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真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空系统氦质谱检漏施工工法真空系统氦质谱检漏施工工法一、前言真空系统在各行业应用广泛，但系统内部的泄漏问题往往会严重影响系统的正常运行。
为了准确地检测并修复真空系统中的泄漏问题，出现了真空系统氦质谱检漏施工工法。
该工法通过使用氦质谱仪结合真空泵等设备来进行泄漏点的定位和修复，实现了对真空系统泄漏问题的有效解决。
二、工法特点真空系统氦质谱检漏施工工法具有以下几个特点：1. 精确性高：通过氦质谱仪的高灵敏度，能够快速、精确地定位真空系统中的泄漏点；2. 检测范围广：适用于各种真空系统，包括航天、航空、电子、光学等领域的系统；3. 施工周期短：相比传统的泄漏检测方法，真空系统氦质谱检漏施工工法无需拆卸系统部件，减少了维修时间和操作工序；4. 施工成本低：工法所需的设备和材料较少，成本相对较低；5. 工艺可靠：经过实践验证，该工法可以有效解决真空系统中的泄漏问题，提高系统的稳定性。
三、适应范围真空系统氦质谱检漏施工工法适用于以下范围的真空系统：1. 航空航天领域：如航天器、航空发动机等系统；2. 电子领域：如半导体制造设备、电子显微镜等系统；3. 光学领域：如激光器系统、光学仪器等系统；4. 化工领域：如真空蒸馏、真空干燥等化工设备。
四、工艺原理真空系统氦质谱检漏施工工法基于以下工艺原理：1. 氦气的小分子：氦气是一种极小分子，容易渗透进泄漏点，同时也很容易检测到；2. 质谱仪的灵敏度：质谱仪具有高灵敏度，可以检测到非常微小的氦气浓度，从而实现泄漏点的定位；3. 真空泵的抽取：通过真空泵的抽取作用，可以提高系统内氦气浓度，并加速泄漏点的检测和定位。
五、施工工艺真空系统氦质谱检漏施工工法的施工工艺主要包括以下几个阶段：1. 准备工作：包括确认施工现场、准备所需机具设备、校准和检测仪器等；2. 连接设备：安装并连接氦质谱仪、真空泵等设备到真空系统中；3. 抽真空：启动真空泵，抽取真空系统内的气体，达到工艺要求的真空度；4. 检测泄漏：向系统内注入氦气，通过质谱仪检测泄漏点并记录；5. 定位修复：根据质谱仪检测结果，准确定位泄漏点，并进行修复处理；6. 再次检测：修复后再次进行氦质谱检测，确保泄漏问题得到彻底解决；7. 完工验收：确认系统已经无泄漏问题，进行完工验收并撤除施工设备。
真空检漏仪安全操作规定随着人们对材料的要求日益增高，进行材料制备和加工时需要使用更高品质的材料。
而在材料加工过程中，必然涉及到气体的处理。
真空检漏仪在这个过程中扮演着非常重要的角色。
本文将为大家介绍真空检漏仪的安全操作规定。
一、基本信息真空检漏仪是一种用于检测气体泄漏情况的检测设备，主要应用于制药、化学工业、食品加工、航空航天等行业。
真空检漏仪采用真空技术，对压力范围内进行检测，在检测过程中需要注意以下几个方面。
二、安装过程1.安装地点：真空检漏仪应该安装在无尘、无震动、温度适宜的地方。
避免阳光直射、潮湿、易使仪器构件老化的环境。
2.接地：真空检漏仪必须接地，接地导线应直接接地线或接地管道（设备安装地点有地线时）。
3.热源：如仪器内部有加热装置，安装时应旋紧。
根据所选材料热膨胀系数确定长度。
接线时，如有绝缘管应保持完整。
三、操作过程1.操作人员应事先阅读说明书或经过专业人员培训，了解每个按键及开关的功能。
2.检查除气系统：开机前检查真空泵、阀门等设备是否工作正常。
检查排气口是否畅通，以确保排除了氧气及其他气体。
