自动硅烷柜钢瓶更换操作流程

5。

行动5.1操作概述煤气柜是在同一时间，操作简便，非常灵活。

信息通过触摸屏一应俱全。

功能启动时容易出现在运营商提示时尚。

自动报警启动的动作发生，以确保安全和多方面的纯度。

下面是一个一些内阁操作的高点的名单。

·需求点使用的工具或阀组箱的自动交付。

·缸变化线路维护等用途的自动清洗周期。

·连续安全监测。

·有意义的互动操作界面提示。

·连续状态显示。

·的内阁用户配置。

·吹扫周期运行参数的用户定义。

·用户建立报警设置。

·显示所有的测量需求。

·手动功能。

·维护操作。

5.1.1显示触摸屏气柜操作触摸屏，居住在机柜的顶部，允许运营商容易理解的操作和快速识别操作系统的问题。

运营商触摸屏是一个PROFACE（AST3501-T1），它包含一个过程的图形显示气体面板，圆柱和清除状态，报警和控制器状态，报警开关和选择窗口。

以红色表示，表示绿色，开阀关闭阀门。

运营商触摸屏显示系统通电时显示主屏幕5.1.2主菜单位于屏幕右侧的选择窗口，旨在使运营商快速地选择和启动功能。

它的设计也以交互方式导致通过选择过程中的运营商通过适当的提示。

这是通过通过层状菜单。

主菜单显示在屏幕上显示在每个主要类别中，有一数子菜单和/或子功能。

从一般到具体，功能出发可以快速，轻松地完成选择。

选择所需的功能完成最低中风。

分层菜单还允许保护功能的某些模式，从激活比其他人才。

每个主要功能类别是由密码保护。

只给予的个人密码可以进入模式和选择功能。

以下页面显示整个菜单的概述。

5.1.3报警发生报警和控制器状态框位于屏幕底部，并显示当前状态的过程中面板，关机报警和故障报警。

5.1.4输入密码1此屏幕显示当接通特气柜和PLC连接成立。

2。

当按下后，会出现键盘。

3。

当出现以上屏幕时，输入密码（4位数），访问控制系统。

4。

有两种类型的密码，访问该系统的控制和其他站气体的过程。

硅烷储罐流程
硅烷储罐流程如下：
1、确认仪表能正常使用。

2、投用硅烷储罐氮封。

3、计算好硅烷桶的填充数量，将桶运至现场。

4、把硅烷卸桶泵、硅烷桶和储罐卸料管线相连好。

5、把硅烷卸桶泵的气源管线连接好，投用硅烷桶氮封，打开卸料线上的手阀。

6、启动打开卸桶泵气源，气动泵，打开卸料气动阀将硅烷全部加入到储罐中。

7、关闭卸桶泵气源，关闭卸料气动阀和手阀，脱开硅烷卸桶泵、硅烷桶和储罐卸料管线连接，清理现场。

8、储罐内部温度、压力监控。

9、气体取样分析。

10、数据反馈至中控室。

11、中控室发出指令。

12、执行机构调整储罐内部环境。

自动硅烷柜钢瓶更换操作流程自动硅烷柜钢瓶更换操作流程当硅烷气瓶高压小于120psi时，需要更换钢瓶。

由于硅烷易燃易爆，操作不当极易造成火灾和爆炸，危机生命和财产安全。

因此，气瓶更换必须严格按照此操作流程执行。

且需要对每个人操作的执行进行确认，以杜绝可能发生的因操作不当引起的设备和人员伤害。

设备操作时，由3人完成：一人负责操作，一人按步唱票及确认，主管负责指导及安全防护。

注意：首先确认被更换的钢瓶不在供应状态，满足钢瓶更换操作，以下除确认外，由计算机自动完成。

序号步骤操作内容确认1 佩戴防护装备三人同时戴上防火手套及防毒面具2 关闭钢瓶阀门拔掉软管，关掉气动阀旋转开关3 换瓶前第一次吹扫抽空主阀门后的管道内的硅烷，是多个循环过程。

