光子集成芯片你知道吗?三种硅基激光器详解

  • 格式:pdf
  • 大小:129.46 KB
  • 文档页数:2

光子集成芯片你知道吗?三种硅基激光器详解
 硅基激光器是用于硅基光子集成芯片的重要器件,为硅基光电子集成芯片提供光源。

然而,由于硅材料本身的缺陷,很难用于实现硅基红外光源。

因此,如何实现硅基激光器是硅基光子学的研究热点之一。

 目前,硅基激光器主要有三个技术方向:1.将半导体激光器封装在Laser-Box中,通过光栅耦合器耦合进硅波导中;2.将III-V族的DFB芯片倒装焊(flip-chip)在SOI晶圆上,将光通过端面耦合进硅波导;3在SOI晶圆键合III-V族材料,然后再制作激光器,通过倏逝波耦合将光耦合进硅波导。

 方案1以Luxtera为代表,通常在实用中需要定制大功率的激光器芯片。

参考图1。

 图1 、Luxtera开发的硅基激光器
 方案2,欧洲和日本的研究单位研究的较深入,它将III-V族的DFB芯片通过端面耦合到SOI的光回路中。

在工艺方面,这种方案对于DFB芯片波导和Si波导对准及端面反射的要求非常严格,通常要求对准精度Intel为代表,将III-V材料通过wafer-bonding的方式键合在SOI晶圆上,利用硅波导。