离子清洗机工作原理2010
- 格式:doc
- 大小:37.50 KB
- 文档页数:6
去离子水机工作原理离子水机(也被称为电解水机)是一种通过电解作用来生成离子水的设备。
它利用电解技术将自来水分解成含有负离子和正离子的两种溶液,再通过滤杂技术去除杂质和微生物,最终产生纯净的离子水。
离子水机的工作原理包括电解原理、滤杂原理和纯化原理。
电解原理是离子水机工作的核心原理。
离子水机内部设有两个电极-阴极和阳极。
当电解水机接通电源,正极和负极之间形成一个电场,使得水分子开始发生电离。
在电解过程中,水分子中的氢离子(H+)会向阴极聚集,氧离子(OH^-)则会向阳极聚集。
这样,阴极区的水含有更多的氢离子,而阳极区的水含有更多的氧离子。
滤杂原理是离子水机去除水中杂质的过程。
离子水机通常采用组合滤芯,其中包括粗滤过滤芯、活性炭滤芯和超滤膜滤芯等。
粗滤过滤芯主要去除水中的大颗粒杂质,如悬浮物、泥沙和纤维等。
活性炭滤芯则能有效去除水中的有机物、异味和余氯等。
超滤膜滤芯则能过滤微生物、细菌、病毒和重金属等微小颗粒和溶解物。
纯化原理是离子水机提供高纯度水的关键原理。
在电解过程中,通过聚集在阴极区的氢离子和在阳极区的氧离子会形成重组水,其pH值通常在7左右。
这种重组水被认为是纯净水,因为它不含有任何杂质和微生物。
同时,重组水中的阳离子和阴离子的比例也使其成为我们所称的“离子水”。
离子水机的工作原理可以简单总结为:将自来水通过电解、滤杂和纯化等过程,将水中的矿物质以离子的形式分离出来,并通过滤芯去除水中的杂质和微生物,最终得到纯净的离子水。
这种离子水具有更好的溶解性、洗涤能力、滋润能力和饮用品质,对人体健康有着积极的影响。
离子水机的应用范围广泛,包括饮用水、烹饪水、洗漱水和生活用水等。
它不仅可以满足人体生活所需的纯净水,还可用于家庭清洁、美容护肤、养花养鱼等方面。
总之,离子水机是一种能够将自来水转化为高纯度离子水的设备,其工作原理包括电解原理、滤杂原理和纯化原理,通过这些过程将水中的矿物质分离、杂质滤除和微生物消除,产生纯净的离子水,为我们提供更好的健康饮用水和生活用水。
等离子清洗原理
等离子清洗是一种利用高能离子束清洗物体表面的技术。
其主要原理是通过电离气体,产生等离子体(即带电离子和自由电子)。
这些带电粒子能够与物体表面的污染物相互作用,并将其从物体表面解离和去除。
等离子清洗主要包含以下几个步骤:
1. 气体电离:将对物体表面污染物去除效果好的气体(如氢、氩、氧等)注入清洗室,并加入电流和高电压,使气体电离形成等离子体。
2. 等离子体生成:高能离子束通过电场加速,与气体原子或分子相互碰撞,产生新的离子和电子,形成等离子体。
3. 清洗处理:等离子束由于带有正电荷,会吸附和中和物体表面的负电荷(即污染物),从而使污染物解离并脱离物体表面。
等离子束还能通过碰撞使物体表面的残留物往往发生位移和释放。
4. 后处理:清洗结束后,等离子体失去电场加速,重新组合成气体。
物体表面可采用有效的方法对残留的污染物进行去除或处理。
等离子清洗具有高效、非接触和无损等特点,可以应用于许多工业领域,如半导体制造、航空航天等,用于清洗金属、陶瓷、玻璃等材料的表面。
等离子清洗机工作原理
等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备。
其工作原理主要包括以下几个步骤:
1. 空气离子化:等离子清洗机通过电离源产生高能量的电子束,将周围的空气中的分子和原子电离,形成带有正负电荷的离子。
2. 离子加速:产生的带电离子会被加速器加速,并通过高速碰撞传递动能。
3. 清洗表面:加速的离子以高速撞击需要清洗的物体表面。
在撞击过程中,离子释放出电子并将物体表面的污垢或杂质冲击飞走。
同时,离子的能量也能使一些化学反应发生,促进污垢的分解和清除。
4. 中和与装备回收:在清洗过程中,离子与表面杂质发生反应并将其中和。
这时,离子已经失去了原有的能量,回归到中性状态。
可以通过吸引器或电场来回收离子,减少对环境的污染。
总的来说,等离子清洗机利用离子的动能和化学活性,通过离子撞击、化学反应和中和等过程,达到清洗物体表面和去除污垢的目的。
其优点包括清洗速度快、效果好、对物体无损伤等。
离子治疗仪的工作原理
离子治疗仪的工作原理可以概括为:
1. 产生离子风
离子治疗仪内置带电极,在高压下会对空气进行离子化,使空气中的分子获得电子成为带负电荷的阴离子。
2. 送风系统
内置风扇将负离子送出,形成所谓的“离子风”,其中含有大量带负电的氧气离子。
3. 离子与空气分子结合
负氧离子会与空气中受到的正电荷气体分子(如尘埃)结合,形成带电荷的较大分子簇。
