电子工业洁净厂房设计规范
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干净厂房设计规范第一章总则第 1.0.1 条干净厂房设计一定贯彻履行国家的相关目标政策,做到技术先进、经济合理、安全合用、保证质量、切合节俭能源和环境保护的要求。
第 1.0.2 条本规范合用于新建和改建、扩建的干净厂房设计,但不合用于以细菌为控制对象的生物干净室。
本规范相关防火和分散、消防设备章节的规定,不合用于建筑高度超出 24 米的高层干净厂房和地下干净厂房的设计。
第 1.0.3 条在利用原有建筑进行干净技术改造时,干净厂房设计一定依据生产工艺要求,就地取材、差别对待,充足利用已有的技术设备。
第 1.0.4 条干净厂房设计应为施工安装、保护管理、检修测试和安全运行创建必需的条件。
第 1.0.5 条干净厂房设计除应按本规范履行外,尚应切合现行的国家标准、规范的相关要求。
第二章空气干净度等级第 2.0.1 条空气干净度应按表 2.0.1 规定区分为四个等级。
空气干净度表 2.0.1注: 关于空气干净度为 100 级的干净室内大于等于 5 微米尘粒的计数,应进行多次采样,当其多次出现时,方可以为该测试数值是靠谱的.1第 2.0.2 条干净室空气干净度等级的查验,应以动向条件下测试的尘粒数为依照。
干净室空气干净度的测试,应切合附录二规定。
第三章整体设计第一节干净厂房地点选择和总平面部署第 3.1.1 条干净厂房地点的选择,应依据以下要求并经技术经济方案比较后确立:一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的地区;二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及发散大批粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声扰乱的地区,如不可以远离严重空气污染源时,则应位于其最大频次风向上风侧,或整年最小频次风向下风侧;三、应部署在厂区内环境洁净、人流货流不穿越或少穿越的地域。
第 3.1.2 条关于兼有微振控制要求的干净厂房的地点选择,应实质测定周围现有振源的振动影响,并应与精细设备、精细仪器仪表同意环境振动值进行剖析比较。
建筑设计—洁净厂房设计规范GBJ73-84 第一章总则主编部门:中华人民共和国电子工业部批准部门:中华人民共和国国家计划委员会施行日期:1985年6月1日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标〔1984〕2483号根据原国家建委(78)建发设字第562号文的要求,由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》,已经有关部门会审。
现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73—84为国家标准,自一九八五年六月一日起施行。
本规范由电子工业部管理,其具体解释等工作,由电子工业部第十设计研究院负责。
国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会(78)建发设字第562号文的要求,由我部负责主编的。
具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中,规范编制组进行了广泛的调查研究,认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验,组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作,并广泛地征求了全国有关单位的意见。
最后,由我部会同有关部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录,主要的内容有:总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系初次编制,执行过程中,希各单位结合工程实践和科学研究,认真总结经验,如发现需要修改和充实之处,请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院,以供今后修订时参考。
电子工业部一九八四年八月二十七日第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策,做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量,符合节约能源和环境保护的要求。
第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计,但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
新工厂厂房工程要求1、总则设计做到技术先进、经济适用、确保质量,并符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求。
2、空气洁净度等级生产车间SMT房洁净度参照1000000级要求,其他地方参作洁净电子厂房要求。
3、总体设计3.1 洁净厂房位置选择和总平面布置应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域;远离交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域,周围无明显振源。
满足消防、14001要求。
3.2 工艺平面布置和设计综合协调一、工艺布置合理、紧凑,设备布局符合加工流;二、主要生产设备有:AI、SMT、汽车电子自动化生产线体,PVC皮带线,波峰焊接机;试验设备主要有:高温室、振动台、高低温箱、测试网房、跌落冲击台等。
三、生产车间需求温、湿度较稳定,洁净度较好,采光通风方便。
四、考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口。
最大设备为a*b*h\:2*5*1.8M五、设备工艺平面布置参照《主厂房二楼平面不知图》、《主厂房一楼平面布置图》。
3.3人员净化和物料净化厂房在一楼上楼梯处设置人员换鞋处,SMT车间入室处需设置更衣室和饮水区,物料净化用室和设施,并应根据《洁净厂房设计规范》需要设置生活用室和其他用室。
人员净化用室,宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。
厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室,根据生产工艺需要在二期装修设计中设置。
人员净化用室和生活用室的设计,应符合下列要求:一、人员净化用室的入口处,应设净鞋器。
二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。
外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。
水龙头应按最大班人数每10人设一个。
四、洁净区不得设厕所。
人员净化用室内的厕所应设前室。
五、可考虑设置空气空气吹淋室锡。
空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净工作服室相邻。
