热解法制备的γ-Gd2S3薄膜的物性研究

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喷雾热分解法制备ITO薄膜及其光电性能研究

喷雾热分解法制备ITO薄膜及其光电性能研究

ｉ ｆ ｍ ｒ ７ ａ ｄ ３ ７ １ ／ ｒ ｓ ｅ ｔ ｅｙ ｌ ｗｅｅ ９ ％ ｎ ８ ５２ Ｄ， ｅ ｐ ｃ ｉ ｌ ． ｖ
Ｋｅ ｗｏ ｄ ：ｓ ｒ ｙ ｐ ｒｌ ｓｓ Ｉ Ｏ ｔ ｉ ｌ ｐ ｏｏ ｌ ｃｒ ｒ ｐ ｒ ｅ ｙ ｒ ｓ ｐ ａ ｙ ｏ ｙ ｉ； Ｔ ｈ ｎ ｆ ｍ； ｈ ｔｅ ｅ ｔ ｃ ｐ ｏ ｅ ｉ ｓ ｉ ｉ ｔ
收稿 日期 ：０ １０ — ３ ２ １－ ８ ２ 基金项 目： 北京市教育委员会科技发展计划资助项 目
（ Ｍ ０ １０ ７ ０ Ｋ ２ １ １０ ０ ４）
ｗ ｒ ｓｆ ｌ ｗｉ ｇ ｔ ｅ ｓ ｂ ｔａｅ ｔ ｍｐ ｒ ｔ ｒ ｓ ３ ０Ｃ， ｈ ａｒｅ ａ ｏ ｆ ｈ ｉ ａ Ｌ。 ｎ ， ｈ ｎ ｅ ｌ ｇ ｔｍｐ ｒ ｅ ｅ ａ ｏｌ ｎ ： ｈ ｕ ｓｒ ｔ ｅ ｅ ａｕ ｅ ｉ ０ ￣ ｔ ｅ ｃ ｒ ｒｇ ｓｆ ｗ ｏ ｅ ａｒｗ ｓ １ ｍｉ ～ ｔ ｅ ａ ｎ ａ ｉ ｅ ｅ － ｏ ｉ ｌ ｔ ｎ
第 ９卷第 ２期 ２１ ０ ２年 ４月
纳米加 工 工艺
Ｎａ ｏ ｐ ｏ ｅ ｓｎ ｅ ｈ ｉ ｕ ｎ — ｒ ｃ ｓ ｉｇ Ｔ ｃ ｎ ｑ ｅ
Ｖｏ ． ． １ Ｎｏ２ ９
Ａｐ ｌ２ ２ ｉ ｒ ０１
喷雾热分解法制备 Ｉ Ｏ薄膜及其 Ｔ 光电性能研究水
周 洋，武光 明，高德 文 ，邢光建 ，朱艳 英 ，张志乾 ，曹阳
３ ７ １ ／３ ８ ５ － Ｅ。 １
关键词 ：喷雾热分解 ；ＩＯ Ｔ 薄膜 ；光电性能 Ｐｒ ｐ ｒ ｔｏ ｆＩ ｅ ａ ａ ｉｎ ｏ ＴＯ ｉ ｌ ｓｂ ｐ ａ ｙ ｏ ｙ ｉ ａ ｄ Ｔｈ ｎ Ｆｉ ｙ Ｓ ｒ ｙ Ｐ ｒ ｌ ｓｓ ｎ ｍ
ｉｓＰｈｙ ｉ ａ ｏ ｒ ｉｓ ｔ ｓｃ ｌＰｒ ｐｅ ｔｅ

喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3：Eu荧光粉的研究

喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3：Eu荧光粉的研究
维普资讯
第２ ５卷
Ｖ １２ ｏ．５
第 ２期
Ｎ ２ ｏ．
中 国 稀 土 学 报
Ｊ ＯＵＲＮＡＬ ＯＦＴＨＥ ＣＨＩ ＮＥＳ Ｅ ＲＡＲＥ ＥＡＲＴ Ｓ Ｉ ＴＹ Ｈ ＯＣ Ｅ
２０ ０ ７年 ４月
Ａｐ ｒ．２ ０ ０ ７
作者简介 ： 邓新荣 （９ ６ ， ，江西黎川人 ， １７ 一） 男 博士研究生
于 合成 多组分 复合 氧化 物粉体 材料 ，如 ：ＹＯ ：ｕ Ｅ ， Ｇ ２３Ｅ ，Ｂ Ｍｇ １Ｏ７Ｅ ｄＯ ： ｕ ａ Ａ ： ｕ等 Ｊ Ｊ ｏ １ 。本 文 采 用 喷
雾 热解法 合 成 （ Ｙ，Ｇ ） Ｏ ： ｕ荧 光 粉 体 材 料 。重 ｄ Ｂ Ｅ 点讨 论 了制 备 条件 特 别 是 后 处 理 温 度 和 硼 酸 的用 量 对最终 产 物 的结 晶 、颗 粒 形 貌 以及 发光 性 能 的
影 响 ， 与 常规 固相 反 应方 法 制 备 的样 品进 行 了 并
比较 。
Hale Waihona Puke 到（ ， ｄ Ｂ ３Ｅ 粉体 。 Ｙ Ｇ ）Ｏ ：ｕ
１ ３ 分 析测试 ．
１ 实 验
收稿 日期 ：２０ ０ ６—０ ５—０ ； 订 日期 ： ０ ６一ｌ —３ ８修 ２０ １ Ｏ
（ Ｇ ） Ｏ ：ｕ样 品 的 形 貌 特 征 分 析 采 用 日 Ｙ， ｄ Ｂ Ｅ
等离子 体显 示板 （Ｄ ） Ｐ Ｐ 被认 为是数 字信 息领域
１ １ 试剂 与仪器 ．
最有应用前景 的大平 面显示器 ， 是大屏幕挂壁彩
色 电视 的首 选 。因 （ Ｙ，Ｇ ） Ｏ ： ｕ荧 光 粉 在 真 空 ｄ Ｂ Ｅ
试剂为光谱纯级 ＹＯ ， ｄＯ 和 Ｅ ３ Ａ Ｇ ３ ｕＯ ， Ｒ级

