实验十三高真空的获得与测量
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高真空的获得和检漏实验目的:学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特点. 实验原理:1. 高真空的测量——电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p ,故产生的正离子数N +正比于压强p.对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离子流I +正比于发射电子电流I e 和气体的压强p ,即I +=KI e p 其中比例常数K 称为电离计的灵敏度. 2.真空检漏一个高真空系统,如果经过长时间抽气,仍达不到预期的真空度,在排除泵的因素后,可能的原因有:蒸气源:水蒸气、机械泵油和扩散泵油的蒸气、高真空的密封油脂和封蜡的蒸气及系统内其他污染物,形成蒸气源. 表面放气:系统的器壁、系统内金属元件表面吸附着大量气体分子,在低压下向系统内释放. 真漏:真空系统连接部位安装不良,焊接处有漏孔或漏隙及阀门处密封不严所造成. 3.静态升压法p -t 关系曲线形状,我们可以判断系统是否漏气,如图2.6.3-4听示.l )直线a 平行于t 轴,说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也无漏气.2)曲线b 开始上升较快 而后渐渐变成平行于t 轴的直线.这说明系统只有放气而无漏气,气压较低时放气速率较大,达到某一气压值时,放气速率和吸气速率相等,达到平衡,曲线趋于水平直线.3)直线c 是一斜率为t p∆∆的直线.这说明系统只有漏气,系统的漏率为Q 漏=V tp∆∆式中V 是被检容器的体积.4)曲线d 开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线.这说明系统既有放气也有漏气.曲线d 是b 和c 的叠加. 4.仪器工作原理 (1)热偶计将热偶规管与真空系统相连,若加热丝电流保持恒定.则热电偶的热电势和周围气体有关.加热丝的温度变化由周围气体的导热率决定,当压强降低时 气体的分子密度变小,故气体的导热率低,造成加热丝的温度升高,因图2.6.3-4 压强随时间的变化此热电势将随之增高.如果已知热电势和压强的关系则可直接读出压强值.(2)电离计利用三极管中加热阴极发射电流引起的气体电离现象,所产生的离子流用直流放大器加以放大,由电流表测量.若电离规管的阴极发射电流定不变,则离子流的大小与气体压强成正比.正离子流(由小电流直流放大器测定)被收集极收集,在测量范围内离子流与压强呈线性关系:I+/I e=SP 实验仪器:FZH-2B型复合真空计,DM-300型真空镀膜机,水泵,秒表实验步骤:1、开总电源2、低阀拉出,开机械泵,抽钟罩3、打开复合真空计电源,接通热偶计,对钟罩抽至1.3pa4、接通扩散泵冷却水,低阀推进抽系统,开扩散泵加热,40分钟后开高阀5、待真空度超过0.13pa时,开电离计,低真空转至扩散泵前级测量6、抽至电离计指针基本不动时可短时间对电离规管除气7、开关转至”烘烤”, 烘烤10分钟,烘烤完毕,调压器调回”0”, ”烘烤”转至关8、抽至极限真空度后,关”高阀”,测放气曲线9、测量完毕关闭电离计,关扩散泵10、待扩散泵冷却至不烫手,将低阀拉出,关机械泵11、关总电源,切断冷却水,结束实验数据:1.除气前极限真空压强:4.1*10-3Pa2.除气后极限真空压强:2.9*10-3Pa3.放气时压强随时间的变化见下表:压强随时间变化数据表数据处理:由上表得出的P-t曲线如下:图象的大致走向与图2.6.3-4中c曲线一致,其中红线为前15组数据的直线拟合,后5组数据由于偏离直线距离大大超出3σ准则的范围而将其舍去.图中曲线走向说明有漏气而放气现象不明显.由最小二乘法得前15组数据拟合直线的斜率为k=( 0.0013 ±1.4E-5)Pa/s则漏气率Q=Vk=0.0013V式中V是被检容器的体积.误差来源分析:1.图中后5组数据偏离直线距离较大,这很可能是实验时少测了一组数据而误把后面的压强前移了一组所造成的.其中倒数第二,三组数据的压强值不变,最后一组数据的压强值又突然上升,这可能是外界条件突然变化引起的.2.由于要求每隔5秒测一组数据,实验中读秒表和记数据都进行得很快.这导致实验者难以精准地读秒表和记数据,给实验带来了一定的估计误差.3.抽真空过程中发现,气压下降得很慢, 由于实验时间有限,除气前后极限真空压强读数很粗略,增大了实验误差. 思考题:1.为什么测完放气曲线后立即关闭电离计?答:测量完放气曲线后,容器内部压强较高,接近电离计工作范围的上限,若不立即关闭电离计,过大的电离电流很容易损坏电离计。
真空获得与测量实验报告真空获得与测量实验报告引言:真空技术在科学研究、工业生产和医学诊断等领域具有重要的应用价值。
为了获得高质量的真空环境,科学家们进行了一系列的实验研究。
本实验旨在探究真空获得的方法和真空度的测量。
一、真空获得的方法1.机械泵机械泵是最常用的真空获得装置之一。
它通过机械运动将气体从容器中抽出,从而降低压力。
机械泵适用于中低真空范围,操作简便,但不能获得高真空。
2.扩散泵扩散泵是一种能够获得高真空的装置。
它通过将气体分子扩散到高速运动的喷嘴上,再通过冷凝或吸附的方式将气体排出。
扩散泵在高真空实验中具有广泛应用,但需要较长的预抽时间。
3.离心泵离心泵是一种利用离心力将气体从容器中排出的装置。
它适用于高真空获得,具有较高的抽速和较短的预抽时间。