3.检测环境：检测环境应保持清洁，避免产生腐蚀性气体和颗粒物质，这些物质会使得真空检漏仪的敏感性下降，影响准确度。
4.真空检测：开机后，按照使用说明操作，当设备表现不正常时，应紧急停止操作并检查。
四、日常维护1.使用过程中，应该保证室内环境整洁，每次结束操作后清理测力仪表表面和连接口，以及检查接线是否正常，仪器所有开关处于关闭状态。
2.定期检查：定期检查控制系统和电路、泵、阀门等的工作状态比如真空度是否符合标准要求，修理检漏仪的故障，更换易损件等，保持设备的正常运作。
五、危险与对策如果在使用真空检漏仪时，操作不规范，易引起危险。
但只要做好以下预防措施并且正确使用，则会大大减少危险的发生。
1.爆炸危险：当检漏仪中含有易燃易爆物质时，操作人员应该做好防爆措施，例如：使用安全电器等防爆设备。
2.感电危险：保持检漏仪的接地，备好绝缘手套和鞋子。
真空系统灌水查漏技术方案1 灌水目的检查机组真空系统有无漏点，以便在检修中及时消除，提高机组真空系统的严密性。
2 灌水时间机组大小修时真空系统检修完工，凝结水系统恢复运行前，凝汽器灌满水维持24 小时。
3 灌水高度灌水高度为低压缸与凝汽器排汽接管连接处约300mmm，检修单位应在灌水目标高度做好明显标记。
4 组织措施4.1 技术方案须经总工程师批准。
4.2 查漏由安生部主任主持。
4.3 查漏由大修试运组组长组织，安生部、发电部、检修部汽机专工、大修单位汽机专工、施工负责人及班组相关人员参加。
4.4 现场指挥由当值值长负责，运行人员负责操作。
5 技术措施：5.1 真空系统管道、阀门和与该系统有关设备的检修工作已经完毕。
5.2 凝汽器灌水对汽轮机本体检修没有影响。
5.3 检修人员应做好如下措施：5.3.1 在A、B 小机排汽蝶阀膨胀节两端装设枕木并垫实。
5.3.2 装设不低于13.7m 的临时水位计，并在灌水高度终点做好明显标记。
5.4 试验中关闭以下阀门：5.4.1 凝结水系统阀门：序号阀门名称序号阀门名称1 A 凝泵入口电动门13 凝结水至B 疏扩减温水调门后手动门2 B 凝泵入口电动门14 凝结水至B 疏扩减温水旁路手动门3 A 凝泵出口电动门15 轴加再循环调整门后放水手动门4 B 凝泵出口电动门16 凝结水至疏扩减温水调门后放水门5 A 凝泵入口滤网排污门17 A 凝泵运行抽空气门6 B 凝泵入口滤网排污门18 B 凝泵运行抽空气门7 A 凝泵入口滤网排气门19 凝泵入口母管放水手动门8 B 凝泵入口滤网排气门20 轴加出口再循环调整门后手动门9 低背压凝汽器低部放水门（4 台）21 轴加出口再循环旁路手动门10 高背压凝汽器低部放水门（4 台）22 凝结水至补充水箱调整门后手动门11 凝结水至A 疏扩减温水调门后手动门23 凝结水至补充水箱旁路手动门12 凝结水至A 疏扩减温水旁路手动门245.4.2 主、再热蒸汽及汽机本体疏水阀门：序号阀门名称序号阀门名称1 左侧主蒸汽管道疏水电动门13 1、3 号导汽管疏水至疏扩气动门2 左侧主蒸汽管道疏水气动门14 2、4 号导汽管疏水至疏扩电动门3 右侧主蒸汽管道疏水电动门15 2、4 号导汽管疏水至疏扩气动门4 右侧主蒸汽管道疏水气动门16 高压排汽区疏水至疏扩气动门1、25 高排通风阀17 高压外缸疏水至疏扩气动门1、26 高排逆止门前疏水电动门18 高压内缸疏水至疏扩气动门1、27 高排逆止门前疏水气动门19 左侧平衡管疏水至疏扩气动门1、28 高排逆止门后疏水电动门20 1、3 号中导汽管疏水至疏扩电动门9 高排逆止门后疏水气动门21 1、3 号中导汽管疏水至疏扩气动门10 热再管道疏水电动门22 2、4 