超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究

超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究

摘 要
采 用超 声喷 雾热 分解 法 ， 室温 下在玻 璃 衬 底上 沉 积 了 Ｎ Ａ 共 掺 杂 的 Ｐ Ｚ Ｏ 薄膜 。采 用 Ｘ Ｄ —ｌ 型 ｎ Ｒ
和 Ｓ Ｍ 测试手段 对 薄膜进 行 了晶体结 构和表 面形 貌 的表征 ， Ｅ 结果表 明所制 备 的 薄膜 为六 角 纤锌 矿 结构 的 Ｚ Ｏ ｎ 薄膜 ， 面均 匀， 表 结构 致 密 ， 有 强烈的 呈 Ｃ 垂直 于衬 底 的 （０ ） 具 轴 ０ ２ 择优 取 向。对 薄膜 进 行 了电 学测试 和 光 致发
光性 ￣ ａ 试 ， 对薄膜 的光 致发光 性能进 行 了研 究。 ｇ＇ 并 ｌ
关 键 词 ＺＯ Ｐ ｎ 型传导 喷雾热分解 ＇＿ ｌ ＮＡ 共掺 光致发光
文献标识码 ： Ａ 中 图分 类 号 ： ８ ０４４
Ｇｒ ｗｔ ｎｄ Ｐｈｏ ｏ ｕ ｉ ｅ ｃ ｎｃ ｆ Ｐ ｔ ｐｅ Ｚｎ ｂ ｔ ａ ｏ ｉ ｐ ａ ｒ ｌ ｓ ｓ ｏ ｈａ ｔ ｌ ｍ ｎ ｓ ｅ ｅ ｏ —ｙ Ｏ ｙ Ｕｌｒ ｓ ｎ ｃ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ
共掺 杂法 ｌ １ 。通 过与 Ⅲ族元 素共 掺 杂可 以进 一步 提 高 Ｎ 的
固溶度 。因此 ， Ｎ掺 杂和 Ｎ一 Ⅲ族元 素共掺 杂 已成为 目前获得
ｐ型 掺 杂 的主 要 途 径 ｌ 。 目前 ， 关 Ｚ Ｏ 的 Ｎ— ＿ 、 ８ 有 ｎ Ｇａｇ Ｎ— ｊ Ｉｌ 和 Ｎ— ［３ 掺 的研究 都有 报道 。 ｎ１ 胡 Ａ１４ １共
超 声喷 雾热分 解法制 备 Ｐ型 Ｚ Ｏ 多晶 薄膜及 其光 致发 光性 能研 究／ ｎ 郑春蕊
・ ５ ３・
超 声 喷 雾 热分 解 法 制备 Ｐ型 Ｚ Ｏ 多晶薄 膜 及 其光 致 发 光性 能研 究 ｎ