离心泵广泛应用于科学研究和工业生产领域。
二、真空度的测量1.毛细流量法毛细流量法是一种常用的真空度测量方法。
它利用毛细管中气体流动的特性来测量真空度。
通过测量气体经过毛细管的流量和压差,可以计算出真空度的大小。
2.热导法热导法是一种基于热传导原理的真空度测量方法。
它利用热传导的速率与气体压力之间的关系来测量真空度。
通过在真空容器中加热一个导热体,测量导热体的温升和导热速率,可以计算出真空度的数值。
3.离子化法离子化法是一种基于气体分子电离的真空度测量方法。
它利用电离电流与气体压力之间的关系来测量真空度。
通过在真空容器中加入一个电离器,测量电离电流的大小,可以计算出真空度的大小。
结论:通过本次实验,我们了解了真空获得的方法和真空度的测量方法。
机械泵、扩散泵和离心泵是常用的真空获得装置,分别适用于不同的真空范围。
毛细流量法、热导法和离子化法是常用的真空度测量方法,各有优缺点。
在实际应用中,需要根据具体情况选择合适的真空获得装置和真空度测量方法,以获得高质量的真空环境。
参考文献:[1] 朱玉涛, 梁军. 真空技术与应用[M]. 北京: 科学出版社, 2011.[2] 陈伟, 张磊. 真空技术实验指导[M]. 北京: 高等教育出版社, 2019.[3] 李明, 王丽. 真空度测量方法的比较与分析[J]. 仪器仪表学报, 2018, 39(4): 1-8.。
真空获得与测量实验一、实验目的本实验的目的是利用真空获得与测量系统研究高真空的获得过程及该系统真空度随时间的变化率。
二、 实验仪器真空室、机械泵、分子泵、分子泵控制电源、热偶规、电离规、冷水机。
三、实验原理3.1 真空的基本知识1)真空及其单位所谓真空是指低于一个大气压的气体空间。
同正常的大气相比,是比较稀薄的气体状态。
当气体处于平衡时,可得到描述气体性质的气体状态方程,即 nkT p = (3-1) 或RT Mm pV =(3-2) 式中,p 为压强(Pa);n 是气体分子密度(个/m 3),V 为体积(m 3);M 为气体分子量(kg/mol);m 是气体质量(kg);T 是绝对温度(K);k 是玻尔兹曼常数(1.38×10-23J/K);R 为气体普适常数(8.314J /mol .K),也可用R =N A .k 来表示,N A 是阿伏伽德罗常数(6.023×1023个/mol)。
于是,由式(3—1)可得Tp n 22102.7⨯= (3-3) 由式(3—3)可知,在标准状态下.任何气体分子的密度约为3×1019个/cm 3。
即使在p=1.3×10-11Pa 这样很高的真空度时,T=293K ,则n =4×103个/cm 3。
因此,所谓真空是相对的,绝对的真空是不存在的。
通常所说的真空是—种“相对真空”。
在真空技术中对于真空度的高低,可以用多个参量来度量,最常用的有“真空度”和“压强”。
此外,也可用气体分子密度、气体分子的平均自由程、形成一个分子层所需的时间等来表示。
“真空度”和“压强”是两个概念,不能混淆.压强越低意味着单位体积中气体分子数愈少,真空度愈高,反之真空度越低则压强就越高。
由于真空度与压强有关,所以真空的度量单位是用压强来表示。
在真空技术中,压强所采用的法定计量单位是帕斯卡(Pascal),系千克米秒制单位,简称帕(Pa),是目前国际上推荐使用的国际单位制( SI)。
真空的获得与测量实验报告摘要本实验利用机械泵和扩散泵来获得高真空状态,由复合真空计测量被抽容器所能达到的真空度。
通过本实验我们了解了真空的获得与测量以及相关仪器的工作原理,掌握了初级真空、高真空的获得与测量的基本方法。
本实验重点就是注意事项,通过本次实验不仅仅掌握了本实验仪器的注意事项,并且了解了对于实验仪器的注意事项分析方法。
关键词机械泵,扩散泵,真空计,高真空正文1643年,意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验,获得真空。
1654年,德国物理学家葛利克发明了抽气泵,做了著名的马德堡半球试验。
真空技术在工业生产和科学研究中广泛的应用。
真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。
目前,真空技术在近代尖端科学技术,如高能粒子加速器、大规模集成电路、表面科学、薄膜技术、材料工艺和空间技术等工作中都占有关键的地位,在一般工业生产中的应用则种类繁多,包括化学工业、医学工业、制盐制糖工业、食品工业、电子工业等。
一、原理简析及仪器设备简介真空状态下气体的稀薄程度称为真空度,通常用压力值表示。
真空度越高,气体压强越低,气体分子越稀少。
根据压强值的不同,大致可分为五个区域:粗真空760~10托,低真空10~10-3托,高真空10-3~10-8托,超高真空10-8~10-12托,极高真空小于10-12托。
(一)真空的获得实验中利用机械泵和扩散泵来获得高真空状态。
下面对它们进行一下简单的介绍。
1.机械泵机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的容积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空的泵。
机械泵目前常用的是旋片式机械泵。
使用机械泵时应注意:①应经常保持油位在油标线附近,以保持其良好的密封性。
②开启机械泵时,应保证电源之三相均有良好的电接触,应使转子转动方向与箭头方向一致(顺时针),不得反转。
③保持泵内清洁,防止异物落入。
④泵运转过程中,操作者不得离开,一旦电源发生故障应及时处理。
