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工艺培训资料课件

工艺培训资料
7.测试工序这里要讲到测试治具；治具是指简化工艺的一种工装,能够节约时间的工具. 例：测试松下V系列时 (1)确认治具连接好 (2)是否按照测试步骤与要求 (3)是否有保护措施 (4)产生100V交流电压特别注意的是:顶针上有触电的可能性,触电的危险性大家都知道. (5)注意测试设备的设定. 测试前检查治具符合性，各个按钮是否在正常档上。
工艺培训资料
三.什么是工艺文件
工艺文件是指导工人操作和用于生产、工艺管理等的各种技术文件。
工艺培训资料
四.工艺文件分类
• 1）作业方法。装配顺序书、作业指导
书、检验作业指导书、工艺控制、各类清单、工艺路线和物流、定置、定量、文明生产等。 • 2）作业标准。操作规程、工艺标准、质量标准、工艺规范等。 • 3）定额标准。工时定额、材料定额。
工艺培训资料
4．组装工序，这里就要讲到工具（1）电动螺批的使用，注意在使用之前确认电动螺批的扭力。单位 kgf.cm 这些大家都能明白为什么在做这一点.就是保证产品的品质要求与保护产品不被损坏. 螺丝锁附不紧塑料件开裂螺丝紧坏（2）漏装螺丝,错装螺丝,使用螺丝不对（3）弹垫平垫螺丝安装顺序正反方向（4）有时注意安装的极性与方向性（5）治具的应用（6）手动工具的使用，由于力量的大小，所以控制起来就不是一样；这些都靠我们平时的练习中获取。
工艺培训资料
总结: 作业指导书只是一种作业的指导性工具,最重要的是我们每一位一线生产作业员（1）物料的识别，产品的认识。（2）正确的作业方法（3）自检和互检的作用方法（4）合理的作业时间。（5）端正的作业态度这些都靠作业员在平时的工作经验积累。值得一提，（要能够发现问题,发现异常情况,但一般不要求轻易自己处理所遇到的问题,可以反应到你上一级领导。）

工艺知识培训pptx

按照制定的工艺方案进行生产加工、装配调试等操作。
对产品进行质量检验，确保产品符合要求和标准。
工艺改进与优化
根据生产实践和产品反馈，对工艺进行改进和优化，提高生产效率和产品质量。
工艺管理的重要性和意义
保证生产质量和产品一致性
合理的工艺安排和严格的质量控制可以保证生产质量和产品一致性，降低废品率和投诉率。
详细描述
针对可能发生的工艺事故，应制定相应的应急处理预案。预案应包括事故的发现与报告、应急联系、现场处置、事后处理等内容。同时，为了预防事故的发生，还需要采取一系列的预防措施，如定期检查设备、保养维护、安全培训等。
06
工艺发展趋势与展望
现代工艺的发展趋势
向更加精细化方向发展
随着科技的不断发展，现代工艺逐渐向更精细化、个性化方向发展，以满足消费者不断提高的个性化需求。
器等。
锻造工艺的优点是零件具有较高的强度和疲劳寿命，同时可以
03
改善金属内部结构，缺点是生产周期长、废品率高。
焊接工艺
焊接工艺是指将两个或多个金属零，如钢、铝、铜等，以及各种形状和大小的零件和部件。
焊接工艺的优点是连接强度高、适用于各种材料和形状，缺点是焊接变形大、易产生气孔和裂纹。
质量检测与检验方法
质量检测
在生产过程中，通过抽样检验、全数检验、自动检测等方法对产品质量进行检查和测试，确保产品符合技术要求。
检验方法
根据产品的特性和生产工艺的不同，常用的检验方法包括感官检验、仪器检验、破坏性检验和非破坏性检验等。同时，为了提高产品质量和生产效率，也需要不断改进检验方法。
05
03
纳米技术的应用
纳米技术是一种新型的制造技术，可实现材料性能的优化和提升，为