甩胶喷雾热分解法制备ITO薄膜及光电性能研究

甩胶喷雾热分解法制备ITO薄膜及光电性能研究
ｃ ｒｉｒ ｇ ｓ ｆｏ ｏ ｈｅ ｉ ｓ Ｌ／ ｉ ｔ ｅ ｔｍ ｉｉ ａ ｅ ｆｔ ｓ ｌ ｔｏ ｓ ０．ｍ ｌｍｉ ，ａ ｇ ｐａｔｃｅ ｖ ｌｃｔ ｓ ａ ｒｅ ａ ｌｗ ｆ ｔ ａｒ ｗａ ７ ｒ ｎ ｈ ａｏ ｚｎｇ ｒ ｔ ｏ ｈｅ ｏ ｕ ｉｎ ｗａ ２ ／ ｎ ｎｄ ｆ ｒｉ ｌ ｅｏ ｉｙ ｗａ ａ ｏ
０ ｍ／ ｉ、雾粒速 度３ ｍ ｓ 薄膜 的沉积 时间为 ５ ｉ，薄膜 厚度 约 １０ｎ ． ｌ ｎ ２ ｍ ．／ ５ 。 ｍｎ ００ｍ，最低 电阻率 为
０７ ＂０ Ｑ・ｍ，薄膜 在 可 见 光 范 围 （ 长 在 ４０ ７ ０ ｍ 内平 均透 光 率 为 ８．％。衬 底 温 度在 ．５ １一 ｃ 波 ０ — ０ｎ ） ７２
ａ ｔ ｎｄ ｉｓ Ｐｈｙ ｉ ａ ｏ ｒ ｉ ｓ ｓｃ ｌＰｒ ｐｅ ｔｅ
ＴＯＮＧ ｈ ｉ， Ｗ Ｕ ａ ｇ Ｓ ｕａ Ｇｕ ｎ —ｍｉ ｇ ， ＺＨＵ ｎ ｙ ｎ ３ ＺＨＡＮＧ ｉ ｑ ａ ｎａ Ｙａ — ｉ ｇ ， Ｚｈ － ｉ ｎ ，
Ｙ ｉｇｊ Ａ ｈ ａｇ ＡＮＢｎ－ｉ ，Ｃ ＯＣ ｕｎ２ ａ
２ ０Ｃ ０ ｏ以上 时呈现 立 方相 结构 。
关键词： 甩胶喷雾热分解法；ＩＯ Ｔ 薄膜 ；光电性能
Ｐｒ ｐ ｒ ｔｏ ｆＩ ｅ ａ ａ ｉ ｎ ｏ ＴＯ ｉ ｉ ｓｂ ｐ ｎ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ Ｔｈ ｎ Ｆ ，北 京 １０２） １ ￣ｒ － ００９ （． 北京 石 油化 工学 院 ，北京 １２ １） ２ ０６７ （． 北 京理 工 大学 ， 北京 １０８） ３ ０ ０１
摘 要 ： 按Ｉ ： （ 质 的 量 比） ＝ ：， ＩＣ ４ ｎＳ 物 ｎ ９１ ｎ １ Ｈ Ｏ和Ｓ Ｃ４５ ： ・ ｎ １＂Ｈ Ｏ为前 驱 物 ，采 用 自制 甩胶 喷 雾