高真空的获得与测量一、引言随着各门科学技术的迅速发展和相互渗透,真空作为一门单独的学科已显得尤为重要,它与电真空工业、原子能、宇宙航行及空间科学研究、表面物理研究、微电子学及真空冶金等有着紧密的联系并有着广泛的应用。
真空技术的主要环节和基础是真空的获得、真空的测量及真空检漏等,我们将通过本实验对这些手段进行初步的认识和了解。
二、实验目的1.熟悉简单的高真空系统。
2.掌握获得高真空的手段及测量方法。
3.学习真空系统的基本抽气方程。
三、实验原理一个真空系统,工作时除了真空泵的抽气因素外,还存在着相反因素,如器壁本体材料及内部零件表面的气体脱附(出气),外界向系统的漏气及反扩散等。
在任何瞬间,容器中的压强实际上是由这两种相反因素间的动态平衡所决定的。
真空系统简化抽气示意图如图8.1-1。
设被抽容器体积为V,经管道与真空泵相连,由式(8.0-1)知泵的抽速为。
由于管道对气流的阻碍,容器出口处的有效抽速降为S e(S e<S p)。
气体在流动中,其流量定义为单位时间内流过的气体量,而气体量由气体压强与体积的乘积PV所决定,则对于上述系统,每秒从容器抽掉的气体量为PS e。
被抽容器除了原有大气之外,还存在器壁本体材料及内部零件表面的气体出气量(脱附率)QD和漏气率QL。
这样每秒从容器掉的气体量应等于容器空间中气体量的减少率及由各种气源向容器注入气体量增加率之差,即LD L D e Q Q dt dPV Q Q dt PV d PS ++-=++-=)( (8.1-1)此即真空系统的基本抽气方程。
若求出压强P作为时间的函数,便掌握了抽气过程的基本情况。
1.当抽气进行了足够长时间后,容器压强不再变化,此时即为极限压强Pu。
上式中0=dtdP 就得极限压强eLD u S Q Q P +=(8.1-2)故要想得到低的极限压强,应尽量提高有效抽速,并降低漏气量与出气量。
2.在忽略容器漏气量QL及气体出气量QD时,上式变为:dt P d V Pdt dP V S e )(ln ⋅-=⋅-= (8.1-3)利用此式可近似计算有效抽速。
高真空的获得、测量与镀膜实验一、实验目的:1.了解真空技术的基本知识,以真空镀膜机为例,掌握高真空的获得与测量的基本原理及方法。
2.学习掌握在玻璃基片上溅镀单层高反射金属膜的原理和操作方法。
3.了解利用干涉法测量薄膜厚度的基本方法。
二、实验仪器:JGP560B1型超高真空多功能磁控溅射镀膜实验系统设备一套(包括机械泵、分子泵、热耦真空计和电离真空计等)。
三、实验原理:真空是指低于1个大气压的气体空间。
真空容器中的真空度是用气体的压强表示,真空度愈高,气体压强愈低,气体分子愈稀少。
(真空的划分区域见讲义P.155)真空技术被广泛用于工业生产、科学实验和近代尖端技术中,是高新技术领域中的关键手段之一。
本实验采用JGP560B1型超高真空多功能磁控溅射镀膜设备,它包括下述三大部分:1.真空的获得(真空系统)本实验高真空获得分两步实现。
首先由机械泵通过不断改变泵内吸气空腔的容积而赶走气体的方法,把系统的真空度从大气压开始抽到20Pa左右的低真空;在此基础上,启动分子泵使其开始工作,涡轮分子泵利用高速旋转的转子碰撞气体分子并把它们驱向出气口,再由机械抽除,从而使被抽系统进一步获得10-4∽10-5Pa的高真空。
2.真空的测量测量真空度的装置称为真空计或真空规.先利用热耦真空计测量低真空,当热偶真空计达满度即10-1Pa后,再利用电离真空计(DL-7程控真空计)监测高真空,其测量范围为10-1--10-6Pa。
3.真空镀膜真空镀膜就是在高真空条件下,使固体表面淀积上一层金属或介质的薄膜。
真空镀膜的方法常用的有两种:真空蒸发法和溅射法。
本实验采用磁控溅射法镀膜。
镀膜室内装有磁控靶。
当真空度达到约10-4Pa,再充入氩气达到3Pa左右,接通电源,使稀薄气体发生辉光放电,产生大量离子,这些离子撞击靶面,将靶材原子溅出穿过工作空间而淀积在玻璃基片上形成薄膜。
四、实验内容与步骤:1.熟悉镀膜机的结构和仪器的操作规程(详细见讲义末页)严格按照操作规程操作。
真空的获得与测量摘要真空技术在近代尖端科学技术中占有关键的地位,本实验要学习高真空的获得与测量方法,熟悉真空获得的相关设备和仪器,并掌握其使用方法,同时测量真空度随时间的变化。
关键词高真空机械泵油扩散泵引言真空技术始于1634年,由托里拆利将一端密封的长玻璃管注满汞并倒置于盛有汞的槽里,发现汞柱顶端产生真空。
自20世纪初起,随着电子管的研究和产生,逐步建立起了能够获得与测量压强低于710-Torr的高真空设备与技术;到20世纪50年代,随着表面物理,原子能物理,以及半导体、电子计算机、航空技术的迅速发展,发展了超高真空技术;到20世纪70年代,又进一步提高到压强低于1110-Torr的极高真空。
目前,真空技术在近代尖端科学技术中占有关键的地位。
实验原理真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。
1.高真空的获得获得真空用真空泵。
真空泵按工作条件的不同分为两类:能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵(如机器泵),用来产生预备真空,需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵(如扩散泵),次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
(1)机器泵一般采用油封转片式机器泵,其结构如图1 所示,在圆柱形气缸(定子)内有偏心圆柱作为转子,当转子绕轴转动时,其最上部与气缸内表面紧密接触,沿转子的直径装有两个滑动片(简称滑片),其间装有弹簧,使滑动片在转子转动时与气缸内表面紧密接触,当转子沿箭头所指方向转动时,就可以把被抽容器内的气体由进气管吸入而经过排气孔,排气阀排出机械泵。