号中导汽管疏水至疏扩电动门11 热再管道疏水气动门23 2、4 号中导汽管疏水至疏扩气动门12 1、3 号导汽管疏水至疏扩电动门245.4.3 主、小机轴封系统疏水阀门：序号阀门名称序号阀门名称1 轴加放水至地沟手动门12 A 小机高压缸疏水手动门2 轴加“U”型疏水管注水手动门13 A 小机高压缸疏水气动门3 轴封母管各疏水至凝汽器手动1、2 次门14 B 小机高压缸疏水手动门4 轴封母管溢流至凝汽器调手动总门15 B 小机高压缸疏水气动门5 轴封母管各疏水至凝汽器旁路门16 A 小机平衡管疏水手动门6 B 小机轴封母管疏水手动门17 A 小机平衡管疏水气动门7 B 小机轴封母管疏水气动门18 B 小机平衡管疏水手动门8 A 小机低压缸疏水手动门19 B 小机平衡管疏水气动门9 A 小机低压缸疏水气动门20 A 小机轴封母管疏水手动门10 B 小机低压缸疏水手动门21 A 小机轴封母管疏水气动门11 B 小机低压缸疏水气动门22 A、B 小机各进汽管疏水至凝汽器电动门注：因轴封系统本次A 修优化项目较多，请运行人员在布置隔离措施时本着“与凝汽器相连的疏水门均应关闭”的原则，结合优化后的系统布置安措。
******公司600MW机组真空系统查漏措施批准：审定：审核：编拟：2012年9月600MW机组真空系统查漏措施1.目的为了确保公司600MW机组真空系统查漏过程中工作安全、有序、高效开展，实现“应修必修、修必修好、修出安全、修出效益”的C修目标，保证真空系统查漏过程中不发生人身伤害、设备损坏事故，全面完成C修安全目标和质量目标，根据集团公司设备检修管理办法的有关要求，切实作好修前的检查等准备工作，制定并严格执行真空系统查漏专项安全技术措施，充分发挥监督和监理职能，不断提高C修安全事故风险预控能力，确保机组真空系统查漏过程中工作安全目标的实现，特制订#61机组真空系统查漏专项措施。
2.引用标准2.1电力建设安全工作规程DL5009.1－92；2.2电业安全工作规程；2.3发电厂检修规程 SD230－87；2.4电力建设施工及验收技术规范DL5011－92；2.5火电施工质量检验及评定标准；2.6火电工程调整试运质量检验及评定标准部颁；2.7电力工业锅炉压力容器检验规程；2.8 《金属监督》、《化学监督规程》；2.9《防止电力生产重大事故的二十九项重点要求》；2.10 600MW机组检修文件包等；3 具体内容3.1组织机构及职责3.1.1组织机构组织负责人：安全负责人：3.1.2机构人员职责：组织负责人：负责汽轮机组真空系统查漏工作组织安排和过程协调；负责汽轮机组真空系统查漏进度的协调；负责处理现场发生的一切异常情况；负责汽轮机组真空系统查漏工作的安全、技术措施布置和落实；负责执行汽轮机组真空系统查漏工作交底制度；负责组织、协调汽轮机组真空系统查漏工作；负责组织编制负责编写真空系统查漏措施和注意事项，经审核、批准后交发电部运行人员实施等；技术负责人：负责组织汽轮机组真空系统查漏验收工作；负责汽轮机真空系统查漏所涉及的〈检修文件包〉、〈质量控制计划〉等相关软件执行；负责汽轮机组真空系统查漏安全技术措施的编制、审核并上报；负责组织、协调真空系统查漏过程的金属监督和化学监督工作；负责真空系统查漏分析工作及处理措施的制定和执行；负责汽轮机组真空系统查漏的技术指导和监督验收；负责对真空系统查漏过程出现的质量、技术、监督问题组织人员分析，提出处理意见，并上报设备管理部主管和C修指挥部；负责汽轮机组真空系统查漏过程的工作记录、数据记录及整个检修资料的汇总、整理、归档；安全负责人：负责监督、检查汽轮机组真空系统查漏专项安全、技术措施落实情况；负责检修现场文明生产的巡视检查，及时纠正、制止发生的违章行为；负责监督检修现场工作人员执行各项安全规定的情况，发现违章行为及时纠正和制止，严重的停工整顿；负责检查施工现场工作人员安全防护劳动用品的佩带和使用情况，发现问题及时制止和纠正；负责检修现场违章行为的统计和考核；参与汽轮机组真空系统查漏安全技术措施的审查和审核工作等。
