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7.3 电荷耦合器件CCD
7.3.1 MOS光敏单元
结构:P型硅+氧化物+金属电极
电极上未加电压: P-Si的空穴均匀 分布在半导体中,Si-SiO2界面处电 位处处相等;
电极上加正电压VG,衬底硅接地: P-Si中的空穴被电场排斥远离SiSiO2界面,而金属极覆盖范围之外 的空穴不受排斥,仍然维持原状;
第7章 光电式传感器
物理基础:光电效应
紫外光
可见光
红外光
10 nm 380 nm 780 nm
1000,000 nm
开始 结束
第7章 光电式传感器
定义:
被测量光学量光电器件电量
电流、电压,或电导率
组成:
光源+光路+光电器件
转换基础——光电效应
外光电效应(电子发射效应) 内光电效应
阻越小频带越宽 温度特性
输出电流影响小 暗电流影响大
2019/9/15
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(4) 光生伏特型(光电池)
光生伏特效应
某些半导体材料受光照时在一定方向产生电动势 具有光生伏特效应的器件被称为光电池
材料:
硅(红外)、硒(可见光)
结构:
由N型半导体(或金属)与P型半导体组成的PN结
钨丝
白炽灯:
可见~近红外波段 寿命几千小时
卤钨灯
寿命延长,价格贵
惰性气体 钨沉积层 石英玻璃 钨丝 卤族元素
2019/9/15
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7.1.2 气体放电光源
电流通过置于气体中的两个电极时会放电发光
波长与气体的种类有关; 低压汞灯254nm, 钠灯589nm,
放电气体 放电电弧
波长 谱分布 相干性 功 率 稳定性 体 积 造 价