为了减少转动摩擦和防止漏气,排气阀及其下部的机械泵内部的空腔部分用密封油密封。
机械泵用的密封油是一种矿物油,要求在机械泵的工作温度下有小的饱和蒸汽压和适当的粘度,机器泵的极限真空度一般在110-Pa。
(2)扩散泵一般多采用油扩散泵,其结构如图2 所示,扩散泵是高真空泵,当机器泵的极限真空度不能满足要求时,通常加扩散泵来获得高真空。
这种泵不能从通常气压下开始工作,只能在低于6.0Pa气压下才能工作。
真空获得与测量一、实验目的1.掌握高真空的获得和测量的基本原理及方法;2.了解真空玻璃系统的结构;熟悉真空泵、真空计的原理二、实验仪器DH2010型多功能真空实验仪(机械泵、扩散泵、真空腔、真空计、各类计量工具)三、实验内容1.使用抽真空设备,获得高真空环境;2.使用真空计进行真空测量;3.利用有限条件估算真空泵的抽气速率。
四、实验步骤因为涉及到使用较大功率的电源,多种真空泵的组合使用,以及高温加热装置,因此在操作设备进行放电实验前,需要教师指导相关的安全须知。
在实验中,操作应要严格按照以下步骤进行:左侧为油扩散泵和真空腔体,右侧为真空系统操作和真空检测复合控制面板。
1.检查仪器的冷却水,气路是否连接正确;2.关闭真空腔的泄气阀;3.打开冷却水系统,打开真空系统总电源,打开真空计电源;4.将工作状态拨键调节至“机械泵”,打开机械泵,对真空腔进行抽气;5.观察真空计(热偶规)示数达到稳定,即机械泵工作效率达到极限,先将工作状态拨键调节至“扩散泵”,在将扩散泵同真空腔之间的阀门打开;6.扩散泵接入至真空系统内,机械泵持续工作,对扩散泵的空间进行抽气;7.观察真空计(热偶规)示数再次达到稳定,将工作状态拨键调节至“扩散泵工作”,按加热键;8.检查加热炉是否正常工作,确认正常后将加热炉缓慢上升接近扩散泵;9.加热炉加热扩散泵,观察真空计(电离规)示数,并记录真空计的示数变化,每10S记录一个值,直至真空计示数不再变化;10.完成数据记录后,关闭真空计(电离规)电源,再按加热键,停止加热,并将加热炉缓慢下降,将工作状态拨键调节至“扩散泵”;11.关闭扩散泵同真空腔之间的阀门后,将工作状态拨键调节至“机械泵”;12.待腔体彻底冷却后,关闭总电源,关闭冷却水系统;13.记录真空腔体的体积,并根据所记录的数据,对扩散泵的抽气速率进行计算。
实验必须由指导教师在的情况下进行,确保实验过程安全、顺利。
五、数据处理方法一:利用公式S=−V lnP2/P1t2−t1粗略求得平均抽气速率。
真空的获得与测量实验报告真空的获得与测量实验报告引言:真空是指在一定空间内没有气体分子的状态。
在科学研究和工业生产中,真空的获得和测量是非常重要的。
本文将探讨真空的获得和测量方法,并介绍相关实验的结果和分析。
一、真空的获得方法1. 抽气法抽气法是最常见的获得真空的方法之一。
实验中,我们使用了一台真空泵,通过泵的作用将容器内的气体抽出,从而形成真空环境。
实验中,我们选择了机械泵和分子泵的组合,以提高抽气速度和真空度。
2. 管道密封法管道密封法是指通过对容器进行密封,防止气体进入或逸出,从而形成真空环境。
在实验过程中,我们使用了高质量的密封材料,如橡胶密封圈和金属密封垫片,以确保容器的密封性。
二、真空的测量方法1. 粗真空测量粗真空是指真空度较低的状态,通常用毫米汞柱(mmHg)或帕斯卡(Pa)来表示。
实验中,我们使用了粗真空计来测量真空度。
粗真空计基于压力的测量原理,通过测量气体分子对容器壁的撞击力来确定真空度。
2. 高真空测量高真空是指真空度非常高的状态,通常用帕斯卡(Pa)或托(Torr)来表示。
实验中,我们使用了离子计和热导计来测量高真空。
离子计基于气体分子电离的原理,通过测量电离电流来确定真空度。
热导计则基于气体分子传导热量的原理,通过测量传导热量的变化来确定真空度。
三、实验结果与分析在实验中,我们成功地获得了粗真空和高真空环境,并使用相应的测量仪器进行了真空度的测量。
实验结果显示,通过抽气法和管道密封法,我们可以获得不同程度的真空环境。
在粗真空测量中,我们使用了粗真空计进行测量。
实验结果显示,真空度随着抽气时间的增加而增加,但在一定时间后趋于稳定。
这表明,通过抽气法可以获得一定程度的真空度,但无法达到高真空的状态。
在高真空测量中,我们使用了离子计和热导计进行测量。
实验结果显示,离子计和热导计的测量结果相近,并且真空度随着抽气时间的增加而逐渐增加。
这表明,通过抽气法和使用适当的测量仪器,我们可以获得较高的真空度。
高真空的获得、测量和检漏(2012-02-22)在真空技术中,检漏技术已成为一项很重要的内容。
从17世纪获得真空以来,这300多年可以说是真空工作者向漏气作斗争的历史。
漏气是真空的大敌,由于漏气而产生的问题是十分严重的,它引起真空变差,使真空处理物质变坏、原子能放射逸出、锅炉出现事故、电工电子产品性能降低或报废、制冷设备制冷效果变差或根本不制冷……总之,检漏技术与很多领域息息相关,在半导体、电力、制冷、航空航天、原子能、真空、医疗、汽车等行业已经得到了成功的应用。
实验目的:学习使用机械泵、扩散泵机组获得高真空,并热偶真空计和电离真空计来测量真空;学习使用静态升压法来判断真空系统的漏气来源。
实验原理:1.高真空的测量--电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离,产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N+正比于压强p。
