电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
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电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
余留洋;刘书博;贾晟哲;马航;万邦隆;苏琦雯;王静康;汤伟伟;贺豫娟;龚俊波
【期刊名称】《化工学报》
【年(卷),期】2024(75)1
【摘要】电子级磷酸作为一种超高纯化学试剂,主要用于微电子行业中芯片的清洗与蚀刻,其纯度会显著影响电子元器件的成品率、电性能以及可靠性。
然而,极低杂质(10^(-9)水平)的高端电子级磷酸,对于化工分离纯化技术的要求极高。
从电子级磷酸在芯片清洗与蚀刻方面的应用出发,梳理了电子级磷酸产品的主要国内外标准,概述了杂质离子的主要分析监测方法。
重点综述了电子磷酸的制备和纯化精制方法,特别是结晶法在磷酸深度净化方面的显著优势,最后,对电子级磷酸的净化技术发展做出了前景展望。
【总页数】19页(P1-19)
【作者】余留洋;刘书博;贾晟哲;马航;万邦隆;苏琦雯;王静康;汤伟伟;贺豫娟;龚俊波【作者单位】天津大学化工学院;云南云天化股份有限公司研发中心
【正文语种】中文
【中图分类】TQ026.5
【相关文献】
1.电子级磷酸的纯化技术及其配套技术
2.电子级磷酸的纯化技术及其发展现状
3.电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望
4.电子级氯化氢精制工艺的研究进展
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