《工艺技术培训》课件

激发创新意识，探索工艺技术创新机遇，为企业发展提供新思路。
课程内容概述
工艺技术基础
介绍工艺技术的基本概念、分类和应用领域。
工艺流程与流程控制
探讨工艺流程设计和流程控制的关键要素和最佳实践。
团队协作与项目管理
培养团队协作精神，学习项目管理技巧和团队沟通策略。
培训方法
讲授
通过专业讲师系统讲解工艺技术理论和实践案例，深入浅出。
《工艺技术培训》PPT课件
欢迎大家参加《工艺技术培训》课程！本课程旨在为大家提供全面的工艺技术知识和实践培训，帮助您进一步提升职业能力。
课程目标
1 全面掌握工艺技术知识
学习核心工艺技术概念、原理和应用，提高技术实践能力。
2 了解最新技术发展趋势
掌握行业前沿技术动态，提前了解并应用最新技术。
3 培养创新思维
学员反馈与总结
1 知识收获丰富
学员对工艺技术知识有了全新的认识和理解。
2 互动学习体验好
学员通过小组讨论和实践演练，与同行们共同交流学习。
3 实践效果显著
学员能够将所学知识应用于实际工作中，取得了可观的成果。
下一步行动计划
深入研究
继续学习工艺技术相关文献和案例，不断提升自己的技术水平。
实践实践再实践
案例分析
结合真实案例，分析解决工艺技术难题的方法和策略。
小组讨论
模拟工作场景，组织小组讨论，促进经验分享和互动学习。
实践演练
1
仿真实验
通过实验室仿真实验，艺技术实践。
指导学员自主设计工艺流程，提升
解决问题的能力。
3
实际操作
在真实工业环境中操作设备，掌握工艺技术的应用技巧。

工艺员培训资料课件

预防性维护与故障排除
01
02
03
04
制定设备维护计划
根据设备运行状况和维修记录，制定合理的设备维护计划，
定期进行保养和检查。
故障诊断与排除
建立故障诊断和排除流程，及时发现并解决设备故障，确保
设备稳定运行。
备件管理
合理储备备件，确保备件充足且不过度占用资金，提高备件
使用效率。
员工培训
加强员工对设备维护和故障排除的培训，提高员工对设备的
详细描述
通过对温度、压力、流量、浓度等工艺参数的精确控制和调整，可以优化生产过程，提高产品质量和生产效率。同时，还需要对工艺参数进行实时监测和记录，以确保生产过程的稳定性和可靠性。
新工艺开发与引进
总结词
新工艺开发与引进是推动企业技术进步和提高市场竞争力的重要手段。
详细描述
企业应积极关注行业动态和新技术发展，不断引进和开发适合自身生产需要的新工艺。新工艺的开发与引进需要考虑技术可行性、经济性、环保性等方面，并进行充分的试验和验证，以确保新工艺的可靠性和稳定性。
培训内容与方法选择
内容选择
根据培训目标，选择适合的培训内容，如工艺技术、安全操作规程、质量管理体系等。
方法选择
根据培训内容和目标，选择适合的培训方法，如理论授课、实践操作、案例分析等。
培训材料
准备相应的培训教材、PPT、视频等资料，确保培训内容的准确性和完整性。
培训效果评估与反馈
01
总结词
生产工艺流程设计是工艺技术应用中的基础环节，它决定了产品的质量和生产效率。
详细描述
在进行生产工艺流程设计时，需要综合考虑原材料、设备、工艺参数、人员等因素，制定出科学、合理的工艺流程，以确保产品的质量和生产的顺利进行。