中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范洁净厂房是指在特定环境下,通过控制空气污染物、粉尘等因素的净化,提供清洁、稳定的工作环境,以满足特定工艺生产或科学实验的需求。
为了规范洁净厂房的设计与建设,中华人民共和国国家标准委员会制定了《中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范》。
本文将从洁净厂房的概念、洁净度要求、空气处理系统、工程材料等几个方面进行阐述,以全面介绍洁净厂房设计规范。
一、洁净厂房概述洁净厂房是为满足特定工艺生产或科学实验的高洁净要求而设计的一种工业建筑。
它通过空气净化、粉尘控制以及温湿度调节等手段,使空间内的洁净度得以保持在可接受的范围内。
洁净厂房广泛应用于电子、医药、食品加工等领域,能够有效提高产品质量和生产效率。
二、洁净度要求洁净度是衡量洁净厂房清洁程度的重要指标。
不同行业、不同工艺对洁净度有不同的要求。
国家标准规定了空气中不同尺寸的颗粒物的容许浓度限值,例如超细颗粒物、微细颗粒物等。
同时,还要求对微生物浓度进行控制,以确保工作环境的卫生与安全。
三、空气处理系统空气处理系统是洁净厂房的核心组成部分,它的设计和运行直接影响洁净度的达标情况。
空气处理系统包括空调系统、通风系统、新风系统、过滤系统等。
在设计过程中,需结合洁净度要求和工艺流程,合理选择和布置设备,确保空气质量得到有效控制。
四、工程材料在洁净厂房的设计和施工中,选用合适的工程材料对于保证洁净度起到至关重要的作用。
在选择材料时,要考虑其耐腐蚀性、耐高温性、耐磨损性等特性,并符合国家标准要求。
同时,还需注意材料的易清洁性,以便于日常的清洁和维护工作。
五、设备布局洁净厂房的设备布局是为了实现高效的生产和操作流程。
在布局设计中,要合理安排设备的位置和通道,确保流程的顺畅和作业人员的安全。
此外,还要充分考虑通风、排风和空气过滤等因素,保持洁净厂房内部的整体洁净度。
六、实施和维护洁净厂房的设计并不止于建设完工,更需要在日常运营中进行有效的维护。
洁净厂房设计规范GB 50073-2013施行日期:2013年9月1日实务:就考一题,综合:专用消防口洁净厂房的代表:电子工业、医药工业、食品厂房、生物实验2 术语2.0.1 洁净室空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。
室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2 洁净区空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。
它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。
空间内其他有关参2.0.13 气流流型对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。
2.0.14 单向流通过洁净室(区)整个断面的风速稳定、大致平行的受控气流。
2.0.15 垂直单向流与水平面垂直的单向流。
2.0.16 水平单向流与水平面平行的单向流。
2.0.17 非单向流送入洁净室(区)的送风以诱导方式与室(区)内空气混合的气流分布类型。
2.0.18 混合流单向流和非单向流组合的气流。
(消防交流蔻,群46944-9530)5.2 防火和疏散5.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
5.2.2 洁净厂房内生产工作间的火灾危险性,应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
5.2.3 生产类别为甲、乙类生产的洁净厂房宜为单层厂房,其防火分区最大允许建筑面积,单层厂房宜为3000m2,多层厂房宜为2000m2。
(取值是甲类防火分区二级)丙、丁、戊类生产的洁净厂房的防火分区最大允许建筑面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
5.2.4 洁净室的顶棚、壁板及夹芯材料应为不燃0.4h,疏散走道顶棚的耐火极限不应低于1.0h。
条文说明:不得采用有机复合材料,以避免燃烧时产生窒息性气体、有害气体等。
5.2.5 在一个防火分区内的综合性厂房,洁净生产区与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。
隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1h,隔墙上的门窗耐火极限不应低于耐火材料紧密填堵。
电子洁净厂房设计的时候,是需要符合相关的加工标准的,当然在实际进行设计的过程当中,他们的要求同样也是不一样的。
下面,就给大家分享一下。
一、设计的同时,要保证所有的厂房的建筑面积或者空间布局,全部都要有着适当的灵活性,而且整个区域的主体结构千万不要采用那种内墙承重的方式。
二、如果是在房设计的时候,对于整个屋子里面的高度必须要通过进攻来进行全面的控制,甚至只有这样,他们的净高度才能够维持在100毫的基本模数当中。
三、设计的时候,要根据整个厂房的主体结构的耐久性,或者适合室内装备以及装修水平相协调的情况之下来进行设定,他们的设定本身也都具有着一定的防火的特性,而且将有着更多的控制特色,整个温度通过变形或者是不均匀的方式来进行沉降性的设定,地震区域应该符合抗震的设计规定,甚至在整个设定的过程当中,要保证所有的厂房避免穿过洁净区。
四、设计的时候,要保证送风管,或者是回风管和其他的管线之间可以进行全面的设置,而且穿越的时候将有着更多竖向穿越的方式,同时也可以采用各种
不同的技术来进行全面的设置,不过要结合着当地的实际情况来进行全面了解,而且在设计的过程当中又有更好的设定方式和理念,因为只有这样才能够保证后期的设计效果。
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GBJ73—84主编部门:中华人民共和国电子工业部批准部门:中华人民共和国国家计划委员会施行日期:1985年6月1日目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室内装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般规定第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规定第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节一般规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策,做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量,符合节约能源和环境保护的要求。
第1.0.2条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计,但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定,不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1.0.3条在利用原有建筑进行洁净技术改造时,洁净厂房设计必须根据生产工艺要求,因地制宜、区别对待,充分利用已有的技术设施。
第1.0.4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。
