准分子激光加工陶瓷表面形貌的分形特性
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明 : 形 参 数具 有 尺度 无 关 性[ , 糙 表 面具 有统 计 分 3 粗 ] 自仿 射 分 形 特 征 [ ] 用 分 形 参 数 可 望 实 现 粗 糙 表 面 4 ,
的 唯 一 表 征 .
分 形 参 数包 括 : 形 维 数 ( 维 ) 特 征 长度 ( 分 分 和 形 貌系数) .其 中 分 维 是 定 量 地 表 示 自相 似 或 自仿 射 的 随机 分 形 状 态 或现 象 的 最 基 本 量 , 用来 表示 分 也 形 集 的 不规 则 程 度 .
光加 工此 类 表 面微 观 形 貌 的 可行 性 和 实用 性 .
增 大 , 而 表 面 效 应 增 强 , 为 主 要 表 面 作 用 力 的 摩 因 作
擦 力 就 成 为 影 响 微 机 械 运 动 和 性 能 的 重 要 因 素 .如
果 构 件 尺 寸 从 1m1 - 小到 1 m 时 , 面积减小 1 n减 表 百万倍 , 体积减小 1 而 0亿 倍 .这 样 , 比 于 面 积 的 正 作 用 力 如 摩 擦 力 、 性 力 等 与 正 比 于 体 积 的 作 用 力 粘 如 惯 性 力 、 磁 力 等 相 比增 大 了 数 干 倍 , 为 微 机 械 电 成
[ 摘 要 ]根 据 用 Tay uf表 面 轮 廓 仪 测 量 准 分 子 激 光 加 工 A1 陶 瓷 表 面 轮 廓 的 数 据 。 结 构 函数 法 分 析 ls r 。 0。 用
了准 分 子 激 光 加 工 陶 瓷 表 面 。 用 功 率 谱 法 计 算 了准 分 子 激 光 加 工 陶 瓷 表 面 轮 廓 的分 形 维 数 , 把 计 算 所 得 采 并 的 分 形 维 数 与 其 轮 廓 高 度 的 算 术 平 均 值 和 均 方 根 值 进 行 了 比 较 , 出 它 们 之 间 为 非 线 性 关 系 。 拟 合 出 它 们 得 并
的关系式 .
[ 键 词 ]准 分 子 激 光 ; 。 陶 瓷 ;表 面 形 貌 ; 形 关 A1 0。 分 [ 图 分 类 号 ]TH1 7 中 1 [ 献标 识码 ] A 文 :
微 机 电 系 统 的 研 究 已 成 为 机 械 科 学 研 究 的 前 沿
领 域 .由 于 构 件 尺 寸 减 小 , 面 积 与 体 积 之 比 相 应 表
De 2 2 c. 00
[ 章 编 号 ]1 o — 4 8 ( 0 2 1 -0 50 文 o 3 6 4 2 0 )2 0 1 -3
准 分 子 激 光 加 工 陶 瓷 表 面 形 貌 的 分 形 特 性
刘 莹 ,陈 志 新
( 昌 大 学机 电 工 程 学 院 。江 西 南 昌 3 0 2 ) 南 3 0 9
的 主 要 作 用 力 .因 此 表 面 效 应 和 尺 寸 效 应 造 成 微 观 摩 擦 与 宏 观 摩 擦 具 有 不 同 的 特 性 , 传 统 机 械 设 计 与
1 分 形 基 本 概 念 和 轮 廓 的分 形 参 数 计
算 方 法
1 1 分 形 基 本概 念 .
自从 2 O世 纪 7 0年 代 Ma d lrt提 出 分 形 几 n eb o
维普资讯
第1 7卷 第 4期
VO1 .17 NO.4
湖 北 工 学 院 学 报
J u n lo u e o y e h i i e s t o r a fH b iP l t c n c Un v r iy
20 年 1 月 02 2
分 形 结 构 体 的 两 个 本 质 特 征 就 是 自相 似 性 和 自 仿 射 性 .这 两 个 特 征 是 判 断 是 否 为 分 形 体 的 重 要 依
据之一 .
表 面 粗 糙 度 的 全 部 信 息 .因 此 , 求 尺 度 独 立 的 表 寻
征 参 数 对 摩 擦 学 研 究 具 有 重 要 意 义 .大 量 研 究 表
响 微 摩 擦 的 最 基 本 的 表 面 形 貌 参 数 是 微 机 电 系 统 研
泛 地 应 用 .分 形 几 何 学 是 一 门 以 非 规 则 几 何 形 状 为 研 究 对 象 的 几 何 学 , 传 统 的 几 何 学 相 比 , 有 以 下 与 它 特 点 : )在 整 体 上 , 形 几 何 图 形 是 处 处 不 规 则 1 分 的 ; )在 不 同 尺 度 上 , 形 的 规 则 性 又 是 相 同 的 , 2 图 即
的 微 观 形 貌 也 不 同 . 目 前 , 内 外 对 机 械 加 工 表 面 国
形 貌 的 分 形 特 性 的 研 究 比较 多 , 未 见 有 关 准 分 子 但 激 光 加 工 陶 瓷 表 面 形 貌 分 形 参 数 表 征 及 分 形 特 性 的 研 究 报 道 .本 文 通 过 研 究 准 分 子 激 光 加 工 Al 陶 : O。 瓷 表 面 的 分 形 特 性 , 探 索 分 形 参 数 表 征 准 分 子 激 来
何 学 概 念 以 来 " , 形 几 何 学 已 在 工 程 领 域 得 到 广 分
相 比 , 机 电 系统 中 的微 摩 擦 问题 显 得 特 别 突 出[. 微 1 ]
研 究 表 明 , 观 摩 擦 行 为 与 表 面 形 貌 密 切 相 关 .因 微
此 , 何 描 述 和 表 征 表 面 微 观 形貌 , 如 以及 如何 确 定 影
具 关 注 的问 题 .
文献[] 出 , 2指 粗糙 表 面 形貌 的高 度 变 化是 一非
稳 定 的 随 机 过 程 , 说 明 用 于 表 征 表 面 的 统 计 学 参 这
数 与 尺 度 相 关 , 传 统 的 统 计 学 表 征 参 数 不 能 反 映 即
准分子激 光加工是 重要的微细加 工方法之一 , 其 加 工 原 理 与 传 统 机 械 加 工 不 同 , 此 所 形 成 表 面 因