镀膜 sio2薄膜

一.磁控溅射电镀

上世纪80年代开始, 磁控溅射技术得到迅猛的发展, 其应用领域得到了极大的推广。现在磁控溅射技术已经在镀膜领域占有举足轻重的地位, 在工业生产和科学领域发挥着极大的作用。正是近来市场上各方面对高质量薄膜日益增长的需要使磁控溅射不断的发展。在许多方面, 磁控溅射薄膜的表现都比物理蒸发沉积制成的要好；并且在同样的功能下采用磁控溅射技术制得的可以比采用其他技术制得的要厚。因此, 磁控溅射技术在许多应用领域涉及制造硬的、抗磨损的、低摩擦的、抗腐蚀的、装潢的以及光电学薄膜等方面具有重要是影响。

磁控溅射技术得以广泛的应用,是由该技术有别于其它镀膜方法的特点所决定的。其特点可归纳为:可制备成靶材的各种材料均可作为薄膜材料,涉及各种金属、半导体、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷等物质,特别适合高熔点和低蒸汽压的材料沉积镀膜在适当条件下多元靶材共溅射方式,可沉积所需组分的混合物、化合物薄膜;在溅射的放电气中加入氧、氮或其它活性气体,可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜;控制真空室中的气压、溅射功率,基本上可获得稳定的沉积速率,通过精确地控制溅射镀膜时间,容易获得均匀的高精度的膜厚,且反复性好;溅射粒子几乎不受重力影响,靶材与基片位置可自由安排;基片与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上,且由于溅射粒子带有高能量,在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜,同时高能量使基片只要较低的温度即可得到结晶膜;薄膜形成初期成核密度高,故可生产厚度10nm以下的极薄连续膜。

1.磁控溅射工作原理:

磁控溅射属于辉光放电范畴, 运用阴极溅射原理进行镀膜。膜层粒子来源于辉光放电中, 氩离子对阴极靶材产生的阴极溅射作用。氩离子将靶材原子溅射下来后,

沉积到元件表面形成所需膜层。磁控原理就是采用正交电磁场的特殊分布控制电场中的电子运动轨迹, 使得电子在正交电磁场中变成了摆线运动, 因而大大增长了与气体分子碰撞的几率。 用高能粒子(大多数是由电场加速的气体正离子)撞击固体表面(靶), 使固体原子(分子)从表面射出的现象称为溅射。溅射现象很早就为人们所结识, 通过前人的大量实验研究, 我们对这一重要物理现象得出以下几点结论:

车辆镀膜后该注意什么

现在汽车已经走入每一个普通老百姓的家庭，但是当我们把车买回来以后，该怎样养护自己的爱车呢?一般我们都会给爱车镀膜，为的是能够大大提高爱车的车漆表面清漆的光泽度，使车漆看上去更加鲜艳、光彩夺目。那么车辆镀膜后该注意什么呢?只有无机镀膜，才是覆盖在汽车表面的镀膜层，不会被紫外线、酸雨等外界因素氧化而消失掉，车辆正常使用情况下单次保护车漆长达1年左右，所以才能称为汽车镀膜。其涂装方法为了适应汽车美容店普及的需要，不需要在烤房内高温固化，只要和空气中的水分发生化学反应，就能固化为以二氧化硅(SiO2)为主要成分的水晶玻璃镀膜层。汽车镀膜的特性在于在车漆表面形成保护层，隔绝外界物质对漆面的损害。从简单的洗车到车蜡到封釉，国内汽车美容进入一个不断升级阶段。

汽车镀膜以后要注意：汽车镀膜前车主一定要关注实施镀膜后几天的天气变化情况，如果预报会有下雨，那最好不要进行镀膜施工，因为身镀膜后24小时不能够进行洗车或让车漆表面沾水。如果没有注意到天气的变化，镀膜后遇到有下雨的情况，车主应把爱车停靠在车库里，或用车罩把爱车罩起来;爱车镀膜后7天之内最好不要清洗车辆，以达到镀膜的最佳光亮效果。以后洗车过程中要用中性的洗车液，而不能用碱性的。碱性的洗车液泡沫，对镀膜层有消解作用;现在夏天快到了，高气温条件下镀了膜的爱车要尽量避免被太阳暴晒，尽量让爱车停在树阴如果实在没办法避免暴晒的情况，可用较好的隔热反光车披进行保护。长时间不用的爱车最好能停在阴凉的车库里。