真空系统查漏方案批准:审核:编制: 日期:年月曰汽轮机貞•空系统查漏方案一、槪况由于真空严密性试验不合格，严重影响着机组的安全、经济运行，故进行本次査漏工作，本工作分两步进行：一、汽机房7.5米以下真空系统用静压灌水查漏：二、A列外7.5米以上真空系统部分用压缩空气升压至30KPa进行査漏。
二、计划工期2011年8月20日开始三、查漏前应具备的条件1、査漏方案审批完毕：2、查漏所需设备、材料已经到位；3、临时水位计、就地压力表安装完毕：4、凝结水系统、热井疏水系统、水环真空泵系统、低加系统、空冷系统和轴加系统检修工作完毕，热力检修工作票压回；5、汽机部分的所有电动阀门的电气检修工作票压回：6、大修现场干净整洁，有良好的照明：7、通讯设备齐全。
四、查漏前相关各系统所处的状态1、主汽系统（1）电动主汽门及其旁路门和门后疏水门关闭：（2）电动主汽门前疏水门和排地沟门开启。
2、高加系统（1）1#、2#髙加的抽空气一道门关闭，二逍门全开：（2）髙加疏水去低加疏水电动门关闭并断电；（3）高加疏水上母管一、二道手动门关闭。
3、低加系统（1）四、五抽电动门开启断电：（2）凝结水进、岀水电动门关闭；（3）抽空气门开启：（4）底部放水门关闭：（5）其余疏水门全部开启4、抽汽、漏汽系统（1）一、二、三抽联络电动门关闭断电：（2）一漏、二漏电动门关闭断电；（3）三漏电动门及其旁路电动门关闭断电；（4）门杆漏汽电动门关闭断电：（5）三抽上母管手动门关闭。
5、轴封加热器（1）疏水门全开：（2）1#、2#轴加风机入口手动门关闭：（3）轴加风机断电6、凝结水系统（1）凝结水泵断电：（2）凝结水去除氧器及母管的手动总门关闭，凝结水再循环门开启：（3）凝结水泵出入口门、空气门和机械密封水门开启；（4）放水门关闭7、空冷系统（1）水环真空泵断电，苴入口手动门关闭、电动门关闭断电：（2）抽真空旁路门全开：（3）空冷上部的电动门全部开启。
汽轮机在运行过程中，真空值是一项非常重要的参数，真空值的高低，直接影响机组的经济性与安全性。
在机组运行过程中如果出现真空值下跌问题，排除比较常见的故障外，真空系统的泄漏是造成真空下跌的主要原因。
其主要现象为真空下降、真空泵电流增大等。
由于300 MW 机组真空系统范围较大，要想查出漏点具体在哪里，是一项比较繁琐的工作，笔者曾参加一次真空系统的成功查漏，现将查找经过和处理方法分述于下。
1 查漏经过及处理皖江发电厂汽轮机为上汽厂N300-16.7/538/538型，开式循环供水系统，有一次机组小修启动后，真空值与以往同期、同条件相比偏低较多，200 MW负荷时真空值仅为93 kPa，严重影响机组的经济运行及安全运行。
通过对整个真空系统进行手摸、烛光查漏及鸡毛掸子查漏，未发现明显漏点，仅剩下外置式疏水扩容器未查。
由于该疏水扩容器上接有6根汽机本体疏水集管(见图1)，且都接在疏水扩容器上部较高位置，管路多，温度高，较难检查。
由于按常规方法检查该设备是否泄漏难以实现，因此，采用了逆常规的正压检查法。
具体做法是：机组低负荷时，选中6根疏水集管中的任一疏水集管，再选取其上距该疏水集管闷头最近的一根疏水支管，联系热控解除该疏水支管疏水气动阀超驰关保护，开启疏水气动阀，此时，蒸汽通过疏水阀进入集管，使该集管呈正压状态，就地检查该集管有无异常。