电离真空规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由发射电子的热阴极(灯丝F)、加速并收集电子的加速极G和收集离子的收集极C等三部分组成。
其接线图如图2.6.3-2所示,规管中心热阴极F接零电位,U K为热阴极加热电压;加速极G接正电位U G(几百伏);离子收集极接负电位U C(几十伏),其作用是使由阴极F发射的电子,在加速电位U G的作用下,飞向G极使电子能量增加,大部分电子通过加速极G飞向圆筒型收集极C,电子轨迹如图2.6.3-3所示,在G、C之间拒斥场的作用下电子减速,在速度减到零时,电子返转飞向G,在电子飞向G、C空间时,电子又在拒斥场作用下减速,直到速度为零又返向G极,向G、C方向飞行。
电子在这种返往运动中与气体分子不断发生碰撞,把能量传给气体分子,使其电离,而电子最终被加速极所收集;在G、C间产生的正离子被收集极C接收形成离子流,此离子流被外电路中的微安计测得。
对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流I e和气体的压强p,即I+=KI e p (1)其中比例常数K称为电离计的灵敏度,其意义是在单位电子电流、单位压强下所得到的离子流,其单位为1/Pa,K值多通过实验测得。
真空的获得与测量实验报告真空的获得与测量实验报告摘要本实验利用机械泵和扩散泵来获得高真空状态,由复合真空计测量被抽容器所能达到的真空度。
通过本实验我们了解了真空的获得与测量以及相关仪器的工作原理,掌握了初级真空、高真空的获得与测量的基本方法。
本实验重点就是注意事项,通过本次实验不仅仅掌握了本实验仪器的注意事项,并且了解了对于实验仪器的注意事项分析方法。
关键词机械泵,扩散泵,真空计,高真空正文1643年,意大利物理学家托里拆利(E.T orricelli)首创著名的大气压实验,获得真空。
1654年,德国物理学家葛利克发明了抽气泵,做了著名的马德堡半球试验。
真空技术在工业生产和科学研究中广泛的应用。
真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。
目前,真空技术在近代尖端科学技术,如高能粒子加速器、大规模集成电路、表面科学、薄膜技术、材料工艺和空间技术等工作中都占有关键的地位,在一般工业生产中的应用则种类繁多,包括化学工业、医学工业、制盐制糖工业、食品工业、电子工业等。
一、原理简析及仪器设备简介真空状态下气体的稀薄程度称为真空度,通常用压力值表示。
真空度越高,气体压强越低,气体分子越稀少。
根据压强值的不同,大致可分为五个区域:粗真空760~10托,低真空10~10-3托,高真空10-3~10-8托,超高真空10-8~10-12托,极高真空小于10-12托。
(一)真空的获得实验中利用机械泵和扩散泵来获得高真空状态。
下面对它们进行一下简单的介绍。
1.机械泵机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的容积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空的泵。
机械泵目前常用的是旋片式机械泵。
使用机械泵时应注意:①应经常保持油位在油标线附近,以保持其良好的密封性。
②开启机械泵时,应保证电源之三相均有良好的电接触,应使转子转动方向与箭头方向一致(顺时针),不得反转。
③保持泵内清洁,防止异物落入。
④泵运转过程中,操作者不得离开,一旦电源发生故障应及时处理。
实验报告: 真空的获得与测量(本报告仅供参考,每个同学应根据指导老师讲解和实际实验过程自行撰写)实验目的:了解真空技术的基本知识;了解真空泵、真空计的工作原理;掌握低、高真空的获得、测量的基本方法和真空机组操作规程。
实验仪器:电子衍射仪v 型实验原理:引言:压强低于一个标准大气压的稀薄气体空间称为真空.在真空状态下,由于气体稀薄,分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减少,分子在一定时间内碰撞于固体表面上的次数亦相对减少,这导致其有一系列新的物化特性,诸如热传导与对流小,氧化作用少,气体污染小,汽化点低,高真空的绝缘性能好等等.真空技术是基本实验技术之一,真空技术在近代尖端科学技术,如表面科学、薄膜技术、空间科学、高能粒子加速器、微电子学、材料科学等工作中都占有关键的地位,在工业生产中也有日益广泛的应用.一、真空度与气体压强(单位Pa )真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量,单位体积中的气体分子数越少,表明真空度越高.由于气体分子密度不易度量,通常真空度用气体压强来表示,压强越低真空度越高.按照国际单位制(SI),压强单位是牛顿/米2,称为帕斯卡,简称帕(Pa ).通常按照气体空间的物理特性及真空技术应用特点,将真空划分为几个区域。
粗真空:105~103 低真空:103~10-1 高真空:10-1~10-5 超高真空:10-5~10-9 极高真空:小于10-9二、真空的特点及应用特点:1、空间气体分子密度极小,仅为大气压下分子密度的万亿分之一,真空可以近似被认为是没有气体污染的空间。
分子密度与气体压强成正比,P n ∝, kT P n =。
2、 气体分子或带电粒子的平均自由程极长,平均运动速率很大,πμRT v 8=(一般为几百米每秒,μ单位千克)其中,K 为波尔兹曼常数,T 为气体温度,d 为分子直径,P 为气体压强。
例如,室温下氮气分子的平均自由程在压强为710-pa 时将长于50km ,而电子和离子的平均自由程分别是气体分子的24和2倍。