工艺培训讲义.ppt

——关于首件检查——
什么是首件检查？首件检查的目的是什么？在什么情况下要进行首件检查？
➢首件检查是指在产品的生产状态发生变化或可能发生变化的情况下对产品的相关项目进行检查确认的过程；
➢首件检查的目的是为了防止出现批量性的产品不合格； ➢一般，在以下情况下需要进行首件检查：
①. 在刚刚开班（开始生产）时要进行产品的首件检查； ②. 在进行产品不同的机种（系列）更换后要进行首件检查； ③. 在对工装/设备进行调整或维修以后要进行首件检查； ④. 更换刀刃具或其它消耗品以后要进行首件检查； ⑤. 对设定的工艺参数做了调整/变更以后要进行首件检查。
是压缩机的性能主要决定零件，精度要求极高； 4. 裝配车间：压缩机的总成車間，工艺较繁杂，作业手法要求高，如：三点选配，
调芯等，另因机种較多，物流管理要求很高；
第二部分：工艺纪律
什么是工艺？
工艺是指为保证产品达到预定的质量水平而在其加工/裝配过程中或在检查中所设的规范或标准；
例如：※ 设备上设定的压力、温度、电流、电压、工作周期（时间）、浓度； ※ 加工、装配中设定的产品规格； ※ 作业顺序、设备工装操作调整手法、产品检查方式方法； ※ 所使用的消耗品的种类、管理周期； ※ 设备的点检、保养维护手法等等；
关于工艺文件
➢GMCC 所生产的旋转式压缩机的工艺规范在以下文件中体现（即我们平时所说的工艺文件）：
—— 《零件加工规格书》
设备的设定参数、使用的消耗品和工装的种类规格、产品加工图、检查规格及方法等；
—— 《装配规格书》
设备的设定参数、使用的消耗品和工装的种类规格、产品装配图、检查规格及方法等；
—— 《检查规格书》（含受入产品检查、和最终产品检查）提供产品的巡回检查标准、产品完成后抽样检查的标准等； —— 《作业指导书》提供产品加工/装配作业方法、设备的操作、工装的更换调整方法等； —— 《技能指导書》是《作业指导书》的补充，提供各种作业、维修维护的方法；

工艺培训课件

物料配比不当
原料配比不准确，导致产品质量不稳定。
解决方法
控制温度
控制压力
通过调节加热或冷却装置，保持适宜的温度。
通过调节进气阀和排气阀，保持适宜的压力。
控制液位
控制物料配比
通过调节进料速度和液位高度，保持适宜的液位。
通过精确计量和配比装置，确保原料配比准确。
经验分享
1 2
经验一
在生产过程中，要密切关注温度、压力、液位等参数的变化情况，及时调整。
经验二
对于关键工艺参数，要设置报警装置，一旦超出正常范围，立即报警并采取备进行检查和维护，确保设备正常运行，避免因设备故障导致生产事故。
06
案例分析与实战演练
案例分析
工艺原理
01
通过实际案例，讲解工艺的基本原理、应用范围及实际操作过
程。
操作技巧
02
通过案例分析，掌握操作过程中的难点和重点，提炼出有效的
操作技巧。
故障排除
03
分析常见故障及排除方法，学会迅速诊断和解决工艺问题。
实战演练
模拟操作
通过模拟实际生产环境，使学员熟悉操作流程，提高实际操作能力。
团队合作
组织学员分组合作，共同完成一项工艺任务，培养团队协作能力。
问题解决
设置问题场景，让学员现场解决，培养学员独立解决问题的能力。
学员互动与点评
02
基本工艺知识
工艺原理
总结词
了解工艺的基本原理和技术特点，包括物理、化学和生物学等方面的基础知识。
详细描述
工艺原理是工艺技术的核心，它包括物理、化学和生物学等方面的基础知识。这些基础知识对于理解工艺的实质和特点非常重要。同时，了解这些基础知识还有助于在实践中正确地应用工艺技术。