4. 电荷中和沉降
这些较大的电中性分子簇质量增加,在空气动力作用下沉降。
达到去除悬浮尘埃的效果。
5. 生成氧化物
负离子还可与空气中的有毒气体反应生成相对無害的氧化物质。
6. 减少有害物质
上述过程可以减少空气中尘埃、烟尘、过氧化合物、细菌等对人体有害的成分。
7. 刺激皮肤提神
负离子还可以刺激皮肤,提高血液中的血清素含量,产生提神、定神的作用。
8. 平衡人体正负离子
人呼吸吸入负离子,可以平衡人体内正离子过多的状态,达到健康作用。
9. 改善空气品质
通过离子技术,可以有效净化和改善室内空气质量,提高人的健康水平。
离子泵的工作原理
离子泵是一种利用电场力将气体或蒸汽中的离子引出的设备。
它的工作原理是通过电场加速器将气体或蒸汽中的离子受到电场力的作用,从而被引导到一个能够收集离子的地方。
首先,离子泵的空间被抽成真空状态。
然后,在离子泵的内部设置了两个电极:一个称为收集极,另一个称为发射极。
发射极上的微弱电场将气体或蒸汽中的离子加速到很高的速度,使它们通过一系列电场过滤区域。
这些电场过滤区域会限制离子的运动,并排除非离子以及其他杂质分子。
通过这种方式,离子被聚集到收集极上,同时过滤掉其他气体分子和杂质。
最终,在收集极上积累的离子会产生一个电流信号。
离子泵通常采用导致离子化的技术,如电离和化学反应。
离子化后的气体或蒸汽经过加速电场后,被引导到收集极上。
在离子泵工作的过程中,通过控制电场的强度和离子进入电场的速度,可以调节离子的流量。
离子泵在很多科学研究、工业生产和仪器设备中都有广泛应用。
它可以用于空气质量监测、质谱仪、超高真空设备等领域。
通过控制离子的流量和种类,离子泵能够实现气体的净化、分析和激励等功能。
离子清洗机的工作原理
离子清洗机是一种高端清洗设备,采用的是离子清洗技术。
离子清洗技术是指利用离子束撞击物体表面,将污染物清除掉的一种清洗方法。
离子清洗机的主要工作原理就是利用离子束对物体表面进行清洗。
离子清洗机的主要组成部分是离子源、加速电场、离子束控制系统和反射镜系统。
其中,离子源是离子清洗机的核心部件,它产生离子束。
离子源的产生离子的方式有多种,最常用的是离子源内的金属材料受到电弧放电的影响,产生离子。
产生的离子经过加速电场的加速,形成离子束,然后通过离子束控制系统和反射镜系统对物体表面进行清洗。
离子清洗机的清洗过程包括三个步骤:离子束撞击、物体表面反弹和离子束捕获。
首先,离子束撞击物体表面,将表面的污染物撞击落,使表面变得干净。
然后,撞击后的离子会反弹回来,通过反射镜系统聚焦到反射镜的中心点,从而形成一个能量密集区域。
最后,这个能量密集区域中的离子会被捕获,从而避免了污染物的二次污染。
离子清洗机的工作原理相比其他清洗设备更加高效、精准。
首先,离子束清洗可以针对不同的污染物进行不同的处理,从而达到更好的清洗效果。
其次,离子束清洗可以在不损伤物体表面的情况下,
彻底清除污染物。
最后,离子束清洗可以在真空环境下进行,从而避免了清洗过程中的二次污染。
离子清洗机是一种高端清洗设备,采用了先进的离子清洗技术。
它的主要工作原理是利用离子束对物体表面进行清洗,达到高效、精准的清洗效果。
离子清洗机在工业生产中具有广泛的应用前景,可以为各行各业提供高质量的清洗服务。
去离子水机工作原理去离子水机是一种用于制备去离子水的设备,它的工作原理是通过离子交换膜和离子交换树脂来去除水中的离子。
下面将详细介绍去离子水机的工作原理。
一、离子交换膜的作用离子交换膜是去离子水机的核心部件,它具有选择性地阻止带电离子通过,而允许水分子通过。
离子交换膜一般由聚合物材料制成,其表面带有大量离子交换基团。
当水通过离子交换膜时,带电离子会与离子交换基团发生相互作用,被膜表面的离子交换基团吸附住,从而被去除。
二、离子交换树脂的作用离子交换树脂是一种颗粒状的固体材料,内部带有大量离子交换基团。
它的作用是在水流通过时,吸附水中的离子,实现去离子水的制备。
离子交换树脂一般分为阳离子交换树脂和阴离子交换树脂两种类型。
阳离子交换树脂主要用于去除水中的阳离子,如钠离子、钙离子等;阴离子交换树脂主要用于去除水中的阴离子,如氯离子、硝酸根离子等。
通过与离子交换基团的交换作用,水中的离子被树脂吸附,从而实现去离子水的制备。
三、去离子水机的工作步骤去离子水机的工作包括预处理、离子交换和再生三个步骤。
1. 预处理:在进水之前,通常需要进行预处理,以去除水中的悬浮物、泥沙、有机物等杂质。
常用的预处理设备包括沉淀池、过滤器等。
2. 离子交换:水经过预处理后,进入离子交换膜或离子交换柱。