检查时应站好位置，防止被冲出的蒸汽烫伤。
据此方法，依次对每一根疏水集管进行检查。
当对3号疏水集管测试时，发现其上所接1号汽管疏水支管有大量白汽冒出，进一步确认为1号导汽管疏水支管与3号集管焊接处焊缝开焊，补焊后仍利用正压法检查，无白汽冒出。
经过上述处理，在同样条件下，机组负荷200 MW时，真空上升了0.6 kPa，但仍不正常。
随后又对汽机0米层与真空系统相连的疏水至地沟管路进行检查，由于这些管路出口都在水泥预制盖板下，必须将盖板抬开才能检查。
当检查至凝结水收集水箱放水至地沟出口管时，手摸其出口，感觉有强烈的吸引力，证明大量漏真空。
测漏作业指导书为规范测漏工作,结合公司实际制订本作业指导书。
1主题内容与适用范围本指导书规定了测漏前的准备工作、测漏过程中应注意的事项和要求,明确了测漏工作的要求和内容。
本指导作业书适用于公司内的测漏工作2测漏区域编排2.1区域编排:以营销公司查抄范围为界线,划分为A、B、C、D、E、F六个区域,每个区域编制测漏路线并编号(A1、A2、A3、A4、…、B1、B2、B3、B4、…、C1、C2、C3、…、Dl、D2、D3、D4…)。
2.2正常情况下的测漏区域、线路及周期:2.2.1市区管网测漏根据实际情况实行区域化管理和线路管理相结合,白天普査与晚上重点定位相结合。
2.2.2测漏人员两人一组,每组根据安排负责两个区域,并根据区域线路每日按序交替进行巡查测漏(一组按A1、C1、A2、C2、A3、C3……进行,另一组按B1、D1、B2、D2、B3、D3…进行),每周期两组线路进行交换。
2.2.3遇大雨等不适合听漏的情况或另有工作安排,可适当调整时间和路线,但应上报管网部经理批准。
3测漏工作安全要求3.1测漏人员在测漏作业前要做好各种仪器设备及安全器具的检查,做好个人防护工作。
对于测漏区域管线必须事先了解清楚,在测漏过程中避免造成管网设施损坏。
3.2在翻开阀门井盖等进行测查时要做好过往车辆及行人的安全工作,旁边必须有人看守或设置防护栏杆。
3.3在听阀门声音时要注意过往车辆,做好安全防范工作。
3.4测查完毕后应及时盖好井盖。
3.5路面测漏作业时要注意交通安全,在市区主要马路及交通繁忙路段进行测漏作业时,必须穿荧光安全背心,晚上作业时必须穿荧光安全背心。
3.6在测漏行进过程中注意观察过往车辆,不得突然转向、后退。
3.7进行定位打钎时要做好各类安全工作3.7.1在进行打钎前必须了解清楚管道的走向、埋深,及地下有否各种其他管线。
3.7.2在不能明确管线状况以及不能明确地下有否其他管线的情况下,原则上不得打钎。
3.8为确定漏点必须进行打钎时要做好保护工作:3.8.1打钎必须轻打,遇到有硬物等阻碍时应停止工作,改用其他方法进行。
超高真空系統測漏標準作業程序
一、前言
1.根據實驗室規範，操作本系統前，必須取得合格操作人執照。
2.真空系統不可能完全不漏氣，因此只要漏氣率符合真空腔體出廠時的規格即可。
3.假漏(virtual leak) 與實漏(real leak) 的判定
假漏：真空系統中所有可能產生氣體的機制均屬於假漏，例如：真空腔體表面吸附氣體的脫附、腔壁內部陷補或溶解的氣體經由擴散機制至腔體內，以及任何蒸氣壓高的物質包括污染等在真空腔內蒸發均為假漏，如Figure 1所示。
假漏的現象有一特點，即上述發生的氣體壓力達到與其周圍壓力相等時即產生平衡，故壓力不再上升。
實漏：外部氣體經由腔體、管壁銲接缺陷或有刮傷刀口之法蘭及接頭等處進入腔體內部，如Figure 1所示。
若有實漏發生，停止抽氣後腔體壓力最終將會與環境壓力達到平衡。