《工艺培训教材》课件

工艺流程
总结词
工艺流程是工艺实现的基础，需要明确各个步骤的顺序和作用。
详细描述
工艺流程是工艺实现的整体规划，包括原料准备、加工、检验、包装等步骤。明确每个步骤的顺序和作用，有助于保证工艺过程的顺利进行和产品质量。
工艺参数与标准
总结词
工艺参数与标准是衡量工艺质量的依据，需要精确控制。
详细描述
03
某食品加工工艺流程
典型工艺案例介绍与分析
案例十
某化学合成工艺流程
分析
每个案例都从工艺原理、设备选用、操作步骤、质量检测等方面进行了详细介绍，帮助学员全面了解各种工艺的特点和应用范围。
工艺实践操作演示与指导
演示一
机械加工工艺实践操作
演示二
电子装配工艺实践操作
演示三
塑料成型工艺实践操作
工艺实践操作演示与指导
质量标准
明确工艺产品的质量要求，制定相应的质量标准，确保产品符合行业和客户的期望。
评估方法
建立有效的评估体系，采用适当的评估方法，如过程能力分析、抽样检验等，对工艺质
量进行定期评估。
工艺质量控制流程与措施
控制流程
制定工艺质量控制流程，明确各环节的质量控制要求，确保从原材料、设备、工艺参数到成品检验等各环节得到有效控制。
发展趋势
未来工艺的发展将更加注重智能化、自动化、数字化和绿色化，以提高生产效率、降低成本、减少环境污染，并满足个性化、定制化的市场需求。
02
工艺基础知识
工艺原理
总结词
理解工艺的基本原理是掌握工艺技术的关键。
详细描述
工艺原理是指导工艺过程的基本规律，包括物理、化学、生物等原理的应用。了解和掌握这些原理有助于更好地理解工艺过程，预测和控制工艺结果。

工艺基础知识培训课件(PPT 50张)

培训教育
学习成长
• 1.3.2温度对半导体材料电阻率的影响 • 对金属导体来说，当温度升高时，它的电阻率增大，但变化幅度不大。而半导体与此相反，当温度升高时，电阻率降低，温度下降时，电阻率增大，并且变化幅度很大。当温度变化300℃时，电阻率会改变几千倍到几十万倍。当温度下降至接近绝对零度（-273℃）时，半导体就成为绝缘体。因此要求在室温下（23±2℃）测量硅单晶的电阻率。
• 拉晶等径完成后，如果不收尾，单晶尾面脱离熔硅后，由于热应力作用往往产生位错，而且位错会向上返。为提高单晶成晶率，工艺上采取收尾工艺，如果收尾良好，则基本不产生位错。
培训教育
学习成长
2.2电阻率与掺杂
• 2.2.1硅单晶电阻率和杂质浓度
• 半导体内含微量杂质元素，将使载流子（自由移动的电荷）浓度增加，半导体的电阻率将发生很大变化。在太阳能级单晶硅的拉制中，都要加入杂质元素。根据导电类型分为P（positive正）型和N（negative 负）型单晶，P型单晶是由空穴（显正极性）作为载流子，常用的掺杂元素有3价的硼、镓。N型单晶由电子（显负极性）作为载流子，常用的掺杂元素有5价的磷、砷、锑。
培训教育
学习成长
• 通常电阻率低，说明硅中的杂质浓度高，但电阻率高，不能肯定说硅中的杂质浓度就低，还要看是否有高的补偿度（指硅中两种型号杂质浓度之比）。 • 硅单晶的电阻率和杂质浓度可以进行转换，下表中对常用的转换关系进行了列举。
• 2.2.2硅纯度的表示 • 2.2.2.1行业内常用PPb、PPm来表示物质的纯度。
培训教育
学习成长
• 生长无位错硅单晶，首先要生成一个无位错晶核，然后才能在无位错晶核上长成无位错单晶。因此，无位错晶核是生长无位错单晶的基础。无位错晶核和无位错籽晶不同。引晶时，籽晶和熔硅接触，受到强烈的热冲击，不管籽晶有无位错，都要生成和增殖103——104/cm2数量级的位错，通过缩颈工艺则能排除籽晶中原生和新生位错。 • 2.1.4单晶收尾

某公司工艺人员培训教材(PPT92页)