4 管道及主阀门泄漏检测检查管道是否有泄漏，检查钢瓶主阀门是否彻底关掉5 换瓶前第二次吹扫抽空主阀门后的管道内的硅烷，是多个循环过程。

6 更换钢瓶卸旧钢瓶：在操作屏报警和提示吹扫完成后，将原钢瓶从系统拆下，注意拆卸时不得碰到钢瓶阀门。

钢瓶移出后，用原钢瓶堵头堵住接头，移出至空瓶存放区。

上新钢瓶：将新钢瓶移至指定钢瓶区并就位，用专用钳剪开封口铁丝（注意主阀门处于关闭），旋开封口螺母，更换密封垫片后，将钢瓶接入系统。

7 换瓶后第一次吹扫在屏幕上点击换瓶确认后，系统通过反复的充氮和抽空，将瓶阀门后的管路里的空气置换后抽干净。

8 管道充氮保压通过在管路充高纯氮气的方式，检查管路和钢瓶是否泄漏9 换瓶后第二次吹扫、抽空通过反复的充氮和抽空，将钢瓶阀门后的管路管路里的气体置换后抽干净，完成后执行下一步。

10 开钢瓶阀门前确认确认调压阀已经关闭11 开钢瓶阀门在调节阀处于关闭状态情况下，打开气动阀旋转开关，将软管插入气动阀内，12 调节一级调压阀将调压阀调到合适的压力并进行确认13 调节二级调压阀将调压阀调到合适的压力并进行确认14 供气完成进入供气模式钢瓶编号：主管：操作人：确认人：日期/时间：。

硅烷系统一、硅烷的性质硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。

在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。

即使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。

硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它仍能着火。

硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。

毒性：硅烷的主要危险来自它接触空气可以自发燃烧的能力和它的毒物学的性质。

接触硅烷会导致眼睛的刺激。

吸入会导致头痛、恶心、黏膜和呼吸道的刺激。

尽管据报道硅烷有讨厌的气味，不能把它作为危险浓度的气体存在的警告性信号。

在职业环境里暴露于硅烷的阈值极限的8小时时间权重平均值(TLV-TWA)为5 ppm，这已经被美国政府工业卫生学者会议(ACGIH)所确定，并被美国职业安全和健康管理局（OSHA）所采用。

四小时吸入Lclo (鼠) 为9600 ppm已经被确定。

硅烷燃烧生成可以导致呼吸道刺激的氧化硅。

可燃性：硅烷是自燃压缩气体。

这意味着它在空气中自己点燃。

硅烷的泄露会导致起火或可能在空气中生成爆炸性混合物。

一些非常少量的泄露不会发出可见的火焰，但可以通过在泄[wiki]露点[/wiki]氧化物的积累来发现。

有时候由于氧化物的积累（褐色或白色粉末），这种大小的泄露会自己堵住。

燃烧的主要副产品是二氧化硅（沙）。

大火会产生二氧化硅的浓烟。

用水雾可以消灭浓烟，但一定要注意不要熄灭任何的硅烷起火。

只能通过切断流向火焰的硅烷来灭火。

如果在硅烷气流被切断之前熄灭了硅烷起火，硅烷会聚集起来，导致爆炸。

硅烷的可燃极限是非常与众不同的，稀释剂会扩大可燃范围，而不是缩小范围。

列出的可燃极限的下限是2%，但试验显示，当引入不同的稀释剂时可燃范围远远低于这个浓度。

周围环境的空气温度和湿度也对可燃极限有影响。

一些文献指出硅烷燃烧时是“凉”火焰。

同上面一样，不能完全相信这种观点。

试验显示，硅烷燃烧的火焰或者不能点燃纸张，或者其强度可以熔化象黄铜和铝一样的金属。

BSGS (NH3) CHANGE CYLINDERBSGS(NH3)更換鋼瓶1. PURPOSE 目的A. 這個標準作業程序書SOP的目的，是為使特殊氣體TGM人員在更換BSGS(NH3)鋼瓶作業時，有共同共識的標準作業程序，使作業時達到零傷害零風險，以兼顧氣瓶櫃品質及TGM安全之目標.。