真空获得与测量(实验报告)【摘要】真空是指低于大气压力的气体的给定空间。
本文就真空的获得与真空的测量展开讨论,探究这两种技术的基本原理和方法,并对有关设备仪器的使用方法和构造机理进行简要的介绍和分析。
通过对本实验的操作,使我们对电子衍射仪有了初步的认识,为电子衍射实验打好基础。
【关键词】机械泵、油扩散泵、电离真空计、电偶真空计、真空度。
【引言】真空是指低于大气压力的气体的给定空间,即每立方厘米空间中气体分子数大约少于两千五百亿亿个的给定空间。
真空是相对于大气压来说的,并非空间没有物质存在。
用现代抽气方法获得的最低压力,每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在。
气体稀薄程度是对真空的一种客观量度,最直接的物理量度是单位体积中的气体分子数。
气体分子密度越小,气体压力越低,真空就越高。
但由于历史原因,量度真空通常都用压力表示。
在真空实用技术中,真空的获得和测量是两个最重要的方面,在一个真空系统中,真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。
目前常用的真空获得设备主要有旋片式机械真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、低温泵等。
真空测量仪器主要有U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。
随着电子技术和计算机技术的发展,各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。
各种真空测量设备与微型计算机相结合,具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。
【正文】真空的获得需要许多器材的配合使用,譬如:真空泵,真空计等。
首先,我们必须对这些器材的内部机理和使用方法做初步的了解,否则盲目地操作会导致仪器的损坏和实验的失败。
(一)真空泵包括机械泵和油扩散泵。
实验室中采用的是旋片式机械泵,其工作原理比较简单。
油扩散泵的工作原理和操作注意事项比较复杂。
(1)油扩散泵的一侧有两个水孔,供冷却水流进流出之用。
在实验过程中,冷却水流量的选择非常重要。
冷却水打开的时间一般在油扩散泵开启之前,因为油扩散泵的加热时间需要四十分钟,所以开始时冷却水的流量可以选择小些,这样可以达到节约水的目的。
高真空的获得与测量及热偶真空计的校准一、实验目的1.掌握高真空的获得和测量的基本原理及方法;2.熟悉静态膨胀法校准热偶真空计系统的结构、原理与操作方法;3.了解真空技术的基本知识和基本技能。
二、实验原理1、真空的获得真空的获得是由真空泵来完成的。
一般真空实验室经常使用的是机械泵和扩散泵,用于超高真空的是钛升华泵和低温泵。
真空泵的基本原理:当泵工作后,形成压差,p1 > p2,实现了抽气。
真空泵按其工作机理可分为排气型和吸气型两大类.排气型真空泵是利用内部的各种压缩机构,将被抽容器中的气体压缩到排气口,而将气体排出泵体之外,如机械泵、扩散泵和分子泵等.吸气型真空泵则是在封闭的真空系统中,利用各种表面(吸气剂)吸气的办法将被抽空间的气体分子长期吸着在吸气剂表面上,使被抽容器保持真空,如吸附泵、离子泵和低温泵等.真空泵的主要性能可有下列指标衡量:(1)极限真空度:无负载(无被抽容器)时泵入口处可达到的最低压强(最高真空度)(2)抽气速率:在一定的温度与压力下,单位时间内泵从被抽容器抽出气体的体积,单位(升/秒)(3)启动压强:泵能够开始正常工作的最高压强2、静态膨胀法校准热偶真空计实验原理静态膨胀法压力校准系统是克努曾于1910年提出的。
这种校准系统适合于中、低真空计的校准,其校准精度较高,应用广泛。
但进入高真空(p<10-2Pa)后,由于器壁的吸气与放气十分显着,需要设法减小其影响。
这种校准系统的特点是制作简单,操作方便,运算迅速简单,检定效率高,并且可以排除水银蒸汽对人的危害。
膨胀法校准的工作原理是基于波义耳定律,即在恒定的温度下一定质量的气体压力与其体积的乘积为一常数。
气体V 0膨胀到V 1后,在V 0和V 1中的压强应比P 0低.根据气体定律,有 第一次膨胀P 1(1)(V 0+V 1)=P 0V 0第二次膨胀(2)(1)01010011000101()V PV V PV P V PV PV V V +=+=++第n 次膨胀()(1)()(2)001111101010101()()1n n n n PV V V V PP V V V V V V V V --⎡⎤=++++⎢⎥++++⎣⎦0000001010011()1()1nn V PV V V V P V V V V V V V -⎡⎤+==-⎢⎥++⎣⎦-+根据二项式理,则有000101()1n V V n V V V V =-++则()0001000010111(1)n V V V PP n nP np V V V V V ⎡⎤=--=≈⎢⎥++⎣⎦若以充油的U 型计指示出油柱高度差h 时,V 中压强P 为P=将上述式子代入有下式:h校准时,向v1内膨胀气体可以很多次,每膨胀一次均记录待校准真空计G1的指示读数V(即热偶的热电动势毫伏数),同时用上述式子算出相应的压强值,P1-V刻度校准曲线即可做出。
浙师大近代物理实验报告真空的获得与测量任希 物理081 08180123摘要:操作之前需要对本实验之中各个概念进行把握,首先要对真空的概念加以理解,从而了解真空的一些特点以及真空技术的基本知识。
