微机电系统文献计量分析
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微 机 电系 统 文 献 计 量 分 析
Ｒｅ ａｒ ｈｅ ｂｌ ｓｅ ｃｈ ｏｎ ｔ ｂｉ ｉ ｏｍ ｅ ｒｃ ｔ ｉ ｓ ａｎａｌ ｓｉ Ｉ Ｍ ＥＭ Ｓ ｙ ｓ ａｆ
万
勇 ，马廷 灿 ，潘
懿
Ｖ ＡＮ Ｙ ｇ， Ａ Ｔ ｎ ． ａ ， ＡＮ Ｙｉ ｖ ｂｎ Ｍ ｉ ｇ ｃ ｎ Ｐ
篇） 。中 国科 学 院 （ 包 括 中国科 学 技 术 大 学 ）以 未
１ ７篇 位居 第 四位 。这十 家机 构 发表 的论 文数 量 差 ２
１（ ００ ２ １０ ５０ ２０ ００ ２０ ５０ ３０ ００
加 拿大
英国 新 加坡
法国
０
躺
２１ ２
５０ ０
别并 不大 。从 国 别分 布 来 看 ，这 ｌ Ｏ家 机 构 中 有 ５
图 １ ＭＥ Ｃ 论 文 数 量 年 度 分布 图 ＭＳＳ Ｉ
１２ 重 点 国家／ 区分 析 ． 地 在现 有数 据 的基础 上 ，对不 同 国家 的论 文数 量 进 行 了对 比分 析 。发 表论 文 数 量排 名前 ｌ 的 国 ０位
家 ／ 区 如 图 ２所 示 ，美 国 以 ２ ０ 地 ５ ３篇 的 绝 对 优 势
１１ 年 度 分布 分析 ．
如 图 ｌ 示 ，ＭＥ 所 ＭＳ领域 的 研 究 论 文从 上 世 纪９ ０年 代 开始 ，呈现 出快 速增 长 的态 势 ，这 从 一 个侧 面 反 映 出 ，微 纳 制 造 研 究正 日益 受 到人 们 的
关 注 ，从 已 有 作 者 和 新 作 者 的数 量 对 比 中 ，也 可
遥 遥领 先位 居第二 的 日本 ，将近 是后 者 的 ４倍 。这
从 一 定程 度上 可 以看 出 美 国在 ＭＥ ＭＳ领域 的科 研 活 动相 当活跃 ，并 且具 有相 当 强大 的研 究实力 。 中
开 发 的数 据 挖 掘 和 可 视 化 分 析 工具 — —Ｔ Ａ 开 展 Ｄ
文献 计量 分析 。
４ ０ ６ ０ ８ ０ ｌｏ ０ １０ ２ ｌ０ ４ １０ ６ ｌ０ ８ ２０ ０
论 文数量 （ 篇）
图 ４ 主 要机 构 ＭＥ 论 文 数 量 ＭＳ
从 论 文 被 引用 情 况 来 看 ，尽 管 中 国 科 学 院 的 论文数 量 较为领 先 ，但 总被 引次数 、Ｈ 指数 分别 为
和 Ｈ 指数 均 排 在 第 一 ，且 远 高 于 随 后 的 国家 ；篇 均 被 引 次数 低 于 匈 牙 利 和瑞 士 ，位 居 第 三 ；论 文
被 引 率 排 名 第 四 （ 三 位 是 丹 麦 、 巴西 和瑞 士 ） 前 。
日本 的 总 被 引 次 数 位 列 第 二 ，Ｈ 指 数 排 在 第 三
０ 引言
微 机 电 系统 （ ＭＳ 是 伴 随 着集 成 电路 、微 ＭＥ ） 着 研 究 队 伍 的 不断 壮大 ，ＭＥ ＭＳ领 域 的研 究方 向也逐 渐 增 多 ，
细 加工技 术和超 精密机械 加工技 术发 展起来 的，
般认 为 它是 以微 电子 、微 机 械 加 工技 术 为基 础 ， 研 究 、设 计 、加 工 制 造 具 有 特 定 功 能 的微 机 械 ， 包括 微 结 构 元 器 件 、微 传 感 器 、微 执 行 器 和微 系
论 文数 量 （ ） 篇
家 来 自美 国 、２家来 自新 加坡 ，中国 、 日本 和 台湾 地 区各 １ 。 这也 表 明 美 国在 ＭＥ 家 ＭＳ领 域 具 备相 当强大 的研 究能 力 。
图２ 主 要 国 家／ 区 ＭＥ Ｓ 文 数 量 地 Ｍ 论
情 况 ，如 图 ３所 示 。可 以看 出 ，美 国 一 直 处 于 优
关键词 ：微 机电系统 ；文献计量 ；分析 中 图分 类号 ：Ｔ ４ Ｎ２ 文献标识码 ：Ｂ 文章编号 ：１ ０ ～０ ３ （ ０ １ １ （ 一 ０ ０ ３ ９ １ ４ ２ １ ） ０ 下） ０ ２—０ ０