水中的离子在离子交换膜或离子交换树脂中与离子交换基团发生交换作用,被吸附或释放。
经过离子交换处理后,水中的离子被去除,生成的去离子水质量纯净。
3. 再生:离子交换膜或离子交换树脂在一定使用时间后会饱和,需要进行再生。
再生过程包括洗涤和再生剂的处理。
洗涤过程是用纯水冲洗离子交换膜或离子交换树脂,将吸附在其中的杂质冲走。
再生剂则是用于恢复离子交换膜或离子交换树脂的吸附能力,常见的再生剂有酸、碱等。
四、去离子水机的应用去离子水机广泛应用于电子、化工、制药、电力、冶金等行业,尤其是对水质要求较高的领域。
在电子行业中,去离子水机可以用于制备纯净水,用于半导体芯片的制造;在化工行业中,去离子水机可以用于制备纯净水,用于化工反应的溶剂;在制药行业中,去离子水机可以用于制备注射用水、洗涤剂;在电力行业中,去离子水机可以用于锅炉给水的处理等。
等离子清洗的原理等离子清洗(Plasma Cleaning)是一种利用等离子体清洁材料表面的过程。
等离子体是由气体分子或原子在高温、低压条件下电离形成的带电粒子云,它具有高能量和高反应活性,能够迅速去除材料表面的有机和无机污染物。
1.等离子体产生:等离子体可以通过两种主要方式产生。
一是直接放电,即在清洗室中建立高电压电场,引发气体电离并形成等离子体。
第二种方式是放电产生的等离子体通过腔体进入清洗室中。
2.化学反应:等离子体中的带电粒子与物体表面接触后,发生一系列的化学反应。
等离子体中的活性粒子可以捕获氧、氮、氢等气体分子生成活性气体物种,如氧原子(O)、氮原子(N)和氢原子(H)。
3.活性粒子与污染物反应:活性物种在与污染物接触时会发生吸附、解离、氧化、还原等反应。
有机污染物往往通过活性粒子的氧化作用发生分解,而无机污染物则可能在等离子体中发生解离、聚合或形成熔融态物质。
4.清洗效果:由于等离子体具有高能量和高反应活性,它能够迅速去除材料表面的有机和无机污染物,使材料表面达到清洁的状态。
清洗室中的真空环境也有利于污染物的快速扩散和去除。
等离子清洗可用于许多不同类型的材料(如硅片、金属、塑料等)的清洗和表面活性化处理。
它可以去除表面的油脂、氧化物、有机残留物和金属杂质等污染物,提高材料表面的附着力和可镀性。
此外,等离子清洗还可以在微纳加工领域用于去除光刻胶、氧化膜等,在医学和生物领域用于杀灭细菌和病毒。
总之,等离子清洗的原理是通过产生具有高能量和高活性的等离子体,活性粒子与表面污染物发生化学反应,从而迅速去除材料表面的污染物。
这种清洗方法具有高效、环保和广泛适用性的特点,广泛应用于科学研究和工业生产中。
等离子清洗机与超声波清洗机的区别
等离子清洗机与超声波清洗机是非常常见的清洗类设备,虽然都是清洗机,但是本质上讲,两者区别还是很大的,今天我们就聊聊这两个设备的区别。
等离子清洗机
一、原理的区别
等离子清洗机原理:
通过等离子体作用于材料表面使其产生一系列的物理、化学变化,利用其中所包含的活性粒子和高能射线,与表面有机污染物分子发生反应、碰撞形成小分子挥发性物质,从表面移除,实现清洁效果。
超声波清洗机原理:
通过换能器,将功率超声频源的声能转换成机械振动,通过清洗槽壁将超声波辐射到槽子中的清洗液。
由于受到超声波的辐射,使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。
破坏污物与清洗件表面的吸附,引起污物层的疲劳破坏而被驳离,气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗。
等离子清洗机
二、应用的区别
超声波清洗机应用:
一种湿法清洗,是粗略的清洗方式,主要清洗明显的灰尘以及污染物;
处理时需要液体(水或者溶解剂)的参与,污染物溶解在水中,需要对污水进行处理;
清洗的效果主要是去除污染物,清洁表面。
等离子清洗机应用:
一种干式清洗,是精密的清洗方式,主要清洗肉眼无可见的氧化物、污染物、有机物等;
处理是只需空气或者工艺气体的参与,非常方便,而且不会产生污染;
清洗的效果不仅仅是清洁表面,同时会产生表面改性的效果,物体的表面会产生活性化学基团,表面能会得到明显的提高,有力印刷、涂覆、粘接等工艺。
等离子清洗机
总体来说,等离子清洗机与超声波清洗机两者是应用在不同领域的清洗工艺,原理、应用都有明显的区别,用户在选择是可以根据自身的需求进行挑选。
去离子水机工作原理去离子水机是一种能够产生去离子水的设备,其工作原理主要是通过离子交换技术去除水中的杂质和离子,从而得到纯净的去离子水。
离子交换是去离子水机的核心工作原理。
离子交换是指将水中的离子通过与之相似的离子进行交换,从而去除水中的离子物质。