B. 在更換BSGS(NH3) 鋼瓶作業工作期間，檢查確認差壓計數值與氣瓶櫃是否異常。

需注意之事項及操作方法。

2. SCOPE範圍針對於EPISTAR 現場TGM人員操作時採用這個標準作業程序，實行必要性的資訊，對於安全及有效率地控制。

適用的系統z BSGS(NH3)適用的人員z實行此項工作的授權人需經內部教育訓練三個月以上，並具認證通過者。

Approved審核Checked校驗Issue發佈選模式：Cylinder Replacement Mode工作程式程式/檢查貳、執行步驟：4. 加熱帶移除z 再次確認更換側：於確認後依序將兩組加熱帶於鋼瓶上拆下。

5. 手閥開關確認z 請檢查手閥已經確實關閉。

6. 移除接地線夾、溫度感應Senso r。

工作程式程式/檢查7. 使用扳手移除Pigtail 。

8. 檢查是否有微量N2。

9. 取下舊的Gasket。

工作程式程式/檢查10. 蓋上CAP 確實鎖緊瓶頭。

11. 蓋上閥頭護蓋。

12. 解開鋼瓶固定索。

13. 開啟Pigtail Box後方手拉門確認，檢查鋼瓶周圍是否無連結物，確認後開始吊運新舊瓶進行更換。

14. 新舊瓶更換完成後，使用固定索固定瓶身。

15. 移除鋼瓶閥頭護蓋。

16. 確認手動閥已確實關閉。

17. 移除CAP。

請注意：留意是否有氣聲發出，若有氣聲請立即將CAP蓋回，重新檢查手閥是否緊閉，若無法排除，請通知鋼瓶供應商進行處理。

18. Pigtail 試裝，檢查是否能順利的銜接鋼瓶。

19. 換上新的手套拿取新的Gasket。

20. 將Gasket穩妥的安裝於接頭上。

自 动 气 柜操 作 手 册目录一 、 界 面 介 绍 ................................................................................................... 1 二 、 操 作 权 限 获 取 与 取 消 ........................................................................... 3 三 、 参 数 设 置 ................................................................................................... 5 四 、 PT 传 感 器 自 动 校 零 （ 以 左 操 作 为 例 ） ...................................... 10 五 、 手 动 操 作 （ 以 左 操 作 为 例 ） ........................................................... 14 六 、 吹 扫 操 作 （ 以 左 操 作 为 例 ） ........................................................... 16 6.1 泄 压 ..................................................................................................... 17 6.2 第 一 次 吹 扫 ....................................................................................... 19 6.3 负 保 压 ................................................................................................ 21 6.4 第 二 次 吹 扫 ....................................................................................... 23 6.5 换 瓶 ..................................................................................................... 24 6.6 第 三 次 吹 扫 ....................................................................................... 26 6.7 正 保 压 ................................................................................................ 27 6.8 第 四 次 吹 扫 ....................................................................................... 30 6.9 吹 扫 完 成 ........................................................................................... 31 6.10 供 气 准 备 ......................................................................................... 33 6.11 供 气 ................................................................................................... 35 七 、 系 统 设 置 ................................................................................................. 36 八 、 报 警 系 统 ................................................................................................. 38-1-一、界面介绍SIH4 气 柜 与 NH3 气 柜 相 比 ，增 加 了 高 压 保 压 ，减 少 了 管 线 伴 热 和 钢 瓶 加 热 、 钢 瓶 称 重 功 能 ， 其 他 操 作 一 致 。

二氧化碳钢瓶更换SOP
一、钢瓶的更换必须在二氧化碳钢瓶换气记录表上填写记录
二、钢瓶更换后应立刻补上分类标签，并用链子将钢瓶固定
三、钢瓶更换后高压表读数应控制在低压表度数控制在
四、钢瓶的每次更换必须使用生胶带与配套的扳手
五、钢瓶更换时应先关闭所有阀门，确认各个接口完全密封连接后，先开钢瓶阀门，后开减压阀阀门
六、阀门开启应注意，不可一下开过大，二氧化碳汽化过快，温度骤降易造成管道收缩从而引起堵塞
七、空瓶换下后应放置在替换的钢瓶原位置，不可移除防爆柜
八、钢瓶防爆柜内严禁堆放其他物品
九、钢瓶更换后三天内应每天进行检查，确保无漏气，堵塞情况出现
十、钢瓶的气压检查每周一进行，检查人需在钢瓶气压记录表上填写详细记录。

