半导体器件物理TFT
- 格式:pptx
- 大小:3.49 MB
- 文档页数:11
薄膜晶体管(tft)作用工作原理材料工艺薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,简称TFT)是一种用于电子显示器和面板的非晶硅制造技术。
它是一种重要的半导体器件,用于控制显示像素的亮度和颜色。
TFT晶体管的作用、工作原理和材料工艺会在下文中详细阐述。
一、薄膜晶体管的作用薄膜晶体管作为电子显示器的关键组件,主要用于控制每个像素的亮度和颜色。
在液晶显示器(LCD)和有机发光二极管显示器(OLED)等显示技术中广泛应用。
TFT晶体管类似于一个电子开关,可以打开和关闭每个像素的电流,从而控制其亮度。
TFT晶体管还可以精确地控制每个像素的亮度,使得显示器能够产生清晰、细腻和真实的图像。
二、薄膜晶体管的工作原理TFT晶体管的工作原理可以简单地理解为:通过控制栅极电压来控制漏极和源极之间的电流流动,进而控制每个像素的亮度。
TFT晶体管由四个主要部分组成:栅极、源极、漏极和沟道。
当栅极电压为低电平时,沟道中的导电层不会被激活,从而阻断了源极到漏极之间的电流。
当栅极电压为高电平时,控制电压作用于沟道中的导电层,使它导电,从而允许电流流动。
三、薄膜晶体管的材料工艺1. TFT的制造材料主要的材料是非晶硅(a-Si)或多晶硅(poly-Si)薄膜。
非晶硅具有较高的电子迁移率,且制备过程相对简单,适用于较低分辨率的液晶显示器。
而多晶硅具有更高的电子迁移率,适用于高分辨率和高速刷新率的显示器。
2. TFT的制造过程(1)基板清洗:通过清洗去除基板表面的杂质、油脂和顶层材料等。
(2)锗沉积:在基板表面沉积一层锗,提供后续的结合层。
(3)透明导电氧化锌(TCO)沉积:沉积一层透明导电氧化锌薄膜,用于制作栅极。
(4)非晶硅或多晶硅沉积:在TCO层上沉积非晶硅或多晶硅薄膜,用于制作薄膜晶体管的主体部分。
(5)金属电极沉积:用金属沉积技术在非晶硅或多晶硅层上制作源极和漏极。
(6)栅极沉积:利用光刻和蒸发技术将栅极沉积在金属电极上。
TFT技术解析TFT(Thin Film Transistor)LCD即薄膜场效应晶体管LCD,是有源矩阵类型液晶显示器(AM-LCD)中的一种。
和TN技术不同的是,TFT的显示采用“背透式”照射方式——假想的光源路径不是像TN液晶那样从上至下,而是从下向上。
这样的作法是在液晶的背部设置特殊光管,光源照射时通过下偏光板向上透出。
由于上下夹层的电极改成FET电极和共通电极,在FET电极导通时,液晶分子的表现也会发生改变,可以通过遮光和透光来达到显示的目的,响应时间大大提高到80ms左右。
因其具有比TN-LCD更高的对比度和更丰富的色彩,荧屏更新频率也更快,故TFT俗称“真彩”。
相对于DSTN而言,TFT-LCD的主要特点是为每个像素配置一个半导体开关器件。
由于每个像素都可以通过点脉冲直接控制。
因而每个节点都相对独立,并可以进行连续控制。
这样的设计方法不仅提高了显示屏的反应速度,同时也可以精确控制显示灰度,这就是TFT色彩较DSTN更为逼真的原因。
目前,绝大部分笔记本电脑厂商的产品都采用TFT-LCD。
早期的TFT-LCD 主要用于笔记本电脑的制造。
尽管在当时TFT相对于DSTN具有极大的优势,但是由于技术上的原因,TFT-LCD在响应时间、亮度及可视角度上与传统的CRT 显示器还有很大的差距。
加上极低的成品率导致其高昂的价格,使得桌面型的TFT-LCD成为遥不可及的尤物。
不过,随着技术的不断发展,良品率不断提高,加上一些新技术的出现,使得TFT-LCD在响应时间、对比度、亮度、可视角度方面有了很大的进步,拉近了与传统CRT显示器的差距。
如今,大多数主流LCD显示器的响应时间都提高到50ms以下,这些都为LCD走向主流铺平了道路。
LCD的应用市场应该说是潜力巨大。
但就液晶面板生产能力而言,全世界的LCD主要集中在中国台湾、韩国和日本三个主要生产基地。
亚洲是LCD面板研发及生产制造的中心,而台、日、韩三大产地的发展情况各有不同。
tft工作原理
TFT(薄膜晶体管)是一种基于薄膜技术的半导体器件,常用
于液晶显示器(LCD)平面面板的驱动。