根据真空的定义,用旋片式机械泵进行初级的真空处理,用油扩散泵进行高真空获取,这样就制造了真空环境。
本实验要求在了解真空技术的基础上,掌握高真空的获得和测量的基本原理和方法的前提下测出真空度。
关键词:真空 、真空泵引言:本次实验的对象是真空,那我们就有必要对真空有个全面的了解,真空本指没有任何实物粒子存在的空间,但什么都没有的空间是不存在的。
而假设你把一个空间的气体都赶跑,会发现还是不时有基本粒子在真空中出现又消失,无中生有。
物理上的真空实际上是一片不停波动的能量之海。
真空技术的历史开始于1634年,当时,托里拆利将一端密封的长玻璃管注满汞并倒置于盛有汞的槽里,发现汞柱顶端产生真空。
但是真空作为一门独立的学科出现,只是近几十年的事。
自二十世纪初起,随着电子管的研究和生产,逐步建立起了能够获得和测量压强低于Torr 710-的高真空设备与技术;到二十世纪五十年代,随着表面物理,原子能物理,以及半导体、电子计算机、航空技术的迅速发展,发展了超高真空技术;到二十世纪七十年代,又进一步提高到压强低于Torr 1110-的极高真空。
目前,在工业、生产、医学等领域对真空的说法是,当容器中的压力低于大气压力时,把低于大气压力的部分叫做真空,而容器内的压力叫绝对压力。
另一种说法是,凡压力比大气压力低的容器里的空间都称做真空。
因此真空有程度上的区别:当容器内没有压力即绝对压力等于零时,叫做完全真空;其余叫做不完全真空。
完全的、绝对的真空是不存在的,实验室以及其他条件下获得的真空都是不完全的真空。
我们通常把真空度的高低以气体压强的大小来表示,气体压强越低则真空度越高,反之气体压强越高则真空度越低。
正文:本次实验我们使用的仪器:机械真空泵、油扩散泵、FZH-2B复合真空计等。
实验指导书1绝热法金属比热测量实验【实验目的】(1) 了解比热的定义和测量原理(2) 了解基本的绝热技术(3) 掌握绝热法金属比热测量方法【实验原理】比热的测量源于Nernst 对热力学第三定律的表述“接近绝对零度时所有物质的比热都趋近于零”,Einstein 用量子效应说明了低温比热的这种性质,从而开创了利用低温比热的测量来研究物质能态的方法。
比热的测量几十年来为物理学各个领域的发展起到了重要的作用,尤其在物质相变的研究中更是扮演了重要的角色,例如晶格振动的Debye 理论、金属自由Fermi 气体理论、非晶态理论、超导BCS 理论、液氦的λ相变、磁有序—无序相变、铁电相变、金属正常—超导相变等。
比热的测量日趋成熟,人们发展了各类样品的不同测量方法。
为了让大家了解比热的含义,我们从比热的定义出发介绍一种最基本的绝热测量方法。
物质热容的定义是指在与外部环境绝热条件下设某个温度T 附近物质吸收或放出微小量的热量δQ ,当物质达到热平衡后温度变化了δT ,那么我们说温度T 时该物质的热容为:TQ C T x δδδ0lim →= x 为变化过程中恒定的物理参量,在实际测试过程中,大多是在恒压条件下,这时x 就是压强p 。
以下我们忽略掉下标x 。
设物质所测样品的质量为m ,物质的比热为单位质量的热容。
TQ m c T δδδ0lim 1→= 实际测量时是样品处于某个温度附近的平均值,即 )(1)(T c T Q m T c ≈∆∆=一般热量是通过在Δt 时间内给样品提供一定的加热功率P ,加热功率P = 加热器的电流I ⨯加热器的电压V 。
然后切断加热源,等待样品热平衡后测量热平衡温度,温度的变化ΔT 为终了平衡温度减去加热前平衡温度。
假设整个过程样品和环境之间没有热量的传递,则比热Tt IV m T t P m T c ∆∆=∆∆=11)( 所以本方法的关键是系统的绝热问题。
图1为测量恒温器示意图,样品架为厚度0.5 mm 、宽度25 mm 正方形紫铜,样品架背面用导热胶贴上合金薄膜电阻加热器(电阻值为7.8 Ω)和Pt100铂金属薄膜温度计,样品室为圆柱形抛光不锈钢材料,顶盖设计为可观察、方便打开和密封的石英玻璃窗口。
可看出,样品和环境之间的传热途径主要有:通过电引线和支撑杆的固体传热、真空室的剩余气体传热、样品与周围环境的辐射传热、电引线的焦耳热。
系统采用热导率很低的直径φ=8 mm 的胶木棒作支撑杆,用细棉线将样品和样品架悬吊在支撑杆上,用直径φ=0.1 mm 的铜和康铜高强漆包线作电流、电压电引线,固体传热在测量过程中可忽略。
真空室利用台式微型机械真空泵可维持真空度好于2 Pa ,漏热流从100 ︒C 到室温25 ︒C 可估算低于0.038 W 。
设样品为直径φ=20 mm 、高h=5 mm 表面刨光的紫铜,利用辐射传热公式可估算辐射传热低于0.012 W 。
这样总漏热功率约0.05 W ,样品的加热功率一般约或大于0.8 W ,可近似认为样品所吸收的热量完全来自于加热器的焦耳热,且无热量损失。
(鉴于重点突出测量原理和方法,作者不过多涉及传热和绝热相关知识和具体数据,有兴趣的读者可参阅低温物理或低温技术相关书籍)图1 绝热法比热测量原理图【实验仪器和用具】绝热法比热测量恒温器、绝热法比热测量仪、表面温度计、微型真空泵或多接口真空系统、真空规和真空测量仪、电子天平等【仪器介绍】绝热法比热测量系统由恒温器、真空规、真空阀和真空管道、微型真空泵、绝热法比热测量仪主机、真空指示仪等组成,如图2所示。
需要测量未知质量样品的比热时,可自行配置电子天平。
恒温器中的石英观察窗能在不打开真空室的情况下学生直观地了解样品架的结构。
微型真空泵可让实验装置放置于实验台,为节约成本或减少噪音也可配置1~2套多接口大抽速真空系统代替台式微型真空泵,做实验时只要将真空室对接系统,真空满足要求后脱离系统独立开展实验。