更换特气钢瓶BSGS柜操作规程考虑到特气的危险性，为引导操作，正确操作，规范操作，确保安全，结合操作实践，制定本规程。

未经培训并未经认可的人员不得操作更换硅烷氨气钢瓶。

更换的整个过程监护人必须始终在现场确认每一个步骤，每一个动作。

操作者：监护人：操作日期：操作时间：1、确认气体名称，记录空瓶的钢瓶资料：序号钢瓶项目Project 空瓶资料满瓶资料1 气体名称Product2 分子式Formula3 分子量Molecular Weight4 纯度Purity5 钢瓶尺寸Cylinder Size6 容积容量Solvent Capacity7 净重量Net Weight8 总重量Gross Weight9 钢瓶号码Cylinder #10 钢瓶阀门接口型号Valve Type11 充装日期Filling Date12 有效(日)期Validity13 制造批号Lot #3、退出供气（供气或备用）模式；4、察看吹扫氮气压力是否正常；低压氮必须保持在90Psi以上；高压氮必须保持在1000Psi以上；5、确认真空发生器动作大氮已经到管线末端；6、确认环境风机与防爆风机已经开启并正常运行；项目PTN PT1 PT2 PT3 A VC LC1时间Psi Psi Psi Psi % lb.工作状态；9、盘面显示：请关闭供气钢瓶，完成后请按确认；10、硅烷钢瓶头气动阀上锁：朝LOCK方向拧是锁紧，朝UNLOCK方向拧是解锁。

锁紧的状态以锁盘拧不动，并将卡簧卡口锁在卡槽内为准；11、用手指推入钢瓶头气动阀氮气管的快接口，拔下直径为Φ4mm的氮气管，并把它整理好搁置于高处；12、按确认键后，盘面显示真空产生器测试；13、该动作完成后，盘面显示特殊气体抽真空；14、该动作完成后，盘面显示purge氮气输入；15、该动作完成后，盘面显示压力传感器归零校正中；16、该动作完成后，盘面显示purge氮气抽真空；17、抽真空完成后随即进入“换钢瓶前测漏”阶段，测漏时间是60 分钟，记录相关原项目PTN PT1 PT2 PT3 A VC LC1时间Psi Psi Psi Psi % lb.项目PTN PT1 PT2 PT3 A VC LC1时间Psi Psi Psi Psi % lb.可以更换钢瓶，更换完成后，请按确认键”等字样；21、更换钢瓶时要穿戴好防护服、防护帽，佩戴无尘手套、无尘口罩；22、用扭力扳手打开钢瓶气管的连接件锁母，打开时注意察看上次锁紧该螺母时的扭力数据；23、之后，取下DISS垫片保存，拧上该钢瓶自带的阀门保洁保护罩（指钢瓶硅烷、氨气出口阀），再拧上该钢瓶自带的阀门防撞安全罩（指大螺纹罩子）；24、撕去空瓶上的“使用中”的标签，显示“残液空瓶”或“空瓶”字样；25、叉车移去空瓶前在空瓶的原位置上做好标识，并要注意螺旋形气管的保护；26、满瓶移入时除了要保护螺旋形气管外，还应该注意放置的位置应与原钢瓶的位置基本重叠，否则，螺旋形气管在接管时会发生一定的扭力，应让其自然松弛地与钢瓶接口相连接；27、在接钢瓶接头时要首先确认气体名称，记录满瓶的钢瓶资料，并撕去钢瓶“满瓶”的标签；28、拆下满瓶钢瓶自带的阀门防撞安全罩，阀门防撞安全罩放置妥当；29、打开满瓶钢瓶阀门保洁保护罩，换上新垫片，并用专用的扭力扳手锁紧接头，记录扭力的数据；30、确认满瓶的接头已经锁紧；31、查看吹扫氮气面板是否已经打开和压力是否足够；32、按下“换钢瓶后吹扫”按钮；33、盘面显示真空产生器测试；34、该动作完成后，盘面显示特殊气体抽真空；35、该动作完成后，盘面显示purge氮气输入；36、该动作完成后，盘面显示压力传感器归零校正中；37、该动作完成后，盘面显示purge氮气抽真空；38、抽真空完成后随即进入“换钢瓶后测漏”阶段，测漏时间是90分钟，记录相关原始数据：项目PTN PT1 PT2 PT3 A VC 时间Psi Psi Psi Psi %项目PTN PT1 PT2 PT3 A VC LC1时间Psi Psi Psi Psi % lb.可以打开钢瓶阀门，打开后，请按确认键”等字样；42、在打开钢瓶阀门前，要确认BSGS管线中是否为真空状态，应该以真空状态为准；43、用手指推入钢瓶头气动阀氮气管的快接口，将直径为Φ4mm的氮气管插入快接口的底部并保持不动，随后松开快接口，并经确认；44、打开钢瓶头气动阀锁：朝LOCK方向拧是锁紧，朝UNLOCK方向拧是解锁。

