5-PECVD镀膜工序检验标准

抹布
交接班时
用蘸酒精的抹布单一方向擦拭干净
点检有无杂物及污垢，机台顶部不允许堆放 任何物品
抹布
交接班时
用蘸酒精的抹布擦拭
表面不允许摆放物品
抹布
交接班时
用蘸酒精的无尘布擦拭
检查电极板是否有氧化，螺丝是否脱落
无尘 布
P/M维护
用吸尘器从左向右沿单一方向吸取氮化硅 清扫时人员要佩戴防护眼镜、口罩、手套等 粉尘
步骤
图视
部位
清扫部位
基准
1
桌面
表面
没有任何的污垢
2
机台顶部
平面
没有任何的污垢
3
作业表面
平面
没有任何的污垢
4
舱盖
表面
没有任何的污垢
5
机台内部
腔体
没有任何的污垢
6
外表面
前、后左右面 没有任何的污垢
7
机台下面
地面
没有任何的污垢
Roth&Rau 5S作业步骤及作业事项
方法 注意事项 工具 时间
用蘸酒精的抹布从左往右单一方向擦拭干 桌面物品按要求摆放，桌面不允许乱涂乱画 净
吸尘 器
P/M维护
用蘸酒精的抹布单一方向擦拭干净
点检有无污垢
抹布
交接班时
用拖把单一方向
点检有无杂物及溶剂污渍
拖把
人员
◎
操机人员
◎
操机人员
◎
操机人员
◎
操机人员
◎
操机人员
◎
操机人员

常用电镀产品质量检验标准电镀产品质量检验规范电镀产品品质检验规范常用的检验项目为：1.膜厚；2.装配检查；3.镀层附着力；4.硬度测试；5. 耐磨测试；6.耐酒精测试；7.高温高湿测试；8.冷热冲击测试；9.盐雾测试；10.排汗测试；11外观；12包装; 一•膜厚：1 .膜厚为电镀检测基本项目，使用基本工具为萤光膜厚仪（X-RAY，其原理是使用X射线照射镀层，收集镀层返回的能量光谱，膜厚一般为0.02mm最大不超过0.03mm.2.检查周期：每批；3.测试数量：n>5pcs二.装配检查：1.确认是否符合图面标出的重要尺寸；装配后有否影响外观及功能，手感；2.检查周期：每批；％3.测试数量：n>2pcs ；0「二.镀层附着力：1.将3M胶纸粘贴在刀切100格（每小格为1MM T 1MM 的电镀层表面，用橡皮擦在其上面来回磨擦，使其完全密贴后，以45度方向迅速撕开，镀层需无脱落现象。

如目视无法观察清楚，可使用10倍显微镜观察；•a）不可有掉落金属粉末及补胶带粘起之现象。

b）不可有金属镀层剥落之现象。

d）不可有起泡之现象2.检查周期：每批；3.测试数量：n>2pcs ；…四•硬度测试：1.用中华铅笔以45度角并且以1mm/s的速度向前推进，擦试后镀层不能有划痕；.其中：UV镀测试：3H铅笔，500g力真空镀：2H铅笔，500g力…水镀测试：1H铅笔，200g力2.检查周期：每批；-…3.测试数量：n>2pcs ；五.耐磨测试：1.头施500g力，用于被测产品来回试擦50次，往返为一次，不能变色，脱镀及露底材；e2.检查周期：一次/3个月3.数量：n>2pcs ；六•耐酒精测试：1.用500g砝码外包8层棉布，再将白棉布沾湿浓度为95%勺乙醇，以不下滴为宜，将砝码与镀层面垂直，在同一位置往退，移动距离1英寸为一次，共100次, 镀层不能有反应；2.检查周期：一次/3个月；…•3.测试数量：n>5pcs ；七.高温高湿测试：1.ABS底材温度设定为60度，PC底材温度设定为90度，湿度90沧95%测试时间6小时，看镀层有无拱起，起泡或脱落；62.检查周期：一次/3个月；3.测试数量：n>5pcs ；八.冷热冲击测试：1.零下1度30分钟常温2分钟，70度30分钟为一个回合，看镀层有无拱起，起泡或脱落；2.检查周期：一次/3个月；3.测试数量：n> 5pcs;其中：UV镀测试: 5回合; 真空镀：2回合；水镀测试：1回合;九.盐雾测试：u1.温度35度，浓度5%勺盐水，喷雾8小时，共3 回；看镀层有无起反应；2.检查周期：一次/3个月；3.测试数量：n>5pcs;十•排汗测试：1.常温下5%Nacl, 10%^酸，85嘯镏水，浸泡24 小时，看镀层有无反应；2.检查周期：一次/3个月；3.测试数量：n>5pcs;4.排汗测试只限定人体与镀层经常接触之电镀零件适用；g A ? -十-一.外观检查：1 •检验条件：在40W-60W日光灯相当照明度条件下，距离30—50cm2. 表面镀层符合规定要求，光滑、平整、均匀光亮，同批产品无色差(注：色差包括颜色和光泽度)；3..镀层表面不得有如下缺陷：(1)起泡：镀层与基体因局部剥离致表面呈气泡现象；(2)脱皮：镀层与基体有剥离现象；镀层成片状脱离基体材料的现象$_ 一(3)烧焦：在过高电流下形成的颜色黑暗、粗糙、松散等质量不佳的沉积物，其中常含有氧化物或其它杂质/1 o " ““A（4）麻点：在电镀或腐蚀中，与金属表面上形成的小坑或小孔（5）粗糙：在电镀过程中，由于种种原因造成的镀层粗糙不光滑的现象• n（6）水印、色斑：通常用于表面被污染所引起的不均匀润湿性，使表面上的水膜变的不连续。