喷雾热分解法合成BaTiO_3超细粉末及其形貌控制

喷雾热分解法合成BaTiO_3超细粉末及其形貌控制
李 启厚 一 高 宇波 刘 志 宏 刘 智 勇 李 玉虎
（ 中南 大 学 冶金 科 学 与 工 程 学 院 ， 沙 长 ： 以 钛 酸 四异 丙 酯 （ ＴＰ 及 醋 酸 钡 为 前驱 体 ， 用 超 声 喷 雾 热 分 解 法 制 备 了钛 酸钡 超 细 粉 体 。 在 分 Ｔ Ｉ） 采
ｅｆｃ ｆｄ ｆｅｅ ａ ａ ｔｒ ｎ ｔ ｅ ｈａａ ｔｒｓｉｓ ｏ ｅ ｕ ｔｎｔｐａｔｃ ｅ ｓ ｉ ｖ ｓｉ ａｅ ｓ ｓｅ ｔ ａｌ ． Ｔｈ ｅ ｕｌ ｆｅ ｔｏ ｉｆｒ ｎｔｐ ｒ ｍｅｅ ｓ ｏ ｈ ｃ ｒｃｅ ｉｔｃ ｆｒ ｓ ｌａ ｒｉｌｓ ｗａ ｎ ｅ ｔｇ ｔｄ ｙ ｔ ｍａｉ ｌｙ ｃ ｅｒｓ ｔ ｓ
第 ２ 卷 第 ４期 ８ ２１ ０ ０年 ８月
粉 末 冶 金 技 术
Ｐｏｗｄｅ ｅ ａ ｌ ｒ ｙ Ｔｅ ｈｎｏ ｏ ｒ Ｍ ｔ ｌｕ ｇ ｃ ｌ ｇｙ
Ｖｏ． ８，Ｎｏ ４ １２ ． Ａｕ ． ０１ ｇ２ ０
喷雾 热分 解 法合 成 Ｂ ＴＯ ａ ｉ３超 细 粉末 及 其 形貌 控 制
析 了 ＢＴＯ ａｉ 粉体 喷雾 合 成 机 理 的 基 础上 ， 察 了 反应 温度 、 驱 体 溶 液 浓 度 、 液 流 量 和 载气 流 量 等 工 艺 参 考 前 溶 数对 粉 体 粒 度 和 形 貌 的影 响 。结 果 表 明 ： 应 温 度 、 驱 体 溶 液 浓 度 、 液 流 量 及 载 气 流量 与产 物 颗 粒 的 粒 度 反 前 溶
ｓ ｏ ｔａ ａ ａ ｔｒ ｕ ｈ ｓｔ ｍｐ ｒ ｔ ｅ， ｅ ｕｒｏ ｏ ｕｉ ｎ ｏ ｅ ｔａｉｎ， ｓ ｌ ｉｎ ｆ ｅ ｒｔ ｈ ｗ ｈ ｔｐ ｒ ｍｅｅ ｓｓ ｃ ａ ｅ ｅ ａｕｒ ｐｒｃ ｓ ｒｓ ｌ ｔｏ ｃ ｎｃ ｎ ｒ ｔ ｏ ｏｕｔ ｅ ｄ ａ ｅ， ａ ｃ ｒｉｒ ｇ ｓ ｌｗ ｏ ｎｄ ａｒｅ ａ ｆｏ ｒｔ ｒ ｌｓ ｌ ｅａｅ ｏ ｔ ｅｐａ ｉｌ ｉｅ ａ ｄ ｄ ｓｒｂ ｔｏ ａｅａ ｅ ｃｏ ｅｙ ｒ ｌｔｄ ｔ ｈ ｒ ｃｅ ｓｚ ｎ ｉｔｉ ｕ ｉｎ，ｄｅ ｓｔ ｔ ｎｉ ｙ，ｓ ｅ ｉｉｙ，ｐ ｉｙ，ｅｙ ｔ ｌ ｎ ｔ ｆｂ ｒｕ ｔｔｎ ｔ ｐｈ ｒｃｔ ｕｒｔ ｒ ｓａｌ ｉｙｏ ａ ｉｍ ｉ ａ ｅ ｉ ａ ｐ ｒｉｌｓ Ｓ ｅ ｉａ Ｔ Ｏ３ｐ ｗｄ ｒ ｔ ｎ ａ ｅ ａ ｅ ｓｚ ｆ２． ｍ ，ｕｎｆ ｒ ｓｚ ｓｒｂ ｔｏ ａｔｃ ｅ ． ｐｈ ｒｃ ｌＢａ ｉ ｏ ｅ ｓｗｉｈ ａ ｖ ｒ ｇ ｉｅ ｏ ４１ ｘ ｉｏ ｍ ｉｅ ｄｉｔｉ ｕ ｉｎ，ｇ ｏ ｒｓａｌｎ ｔ ｎ ｏ ｄ ｅｙ ｔｌｉｉｙ ａ ｄ ｆ ｗ ｓ ｌ ａ ｄ ｅ ｈｅｌ ｎ ｈｏｅ ｃ ｎ ｓ ｌｓ ａ ｂｅ ｂ ａｎ ｄ ｎｄ ｒ ｈ ｅ ｐｅｉ ｎ ａ ｃ ｎｄｔｏ ｏ ｒ ａ ｔ ｒ ｅ ｐ ｒｔ ｒ ９ ｏ ｔ ｉｅ ｕ ｅ ｔｅ ｘ ｒｍｅ ｔｌ ｏ ｉｉｎ ｆ ｅ ｃ ｏ ｔｍ ｅ ａｕ ｅ ００￣ ， ｐｒｃ ｒｏ Ｃ ｅ ｕｓｒ ｓ ｌｔｏ ｏ ｃ ｎ ｒｔｏ ．１ ｏ／Ｌ，ｓ ｌ ｉｎ ｆｏ ｒｔ ｍｌ ｏｕ ｉｎ ｃ ｎ ｅ ｔａ ｉｎ ０ ｌ ｍ ｏｕｔ ｗ ａｅ ２ ／ｍｉ ｎｄ ｃ ｒｉｒｇ ｓｆｏ ａｅ ／ｍｉ ｏ ｌ ｎ ａ ａ ｒｅ ａ ｌ ｗ ｒ ｔ２Ｌ ｎ． Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｄｓ：ｓ ｒ ｙ ｐ ｒｌ ｓｓ ｐ ｏ ｅ ｓ；ｂ ｒｕｍ ｉ ｎ ｔ ａ ｔｃｅ ｐ ａ ｙ ｏｙ ｉ ｒ ｃ ｓ ａｉ ｔｔ ａ ｅ ｐ ｒｉｌｓ；ｍ ｏ ｈ ｌｇ ｏ ｔｏ ａ ｐ ｏｏ ｙ ｃ ｎｒ ｌ