一、工艺与工艺过程
工艺 : 与技术含义基本一致 ( 在英文中是同一个单词)。
工艺 : 劳动者利用生产工具对各种原材料、半成品进行
加工和处理 ( 切削、热处理、检验等 ), 最后成为产品的方
法 , 是人类在劳动中积累起来并经过总结的操作技术经验。
技术 : 根据生产实践经验和自然科学原理而发展成为的
各种工艺操作方法与技能。
工艺人员培训 10 、制订材料消耗工艺定额；
2 、专业工艺技术标准 ( 工艺操作方法标准、工艺试验和检测标准、工艺材料标准、工艺技术条件与工艺参数标准。 (2) 专用设备和测试仪器是否组织鉴定 , 并办理移交车间生产的手续；
工艺纪律 : 企业在产品生产过程中,为维护工艺的严肃性, 保证工艺贯彻执行,建立稳定的生产秩序, 确保产品 ( 零件 ) 的加工质量和安全
广的子系统。
第一章
二、工艺管理在实现企业管理基本职能中的重要作用企业管理的对象 : 人、财、物、时空、信息和科学
技术。针对以上管理对象 , 企业管理的基本职能是计划、
组织、控制和激励。而工艺管理在这些职能中 , 都可以看到他的位置、作用及效果。
第一章
第二章工艺及其管理的基本概念
第一节工艺及其管理的含义与内容
工艺工作包括 : 工艺管理、工艺技术、工艺装备、操作者的技艺等内容 , 是企业从事生产经营活动的技术基础 ,是科技进步的重要内容。
第一章
第一节工艺工作在企业中的作用和地位
一、工艺工作是企业科学技术转化为现实生产力的过程 1 、先进的工艺技术是科学成果的物化结果 2 、设备、工艺装备是工业大生产的标志 , 是科学物化为生产力的重要形式 3、劳动者的技能是科学技术物化为生产力的决定因素 4 、提高工艺管理水平是科学技术转化为生产力的重要组成部分

工艺技术员培训 ppt课件

• DL/T5031—1994 电力建设施工及验收技术规范管道篇
• SY0401—1998 输油输气管道线路工程施工及验收规范
• SY4060—2000 收规
天然气净化装置设备与管道安装工程施工及验
• SY4070—2000
石油天然气管道跨越工程施工及验收规范
• SY0402—2000
石油天然气站内工艺管线工程施工及验收规范
• 公司焊接工艺评定的管理详见Q/CNPC-YGS G
326.13- 2005《焊接工艺评定管理标准》
ppt课件
15
• 3.2 焊接工艺评定在施工中的应用
• ⑴ 在施工前对首次使用的管材和焊条，施焊前必须进行焊接工艺试验与评定。
• ⑵ 对已有焊接工艺评定的管材，选定合适的焊接工艺评定（管径、壁厚、材质等的覆盖范围、替换关系）；
• 各单位需使用公司焊培中心现存有效焊接工艺评定报告时，可直接与焊培中心联系领用；
• 如现存工艺评定报告不能满足施工需要时，由使用单位焊接责任工程师填写“焊接工艺评定委托书”，送交焊培中心，焊培中心按照相关标准进行焊接工艺评定。
• 特殊焊接方法或焊接材料的焊接工艺评定由委托单位配合焊培中心进行。
• 涉及到的基本知识：管道输送理论、金属材料性能、介质的温度、压力、腐蚀性对管道影响。管道安装必须应遵循的管道安装基本规程、规范。同时必须满足国家压力管道安全监察规程。
ppt课件
4
四. 本专业涉及的主要规程、规范、标准和手册
• 1. 执行设计要求的规范
• 2. 如果设计没有特别要求，参照以下规范
ppt课件
7
施工准备图纸会审
原材料领出、运输、复验、标识
技术措施、质量计划编制压力管道安装报审管段图绘制、确认