Figure 1. 真空系統的可能漏氣途徑，其中a,b,c,d為假漏的可能方式。
4.漏氣的各種可能途徑
4.1.材料製造過程及加工處理：小孔、裂縫、銲接處的裂痕以及材料加工的紋理等。
4.2.材料本身的性質
用來作真空系統的主體如真空腔，或真空元件如管路、氣密襯墊以及絕緣體等材料，其本身即具有某種性質可能為漏氣的條件。
故只要選用此種材料即無法避免漏氣。
4.2.1.多孔性材料的微孔
有些陶瓷絕緣體或襯墊具多孔特性，故應考慮含有此類材料的真空元件可能的漏氣率。
4.2.2.分子或晶體間隙的滲透(permeation)
滲透的機制為氣體分子經由材料的分子間隙或晶格間的空隙穿過進入真空系統內部。
除非更換不同的材料，否則滲透將不可避免且無法改善。
滲透與環境溫度、材料選用、氣體分子大小以及氣體分子濃度有關。
例如，玻璃及石英在性質上較金屬材料容易被滲透，又氫氣或氦氣因分子較小，所以比氧氣或氮氣容易滲透。
5.測漏時機：壓力未達幫浦所被預期的工作極限、抽氣速率過慢、真空系統再組裝或翻修後以
及實驗品質管制（例：因實驗需要監測特定氣體分壓）。
6.初步判定假漏與實漏的方法：將幫浦與系統間的閥門(gate valve) 關閉，同時觀察壓力隨時
間的變化。
其中壓力隨時間線性上升為實漏；壓力上升至一定值後回氣率明顯趨緩則為假漏；
若假漏和實漏同時發生，則呈持續上升的曲線。
Table 1. 真空度分級表
真空度壓力範圍(torr) 抽氣幫浦主要殘留氣體Rough Vacuum 760 ~ 1 Scroll Pump 空氣、水蒸氣、二氧化碳及高揮發溶液Medium Vacuum 10-1 ~ 10-3Scroll Pump 除上述氣體以外，尚有氫氣
High Vacuum 10-4 ~ 10-8Scroll Pump
Turbo Pump
大部分為氦氣、氫氣與一氧化碳
Ultra High Vacuum < 10-9
TSP Ion Pump
(1 torr = 1 mmHg = 1.33 mbar = 1/760 atm)
二、真空元件安裝方法：
1.以安裝Flange為例，其動作要領是「十字對稱鎖法」，如Figure 2所示。
Figure 2. 十字對稱鎖法示意圖
2.建議同時由兩人以對角線的方式操作。
注意用板手鎖螺絲時，不可一次鎖到最緊，應以十字
對稱法重複二到三次，最後用一般力道鎖緊後，最多再鎖四分之一圈即可，避免螺牙損壞或是施力不平均導致漏氣，如Figure 3所示。
Figure 3. 真空元件安裝方法
三、常見的漏氣原因
1.閥門、管線以及Cast Clamp等處已損壞。
2.在安裝元件時，因操作錯誤而導致實漏。
3.未確實依＂標準作業程序＂抽真空。
4.腔體內的物件具有高揮發性或表面已遭受汙染。
四、低真空度的測漏方法：酒精測漏法
1.酒精測漏法即利用真空計測漏，最有效的真空範圍在粗略真空至中度真空。
測漏時在可疑的
地方滴酒精，若酒精噴灑在漏處時真空計上會出現壓力上升的現象，則代表該處有實漏，操作方法如Figure 4所示。
2.在幫浦附近使用酒精測漏時，應注意酒精用量。
Figure 4. 酒精測漏法操作示意圖
五、超高真空度的測漏方法：氦氣測漏儀(Helium Leak Detector)
1.儀器在運轉時或電力中斷的五分鐘內，不可移動測漏儀，以避免造成渦輪幫浦損壞。
2.Vacuum Mode (小測漏件)
將氦氣測漏儀直接連接至待測漏系統，此種方法適合於高真空及超高真空系統，程序如下： 測漏件直接或以金屬軟管連接測漏儀之KF快速接頭。
按下測漏儀右後方主電力開關，薄膜真空機及渦輪真空機運轉；數位顯示畫面，選定Vacuum 操作選項。