1硅烷换瓶操作流程状态步骤检查 1. 确定左右钢瓶已正常切换，需更换一侧显示状态为“IDLE”，SHUTBOY 已关闭。

2. 点击“ACK”消除屏幕上报警信息，点击2次【ESC 】进入顶级菜单。

TOP MENU 3. 选择吹扫需更换一侧。

（如更换左侧气瓶，点击【“L”Cylinder Select 】;更换右侧气瓶，点击【“R”Cylinder Select 】， MAIN MENU 4. 点击【Purge & Leak Check 】，输入口令 “2222”AUTO PURGE5.进入选择吹扫模式，点击【Cylinder Purge 】，确定钢瓶阀已经紧闭后点击【Start 】1P —> -L —> 2P —>ECEC 6. 当屏幕显示“pls exchange to new cylinder ”，取下SHUTBOYEC 7. 握紧CGA 螺栓，使用合适的扳手松下CGA 螺帽。

CGA 螺帽上有凹痕为左旋螺纹。

EC 8. 从瓶口阀上完全卸下钢瓶接管 EC 9.装上钢瓶瓶口阀的保护螺帽EC 10. 解开钢瓶的防护索，将钢瓶移开EC 11. 将钢瓶装上合适的推车，系上防护索，在钢瓶上贴上“空瓶”标签，转移到空钢瓶储藏区EC 12. 确认即将安装的钢瓶为需要的钢瓶，且接口形式与面板预留盘管上钢瓶接口能够配合EC 13. 将钢瓶的防护索系上， 确认钢瓶瓶口阀绝对关紧 EC 14. 除下瓶口阀的防护螺母。

EC 15. 检查瓶口阀出口端是否有污物或破损，绝对不可使用出口端有污物或破损的钢瓶。

EC 16. 若出现该问题，更换该钢瓶并且贴上标签，标志出所出现的问题。

EC 17. 旋转钢瓶，直到瓶口阀与CGA 接头对在一起. 紧固防护索。

EC 18. 更换一个新垫片，用手将CGA 螺栓和螺帽拧紧 EC 19. 用合适的扳手将CGA 螺栓和螺帽拧紧 EC装上SHUTBOY , 点击【Start 】EC —> 3P —> ＋L —> 4P —> Supply Mode 状态显示“PURGE GOOD”，根据提示“Push the Start after close the Regulator ”关闭调压阀后点击【Start 】Supply Mode 根据提示“Push the Start after open the Cylinder Valve ”打开Shut Boy/钢瓶阀后点击【Start 】Supply Mode 根据提示“Push the Start after adjusting the Regulator ”调节调压阀到合适的值后点击【Start 】，状态显示“STAND BY”。

1. 目的 Purpose1.1 本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。

2. 管制范围 Scope2.1 本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。

3. 管理职责 Responsibi l ity3.1 厂务单位最高主管3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。