《工程工艺培训》PPT课件

精品文档
水工施工规范
橱柜．洗脸盆柜内应避免下水管设置在柜门边，柜中央部位等处，排水管道安装后做试水检验，应保证水下水畅通,无渗漏，倒溢现象。
精品文档
水工施工规范
精品文档
水工施工规范
精品文档
水工施工规范
精品文档
水工施工规范
精品文档
水工施工规范
精品文档
水工施工规范
精品文档
水工施工规范
精品文档
油工施工规范
第一面漆应刷厚实一点．浓一点。待第一遍面漆完全干透后，用砂纸进行打磨，磨好后擦干净，直到用手摸无挡手感再刷第二遍面漆。第二遍面漆应稀一点，手要轻，要求漆面无任何刷纹，无毛．瑕点。对不同品牌的油漆应严格按说明书要求．步骤．方法精心施工，达到漆膜厚实光滑．手感良好的效果。
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
电工施工规范
精品文档
水工施工规范
水工进场，首先必须对厨房，卫生间做蓄水试验，2天后，到楼下观察是否渗漏。如有渗漏发生，须及时通知业主，以便做好防水处理。双给水管道的走向．布局要合理，不可斜走．交叉。水路改造采用铝塑管及边接配件，安装前必须检查水管及连接配件是否有破损．砂眼．裂纹等现象。在墙体内．地面下，尽可能少用或不用连接配件，以减少渗漏隐患点。连接配件的安装要保证牢固．无渗漏。
精品文档
瓦工施工规范
*包下水管时,应该尽可能保证阴阳角方正,与地面垂直,特别注意不准封闭下水管道上的检修口. * 地面找平用水平尺,注意地面浇水养护。