样品 样品架支撑杆真空室真空接口加热器电引线图2绝热法比热测量实验装置图数据的测量主要在测量仪主机上完成,测量仪主机面板结构如图3所示。
位于第一行的两个数字仪表用于记录加热器的电压V(V)和电流I(A),第二行分别记录样品和真空内壁的温度差∆T(K)和加热时间∆t(s),红色复位按钮用于复位加热时间至0.00s ,电流调节旋钮可预置恒流源电流大小,加热拨动开关用于启动/停止加热。
图3绝热法比热测量主机结构图真空阀门恒温器【实验内容和实验步骤】1.称量并放置样品(1)称量(如果已知样品质量可略此步):用镊子取样品Cu,用电子天平称量其质量;(2)将样品质量记入表1中;(3)打开真空室顶盖:旋下真空密封螺丝,依次缓慢开启放气阀(见右图)和真空阀,待真空室和大气压平衡后,取下真空室顶盖(注意安全:真空顶盖较重,且加工精细,需双手轻拿轻放);(4)放置样品:将Cu样品与样品架热接触的一面均匀涂抹阿皮松脂后紧贴于样品架正中;(5)等待样品热平衡:由于人体温和环境温度不一致,样品此时初始温度不是室温,尽管本实验装置可测量不同初始温度比热,但建议本步还是将样品放置在样品架一会,待样品和实验室环境基本达到热平衡(可打开主机观察);(6)密封真空室:将真空室顶盖合上,并用三个固定螺丝相隔120︒用力均匀地旋紧(可不必旋很紧)。
2.抽真空(1)用波纹管和快接接头连接恒温器和真空泵;(2)关闭真空阀,关闭放气阀;(3)启动真空泵;(4)缓慢打开真空阀(先轻微开启,再慢慢开到最大);(5)观察真空度的变化,确保不漏气,这时可将三个固定螺丝适度均匀旋紧(当然也不需要非常用力);(6)真空度好于2~3 Pa后可继续以下步骤,若真空室抽10分钟后真空仍高于10 Pa则要检查真空系统;(7)真空稳定后,记录真空度。
3.Cu样品的热容测量(1)如果时间不为0,按时间复位按钮;(2)记录样品初始温度T1(注意表头显示的温度实际上为样品和室温的温度差,由于实验关心的是初始温度与终了温度差,所以直接把表头读数当作当前温度);(3)加热开关在“Off”状态时,调节电流设置,使加热电流被预设在约300mA(加热电流的大小取决于样品总热容、加热时间和所需要的测量温度,本实验铜样约25±2 g,加热时间约120 s,温差约10 K)。
(4)加热开关置“On”,记录加热电流I和加热器电压V(由于加热电阻随温度有微小变化,加热电压可略微变化,可记录中间值);(5)观察加热时间,当∆t ~ 120 s时,把加热开关置“Off”,停止加热,记录加热时间∆t。
(6)当停止加热时可观察到温度读数快速下降,稍后可观察到温度读数明显缓慢下降(实验上可近似认为此时热平衡达到),记录此时的温度表读数T2;(7)计算Cu样品的热容。
注意测量结果除了样品本身的贡献外,样品架也作了贡献,所以结果要扣除样品架本身的热容C0, 才能得到样品本身的热容(参加后述数据处理内容)。
4.Al(或其他)样品热容测量,重复上述实验步骤,测量金属Al(或其他样品)的热容5.按照热容公式分别计算样品Cu和Al的热容测量结果。
6.将热容除以样品质量即得样品比热7.将结果与相应工程材料公认值(Cu 、Al 、Fe 分别为0.395、0.941、0.462 kJ/kg ⋅K )比较,给出实验相对误差表1 绝热法比热测量数据记录表实验也可以针对同一样品进行多次测量,但很难保证样品初始温度的统一,可近似为某个温度附近比热测量的平均值。
数据记录可采用下表:表2 绝热法比热测量数据记录表【数据处理】将实验数据代入热容计算公式,计算样品和样品架在T —T+∆T 温度区间的平均热容(我们约定忽略平均符号,计算时注意换算为国际标准单位)。
Tt IV C ∆∆=总 扣除样品架热容后得到样品本身的热容测量值。
本装置样品架热容C 0=1.62 J/K 。
0C C C -=总比热为单位质量的热容。
mC c =利用工程材料比热公认值,计算相对误差。
%100⨯-=标测标c c c E【注意事项】1.本实验涉及知识面较广,进实验室前应充分预习。
2.实验过程中抽真空、热平衡等环节需要耐心等待和仔细观察,否则将带来较大实验误差。
尤其是当停止加热后,由于微小的漏热总是存在,样品温度会一直下降,何时记录温度T2是本实验的关键,实验者要善于观察和判断,有兴趣的读者可参阅文献【4】。
3.若课时紧张,本实验也可仅选做一个样品。
【预习思考题】1.比热的定义是什么?2.比热表征了材料的什么重要特性?3.比热测量的困难主要有哪些方面?绝热法比热测量关键要解决好什么问题?4.什么是样品架的热容?为什么最后结果要扣除样品架热容?是如何扣除的?【讨论题】1.金属材料的比热大小与哪些因素有关?2.为什么我们只能测量比热的平均值?温度差 T(K)的大小如何影响测量精度?3.本实验测量的是样品处于何温度的比热值?4.对于本实验,你认为采取哪些测量技巧或方法可以使得测量结果更加接近标准值?参考资料:【1】阎守胜,陆果,《低温物理实验的原理与方法》,科学出版社,1985年4月第一版. 【2】G.K.White, P.Meeson, Experimental Techniques in Low-Temperature Physics, 4rd Ed., Oxford University Press, Apr. 2002.【3】Frank Pobell, Matter and Methods at Low Temperatures, 3rd Ed., Springer 2007.【4】张义邴,李铭,朱红妹,马洪良,易传祥,韩咏梅,赵新洛,“绝热法金属材料比热测量实验”,物理实验,Vol. 33, No. 3 (2013), 1.【5】朱红妹,张义邴,张金仓等,大学基础物理实验,高等教育出版社,2012年10月第一版.。