喷雾热解法制备SnO2薄膜的结构及性能研究

喷雾热解法制备SnO2薄膜的结构及性能研究

时 ， 电阻 率 反 而 升 高 ；从 图 Ｉ 还 可 以看 到 薄膜 在 ｝ Ｊ 根据在 线生产 镀膜 玻璃 的特 点 ，本研 究 以无机 ５ ０℃后 电阻率 随载流 子浓 度 的变 化 不人 ，保 持在 ０ 金属 盐Ｓ ＣＩ・ Ｈ Ｏ和 Ｔ业 乙醇 为原料 ，配￥ Ｓ Ｏ ｌ 个 ／ 。 ｌ 个 ／ ，温 度 继 续 升 高 后 电阻 率 下 ｎ ２ ２ ￣ｎ ２ Ｊ ０ ｍ ～ ０ 。 ｍ 溶胶 ，作 为低辐射 玻璃 的喷涂液 ，首 先将一 定量 的 Ｓ ＣＩ ２ ： ｎ ・ Ｈ Ｏ按物质 的量 比ｌ： ０ 于 乙醇 ，然后在 ３溶 ６ ０℃下搅 拌 ，最 终 得 到浅 黄色 澄 清 透 明 的Ｓ ２ ｎ 溶 Ｏ 胶 。在Ｔ燥 箱 分 别将氯 化锑 、三氟 乙酸 与无水 乙 醇 混合 、搅 拌 ｌ ｎ，然 后 各 自按一 定 比例 加 入 ０ｍｉ
种 比较 理 想 的低 辐 射 膜 Ｊ 。
透 过 率 ，通 过 型 号 为Ａｍｒｙ１ ０ 的扫 描 电子显 微 ａ ０ ０ 镜 观 察 薄 膜 的表 面 形 貌 ，采 用 ｖ ｉｄ ｒ ａ ｗ法 ， ａ ｅ ｕ ｌ ０ ＨＥ （ ｌＥ ｆ ｔ６ ４ 测 试 仪 测 定 霍 尔 系数 ：薄 ＭＳＨａｌ ｆ ｃ７ Ｏ １ ｅ
、 ０ ．８ Ｎ Ｏ２ １ ． １ Ｄ ｅ ．２ ０ ｃ ０ ８
喷雾 热解 法 制备 Ｓ Ｏ 薄膜 的结构 及 性 能 研 究 ｎ ２
郅 晓 ，赵高扬 ，雷静果 ，张生国
（． １ 西安理 工大学 材料科 学与 工程 学院，陕西 西安 ７０ ４ ； ． １０ ８ ２洛阳理工学院 材料 科学与工程 系， 河南 洛阳 ４ １２ ： ７ ０３
基 金项 目： 国家 自然科 学基金 项 目《００ ０ ９； ９ ４ １ ０）河南省安全 图１ 温度对Ｓ Ｏ！ ｎ 薄膜电阻率、载流子浓度和迁移率的影响

喷雾热分解法制备TiO2薄膜及光催化性能的研究


ＷＵ Ｇ ａ ｇ ｍｉｇ Ｘ Ｎ ｕ ｎ －ｉ ， Ｉ Ｎ ｉＨＡ ｉ， Ｕ ｅ ｐ ｎ ｕ ｎ － ｎ ， Ｉ Ｇ Ｇ ａ ｇ ｊ ｎ ＪＡ Ｇ Ｗｅ， Ｎ Ｂｎ Ｓ Ｎ Ｄ — ｅ ｇ ａ
（ｅ ｉ ｓｔｔ ｏ ｅｒｃ ｅ ｉａ Ｔ ｃ ｎ ｌ ｙ Ｂ ｉｎ １ ２ １ ， Ｃ ｉａ Ｂ ｉｎ Ｉ ｔｕｅ ｆ ｔ ｈ ｍ ｃｌ ｅｈ ｏｏ ， ｅ ｉｇ ｊｇ ｎ ｉ Ｐ ｏ ｇ ｊ ０ ６ ７ ｈｎ ） 一
能， 究了薄膜性能和制备条件之间的关系， 研 从而为制备高质量薄膜提供一定的理论指导。
关键 词 ： 雾热解 法 ；ＴＯ 薄膜 ；光催 化 喷 ｉ２
Ｓ ｕ ｙ ｏ ｈ ｔ ｃ ｔ ｌ ｓｓＰ ｏ ｅ ｔ ｓ ａ ｄ Ｐ ｅ ａ ａ ｉ ｎ ｏ ｔ ｄ ｆＰ ｏ ｏ ａ ａｙ ｉ ｒ ｐ ｒｉ ｎ ｒ ｐ ｒ ｔ ｆ ｅ ｏ Ｔｉ ｈ ｎ Ｆｉ ｙ Ｓ ｒ ｙ ｐ ｒ ｌ ｓｓ Ｏ２ｔ ｉ ｌ ｍｓｂ ｐ ａ — ａ ａ ｙ ｉ
来 发 现 ＴＯ 薄 膜 材 料 所 具 有 的 高 的 光 催 化 氧 化 ｉ
定配 比的前 驱体溶液雾 化成微米级 的气溶胶液 滴， 用载气夹载雾滴到高温热分解炉中， 经过干燥 固化 、 热分解 、 锻烧烧结等工艺 ， 得到产品颗粒【。 】 ０ １
１ 实 验
ＴＯ 溶胶 配 置 ： 约 １０ ｉ 将 ０ｍＬ无 水 乙醇 倒 人 烧
武光明 ， 邢光建 ， 江 伟 ， 韩
（ 京石 油４ － 学院 ， 北 京 北 ￣Ｙ － －
彬 ， 孙德鹏
１２ １） ０ ６７
摘
要 ： 用喷雾热解法， 利 通过改变工艺参数获得 了一 系列 ＴＯ 薄膜 ， ｉ 并且研究 了这些薄膜结构
和影 薄膜的性 能， ｉ 通过分析不同制备条件下薄膜的性

喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3：Eu荧光粉


助
硝酸 溶液体系 的 ｐ 为 ２５ Ｈ ．。按照上 述步骤配制 好另 一 种溶 液 ，加入氨水控 制 ｐ Ｈ范 围为 ４ 。 ～５ 首先将 炉温 升至 一定温 度 ，本试 验 设定 为 ９ ０ ０ ℃， 将 按照化学计 量比配制 的前 驱体溶 液加入 到雾化槽 ， 将 载气 系统启动 并保 持一定 空气流量 ，启动 雾化器 。溶液 由雾化 形 成大量 微 小液 滴组 成 的气 溶胶 经载 气流 送入 设定好温度 的石英反应管 中 ，经过 蒸发 、干燥 、分解 、 煅烧 等过程后 得到荧光粉前 驱物颗 粒 ， 通过 收集系统 收 集。 再将得 到的前驱物颗 粒经过后 续热处 理使其进 一步 结晶完善获得（ ，ｄＢ ３ ｕ 物 。 ＹＧ ） Ｏ ： 产 Ｅ
法是将前驱体溶液雾化为几微米到几十微 米的液滴 ， 液滴
＋收 到稿 件 日期 ：２０ ．３１ ０ ７０ ，３ 通 讯作 者 ： 曹雁 冰 作 者 简 介 ：曹 雁冰 （ ９２ ） １８ 一 ，男 ， 山东 人 ，在 读 博士 ，研 究 方 向 为功 能材 料 的制 备 。
维普资讯
维普资讯
曹 雁冰 等 ：喷雾 热 解法 合 成球 形 （ ， ｄＢ ： ｕ 光 粉 ＹＧ ） Ｏ３ 荧 Ｅ
喷雾热解 法合成球 形（，ｄＢ ：ｕ荧光粉 ＹＧ ） Ｏ３ Ｅ
曹雁冰 ，胡 国荣，彭忠 东，邓新 荣，李 国
（ 中南大 学 冶金科 学与工程 学院 ，湖南 长沙 ４ ０ ８ ） １０ ３
３ 可 以获得 结 晶 良好 的所 需纯相物质 。同时也 考察 了 ｈ
激 活剂浓度对 （ Ｇ ） Ｏ ：ｕ荧光粉体发 光强度 的影响； Ｙ， ｄＢ ３ Ｅ
在优 化 的掺 杂浓度 下 ， 采用氨 水 改性 的前驱体 溶液经过

超声喷雾热解法制备SnS薄膜的物性研究

较大 。
关键词 Ｓ Ｓ ｎ ；薄膜 ； 超声喷雾热解法 ； 前驱液浓度 中图分类号 ： ３ ． ０４ ３ １ 文献标识码 ：Ａ Ｄ ：１． ９ ４ｊｉ ｎ １０ —５ ３ ２ １ ）０２ ６—４ ＯＩ ０ ３６ ／．ｓ ． ０ ００ ９ （０ １ １—６ ４０ ｓ 配 比浓度的前 驱液 在惰性气体携带运输 的条件下来 制备 Ｓ Ｓ ｎ 薄膜 。 采用 Ｘ Ｄ（ ＿Ｑ系列 Ｄ ００Ｘ射线 衍射仪 ） Ｅ Ｒ Ｙ４ Ｘ１０ ，Ｓ Ｍ （ ４０ Ｓ ８０扫描隧道 显微 镜） 其结 构 、表 【 形 貌 等进行 了表 ｙ 对 ｆ ｌ ｉ 征 。 日本 岛津公 司生产 的 ＵＶ ２ ０ 用 －１ ０紫外 分 光光 度讣测 堪 薄膜透过谱 。 用不 同配 比浓度 的前驱 液所 制备 的 Ｓ Ｓ薄膜来 制备 厂 ｎ 器件 ， 采用 Ａ ｉ ｎ 的 ４ ５Ｃ半导体性 测试仪 测量器 件 的暗 ｇｌ ｔ ｅ １５ ｌ － Ｖ特性和 Ｃ Ｖ特性 。 －
ｅｍａｌ ｅｚｉ２ ＠ ｙ ｈ ｏ ｃｍ．ｎ － ｉ ｉ ３ ８ ａ ｏ． ｏ ｃ ：ｌ ｈ
ｅｍａｌ ｙ ｔｎ ｐｎ ＠ １３ ＣＮ － ｉ ｂａ ｇ ｉｇ ６ ．Ｏ ：
超 声 喷 雾热解 法制 备 Ｓ Ｓ薄膜 的物性 研 究 ｎ
唐 萍 ， 黎 兵 ， 智 雷 ， 良桓 ， 冯 蔡亚平 ， 郑家贵，张静全 ， 李 卫 ，武莉莉 ，曾广根
四川大学材料科学 与工程学院 ，四川 成都 ６０ ６ １ ０４
摘
要
用超声喷雾热解法制备 Ｓ Ｓ多 晶薄膜 ， 比了三种 不 同前 驱液配 比浓度 对 Ｓ Ｓ薄膜性 能 的影响 。 ｎ 对 ｎ
（ 图 １和 图 ２所示 ） 如 。
１ 实验部分
用硫脲 十四氯化锡 ＋去 离子水作 为反应前驱液 ，用不 同