3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等。

3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识。

3.2 厂务单位主管3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。

3.2.2 维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。

3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。

3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果3.3 厂务系统工程师:3.3.1 负责特气供应系统之正常运转及改良维护。

3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。

3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。

3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。

3.4 厂务轮班工程师:3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。

3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。

3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。

3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。

4. 定义 Definition4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。

5. 作业内容 Procedure5.1 日常记录与报告要求5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。

5.1.2统计气体，每日/周/月用量。

5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。

5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的校正记录。

5.1.5提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。

源瓶、TCA瓶的更换程序当瓶内液面淹没出气长管高度低于15MM时，必须及时更换，为确保扩散源瓶或TCA瓶更换时操作者人身安全和设备安全，特制定本程序，操作者必须严格按本程序规定步骤和方法实施。

一、操作前的准备和确认：1、更换前必须确认该管已退出工艺运行，控制屏上扩散小N2或清洗流量小N2 流量显示值为02、正确穿戴好防护服、耐酸碱长手套、自主送风式防毒面具,更换时必须两人在场，一人负责各操作步骤唱票，另一人实际操作，每步操作完后，须经确认无误后方可进入下一步操作；二、操作步骤1、取新瓶：在通风储藏处，将装有源液的源瓶取出，检查塑料包装膜内是否有源液外漏迹象（通过瓶外液体或源瓶手动阀是否潮湿判断，如有泄漏，立即报告技术人员处理），从存放点取瓶到安装地点过程中，必须双手端瓶，走路时注意防滑摔倒，过门时由另一人开、关门。

将取过来的源瓶放在扩散灰区地上，放稳。

2．卸旧瓶：先关瓶上手动阀进气阀，关严后，卸下进气管，再关紧瓶上出气手动阀，然后卸下出气管。

用双手捧住瓶体部分（严禁向上提两阀门或堵头），将用完的瓶从恒温槽内向上提，当源瓶提至将近最顶端时，将源瓶倾斜缓慢取出恒温槽，取瓶过程严禁瓶体和恒温槽磕碰。

取出的空瓶小心轻放在地上，放稳。

3．加水：观察浸泡在恒温槽内的另一个石英玻璃瓶，水位不低于该瓶的横隔板下1CM，否则加水至该位置。

加完水后，用无尘纸将恒温槽周边的水迹擦拭干净。

4．检漏：取瓶要点同上（捧住瓶体部分），将源瓶从塑料袋中取出，用无尘纸擦拭瓶底及其四周，若湿润和有强烈的刺激性气味则须报告技术人员处理，确认无泄漏的源瓶还需检查源液的色泽。

正常的源液颜色应是无色透明的，变黄则表示已经吸潮变质，须更换。

5．确认长短管连接：正确的连接是带有较小的外螺纹接口的手动阀接长管，为进气口；带有较大外螺纹接口的手动阀接短管，为出气口。

旋紧进出口手动阀。

5．装新瓶：捧瓶要点同上叙操作，将源瓶稍倾斜缓慢放入恒温槽，放瓶过程严禁瓶体和恒温槽磕碰6．管道连接：按先后连接进、出气管（进气口和源瓶长管连接，出气口源瓶短管相连）。