以下是TFT的工作
原理:
1. TFT结构:TFT是由多个薄膜层组成的结构。
其中包括透明导电层(一般为透明的氧化铟锡涂层,ITO层),绝缘层(一般为二氧化硅或硅氧化铝),以及半导体层(多晶硅或非晶硅)。
2. 偏压施加:在TFT中,电场通过透明导电层施加在半导体
层上,可以调节半导体层的导电性。
3. 管道形成:由于施加的电压,半导体层中部分区域的导电特性会发生变化,形成了导电通道。
这个导电通道可以控制液晶的透过性,从而控制显示器上的像素显示。
4. 控制信号:通过在透明导电层上施加不同的控制信号,可以调节TFT中的电场大小,从而控制液晶的偏振状态。
5. 灯光透过:控制液晶的偏振状态会影响灯光通过液晶显示层的方式。
通过透明的导电层和绝缘层,光线可以透射到显示面板中。
6. 显示亮度:液晶显示层通过调节透光性来控制像素的亮度。
当电压施加到TFT时,液晶分子会扭曲并影响光线的透过性。
这种扭曲可以通过不同的信号施加来控制,从而达到调节亮度
的效果。
综上所述,TFT通过控制透明导电层和半导体层之间的电场来调节液晶的偏振状态,从而控制显示器的像素亮度和透明性。
tft器件的4种结构
TFT(薄膜晶体管)器件的常见结构包括:
1. a-Si TFT(非晶硅薄膜晶体管):这种结构使用非晶硅材料作为半导体层,可在玻璃或塑料基板上制造。
它具有较低的生产成本和较好的稳定性,但响应速度较慢。
2. LTPS TFT(低温多晶硅薄膜晶体管):这种结构使用低温多晶硅材料作为半导体层,通过高温退火使其结晶化。
LTPS TFT具有较高的电子迁移率,可以实现更快的响应速度和较高的分辨率。
3. IGZO TFT(铟镓锌氧薄膜晶体管):这种结构使用铟镓锌氧化物(IGZO)作为半导体材料,具有高电子迁移率和较好的电学性能。
IGZO TFT可以实现更高的分辨率、更快的响应速度和较低的功耗。
4. Oxide TFT(氧化物薄膜晶体管):这种结构使用氧化物材料(如氧化铟锡)作为半导体层,具有较高的电子迁移率和较好的稳定性。
Oxide TFT可以实现高分辨率、高刷新率和低功耗的显示效果。
tft器件工作原理TFT器件工作原理一、引言TFT(薄膜晶体管)器件是一种关键的电子元件,广泛应用于液晶显示器(LCD)等电子产品中。
本文将介绍TFT器件的工作原理,包括构造、特性和工作过程等。
二、构造TFT器件由一层薄膜晶体管阵列组成,每个晶体管负责控制LCD的一个像素点。
晶体管通常采用多晶硅材料制成,而薄膜则是以硅氧化物为主的绝缘材料。
在晶体管结构中,包括源极、漏极、栅极和薄膜等关键部分。
三、特性TFT器件具有以下几个重要特性:1. 高饱和电流和迁移率:通过控制栅极电压,TFT器件可以实现高电流和快速响应。
2. 低漏电流:TFT器件的薄膜绝缘层可以有效阻止电流泄漏,提升器件的稳定性和可靠性。
3. 高开关速度:TFT器件的快速响应速度可以保证液晶显示器的刷新率和图像质量。
4. 低功耗:TFT器件的低漏电流和高迁移率可以大幅降低功耗,延长电池寿命。
四、工作过程TFT器件的工作过程可以分为三个阶段:写入、存储和读取。
1. 写入阶段:在写入阶段,通过向栅极施加适当的电压,激活晶体管。
当晶体管导通时,漏极和源极之间形成一条通路,电荷被注入到液晶层中。
写入阶段的过程是将电荷转换为液晶分子的方向,从而改变液晶的光学性质。
2. 存储阶段:在存储阶段,晶体管不再传输电荷。
液晶分子保持在特定的方向,使得像素点保持特定的亮度或颜色。
存储阶段的时间越长,显示器的画面稳定性越好。
3. 读取阶段:在读取阶段,通过向栅极施加适当的电压,判断晶体管的导通状态。
如果晶体管导通,则表示相应的像素点是亮的;如果晶体管不导通,则表示相应的像素点是暗的。
读取阶段的过程是将液晶的光学性质转换为电信号,传递给显示器。
五、总结TFT器件是液晶显示器中不可或缺的关键元件,它通过控制晶体管的导通状态来实现像素点的控制。
TFT器件具有高饱和电流和迁移率、低漏电流、高开关速度和低功耗等特性。
在工作过程中,TFT 器件通过写入、存储和读取三个阶段来完成像素点的控制和显示。
关于TFTThin film transistor(TFT):薄膜晶体管原理类似于MOS 晶体管,区别在于MOS 是凭借反型层导电,TFT 凭借多子的积累导电。
