激光器维护保养说明

使 用 要 求

一、使用使用环境环境环境要求要求

操作环境操作环境：

󰁺 相对空气湿度50%，气温40ºC，相对湿度90%，气温20ºC（气温必须高于露点以防止

凝露）

󰁺 环境气温在+5ºC到+40ºC（环境气温应保持缓慢的变化）

󰁺 可以通过以下公式算出根据现场环境计算出水冷机在不同季节设定的温度：

󰁺 建议的水冷机设定温度为：>19C/<27C

存放存放环境环境环境：

󰁺 气温-25ºC到+55ºC（设备需要添加防冻液）

二、 电气的要求

󰁺 电压稳定，必须在± 10 ％的400/480VAC

󰁺 频率必须是在± 1 ％的50/60Hz

󰁺 相间电压不平衡不应超过2 ％（ 〜 10VAC ）

󰁺 激光器要求在IEC60204以及NFPA 79的电气规范下运作。

三、冷却/制冷需求

󰁺 水冷机须添加纯水

󰁺 加入添加剂后，水的电导率≤1000 μs/cm；杂质≤100μs；最大硬度200mg CaCO3/liter；最

大氯浓度50 mg/l

󰁺 加入添加剂后，pH 值必须介于7 和8.7

󰁺 水冷机温度设定在19 ºC _和27 ºC，水冷机温度设定点必须保持在±1 ºC冷水温度的变

化率不得超过0.4 ºC（0.7F）/分钟

󰁺 水压力≤6bar，压力变化≤3bar，反冲压力≤1.5bar

󰁺 为了确保无故障运行，并防止冷却水路被腐蚀，推荐使用Nalco腐蚀和细菌抑制剂，请

注意：不要混合添加如Nalco 和Dow frost_

󰁺 不要使用铝，软钢或铸铁金属冷却水路。合适的材料是不锈钢，铜，铜合金和不透明的

塑料。仅仅使用不透水、不透光的管路，有助于防止细菌和藻类形成在冷却水中形成。

四、激光头射频管的冷却水路激光头射频管的冷却水路：：

󰁺 使用大约2 加仑的纯水，电导率<10μs/cm，无添加剂

五、保护气体的规格

激光器需要氮或压缩干燥空气，确保给整形光路有适当吹气。

󰁺 激光头的压力必须是≥3.5bar（~50psi），以满足压力开关。

󰁺 如果使用高纯氮（N2）：纯度必须≥4.6

󰁺 如果使用干燥气体： 油≤0.005 mg / m3；水≤0.05 g /m3；过滤孔径≤0.05 μm；

󰁺 流量≥4 l/m

󰁺 吹气或用于整形光路的气体必须符合上述规格。如果工厂需要的空气不能满足上述规格，

则需要一个单独的空气干燥器或者空气过滤系统。 维 护 保 养

一、 每天一次

1. 检查检查机械机械机械光闸光闸光闸：：开启开启关闭关闭关闭状态状态状态（手册7.5）

光闸（图7.5/1与7.5/2）：

󰁺 在每次启动激光器之前定期检查光闸的功能情况！

󰁺 在一个开闸脉冲触发时，旋转螺线管（2）将水冷的光闸片（5）从激光光路上转开。

󰁺 安装在旋转螺线管内的两个弹簧和其自重将光闸片维持在关闭位置，在关闭位置激光光

束光闸片反射到吸收器（3）中。

󰁺 故障报警为以下几点提供：

• 光闸电源故障

• 吸收器、光闸片和/或旋转螺线管的温度过高

• 光闸开启和/或光闸关闭时间（由两个电感式传感器（4，6）监视）太长（> 200 msec）

󰁺 另外光闸还配备了一个位置开关（图7.5/2中的位置10），由光闸片驱动。接通高压时，

光闸片必须关闭。

󰁺 光闸的功能受到连续监视。若出现错误，会在屏幕上显示一个故障报警，而且高压会自

动关闭。

警告：在每次启动激光器之前定期检查光闸的功能情况！

二、 每三天每三天一次一次一次（（总共72小时小时））

1. 更换激光器更换激光器混合气体混合气体混合气体（（手册6.2）

主界面下按F7 FAULT/SERVICE

按F2键 GAS CHANGE, 进行换气

三、 每周一次

1. 检查检查激光器激光器激光器混合气体混合气体混合气体气瓶气瓶气瓶压力压力压力（手册7.4.1，7.4.2）

󰁺 若激光器气瓶内的压力<30 bar，应定购一个新的激光器气瓶了。

󰁺 若激光器气瓶内的压力<30 bar

，控制终端（选配）的屏幕上将会显示一个报警信号。现在应该定购一个新的激光器气瓶了

󰁺 在更换激光器气瓶之后检查（气密性）：

• 更换激光器气瓶之后一定要检查螺丝是否都已拧紧。

• 使用按钮S3（关闭高压）来切断高压。

• 打开激光器塑料外壳的右手侧面（从激光光束的方向看入），关闭激光器气缸阀。

• 在压力显示屏幕（2）或在维护/报告菜单（选配）中读出激光器气缸内的压力，记下

数值，关闭激光器塑料外壳的右手侧面。

注：激光器能够继续操作

• 正常压力损耗为0.5 bar/小时

• 在显示屏幕（2）上读出激光器气缸中的压力（例如10个小时之后为5bar），若压力

损耗>5 bar则说明系统中存在泄漏！

• 重新紧固所有在激光器气瓶更换过程中出现松动的螺丝，重新检查气密性。

󰁺 激光器气瓶更换：

激光器气瓶-在激光器气体压力<10 bar时进行更换：

• 关闭激光器（第5.2.3节），关闭激光器气瓶阀门。