去离子水机中常用的交换介质是离子交换树脂。
离子交换树脂是一种高分子化合物,具有特殊的结构,能够吸附水中的离子,然后释放出具有相同电荷的离子。
去离子水机的工作流程一般包括预处理、离子交换和再生三个步骤。
首先是预处理阶段。
预处理的目的是去除水中的悬浮物、颗粒物和有机物等杂质。
常用的预处理方法有过滤、沉淀和活性炭吸附等。
通过预处理可以保护离子交换树脂,延长其使用寿命。
接下来是离子交换阶段。
在离子交换树脂的作用下,水中的阳离子和阴离子会被吸附并与树脂中的交换离子进行交换。
这样,水中的杂质和离子就会被逐渐去除,从而得到纯净的去离子水。
离子交换的选择要根据水质的特点和使用要求来确定,以达到最佳的去离子效果。
最后是再生阶段。
由于离子交换树脂在使用过程中会逐渐饱和,失去吸附能力,需要进行再生。
再生的方法一般有酸再生和碱再生两种。
酸再生是指用酸溶液冲洗树脂,将吸附在树脂上的离子释放出来;碱再生则是用碱溶液冲洗树脂,恢复其吸附能力。
再生后的离子交换树脂可以再次用于去除水中的离子物质。
除了离子交换,去离子水机还常常配备其他的水处理技术,如活性炭吸附、超滤、反渗透等,以进一步提高水的纯净度和净化效果。
去离子水机广泛应用于电子、制药、化工、实验室等领域,以满足对高纯水质的需求。
它可以去除水中的溶解性离子、有机物、细菌和病毒等,从而保证了水质的安全性和稳定性。
去离子水机通过离子交换技术去除水中的杂质和离子,从而产生纯净的去离子水。
其工作原理简单明了,通过预处理、离子交换和再生等步骤,可以有效去除水中的有害物质,得到高纯度的水质。
去离子水机在多个领域有着广泛的应用,为各行各业提供了可靠的水质解决方案。
等离子清洗机工作原理2010-3-12 9:26:37 来源:迈可诺技术有限公司1、何谓等离子清洗机等离子清洗机采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
等离子清洗机外接一台真空泵,工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉,同时污染物被真空泵抽走,其清洗程度达到分子级。
等离子清洗器除了具有超清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,等离子体作用于材料表面,使表面分子的化学键发生重组,形成新的表面特性。
对某些有特殊用途的材料,在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
等离子清洗机的应用,起源于20世纪初,随着高科技产业的快速发展,其应用越来越广,目前已在众多高科技领域中,居于关键技术的地位,等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响最大,首推电子资讯工业,尤其是半导体业与光电工业。
等离子清洗机已应用于各种电子元件的制造,可以确信,没有等离子清洗机及其清洗技术,就没有今日这么发达的电子、资讯和通讯产业。
此外,等离子清洗机及其清洗技术也应用在光学工业、机械与航天工业、高分子工业、污染防治工业和量测工业上,而且是产品提升的关键技术,比如说光学元件的镀膜、延长模具或加工工具寿命的抗磨耗层,复合材料的中间层、织布或隐性镜片的表面处理、微感测器的制造,超微机械的加工技术、人工关节、骨骼或心脏瓣膜的抗摩耗层等皆需等离子技术的进步,才能开发完成。
等离子技术是一新兴的领域,该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应,此为典型的高科技产业,需跨多种领域,包括化工、材料和电机,因此将极具挑战性,也充满机会,由于半导体和光电材料在未来得快速成长,此方面应用需求将越来越大。
2 、等离子清洗机的技术原理2.1 什么是等离子体等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、业态、气态3种状态存在,但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在,如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。
这类物质所处的状态称为等离子体状态,又称位物质的第四态。
等离子体中存在下列物质。
处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
2.2 如何用人工方法制得等离子体除了在自己已存在的等离子体以外,用人工方法在一定范围内也可以制得等离子体。