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刻蚀、去PSG、镀膜段工作介绍
周延丰
目录
► 刻蚀、去PSG、镀膜的基本原理（简单介绍） ► 四十八所、七星清洗机、Roth&Rau、Centrotherm
设备（简单介绍） ► 各项工艺参数对结果的影响（重点介绍） ► 刻蚀、清洗、镀膜常见问题以及控制方法（重点介
绍） ► 本段中的工艺关注点（重点） ► 工作中应该特别注意的细节（简单介绍） ► 工作流程，出现不合格的处理（简单介绍）
Roth&Rau的介绍
► PECVD和普通CVD比较有如下优点：
► ⑴可以低温成膜，对基体影响小，并可以避免高温成膜造成的膜层晶粒粗大以及膜层和基体间生成脆性相等问题；
► ⑵PECVD在较低的压强下进行，由于反应物中分子、原子、等离子粒团与电子之间的碰撞、散射、电离等作用，提高了膜厚及成分的均匀性，得到的薄膜针孔少、组织致密、内应力小、不易产生裂纹。
机械臂部分、层流净化系统（选用）、电气控制系统、机架及机箱、自动配酸系统（选用）等组成 ► 2.伺服多爪机械手传送系统，step方式 ► 3.自动上/下料工位 ► 4.关键件采用进口件。自动化程度高，可靠性高 ► 5.人性化操作界面，方便直观。界面中有手动操作、故障报警、安全保护、工艺序号等功能。主要指标： ► 产能：1800-2400片/小时（25MW-30MW生产线适用） ► 125mm×125mm和156mm×156mm方片兼容标准100片清洗花篮： ► 100片/批
功率太高，离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤，导致边缘区域的电性能变差从而使电池的性能下降。因此，人们通常倾向于采用功率相对较低而时间相对较长的刻蚀工艺。
等离子体刻蚀过程中，载能离子也会对硅片边缘附近的正反表面区域造成影响。刻蚀过程越长，这种影响越严重。
Roth&Rau的介绍
► 等离子体在化学气相沉积中有如下作用： ► ⑴将反应物中的气体分子激活成活性离子，降低反
应所需的温度； ► ⑵加速反应物在基片表面的扩散作用（表面迁移作
用），提高成膜速度； ► ⑶对于基体表面及膜层表面具有溅射清洗作用，溅
射掉那些结合不牢的粒子，从而加强了形成的薄膜和基片的附着力； ► ⑷由于反应物中的原子、分子、离子和电子之间的碰撞、散射作用，使形成的薄膜厚度均匀。
► 技术特点：1、采用大面积淋浴式送气方式使气体放电均匀 2、气路系统采用全金属密封，抗腐蚀性强，污染小 3、工作压力闭环自动控制，工艺稳定性、重复性好 4、手动/自动控制系统，方便操作、维修 5、敞开式钟罩开启方式，方便装片
七星清洗机的介绍
产品描述： ► 1.设备由六大部分组成：本体、清洗槽部分、伺服驱动系统、
► ⑶扩大了化学气相沉积的应用范围，特别是提供了在不同的基体上制取各种金属薄膜、非晶态无机薄膜、有机聚合物薄膜的可能性；
► ⑷薄膜对基体的附着力大于普通CVD。
Centrotherm的介绍
Centrotherm的介绍
Centrotherm的介绍
Centrotherm的介绍
►CCC-RM ( Centrotherm Cell Controller – Reciptrotherm的介绍
Centrotherm的介绍
刻蚀机参数设定
时间参数（秒）
工艺参数
预主送辉清充压功氧 CF4
抽抽气光洗气力率气 mL/
Pa W
min
120 60 180 820 120 40 100 500 0 180
刻蚀机参数设定
Roth&Rau的介绍
►常压化学气相沉积（APCVD） ►低压化学气相沉积（LPCVD） ►等离子体化学气相沉积（PECVD） ►等离子体类型：Direct等离子体和Romote等
离子体 ►等离子激发频率：低频、射频、微波 ►反应室：管式与平板式 ►传输类型：batch方式和inline方式
Roth&Rau的介绍
2
2
6
2
清洗结果的检验
►亲水清洗前硅片表面Si大部分以O键为终端结构，形成一层自然氧化膜，呈亲水性。
►疏水清洗后硅片最外层的Si几乎是以H键为终端结构，表面呈疏水性。
镀膜的基本原理
介质膜的种类及制备方法有多种，比如真空加热沉积、化学气相沉积、丝网印刷、溅射、电子束蒸发、离心甩胶甚至喷镀等等。
考虑到介质膜的质量及生产成本，最常用的减反介质膜是氮化硅和二氧化钛，前者主要采用化学气相沉积，而后者主要采用喷镀、化学气相沉积和丝网印刷。
镀膜的反应
►SiH4+NH3—→SixNyHz+H2↑ ►硅烷和氨气在微波激励下形成等离子体，在
硅片表面沉积成氮化硅层
薄膜的检测
48所刻蚀机的介绍
► 主要用于多晶硅、氮化硅、二氧化硅薄膜的刻蚀，属干法腐蚀。利用高频辉光放电产生的活性基团与被腐蚀材料发生化学反应，形成挥发性产物使样品表面原子从晶格中脱落。
刻蚀的目的
刻蚀的反应
►Si+CF4+O2→SiF4↑+ CO2↑ ►CF4----CF3、CF2、CF、F、C以及他们的离
子 ►气体组成：92%CF4+8%O2
刻蚀结果的检验
清洗的反应
SiO 4HF SiF 2H O
2
4
2
SiF 2HF H [SiF ]
4
2
6
SiO 6HF H [SiF ] 2H O
►Writing / Modifying of the CESAR recipes ► Recipe pool for all recipes ►Administration and Storage of recipe releases for
individual process tubes
Centrotherm的介绍
Direct：等离子体产生于两平行电极之间，晶圆被固定在一个电极上，在这种情况下，晶圆一般处于等离子体中。典型代表： Centrotherm，岛津。
Romote：晶圆处于等离子体以外。典型代表 Roth&Rau.
Roth&Rau的介绍
Roth&Rau的介绍
Roth&Rau的介绍
Roth&Rau的介绍