需求参数公示
一、技术标准
（一）具体技术指标要求
★（1）具备光热弱吸收、荧光显微成像、激光损伤和激光共聚焦显微成像四种测试模态，具有四种模态的原位测试能力，即能够采用多种方法对指定区域进行测试。
（2）光热弱吸收的泵浦光源要求为国外高端品牌（Coherent 或Advanced Optowave）的紫外准连续激光器，最大输出功率≥5W，长期稳定性≤3%。
（3）光热弱吸收探测光源要求为国外高端品牌（Coherent 或Oxxius）的低噪声激光器，最大输出功率≥4mW，RMS噪声≤0.3%。
★（4）光热弱吸收信号检测灵敏度：≤0.1ppm，光热弱吸收缺陷检测灵敏度：≤1μm。
（5）光热弱吸收单点测试时间：≤500ms，光热弱吸收测试单点重复性：≤±15%。
★（6）表面强荧光缺陷尺寸检测灵敏度：≤200nm，表面强荧光缺陷检测横向分辨率：≤500nm。
（7）激光损伤测试波长：355nm±2nm，激光损伤测试重复频率：30kHz~150kHz。
（8）共聚焦激发光源要求为国外高端品牌（Oxxius或
Omicron）的紫外连续激光器，最大输出功率≥50mW，长期功率稳定性≤0.5%。
（9）激光共聚焦缺陷检测灵敏度：≤200nm，激光共聚焦缺陷横向分辨率：≤500nm，激光共聚焦缺陷纵向分辨率：≤1μm。
★（10）包含二维运动平台，要求采用国外高端品牌（kuroda 或kollmorgen），重复定位精度：≤±1μm，最大行程：≥300mm。
（11）显微成像系统采用国外高端品牌显微物镜（OLYMPUS，Navita或Zeiss），光学放大倍率：≥40X，数值孔径：≥0.6。
（12）可测量最大样品尺寸：110mm×110mm，具有自动化检测能力，样品装夹完成，检测参数确定后，无需人工干预即可进行扫描测试。
（13）软件基于windows开发，中文语言，人机界面友好，参数可软件设置，可实现缺陷的自动判读和处理，软件应提供单晶硅、熔石英以及膜层等典型测试对象的测试参数工艺库。
（14）光热弱吸收检测的输出结果应至少包括吸收绝对值数据、弱吸收分布图和弱吸收报表；激光损伤检测的输出结果应至少包括损伤阈值记录、损伤照片和阈值结果曲线；荧光显微成像检测的输出结果应至少包括荧光显微图、信号强度数据和荧光报表；共聚焦显微成像的输出结果应至少包括三维微观形— 6 —
貌图和指定深度的二维界面图。
（15）具有激光损伤测试扩展接口，能够引入外接激光束扩展激光损伤测试能力。
（二）样品要求
无
（三）实施人员要求
实施人员应具有从事设备安装、调试、检验以及培训的相关资质，按照相关标准组织实施设备的安装调试，并依据标准验收培训流程或采购方确定的验收大纲实施验收及设备培训。
（四）生产及安装调试等要求
卖方应提供免费安装、调试、检验、培训及技术服务。
在设备到达买方现场后，卖方在接到买方通知后在5个工作日内，卖方必须负责装配完毕，即达到买方正常使用要求。
卖方应派技术专家等人员及自带专用工具等到买方现场安装、调试及试运行，并提供用户管理人员的现场操作、使用、基本维护及所需的其它方面的免费技术培训。
（五）供货、安装周期及交货地点要求
1.合同生效后，中标方在6个月内完成安装及调试。
2.中标方提供设备的各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。
3.交货地点：湖南长沙。
二、服务要求
（一）售后质保培训等要求
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安装、调试最终验收合格后，设备免费保修期一年，从设备验收合格之日算起，提供终身维修服务，保修期内免费服务、保修期外有偿服务。
设备发生故障，卖方接到买方电话通知3个工昨日内做出响应。
卖方应提供及时的技术支持。
设备保修期内故障时间累计超过1个月，保修期按照故障时间顺延。
设备保修期过后，在硬件支持的前提下，卖方承担终身为用户提供有偿升级的义务，终身提供广泛优惠的技术支持及设备备件供应。
（二）保密要求
无
（三）报价要求
拦标价为243万元，报价超过243万元视为无效。
本次采购按人民币计价，投标价应含税、运输、安装、调试、培训等费用。
（四）其他项目个性化要求
无
三、投标（报价）人资质要求
（一）资质要求
1．符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条资格条件：
⑴具有独立承担民事责任的能力；
⑵具有依法缴纳税收、社会保障资金的良好记录，健全的财务会计制度，良好的财务状况和履行合同的能力；
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⑶具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
⑷参加政府采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法
记录,没有受到军队采购和地方省级以上政府采购处罚的记录；
(5)法律、行政法规规定的其他条件。
2．截止到开标时间，供应商成立时间不少于3年，且为非外资独资或外资控股企业,或为事业单位、军队单位。
具备固定的生产经营、服务场地、设施设备和相应的质量保证体系。
3．单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。
生产型企业生产场地为同一地址的，销售型企业之间股东有关联的，一律视为有直接控股、管理关系。
供应商之间有上述关系的，应主动声明，否则将给予列入不良记录名单、3年内不得参加军队采购活动的处罚。
4.本项目不接受联合体投标。
5.注册产品类别应当符合营业执照经营范围；
6.能够为军队提供所需的物资、工程和服务，符合国家、军队、行业或企业质量、技术、安全和环境标准；
7.物资类非外资（含港澳台）独资或控股。
（二）投标人需准备资料要求
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1.投标人必须具有独立法人资格，有相应的经营范围。
投标文件中必须提供投标人年检合格的企业营业执照副本复印件，并加盖有效公章。
2.开标时投标人须提供法定代表人证明文件及身份证，如果公司法定代表人不直接参加投标，必须出具法定代表人亲自签名的法人授权书及受委托人身份证原件。
3.投标人如为代理商，投标文件中必须提供制造商针对本招标的授权书原件及售后服务承诺书原件。
4.投标方应向采购人提供安装、维修、操作所需特殊专用工具及清单，其费用应包括在投标价格内。
投标书技术文件至少应包括设备技术资料、安装调试培训验收方案、售后服务方案等。
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