• 关松开激光器气瓶上的螺丝，并拆下减压器（3）（图7.4.1/1），用保护帽保护激光

器气瓶。

• 松开钳住激光器气瓶的夹具，然后将激光器气瓶从激光器外壳提出，将新的激光器气

瓶放入激光器外壳中。重新固定激光器气瓶的夹具，重新将减压器（3）（图7.4.1/1）

安装到激光器气瓶上。

• 在维护/报告菜单中按下按钮F2“气体更换”以清除所有杂质。进行两次上述操作。

注：若连接激光器气瓶和减压器之间的螺丝没有拧紧则会导致激光器气体逸出到周围大

气中去。

• 检查气密性。

2. 注意激光功率在电源打开注意激光功率在电源打开101010分钟后应处分钟后应处分钟后应处于于100%100%设定值设定值设定值。。

3. 注意在维护注意在维护//报告菜单中运行期间报告区报告菜单中运行期间报告区域中所显示的数值域中所显示的数值域中所显示的数值。。

SERVICE INTERVAL:激光器据上一次维护所运行时间

GASCHANGE INTERVAL:更换混合气体后激光器所运行时间

COMPUTER:激光器总共开启时间

VACUUM PUMP:真空泵运行时间

FILAMENT RF TUBE:射频发生器运行时间 HIGH VOLTAGE:高压 运行时间

SHUTTER:机械关闸开启次数

4. 检查冷却水的温度和流量值检查冷却水的温度和流量值（手册4.2）

󰁺 激光头激光头射频射频射频发生器发生器发生器冷却水冷却水冷却水回路回路回路

检查冷却水检查冷却水（激光头内射频管的冷却水回路）：

• 关闭激光器（第5.2.3节-关闭激光器）

• 打开激光头塑料镶板（第4.1节-打开激光头）

• 在冷却水水箱处检查激光头内射频管的冷却水回路的冷却水水位。

冷却水水位必须处于最大值和最小值之间（图7.6/1a）。

补充冷却水补充冷却水（激光头内射频管的冷却水回路）：

• 松开并拆下冷却水水箱注水开口处的锁紧螺丝（1）

• 只能用ROFIN-SINAR提供的冷却水来作为补充水-激光头内射频管冷却水回路规格（第

4.2.1节）

• 紧固锁紧螺丝（1）

• 若激光头内射频管的冷却水回路每4个星期必须进行多于一次的补充，可能有泄露。

注：离子交换插件集成在冷却水水箱中。

排干冷却水排干冷却水 （在运输或储存过程中存在霜冻的危险）等之前：

• 松开并拆下冷却水水箱注水开口处的锁紧螺丝（1）。冷却水体积：约5公升

• 拿起冷却水排水软管（第55号）并打开软管的阀塞。将软管末端塞入一个容器内（≥

5 l）然后让冷却水自动流出。

• 用阀塞密封冷却水排水软管（第55号）并放回原位。

• 将两个软管从冷却水水箱上松开，将较长软管的末端塞入容器内。

• 用压缩空气吹入较短的软管，直到不再有冷却水流出。

• 在运输、储存等之前：不要用防冻剂清洗管线！

• 将两根软管重新放到冷却水水箱的软管接头上，并用管夹进行固定和保护。

• 紧固锁紧螺丝（1）

󰁺 激光头和控制箱激光头和控制箱冷却水回路冷却水回路冷却水回路

检查冷却水和过滤器检查冷却水和过滤器（冷却水回路激光头和控制箱）：每三个月一次

• 冷却水必须是无藻类和清洁的。

• 冷却水过滤器必须无污染。

• 检查的冷却装置的冷却水回路激光头和控制箱的水位。

• 冷却水回路激光头和控制箱只能使用手册所提供的冷却水 - 规格参数（第4.2.1节）

冷却水交换冷却水交换（冷却水回路激光头和控制箱）：每年一次

• 冷却水回路激光头和控制箱只能使用手册所提供的冷却水-规格参数（第4.2.1节）

排干冷却水排干冷却水（冷却水回路激光头和控制箱）：

• 松开激光头和控制箱热交换器的管夹，并将软管拉出。

• 在运输、储存等之前：用防冻剂清洗管线！在启动激光器之前：洗净防冻剂！

• 从激光头和控制箱热交换器吹入压缩空气将所有的冷却水（或防冻剂）吹出。

• 必须遵守所有本地、本州，以及联邦法规与规定处理冷却水补充冷却水（冷却水回路

激光头和控制箱）：

• 在启动激光器之前：洗掉所有的防冻剂！

• 将冷却装置连接到激光器：将冷却水软管放到激光头和控制箱热交换器的组件上，并用管夹进行固定和保护。

5. 检查检查保护气体保护气体保护气体，，严格注意严格注意保护气体保护气体保护气体操作手册中的维护规操作手册中的维护规操作手册中的维护规定定！

四、 3000000小时小时小时或或6个月个月后后

1. 建议建议由由专业专业人员人员人员对激光对激光对激光器器进行进行预防性预防性预防性的的保养保养，，包括包括安全安全安全检查检查检查，，参数参数检测检测检测，，镜片镜片检查检查检查。。

五、 60006000小时小时小时或者或者或者121212个月个月个月

1. 建议建议由专业人员由专业人员由专业人员对激光器对激光器对激光器进行保养进行保养进行保养维护维护维护

󰁺 激光器安全检查

󰁺 激光器参数检测并调整至最佳状态

󰁺 激光器所有镜片检查，并检查光路是否准直

󰁺 更换保养组件

• 射频水箱内去离子剂

• 真空泵油

• 更换冷却水，水冷机内水箱添加防腐抑制剂

󰁺 激光器模式检测并调整