检漏仪维修操作说明-SmartTest

测试方式介绍 (Vacuum & Sniff)
正压测试 (Sniffer mode) 将待测物体利用示踪气体 (4He，3He，H2) 施加内压， 并利用 Sniffer probe 于待测物体外侧检漏可能之漏点。 负压测试 (Vacuum mode) 将待测之腔体连接上氦气测漏仪之 test port，以真空 装置或氦气检漏仪 (本身为 vacuum sysytem) 对待测 系统做抽真空，使其压力低于25 mbar,再于可能的泄 漏点喷少许示踪气体检漏。
Helium Leak Detector
产品规格介绍 产品结构及功能介绍 测试方式介绍 产品设计优点
售后服务
HLT 拆解 参考客户
PV_2005-04_E.ppt
产品规格介绍
HLT 560
最小测漏率(mabr l/s)
分子泵型式 前级抽速(m3/h)
HLT 565
5.10-12
分流式 30
HLT 570(Dry)
5.10-12
分流式 2
HLT 572 (Dry)
5.10-12
分流式 7.5
5.10-12
分流式 5
启动时间(min)
反应时间(s) 最大进口压力(mbar) 内部校准泄露 自动校准功能 附小车
3
<0.5 25 标准 有 无
3
<0.5 25 标准 有 有
3
<0.5 25 标准 有 无
3
<0.5 25 标准 有 有
• 绵阳九院、兰州物理所、航天部、等离子研究 所 • 成都无极真空、兰州真空、沈阳科仪
PV_2005-04_E.ppt
希望我们能够合作成功！
PV_2005-04_E.ppt
PV_2005-04_E.ppt
离子源 / Ion source
材质为 iridium / yttrium 使用寿命长。 (其他品牌材质为 wolfram) 2 cathodes 设计，若其 中一组损毁机台会自动 切换至第二组。
PV_2005-04_E.ppt
质谱管 / Mass spectrometer
PV_2005-04_E.ppt
分子泵 / Turbo pump
独特的 PFEIFFER TMH 071 Split-flow turbo pump 之设计可承受更高之进气压 力，并且保持最佳之抽气效 率，同时可大幅度降低因进 气压力突然增大而对 turbo pump 所造成的损坏。
PV_2005-04_E.ppt
PV_2005-04_E.ppt
产品设计优点
业界最高的入口压力 25 mbar，即可进入检漏状态 独一无二的外接真空计功能，可直接在检漏仪面板 上显示系统真空度 Roughing pump 选择性高 Vacuum + Sniff 为标准配备 内置标准漏率棒,可自动校准
PV_2005-04_E.ppt
PV_2005-04_E.ppt
产品结构及功能介绍
RC260：显示屏幕 Mass spectrometer：质谱仪 Oil mist filter：油雾分离器 Test port：测试口 Valve block：阀组模块 Test leak：标准漏率棒 EVV：讯号放大器 V1~V6：valve block 阀组
分子泵、阀组分解图
turbo pump
valve block
PV_2005-04_E.ppt
TMH 071 拆解图
buttom, coil turbo drag spacing ring housing rotor mag bearing
PV_2005-04_E.ppt
stators
参考客户
• 深圳南玻、优利讯、中芯国际、台积电、3 M
维修保养时效性：全产品均由 Pfeiffer 生产组装， 上海伯东作为德国原厂设立的产品维修服务中心， 能够及时提供备件的支持及快速反应能力。
技术支持能力：因产品应用广泛,上海伯东可依 据客户实际使用状况,提供相应的教育培训及应 用建议。
PV_2005-04_E.ppt
氦检漏仪拆解图
PV_2005-04_E.ppt
DUO 5A: 机械泵
TMH 071: 分子泵
PV_2005-04_E.ppt
检漏仪显示面板
此控制面板包含了controller、 display，对于使用者而言，操作 简单(one touch) 。 Controller：Start、Stop、 Zero、 Setup…. Display：漏率显示、状态显示 、操作显示、参数显示….
产品设计优点
模块化设计便于维护和维修
操作简单,一个按钮启动,3分钟内进入工作状态 专利型的双流设计,高灵敏度能对检漏仪及被检 件提供保护 灯丝寿命长（铱/钇材质、两组切换使用设计) 产生
PV_2005-04_E.ppt
灵敏百度文库高,侦测到漏气 0.5 秒钟内即会有警报
售后服务
维修保养能力：工程师受德国原厂技术训练且认 证，并且设备最重要组件 turbo pump 亦为 Pfeiffer 生产，所以对设备的保养及维修具备丰 富的经验及效率之保障。
真空阀组 / Valve block
Valve block 与 Split-Turbo pump 之搭配设计，在于最大工作 压力可达 18 mbar(业界最高)， 提升待测之时效性。
对于使用者之误操作(破大气)， 提供保护功能，避免 turbo pump 造成损坏及氦气测漏仪内部严重 污染。
PV_2005-04_E.ppt
Mass spectrometer 180° 离子轨域及 filter 设计，不 但提高对于侦测气体之灵 敏性，更加强了漏率之准 确性。
PV_2005-04_E.ppt
油雾分离器 / Oil mist filter
在前级搭配油式机械泵(Rotary vane pump)，氦气测漏仪之型号 中 (HLT 260 、HLT 265) ，配置 油雾分离器(oil mist filter) 可以 分离油气,避免造成工作环境之污 染。