第1.0.5条洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
第二章空气洁净度等级第2.0.1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
注:对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数,应进行多次采样,当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的。
《电子工业洁净厂房设计规范》3.2.5 单向流和混合流洁净室(区)的的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
4.3.31 按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。
5.5.6 洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定:1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统;2 对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时,应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分;3 传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。
氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。
6.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内,净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。
不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置,应符合下列规定;1 每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定2 安全出口应分散布置,并应设有明显的疏散标志;安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
安全疏散用门应向疏散方向开启,并应设观察玻璃窗;3 丙类生产的电子工业洁净厂房,在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后,安全疏散距离可按工艺需要确定,但不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。
注:对于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD厂房,且洁净生产区人员密度小于0.02人/㎡,其疏散距离应按工艺需要确定,但不得大于120m。
电子工业洁净厂房设计规范标准
引言
近年来,电子工业在全球范围内快速发展。
随之而来的是不断增长的需求量以及更高的洁净度要求。
因此,本文针对电子工业洁净厂房的设计规范进行了详细介绍和说明,以期为此类厂房的建造者和使用者提供可靠的参考标准。
适用范围
本文所提到的规范标准,适用于在电子工业领域内建造、改造和扩建洁净厂房等工程项目。
环境要求
洁净厂房的建造必须在干燥、清洁和不含有有害气体的环境下进行。
厂房内外的温度、湿度、气流等参数均需符合规定的标准,以确保产品的质量和工人的身体健康和安全。
设计要求
布局设计
洁净厂房的布局设计应该合理,避免不必要的人员流动以及杂
物进入。
通常建议采用线性布局,避免过多的转弯和分支。
同时,
为了保证作业区域的洁净度,必须设立过渡区、缓冲区和气闸室等。
设备和工艺
洁净厂房的设备必须具备防尘、防静电和易清洗等特点。
同时,也必须采用适合的工艺技术,防止产生微粒和有害气体。
环境控制
洁净厂房的环境应该由专门的人员进行控制和管理,确保温度、湿度、风速等参数符合规定标准。
此外,也需要设置相应的报警系
统和备用设备,以防突发状况。
检测设施
洁净厂房应该设有相应的检测设施,以对空气中的微粒、霉菌
和有害气体进行监测和测试。
在此基础上可对环境进行调整和控制。
结论
洁净厂房的设计规范对保证产品的质量和工人的身体健康和安全至关重要。
因此,在进行此类工程项目时,必须严格按照规范标准进行,以避免不必要的问题和损失。
洁净厂房设计规范中华人民共和国国家标准GBJ73--84主编部门:中华人民共和国电子工业部批准部门:中华人民共和国国家计划委员会施行日期:一九八五年六月一日关于发布《洁净厂房设计规范》的通知计标[1984]2483号根据原国家建委(78)建发设字第562号文的要求,由电子工业部会同有关部门共同编制的《洁净厂房设计规范》已经有关部门会审。
现批准《洁净厂房设计规范》GBJ73-84为国家标准,自一九八五年六月一日起施行。
本规范由电子工业部管理,其具体解释等工作,由电子工业部第十设计研究院负责。
国家计划委员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会(78)建发设字第562号文的要求,由我部负责主编的。
具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中,规范编制组进行了广泛的调查研究,认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验,组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作,并广泛地征求了全国有关单位的意见。
最后,由我部会同有关部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录,主要的内容有:总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系初次编制,执行过程中,希各单位结合工程实践和科学研究,认真总结经验,如发现需要修改和充实之处,请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院,以供今后修订时参考。
电子工业部一九八四年八月二十七日目录第一章总则第二章空气洁净度等级第三章总体设计第一节洁净厂房位置选择和总平面布置第二节工艺布置和设计综合协调第三节噪声控制第四节微振控制第四章建筑第一节一般规定第二节人员净化和物料净化设施第三节防火和疏散第四节室内装修第五节装配式洁净室第五章空气净化第一节一般要求第二节洁净室正压控制第三节气流组织和送风量第四节空气净化处理第五节采暖通风第六节风管和附件第六章给水排水第一节一般规范第二节给水第三节排水第四节消防设施第七章工业气体管道第一节通常规定第二节管道材料、阀门和附件第三节管道连接和清洗第四节安全技术第八章电气第一节配电第二节照明第三节控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章总则第1.0.1条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策,做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。
电子工业洁净厂房
设计规范
《电子工业洁净厂房设计规范》