用喷雾热分解方法制备PZT薄膜及其铁电特性的研究

用喷雾热分解方法制备PZT薄膜及其铁电特性的研究
朱江;武光明;邢光建;吕爱君
【期刊名称】《纳米科技》
【年(卷),期】2008(005)003
【摘要】用喷雾热分解方法制备PZT薄膜,由TGA和DTA确定其退火温度,由XRD和SEM研究其结构特性,用电容-电压技术研究其铁电特性,研究发现:Sawyer-Tower桥测定的C-V曲线与电容-电压技术的结果不同,其铁电性质如电滞回线、Ec和Pr、回线中心的位移、对称性等依赖于测量频率.
【总页数】6页(P44-49)
【作者】朱江;武光明;邢光建;吕爱君
【作者单位】北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617
【正文语种】中文
【中图分类】O484
【相关文献】
1.注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究 [J], 朱江;佟帅;高德文;张志乾;颜炳嘉;孙凯;武光明
2.SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究 [J], 颜雷;汤庭鳌;黄维宁;姜国宝;程旭;姚海平;钟琪
3.ZnO系低压压敏薄膜的喷雾热分解法制备及膜厚对其压敏特性影响的研究 [J], 贾锐;曲凤钦
4.甩胶喷雾热分解方法制备钛酸钡薄膜的研究 [J], 王芳平;武光明;邢光建;李东临;郭瑞;李钰梅
5.后续热处理配合PLD制备铁电PZT薄膜及其工艺优化研究 [J], 许华平;郑立荣因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。