最早是在1927年,当水银蒸气在高压电场中的放电时由科研人员发现等离子体。
后面的发现是通过多种形式,如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或者冲击波等,都可以使处于低气压状态的气体物质转变成等离子体状态。
如在高频电场中处于低气压状态的氧气、氮气、甲烷、水蒸气等气体分子在辉光放电的情况下,可以分解出加速运动的原子和分子,这样产生的电子和解离成点有正、负电荷的原子和分子。
这样产生的电子在电场中加速时会获得高能量,并与周围的分子或原子发生碰撞,结果使分子和原子中又激发出电子,而本身又处于激发状态或离子状态,这时物质存在的状态即为等离子体状态。
在一般资料中常可以见到用下述反应式表述的等离子体形成过程。
如氧气等离子体形成过程即可用下列6个反应式来表示:第一个反应式表示氧气分子在得到外界能量后变成氧气阳离子,并放出自由电子过程,第二个反应式表示氧气分子在得到外界能量后分解形成两个氧原子自由基的过程。
第三个反应式表示氧气分子在具有高能量的激发态自由电子作为下转变成激发态。
第四第五反应式则表示激发态的氧气分子进一步发生转变,在第四个反应式中,氧气饿饭脑子回到通常状态的同时发出光能(紫外线)。
在第五个反应式中,激发态的氧气分子分解成两个氧原子自由基。
第六个反应式表示氧气分子在激发态自由电子的作用下,分解成氧原子自由基和氧原子阳离子的过程,当这些反应连续不断发生,就形成氧气等离子体,其他气体的等离子体的形成过程也可用相似的反应式描述。
当然实际反应要比这些反应式描述的更为复杂。
2.3 等离子体的种类(1)低温和高温可分为高温等离子体和低温等离子体两类,在等离子体中,不同微粒的温度实际上是不同的,所具有的温度是与微粒的动能即运动速度质量有关,把等离子体中存在的离子的温度用Ti表示,电子的温度用Te表示,而原子、分子或原子团等中性粒子的温度用Tn表示,对于Te大大高于Ti和Tn的场合,即低压体气的场合,此时气体的压力只有几百个帕斯卡,当采用直流电压或高频电压做电场时,由于电子本身的质量很小,在电池中容易得到加快,从而可获得平均可达数电子伏特的高能量,对于电子,此能量的对应温度为几万度(K),而弟子由于质量较大,很难被电场加速,因此温度仅几千度。
由于气体粒子温度较低(具有低温特性),因此把这种等离子体称为低温等离子体。
当气体处于高压状态并从外界获得大量能量时,粒子之间的相互碰撞频率大大增加,各种微粒的温度基本相同,即Te基本与Ti及Tn相同,我们把这种条件下得到的等离子体称为高温等离子体,太阳就是自己界中的高温等离子体。
由于高温等离子体对物体表面的作用过于强强烈,因此在实际应用中很少使用,目前投入使用的只有低温等离子体,因为在本文中将低温等离子体简称为等离子体,希望不会引起读者误解。
(2)活泼气体和不活泼气体等离子体,根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同,可分为不活泼气体等离子体和活泼气体等离子体两类,不活泼气体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等,活泼气体如氧气(O2)、氢气(H2)等,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性,这将在后面结合具体应用实例介绍。
2.4 等离子体与物体表面的作用在等离子体中除了气体分子、离子和电子外,还存在受到能量激励状态的电中性的原子或原子团(又成自由基),以及等离子体发射出的光线,其中波的长短、能量的高低在等离子体与物质表面相互作用时有着重要作用。
2.4.1 原子团等自由基与物体表面的反应由于这些自由基呈电重型,存在寿命较长,而且在离子体中的数量多于离子,因此自由基在等离子体中发挥着重要作用,自由基的作用主要表现在化学反应过程中能量传递的"活化"作用,处于激发状态的自由基具有较高的能量,因此易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基,新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态,很可能发生分解反应,在变成较小分子同时生成新的自由基,这种反应过程还可能继续进行下去,最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。
在另一些情况下,自由基与物体表面分子结合的同时,会释放出大量的结合能,这种能量又成为引发新的表面反应推动力,从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。