3.2.5 单向流和混合流洁净室(区)的的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
4.3.3
1 按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;
5.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。
5.5.6 洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定:
1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统;
2 对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时,应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分;
3 传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。
氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。
6.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内,净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。
不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置,应符合下列规定;
1 每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定
2 安全出口应分散布置,并应设有明显的疏散标志;安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
安全疏散用门应向疏散方向开启,并应设观察玻璃窗;
3 丙类生产的电子工业洁净厂房,在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后,安全疏散距离可按工艺需要确定,但不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。
注:对于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD厂房,且洁净生产区人员密度小于0.02人/㎡,其疏散距离应按工艺需要确定,但不得大于120m。
6.2.8 洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口,并应符合下列规定:
1 洁净区各层专用消防口的设计,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定;
2 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗,均不应作为专用消防口。
6.2.9 洁净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置,且不得与疏散安全口(楼梯间)贴邻。
有爆炸危险的房间的防爆措施、
泄爆面积等应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
6.3.1 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小的材料。
洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。
装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定。
装修材料的烟密度等级不应大于50,材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。
7.1.6 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定:
1 各洁净室(区)与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定;
2 不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大于等于5Pa;
3 洁净室(区)与非洁净室(区)之间的静压差应大于5Pa;
4 洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。
7.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散热器采暖。
7.5.3
1 应防止室外气流倒灌;
2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采
取相应防火防爆措施;
4 对含有水蒸汽或凝结物质的排风系统,应设置坡度及排放口;
5 排风介质中含有剧毒物质时,应设置备用排风机和处理设备,并应设置应急电源;
6 排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时,应设置备用排风机,并应设置应急电源;
7 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统,其风量应按在正常运行和事故情况下,风管内爆炸危险的气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20%计;
8 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统,应设置消除静电的接地装置。
7.5.4 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路,应保持相对于路由区域一定的负压值。
7.5.6 洁净室(区)事故排风系统的设计,应符合下列规定:
1 事故排风区域的换气次数不应小于12次/h;
2 应设置自动和手动控制开关、手动控制开关应分别设置在洁净室(区)和洁净室(区)外便于操作的地点;
3 应设置应急电源。
7.6.1 洁净厂房中的疏散走廊,应设置机械排烟设施。
7.7.2 净化空调系统的风管的防火阀的设置,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道,不得设置熔片式防火阀。
7.7.7
2 排烟系统的风管应采用不燃材料制作;
3 附件、保温材料和消声材料等均应采用不燃材料或难燃材料。
8.3.1 生产、生活排水系统应分别设置。
生产排水系统应根据电子产品生产设备排出的废水性质、污染物浓度和水量等特点确定。
有害废水应经废水处理达到国家或地方排放标准后排放。
8.3.2 洁净室(区)内与电子产品生产设备相连接的重力排水管道,应在排出口以下部位设置水封装置。
排水系统应有完善的通气系统。
8.5.1 洁净厂房必须设置消防给水系统。
消防给水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。
8.5.2
1 洁净室(区)的生产层及上下技术夹层(不含不通行的技术夹层),应设置室内消火栓;
8.5.3
3 存放可燃气体钢瓶的特气柜中应设置自动灭火设施。
9.2.3
3 不循环支管的长度不应大于管径的6倍;
4 干管应设置清洗口;。