按下顯示螢幕右上方啟動/停止鍵，開始測漏件之抽氣。
當測漏件真空漏率趨於穩定值時，鋼瓶之氦氣以滴管小流量噴氦氣於接縫區域，當漏率上昇即顯示針孔位置。
檢測完畢，再一次按下顯示螢幕右上方啟動/停止鍵，停止快速接頭上端測漏件之抽氣；卸除金屬軟管，按下測漏儀右後方主電力開關，五分鐘後才移動測漏儀。
3.Sniffer Mode (大測漏件)
若待測漏真空系統無可接測漏儀的通口但有進氣裝置，則可將氦氣充入真空系統內而由系統的外部用嗅氣管在可疑位置找漏。
因氦氣很容易從漏孔或裂縫等漏處溢出，故氦氣壓力並不需要太高，操作程序如下。
將測漏儀之KF快速接頭以盲板封閉；將Sniffer測頭後端的引線連接到測漏儀左後方的插座及抽氣接頭。
按下主電力開關，使薄膜真空機及渦輪真空機開始運轉；在數位顯示畫面中選定Sniff選項。
測漏件以管線充填大於一大氣壓之氦氣。
按下顯示螢幕右上方啟動/停止鍵，開始Sniff測頭之抽氣。
當Sniffer偵測氦氣量為綠燈顯示
時，將測頭前端趨近量測區，按下手柄上開關，當燈號變為紅燈即代表漏氣位置。
檢測完畢，再一次按下顯示螢幕右上方啟動/停止鍵，停止Sniff測頭之抽氣；卸除氦氣管線及測頭引線，按下主電力開關，五分鐘後才移動測漏儀。
六、超高真空度的測漏方法(Residual gas analyzer, RGA)
1.先開啟L310-PC-022的RGA 3.0 program。
2.Open Connector List，connect COM1 (如Figure 5所示)。
Figure 5. connect COM1操作方式
3.進行Degas步驟（壓力須在10-6 torr下進行，以防燈絲損壞），點選軟體介面上Head選項
中的Degas（如Figure 6所示），此時Ion Gauge顯示的壓力值會明顯上升，當Degas完畢後，Figure 7中的小視窗會自行關閉。
Figure 6. Degas操作方式
Figure 7. Degas Cycle in Progress
4.接著按下軟體介面上的，Activating RGA Head Filament，當RGA Head Filament開啟
後，Figure 8中的小視窗會自行關閉，且變為。
Figure 8. Activating RGA Head Filament
5.經由軟體介面上的Graph→X-Asis parameters調整所需要量測的原子量範圍，接著選取所
要的圖形資訊。
6.按下軟體介面中的，即開始進行腔體內的殘餘氣體分析(如Figure 9所示)。
Figure 9. residual gas analyzing
7.要關閉RGA時，先按下停止鍵，接著Turning off RGA Head Filament，最後disconnect
COM1即可關閉RGA。
利用RGA進行測漏
1.因為大氣中氮氣的含量最多，所以先利用氮氣測腔體是否有漏氣，先開啟RGA程式，按下
開始觀察氮氣的壓力變化情形，接著將Gate Valve皆關閉，固定時間觀察氮氣壓力的上升情形(如Figure 10所示)，若氮氣的壓力上升太快表示腔體有漏氣的情形。
Figure 10. 氮氣含量檢測
2.接著使用氦氣測漏，可以測得腔體局部是否有漏氣，將氦氣置入塑膠帶中，因為氦氣的比重
較空氣輕，所以在裝的時候，氦氣必須由下方置入，接著將塑膠袋套在腔體可能漏氣的地方，此時還在繼續抽真空，開啟RGA進行測漏，按下開始觀察氦氣壓力變化的曲線圖(如Figure 11所示)，如果壓力有明顯上升，代表此處有漏氣。
Figure 11. 氦氣含量檢測。