2.4.2 电子与物体表面的作用一方面电子对物体表面的撞击作用,可促使吸附在物体表面的气体分子发生分解和解吸,另一方面大量的电子撞击有利引起化学反应。
由于电子质量极小,因此比离子的移动速度要快的多,当进行等离子体处理时,电子要比离子更早达到物体表面,并使表面带有负电荷,这有利于引发进一步反应。
2.4.3 离子与物体表面的作用通常指的是带正电荷的阳离子的作用,阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向,此时使物体表面获得相当大的动能,足以撞击去除表面上附着的颗粒性物质,我们在这种现象称为溅射现象,而通过离子的冲击作用可极大促进物体表面化学反应发生的几率。
2.4.4 紫外性与物体表面的反应紫外性具有很强的光能,可使附着在物体表面物质的分子键发生断裂而分解,而且紫外线具有很强的穿透能力,可透过物体的表面深入达数微米而产生作用。
综上所述,可知等离子清洗是利用等离子体内的各种具有高能量的物质和活化作用,将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除。
3 离子清洗机/等离子清洗设备的结构及工作原理研究3.1 离子清洗机/等离子清洗设备的基本构造根据用途的不同,可选用多种构造的等离子清洗设备,并可通过选用不同种类的气体,调整装置的特征参数等方法使工艺流程实现最佳化,但等离子体清洗装置的基本结构大致是相同的,一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等部分组成。
通常使用的真空泵是旋转油泵,高频电源通常用13.56M赫兹的无线电波,设备的运行过程如下:(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。
一般排气时间大约需要2min。
(2)向真空室引入等离子清洗用的气体,并使其压力保持在100Pa。
根据清洗材质的不同,可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体。
(3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。
让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工件,开始清洗作业。
一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
(4)清洗完毕后切断高频电压,并将气体及汽化的污垢排出,同时向真空室内鼓入空气,并使气压升至一个大气压。
3.2 等离子清洗的特点和优势与湿法清洗相比,等离子清洗的优势表现在以下8个方面:(1)在经过等离子清洗以后,被清洗物体已经很干燥,不必再经干燥处理即可送往下道工序。
(2)不使用三氯乙甲ODS有害溶剂,清洗后也不会产生有害污染物,属于有利于环保的绿色清洗方法。
(3)用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同,它的方向性不强,因此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务,所以不必过多考虑被清洗物体形状的影响,而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。
(4)整个清洗工艺流程在几分钟即可完成,因此具有效率高的特点。
(5)等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa,这种真空度在工厂实际生产中很容易实现。
这种装置的设备成本不高,加上清洗过程不需要使用价格昂贵的有机溶剂,因此它的运行成本要低于传统的清洗工艺。
(6)由于不需要对清洗液进行运输、贮存、排放等处理措施,所以生产场地很容易保持清洁卫生。
(7)等离子清洗的最大技术特点是:它不分处理对象,可处理不同的基材,无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理,因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。
而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。
(8)在完成清晰去污的同时,还能改变材料本身的表面性能,如提高表面的润湿性能,改善膜的附着力等,这在许多应用中都是非常重要的。