常见TFT 结构:底栅结构(BG )、顶栅结构(TG )和双栅结构(DG )如下图所示 源极漏极有源层栅极衬底绝缘层栅极绝缘层源极漏极有源层衬底 衬底有源层漏极栅极源极绝缘层绝缘层栅极a ) BG 结构b )TG 结构c )DG 结构图一.常见的TFT 结构BG 特点:金属栅极和绝缘层可同时作为光学保护层,避免产生光生载流子,影响电学稳定性,通常在最上层加一层钝化层以减少外界干扰。
TG 特点:可以通过改善光刻工艺降低成本。
但要加保护层,防止背光源照射到有源层,产生光生载流子,影响电学性能。
DG 特点:可通过调节背栅电压来调整阈值电压,增加了器件的阈值稳定性。
弥补了BG 和TG 的缺点。
有报道称和C G 成反比关系,而双栅结构的C G =C BG +C TG ,所以DG 结构有较好的阈值稳定性。
表征TFT 性能的参数:1) 阈值电压:决定了器件的功耗,阈值越小越好。
2) 迁移率:表征器件的导电能力。
3) 开关电流比I On /I Off :表征栅极对有源层的控制能力。
4) 亚阈值摆幅S:漏极电流减小一个数量级所需的栅压变化,表征TFT 的开关能力。
TFT 的发展:主要是沟道材料的变化:氢化非晶硅多晶硅金属氧化物(ZnO 和a-IGZO )表1为以上材料的性能对比:由表1可以看出,1.非晶Si:迁移率较低,不透明,禁带宽度低,光照下不稳定。
2.多晶Si: 有较高的迁移率,但均匀性差,难大面积制备性质均匀的薄膜。
3.金属氧化物:有较高的迁移率,可见光透过率高,禁带宽度高,稳定性好。
金属氧化物ZnO和IGZO由于较高的迁移率和透光性,成为现阶段器件中主流的沟道材料。
IGZO和ZnO的性质:纯净的金属氧化物是不导电的,ZnO和IGZO的导电是在制备过程中会产生元素空位,ZnO 中既有Zn空位,又有O空位,呈弱n型半导体性质,这一性质决定了ZnO作为沟道层时在负压下阈值有较大的偏移,而IGZO主要以氧空位为主,呈强n型半导体性质,沟道层中几乎没有空穴,这使得IGZO在负压下有较好的阈值稳定性。
一、主旨:今天主要学习的是TFT的基本驱动原理和ASIC的功能介绍。
二、內容:TFT-LCD的面板构造主要分为背光板、下偏光板、液晶、滤光片、上偏光板组成。
每个液晶面板由一个个液晶单元构成,每个单元由TFT、SOURCE线、GATE线、液晶电容、存储电容构成。
TFT有5道光罩制程, 每道的具体制程为GE(Gate层电极)、SE(Gate层绝缘极、Channel、通道与电极之接触界面)、SD(Source/Drain电极)、CH(Contact hole)、PE(画素电极)。
TFT的基本物理特性⏹温度上升-载子飘移率(ufe)亦上升⏹温度上升-临限电压(Vth)下降⏹照光越強-光漏电流(Iph)越大⏹电压频率越高-闸源与电极电容(Cgd, Cgs)越小⏹a-Si:H的能隙为1.7eV(~800nm)⏹a-Si:H的介电常数为11.7⏹SiNx的介电常数为6.9-7.5(根据N的不同比例)TFT的基本驱动原理TFT元件的动作类似一个开关,液晶元件的作用类似一个电容,借开关的ON/OFF对电容存储的电压值进行更新/保持。
SW ON时信号写入(加入、记录)在液晶电容上,在以外时间SW OFF,可防止信号从液晶电容泄漏。
在必要時可将保持电容与液晶电容并联,以改善其保持特性。
信号传输格式主要有四种●Analog interface(类比讯号)—传统的界面,如CRT。
●Digital interface(数字讯号)—TTL/CMOS,最基本的数字信号,优点:最直接的信号,可直接测量;缺点:易受外界干扰,易向外界干扰,消耗功率大。
●LVDS : Low Voltage Differential Signaling(低压差分信号)— 6bits为4对,8bits为5对,摆幅为250、350、450mV,数据传输速度是7倍的CLK速度,使用这种方式可以减少功率消耗及减低EMI。
●RSDS : Reduced Swing Differential Signaling(低摆幅差分信号)—基于LVDS上,一对Data,RSDS的电压摆幅只有200mV,比LVDS更低,减小电源消耗和辐射,减小计算成分和基板的尺寸。