Ｄｏｉ １ ３ ６ ／ｉｉｓ １ ０ －０ ４． ０ １ １ （ ） ０ ： ９ ９ ． ｎ． ０ ９ １ ２ １ ． 下 ． ７ ０． ｓ ３ Ｏ
如 图 ４所 示 ，从 论 文 数 量 上 来 看 ，排 在 第 一
韩国
中国台湾
嚣 ３ 【 ｌ ｌ ｌ ＿ ｌ ｌ ３７ ３
２２ ６
２７ ３ ２４ ３
至 三 位 的 一 次 是 加 州 大 学 伯 克 利 分 校 （８ １０篇 ） 、 麻 省理 工学 院 （４ ） １０篇 、桑迪亚 国家实 验室 （３ １８
体现 在新 关键 词数 量 的快 速增 长 。
统 等 。ＭＥ ＭＳ由于 尺 度 小 、 集 成 度 高 、 功 能 灵 活
强 大 ，使 人 类 的操 作 、加 工 能 力延 伸 到 微 米 级 空
间 ，任 航 空航 天 、汽 车 工 业 、家 用 电 器 、精 密 机 械 、生 物 医 学 、环 境 保 护 、通 信 以及 军 事 等 领域
（ｏｒａｏ ｃ ｅ ｃ ｏ ｃａｉ ｌ ｙｔ ）（０ ５ Ｊｕ ｌ ｆ ｒ ｌ ｔ ｍｅｈｎ ａＳ ｓ ｍｓ ２０ — ｎ Ｍｉ ｏ ｅ ｒ ｃ ｅ ２０ ０ ９五年 期影 响 因子 为 ２ ９ ）的发 文 量最 多 ，有 ．０ ７ ４ ４篇 ；总 被 引次 数 和 Ｈ 指 数 同样 位 居 首 位 ，篇 ４ 均被 引次数 则排 在 第三 。Ｅ ｓｖｅ 的 （ 感 器 与执 ｌ ｉｒ 《 ｅ 传 行 器 Ａ：物 理 （ ｅ ｓｒ ａ ｄＡｃ ａ ｒ Ｐ ｙｉａ） Ｓ ｎｏｓ ｎ ｔ ｔ ｓ ｈ ｓ １ ｕ ｏ Ａ— ｃ （０ ５２ ０ ２ ０ —０ ９五 年 期 影 响 因 子 为 １ ３ ）以 ３ ９篇 ．７ ７ １ 位 居 论 文 数 量 第 二 位 ， 总 被 引 次 数 和 Ｈ 指 数 同 样 位 居 第 二 ，篇 均 被 引 次 数 则 排 在 第 四 。英 国
篇均 被 引次数位 列前 三的依 次是加 州大 学洛 杉矶分 校 、加 州大 学伯 克利分校 和 密歇根大 学 。
图３ 各国家／ 区发表 的论文数量年 度分布 图 地
从 论 文 被 引 用 情 况 来 看 ，美 国 的 总被 引次 数
１４ 重点 期刊分 析 ．
本 次 分 析 的 ６７ ６ ７篇 论 文 共 涉 及 ９ ２种 期 刊 。 ９ 美 国 电气和 电子 工程 师协 会 的 （ （ 微机 电 系统 杂志 》
，
主要从事先进制造与新材料 情报研究工作。
ｌ
美 国
日本
６ ５ ６
訇 化
我 国 的论 文 尽 管 已 经 在 数 量上 处 于 领 先 ，但 更 要
在 质量上 获 得大 的提 高 。
篓ｃ ｌ ｌ
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２０ ５３
中 国 德 国
蘩５ ７ ４
蝤 ７
１３ 重点 机构 分析 ．
对 全球 科 研 人 员发表 的 ＭＥ ＭＳ领 域 的文 献 进 行 检
索 。数 据 采 集 时 间 为 ２ １ 年 １月 ２ ０１ １日，共 检 索 到文 献 ６ ７ ６ ７篇 。检索过 程 中 ，并未 限定 文献 类 型 ，
以 Ｆ统 称 为 “ 文 ” 利 用 Ｔ ｏ ｏ ｅ ｔｒ 集 团 论 。 ｈ ｍｓｎＲ ｕｅｓ
国 以 ５ ７篇 的 数 量 位 居 第 三 ，接 下来 依 次 为 德 国 ４
（５ ４７篇 ） 、韩 国 （９ ） 我 国的 台湾地 区 以 ３７ ３２篇 。 ３ 篇 的数 量 排 在 第 六 位 。这 １ 国家 ／ 区 的 论 文 Ｏ个 地 数 量 为 ５５ ８５篇 ， 占全 部 总数 的 ８ ． ７７ ％，这 表 明 微
位 （ 国第 二 ） 德 ，篇均 被 引次数 和论 文被 引率 分 别 位 列 十 一 和廿 一 。匈 牙 利 的 论 文 总数 尽 管 只 排在
第 卅 八 位 ，但 篇均 被 引次 数 则 高 居 榜 首 ，论 文 被
引率 位 列 第 七 。 虽 然 中 国论 文 数 量 位 居 第 三 ，但 总 被 引 次数 、Ｈ 指 数 、 篇 均 被 引 次 数 、 论 文 被 引 率分 别 为 第 四 、第五 、第 廿六 和 廿 八位 ，这 表 明 ，