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关 键 词 喷雾 热 解 硫 族 化 合 物 薄 膜 介 电特 性 光 吸 收
Ｃｈ ｒ ｃ ｅ ｓ ｏ — Ｇｄ ３Ｆ ｌ ｐ ｓｔ ｄ ｂ ｐ ａ ｒ ｌ ｓｓ ａ ａ ｔ ｒ ｆ ２ ｉ Ｄｅ ｏ ｉｅ ｙ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ Ｓ ｍ
Ｚ ｏ ｅ ｈ ｕ Ｚｈ ｎ
．
Ｋｅ ｗｏ ｄ ｓ ｌｉ ａ ｏ ｌ ｙ ｒ ｓ ｕｆ ｎ ｄ ｎ ｆ ｍ ｓ ｒｙ ｐ ｒ ｌｓｓ ｄ ｅｅ ｔ ｃｃ ｎ ｔｎ ｖｓｂ ｅ ａ ｓ ｒ ｔ ｎ ｉ ｐ ａ ｙ ｙ ｉ ｉｌｃｒ ｏ ｓａ ｔ ｏ ｉ ｉｉｌ ｂ ｏ ｉ ｐ ｏ
稀 土的倍半 硫化 物 Ｌ ２３ Ｌ ：Ｌ ～Ｄ ） ｎｓ（ ｎ ｎ ｙ 系列在 常
薄 膜 的物 性 研 究
周 朕
（ 淮海 工学 院数理 科学 系 ， 苏 连云 港 ２ ２０ ） 江 ２０ ５
摘要 用 喷雾 热 解 法 ， 玻 璃衬 底 上 沉 积得 到 了 ７ ａＳ 纳米 多 晶薄 膜 。通 过 Ｌ Ｒ仪 和 紫 外可 见 光分 光 计 对 样 品 的 物 在 一Ｇ ２３ Ｃ
压下 有 ３种类 型 ， 在所 有 已知 ３种类 型 的稀 土倍半 硫
液雾 化后用两个 分离的喷嘴分别将其 喷射到 温度保 持 在 ２０～３０Ｃ的衬 底上 ， ８ ５ｏ 流速 为 ２ ／ ｉ 气 的作 ～３Ｌ ｒｎ载 ａ 用下， 最后沉积得 到平滑均匀 的 一Ｇ ３ ｄＳ 薄膜 。 利用 Ｌ Ｒ仪 （ ｇｅｔ１４ １ ２４ Ｃ 和 紫外 Ｃ Ａ ｉｎ ６５ Ｂ ４ ８ Ａ Ｌ Ｒ） ｌ
可见 光分光 计对 样 品进 行 了介 电和 光 吸收 性 质 的 研
究。
化物 中 ， 有 具
Ｐ 结 构 的 相 因其 在 热 学 、 电子 ４ 光
学、 激光 技术 和压 电传感 器 中的潜 在用途 而得 到 了极
大 的关 注 ｌ 。具有 Ｔ ３４ 构 的 一Ｇ ２３不但 是 卜 ｈＰ 结 ｄｓ
宽带 （ ～３ｅ 高 电阻 （ ０ ｃ 的半 导体 ， 是 远 ２ Ｖ） １ｍ Ｑ・ｍ） 还 红外 传输 材料 Ｊ ７。值 得 注意 的是 ， 少有人 进行 相倍 半 硫化 物介 电特性 方 面 的研 究 工作 。本 文进 行 了对 用 超声 喷雾 热解法 制备 的 一Ｇ ３ 米 薄膜 的介 电 ｄＳ 纳
性进 行 了测试 ， 果 表 明 ： 一 ｓ 纳米 多 晶 薄膜 的介 电 常数 与 常 规 材料 有 较 大 差 异 ， 结 ７ ３ 特别 是 在 低频 范 围 内 ， 价 于 双 层 等
电介 质 模 型 ， 其响 应 行 为类 似 于 德 拜 驰豫 ； 征 吸 收 区处 在 可 见光 范 围 内 ， 常 规 ７ ａＳ 吸收 谱 相 比发 生 了红 移 。 本 与 一Ｇ ２３
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第２ ０卷第 ９期 ２０ ０ ６年 ９月
化工 日 刊 寸
Ｃｈ ｍ ｉ ｌ ｎ ｕ ｔ Ｔ ｍｅ ｅ ｃ ｄ ｓ Ｈ ｉ ｓ ａ Ｉ
Ｖｏ ． ０ ． １２ Ｎｏ． ９
Ｓｅ ９． ００ ｐ． ２ ６
喷 雾 热 解 法 制 备 的 一Ｇ ２ ３ ｄ Ｓ
Ａｂｓｒ ｃ Ｎａ ｏ ｈ ｓ ｏｙ ｔｌｉｅ ｔｉ ｌ ｒ ｅ ｏ ｉ ｄ ｂ ｏ— ａｌｄ ａ ｙ ｃ ｒ ｎ ｕ ｕ ｓ ｌ ａ ｏ ｉ ｐ ｙ ｐ ｒ ｌ ｔａ ｔ ｎ ｐ ａ ｅ ｐ ｌｓｓｌｎ ｈ ｎ ｆ ｍｓｗｅｅ ｄ ｐ ｓｔ ｙ ａｓ －ｃ ｌ ｓ ｎ ｈ ｏ ｏ ｓｐ ｌｅ ｕｔ ｓ ｎ ｃｓ ｒ ｙ － ｉ ｅ ｅ ｒ ａ ｏ － ｙ ｉ ｔ ｏ ｎ ｇａｓ ｓ ｂｌｃｒｃ ｔｓ ｘｕ ｅ ａ ｄ Ｒａ ｎ ｓ ｅ ｔｕ ． Ｔ ｅ ｔｃ ｎ ｃ ｓｓｍｅｈ ｄ ｏ ｌ ｕ ｓｒ ｔｓ Ｔ ｅ ｆ ｍ ｗｅｅ ｃ ａ ａ ｔｒｚ ｄ ｂ ｅｅ ｔ ｅ ｔｆ ｔ ｒ ｎ ｍａ ｐ ｃｒ ｍ ｈ ｅ ｈ ｉａ ｓ ｉｓ ｉ ｉ ｌ ｃ ｎ ｉ ｏ ｓｌａ ｉ ｇ ｔ ｐ ｉ ｌｐ ｒｏｍａ ｃ ｒ ｄ ｎ ｉ ｅ ｈ ｅｄ ｅｅ ｔ ｃ ｃ ｎ ｔｎ ｆｎ ｏ ｌ ｄｆｅｅ ｔｆｏ ｃ ｍｍ ｅ ｔｒ— ｏ ｄ ｔ ｎ ｅ ｎ ｏ ｏ ｔｍ ｅ ｒ ｎ ｅｗｅ ｅｉ ｅ ｔ ｄ．Ｔ ｉｌｃｒ ｏ ｓａ ｔｏ ａ ｆ ｍ ｉ ｒｎ ｒｍ ｏ ｉ ｓ ａ ｆ ｉ ｆ ｉ ｎ ｉ ｎｍ ｅ ａ ｉ ａｓ，ｅ ｐ ｃａｙ ｄ ｒ ｇ ｌｗ ｒｑ ｅ ｃ ，ｉ ｅｄ ｅｅ ｔ ｃｏ ｏ ｂｅ ｌｙ ｒ ｏ ｓｒ ｃ ｔ ｂ ｅ ｒｌｘ ｔｏ Ｉ ｔ ｎ ｉ ｂ ｏｐ ｉｎ ｒ ・ ｌ ｓ ｅ ｉ ｕ ｎ ｏ ｆｅ ｕ ｎ ｙ ｌｋ ｉｌｃｒ ｆｄ ｕ ｌ ａ ｅ ｓｃ ｎ ｔ ｔｗｉ ｍｅ ｙ ｅａ ａｉｎ． ｒ ｓｃ ａ ｓ ｒｔｏ ｅ ｌ ｉ ｉ ｕ ｈ ｎ ｉ ｇｏ ｉ ｎ ｖｓｂ ｅｓ ｅ ｔ ｍ ｄ ｈ ｖ ｅ ｈｆ ｅ ｅ ｔ ｉｎ ｌｅ ｉ ｉｉ ｌ ｐ ｃｒ ｕ ｎ ａ ａ ｅ ｒ ｄ ｓ ｉ ｆ ｃ ． ｔ
（ ｅａ ｍ ｎ ｏ Ｍａ ｅ ａｉ ｎ ｈｓ ｓ Ｈ ａ ａ Ｉｓｔｔ ｏ ｅｈ ｏ ｇ ，ｉ ｇ ｉ ｙｎａｇ２ ２０ ） Ｄ ｐｒ ｅｔ ｆ ｔ ｍ ｔｓａｄＰ ｙｉ ， ｕｉ ｉｎｔｕｅ ｆ ｃｎ ｌ ｙ Ｊ ｎｓ Ｌａ ｕ ｇｎ ２０ ５ ｔ ｈ ｃ ｃ ｈ ｉ Ｔ ｏ ａ ｕ ｎ
特性和 光 吸收方 面的研 究 。
日 墨塑过
２． 介 电 测 量 和 分 析 １
室温 下 ， 们研究 了不 同频率 下玻璃 和薄 膜双 层 我