钢瓶维修安全操作规程范文第一章绪论1.1目的和依据本操作规程的目的是确保钢瓶维修过程中的操作安全，防止事故的发生，保障人员的生命财产安全。

依据《钢瓶维修安全操作规程》的相关法律法规。

1.2适用范围本规程适用于所有从事钢瓶维修工作的人员，包括钢瓶维修操作人员、监督人员以及其他相关人员。

第二章安全操作规程2.1岗位责任2.1.1 钢瓶维修操作人员应具备相关的专业知识和技能，熟悉钢瓶维修的安全操作规程，严格按照规程进行操作。

2.1.2 监督人员应负责对钢瓶维修操作进行监督，发现违规行为及时制止并报告。

2.2安全准备2.2.1 钢瓶维修操作前，应确保所需的维修工具、设备及个人防护用品齐全，并经过检验合格。

2.2.2 擦除目标钢瓶上的酸性物质，以免造成腐蚀。

2.3工作环境2.3.1 钢瓶维修操作现场要保持整洁，防止杂物堆放以及其他不必要的障碍物。

2.3.2 操作现场应具备良好的通风条件，确保有足够的氧气供应。

2.3.3 钢瓶维修操作应在无火源、无明火、无爆炸危险的环境下进行。

2.4个人防护2.4.1 钢瓶维修操作人员应佩戴适当的防护用品，包括防护手套、护目镜、防护服等。

2.4.2 钢瓶维修操作人员应经常洗手，避免将污染物带入食品和口腔。

2.4.3 操作人员应注意个人卫生，不得穿着过于宽松、长袖、长裤等易卷入设备的衣物。

2.5操作规程2.5.1 钢瓶维修操作人员应仔细阅读钢瓶的使用说明书，并按照说明书的要求进行操作。

2.5.2 钢瓶维修操作人员应注意握持钢瓶的正确方法，避免瓶身磕碰或者摔落。

2.5.3 操作人员在操作钢瓶时，应保持冷静，严禁粗暴操作或猛摇钢瓶。

2.5.4 操作人员应定期检查钢瓶的密封性能，如发现异常应及时报告并进行维修。

2.6紧急处理2.6.1 在钢瓶维修过程中，如发生泄漏或其他异常情况，操作人员应立即停止操作，并采取相应的紧急措施，如隔离和报警等。

2.7动火作业2.7.1 钢瓶维修操作过程中严禁进行任何形式的动火作业，如需要进行动火作业，必须按照相关规定进行安全防护和审批。

特气操作规程1.特气种类：NH3 CF4 SiH4;2.特气的危险性：见物质安全系数表MSDS;3.特气更换操作：由于特气的危险性，任何更换特气的操作，需要两人在现场操作：由一人操作，另一人监督；并且是培训合格上岗的人进行监督。

硅烷：一.硅烷为全自动柜，一用一备，当使用瓶气体使用完后，备用瓶自动切换供气，触摸屏会有显示，这时就需要更换已使用完的特气。

全自动吹扫、保压。

二.钢瓶的更换：1.将用完的钢瓶关闭.2.进入钢瓶更换吹扫进行前吹扫3.到EC时方可更换钢瓶4.更换时需更换一次性垫片 5.拧紧接口.6.点击确定进行后吹扫.7.吹扫完毕之后.打开钢瓶8.依次点击确定到备用状态位置.三.注意事项：1.检查气柜有无报警2.LPT与HPT压力是否正常.3.通风是否正常.4经常清理气柜外侧和内侧的卫生氨气、四氟化碳：这两种气体为半自动柜，当使用瓶气体使用完后，可以自动切换备用瓶进行供气，需要更换钢瓶，更换时需要手动吹扫、保压。

一.NH3钢瓶更换：1关闭钢瓶2.打开GNBV，PNBV.3.进入吹扫程序.4打开HPV2.关闭HPV.5.打开氮气进气阀门.关闭氮气进气阀门…4-5程序反复操作20次.6.然后打开氮气进气阀门三分之一.7.拆掉钢瓶8.更换垫片.9.安装新钢瓶.接口拧紧10.打开氮气阀门.关闭氮气阀门.11.保压2小时.12.保压成功之后4-5程序反复吹扫40次.13打开钢瓶确认压力.二.CF4钢瓶更换：1.关闭空钢瓶2.打开HPV3.拆掉钢瓶4.更换垫片5.安装新钢瓶6.关闭HPV.7打开钢瓶8关闭钢瓶.保压30分钟.压力没有损失然后进入后吹扫….吹扫步骤：1打开钢瓶2.关闭钢瓶3.打开HPV4.关闭HPV.1-4步骤反复进行20次之后打开钢瓶备用三.注意事项：1检查NH3加热箱是否正常2.钢瓶出口压力是否正常.3.输送压力是否正常4.气柜有无报警5.通风是否正常6.经常打扫特气房卫生.防止飞尘进入气柜.。