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《集成电路设计基础》
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外延生长
分子束外延生长(MBE:Molecular Beam Epitaxy) 这种方法有生长半导体器件级质量的膜的能 力,生长厚度有原子级精度。MBE系统的基本 要求是超高真空,基本工艺流程包含产生轰击 衬底上生长区的III、V族元素的分子束等。 MBE几乎可以在GaAs基片上生长无限多的外 延层,经过MBE法,衬底在垂直方向上的结构 变化具有特殊的物理性质。
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《集成电路设计基础》
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掩模的制版工艺
(3) 接触曝光制作的掩模图案失真较大,原 因有: a、图画在纸上,因为热胀冷缩、受潮起 皱、铺不平等引起失真; b、初缩时,照相机有失真; c、步进重复照相时,同样有失真; d、从掩模到晶圆上成像,还有失真。
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《集成电路设计基础》
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《集成电路设计基础》
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无生产线集成电路设计技术
随着集成电路发展的过程,其发展的总 趋势是革新工艺、提高集成度和速度。 设计工作由有生产线集成电路设计到无 生产线集成电路设计的发展过程。 无生产线(Fabless)集成电路设计公司。 如美国有200多家、台湾有100多家这样 的设计公司。
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掩模的制版工艺
(1)早期掩模制作方法:
先把版图分层画在纸上,每一层掩模一种图案。 版图画得很大,可以达到50×50㎝2或100×100㎝2, 将其贴在墙上,用照相机拍照。然后缩小10~20倍, 变成 5×5 ~ 2.5×2.5㎝2 或 10×10 ~ 5×5㎝2 的精细底 片。这一过程称为初缩。 接下去, 将初缩版装入步进重复照相机,进一步缩 小到2×2㎝2或3.5~3.5㎝2,一步一幅印到铬(Cr)板上, 如下图所示,形成一个阵列。