通过以上的介绍，大家是不是也觉得为爱车镀膜的好处了?今天为大家准备的车辆保养小知识就讲到这里，最近一段时间

第３４卷第７期　２００６年７月　同济大学学报（自然科学版）　ＪＯＵＲＮＡＬ　ＯＦ　ＴＯＮＧ］Ｉ　ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＮＡＴＵＲＡＬ　ＳＣＩＥＮＣＥ）　Ｖｏ１．３４　Ｎｏ．７　Ｊｕ１．２００６　

ＡＦ２４００一ＳｉＯ２疏水复合光学薄膜制备及其表征　

汪国庆，沈　军，谢志勇，吴广明　

（同济大学物理系，上海２０００９２）　

摘要：采用溶胶一凝胶工艺制备低折射率二氧化硅（ｓｊ０２）增透薄膜，用ＡＦ２４ｏ０（Ｔｅ１ｎＯｎ）对薄膜进行表面处理得到　Ａ　４ｏ０一Ｓｉ０２疏水复合光学薄膜．对薄膜的表面形貌、疏水性能、光学性能等进行测试，结果显示ＡＦ２４ｏ０一Ｓｉ０２．复合　光学薄膜表面平整，折射率为１．２１，疏水角可以达到ｌｌ０。～１２０。．　

关键词：光学薄膜；制备；溶胶一凝胶工艺；ＡＦ２４ｏ０一ｓｉｏ２疏水减反复合薄膜；无定形氟聚合物ＡＦ１４ｏ０　中图分类号：ＴＮ　２４９；Ｏ　４８４．４　文献标识码：Ａ　文章编号：０２５３—３７４Ｘ（２００６）０７—０９２４—０４　

Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｈｙｄｒｏｐｈｏｂｉｃ　Ａｎｔｉ—ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ　

ＡＦ２４ｏｏ—ＳｉＯ２　Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ　Ｆｉｌｍ　

ＷＡＮＧ　Ｇｕｏｑｉｎｇ，ＳＨＥＮＪｕｎ，ＸＩＥ　Ｚｈｉｙｏｎｇ，ＷＵ　Ｇｕａｎｇｍｉｎｇ　

（Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｔｏｎｇｉｉ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ　２０００９２，Ｃｈｉｎａ）　

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ　Ｓｉ０２　ｃｏａｔｉｎｇ　ｉｓ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｗｉｔｈ　ａ　ｓｏｌ—ｇｅｌ　ｒｏｕｔｅ　ａｎｄ　ｄｉｐ　ｃｏａｔｉｎｇ　ａｎｄ　ｔｈｅ　ｓｕｒｆａｃｅ　ｏｆ　

ｓｉ０２　ｆｉｌｍ　ｉｓ　ｄｉｓｐｏｓｅｄ　ｗｉｔｈ　ＡＦ２４ｏｏ、ＡＦ２４００一ｓｉｏ２　ｆｉｌｍ　ｉｓ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ　ｂｙ　ａｔｏｍｉｃ　ｆｏｒｃｅ　ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ｆｏｕｒｉ　

第52卷 第11期 表面技术

2023年11月 SURFACE TECHNOLOGY ·347·

收稿日期：2022-10-08；修订日期：2023-02-24

Received：2022-10-08；Revised：2023-02-24

基金项目：江西省教育厅科学技术研究项目（GJJ2201323）；江西科技师范大学博士启动基金（2018BSQD019）

Fund：Science and Technology Research Project of Jiangxi Provincial Department of Education (GJJ2201323); Ph. D. Start Fund Project of

Jiangxi Science and Technology Normal University (2018BSQD019)

引文格式：向军淮, 徐志东, 王军. TiO2-SiO2多功能薄膜的制备及其性能研究[J]. 表面技术, 2023, 52(11): 347-354.

XIANG Jun-huai, XU Zhi-dong, WANG Jun. Preparation and Properties of TiO2-SiO2 Multifunctional Thin Films[J]. Surface Technology, 2023,

52(11): 347-354.

*通信作者（Corresponding author）

TiO

2-SiO

2多功能薄膜的制备及其性能研究

向军淮，徐志东，王军*

（江西科技师范大学 江西省材料表面工程重点实验室，南昌 330013）

摘要：目的 改善普通玻璃的防雾性能。方法 采用溶胶−凝胶法在玻璃表面制备均匀透明的xTiO

2-(1−x)SiO

2

（x为1.00、0.75、0.50、0.25、0）复合薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子