ｌ ｌ Ｉ ｌ
南 理大 洋 工学
伊 诺 大 利 伊学 国 成大 立功 学
斗 串 ｌ 《 川 十 勰 麟 １％ ０ ３
；
正在赶上并超越日 本。
…．：： ． ？
斯搦福 女学
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势 领 先地 位 。２ ０ ０ ０年 ，美 国 的论 文 数 量 为 ９ １篇 ， 大 约 是 是 排 在 第 二 位 的 日本 （３篇 ）的 ３倍 ；到 ３
加 大 ｛ 利棱 州 学自 分 克 麻 理 学 省 Ｉ院
中
ｌｏ ４
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ｌ８ ３
了０ 年 美 的 文 量 长 ２ 篇 此 桑： ２９ ， 国 论 数 增 至 ５ ， 时 ０ ６ 迪 亚
纳制造 技 术研究 相对 集 中在 这 ｌ 国家 ／ 区 。 ０个 地 分 析 各个 国家 ／ 区 的论 文数 量 随时 间的 变化 地
以 看 出 ，近 几 十年 来 ，每 年 都 有 更 多 的 研 究 人 员
收 稿 日 掰 ：２ １— ７ ４ ０ １ ０ —０ 作 者 简 介 ： 万 勇 （９ ９ １７ 一） ， 男 ，江 西 修水 人 ，助 理 研 究 员 ， ｔ ｇ￣ ［０ 第 ３ 卷 ２１ ３ 第１期 Ｏ ２ １— ０ 下） ０１ １ （
排 在 第 二 位 的 是 中 国 （０ １３篇 ） ，尽管 差 距 缩 短 至
２５倍 强 ，但 美 国在 ＭＥ ． ＭＳ领 域 的 优 势 地 位 短 期 内还 是很 难 超越 的 。而 中国在 最近 几 年 的发 展 中，
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微 机 电系 统 文 献 计 量 分 析
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家 ／ 区 如 图 ２所 示 ，美 国 以 ２ ０ 地 ５ ３篇 的 绝 对 优 势
１１ 年 度 分布 分析 ．
如 图 ｌ 示 ，ＭＥ 所 ＭＳ领域 的 研 究 论 文从 上 世 纪９ ０年 代 开始 ，呈现 出快 速增 长 的态 势 ，这 从 一 个侧 面 反 映 出 ，微 纳 制 造 研 究正 日益 受 到人 们 的
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日本 的 总 被 引 次 数 位 列 第 二 ，Ｈ 指 数 排 在 第 三
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微 机 电 系统 （ ＭＳ 是 伴 随 着集 成 电路 、微 ＭＥ ） 着 研 究 队 伍 的 不断 壮大 ，ＭＥ ＭＳ领 域 的研 究方 向也逐 渐 增 多 ，
细 加工技 术和超 精密机械 加工技 术发 展起来 的，
般认 为 它是 以微 电子 、微 机 械 加 工技 术 为基 础 ， 研 究 、设 计 、加 工 制 造 具 有 特 定 功 能 的微 机 械 ， 包括 微 结 构 元 器 件 、微 传 感 器 、微 执 行 器 和微 系
论 文数 量 （ ） 篇
家 来 自美 国 、２家来 自新 加坡 ，中国 、 日本 和 台湾 地 区各 １ 。 这也 表 明 美 国在 ＭＥ 家 ＭＳ领 域 具 备相 当强大 的研 究能 力 。
图２ 主 要 国 家／ 区 ＭＥ Ｓ 文 数 量 地 Ｍ 论
情 况 ，如 图 ３所 示 。可 以看 出 ，美 国 一 直 处 于 优
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图３ 各国家／ 区发表 的论文数量年 度分布 图 地
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