pvd镀膜检测标准PVD镀膜检测标准。

PVD镀膜技术是一种常用的表面处理技术，广泛应用于各种材料的表面改性和功能化。

PVD镀膜具有优异的耐磨、耐腐蚀、降摩擦等特性，因此在汽车零部件、工具刀具、航空航天等领域得到了广泛的应用。

然而，PVD镀膜的质量检测对于保证产品的质量和性能至关重要。

本文将介绍PVD镀膜检测的标准和方法，以便于相关行业从业人员更好地进行质量控制和产品评估。

一、PVD镀膜的常见缺陷。

PVD镀膜在生产过程中常常会出现一些缺陷，例如结合强度不足、气孔、裂纹、颗粒度不均匀等。

这些缺陷会影响镀膜的性能和使用寿命，因此需要进行严格的检测和评估。

二、PVD镀膜检测的标准。

1. 厚度检测，PVD镀膜的厚度是影响其性能的重要参数之一。

常用的检测方法包括X射线荧光法、拉曼光谱法和激光干涉法等。

这些方法可以准确地测量薄膜的厚度，并且具有高精度和高重复性。

2. 结合强度检测，PVD镀膜与基材的结合强度直接影响其使用性能。

常用的检测方法包括剥离试验、微观组织分析和拉伸试验等。

这些方法可以评估镀膜与基材之间的结合情况，从而判断其结合强度是否符合要求。

3. 成分分析，PVD镀膜的成分对其性能有着重要影响。

常用的成分分析方法包括能谱分析、X射线衍射分析和质谱分析等。

这些方法可以准确地分析镀膜的成分和相结构，为产品的质量控制提供重要依据。

4. 表面形貌检测，PVD镀膜的表面形貌直接影响其外观和性能。

常用的表面形貌检测方法包括扫描电镜、原子力显微镜和表面粗糙度仪等。

这些方法可以对镀膜的表面形貌进行直观的观测和分析，为产品的外观质量提供保障。

5. 功能性能检测，除了上述常规的检测指标外，PVD镀膜的功能性能也需要进行全面的评估。

例如耐磨性、耐腐蚀性、降摩擦性等功能性能可以通过相应的试验方法进行评定。

三、结语。

PVD镀膜的质量检测是保证产品质量和性能的重要环节，只有通过严格的检测和评估，才能确保镀膜产品的稳定性和可靠性。

pvd镀膜质量标准PVD镀膜质量标准一、总则1、PVD镀膜质量标准的设立是为了比较、参照和分析PVD镀膜的质量，并以此为基础，建立和完善PVD镀膜的质量管理，提高PVD 镀膜的质量。

2、PVD镀膜质量标准规定的是PVD镀膜的若干常见性能指标，并不能完全反映PVD镀膜的质量，其他细节指标，以及操作工艺中各个环节有关的要求，应与确定的产品质量规格相匹配，实行完善的质量控制方案。

二、硬度检测1、PVD镀层的硬度，以厚度为2μm的Vickers硬度计测量，其检测结果应为大于等于700HV（7.5×10的3次方Pa）。

2、PVD镀层的硬度，以厚度为2-5μm的Vickers硬度计测量，其检测结果应为大于等于850HV。

三、耐腐蚀检测1、PVD镀层的耐腐蚀性能，以HCl和NaCl腐蚀溶液中48h的耐腐蚀性能进行测试，其测试结果应为大于等于6级。

2、PVD镀层的耐蚀性能，以HCl和NaCl腐蚀溶液中48h的耐蚀性能进行测试，其测试结果应为大于等于8级。

3、PVD镀层的耐紫外线性能，以天然空气中日晒48小时的耐紫外线性能进行测试，其测试结果应为大于等于4级。

四、绝缘检测1、PVD镀层的绝缘性能，以测试电压为500V的晶体管和芯片测试绝缘电阻，其测试结果必须大于1GΩ以上。

2、PVD镀层的绝缘性能，以测试电压为500V的电阻器测试绝缘电阻，其测试结果必须大于10GΩ以上。

五、粘接检测1、PVD镀层的粘接性能，以特定的温度和时间，用不同的粘接剂结合试验，其测试结果必须大于等于2级。

2、PVD镀层的粘接性能，以特定的温度和时间，用不同的粘接剂结合试验，其测试结果必须大于等于3级。

六、抗磨擦检测1、PVD镀层的抗磨擦性能，以摩擦因子和磨损量进行检测，其检测结果必须为大于等于0.2。