扫描电子显微镜及其在材料科学中的应用
- 格式:pdf
- 大小:262.13 KB
- 文档页数:5
扫描电子显微镜扫描电子显微镜是一种强大的工具,它可以帮助科学家观察到物质的更小的细节和结构。
本文将介绍扫描电子显微镜的原理、应用、发展历程以及未来发展趋势。
原理扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)是一种利用扫描电子束与物体相互作用而获得形貌和微区组织信息的显微分析仪器。
扫描电子显微镜的工作原理是,将高能电子轰击样品表面,使其表面电子被激发,发射出大量的二次电子。
这些二次电子被探测器接收并转换成负电荷信号,在特定条件下被扫描成像。
应用扫描电子显微镜广泛应用于多个领域,包括材料科学、生命科学、化学和地质学等。
以下是该技术在这些领域中的应用:•材料科学:用于获取材料的形貌、结构以及表面性质等信息。
•生命科学:用于观察细胞、细胞器、细胞表面的超微结构和蛋白质等生物分子的形态和结构。
•化学:用于观察化学反应过程表面形貌、结构的变化以及材料结构的演化过程等。
•地质学:用于研究各种矿物、岩石和地层等,以了解地质演化过程。
发展历程1950年,发明了透射式电子显微镜,但它只能用于真空环境下的样品。
1956年,Helmut Ruska和Max Knoll发明了扫描电子显微镜。
该技术能够在空气中观察样品,并获得更高的象素分辨率。
1965年, Hitachi公司普及了第一台商用扫描电子显微镜S-800。
自此以后,扫描电子显微镜技术得到了快速的发展。
未来发展趋势随着技术的发展,扫描电子显微镜的应用场景不断扩大。
今后,该技术将越来越多地应用于纳米材料和微细加工领域。
同时,随着计算机技术的发展,扫描电子显微镜将会实现更高的自动化和智能化,成为更加强大的工具。
结论扫描电子显微镜是一款横跨多个领域应用的重要科学工具,其在材料科学、生命科学、化学和地质学等领域均有广泛的应用。
虽然该技术已经发展多年,但随着技术和计算机技术的不断进步,扫描电子显微镜将会越来越强大,为人们探索科学世界提供更加强大的支持。
电子显微镜在材料科学中的应用电子显微镜(electron microscope)是一种使用电子束来观察物质的微观结构和性质的仪器。
相较于传统的光学显微镜,电子显微镜通过利用电子的波动性,具有更高的分辨率和放大倍数,可以观察更小的细节。
因此,电子显微镜在材料科学领域中扮演着重要的角色,为研究人员提供了深入探究材料性质和结构的能力。
电子显微镜在材料科学中的应用广泛,涵盖了各个领域。
下面将重点介绍电子显微镜在材料科学中的三个主要应用领域:材料结构表征、物理性质分析和纳米材料研究。
首先,电子显微镜在材料结构表征方面发挥着重要作用。
通过电子显微镜的高分辨率和强大的放大倍数,研究人员可以观察到材料中微观结构的细节。
例如,在金属学中,电子显微镜可以用来观察晶体的晶粒结构、晶界和位错等缺陷。
同时,通过电子显微镜的能谱分析功能,研究人员还可以确定材料中不同元素的分布情况,从而了解材料的化学成分。
这些结构表征的结果对于深入理解材料的性质和行为至关重要。
其次,电子显微镜在材料的物理性质分析方面也发挥着重要作用。
电子显微镜可以通过观察材料的形貌、尺寸和成分变化来研究材料的磁性、电性和光学性质等。
例如,在磁性材料研究中,电子显微镜可以用来观察磁性颗粒的磁畴结构,从而了解磁性材料的磁性行为。
在光学材料研究中,电子显微镜可以用来观察材料的折射率、散射特性和表面形貌等,从而为光学材料的设计和优化提供重要的信息。
最后,电子显微镜在纳米材料研究方面也发挥着重要作用。
纳米材料是一种尺寸在纳米级别的新型材料,具有许多独特的性质和应用。
电子显微镜的高放大倍数使得研究人员可以观察到纳米材料的微观结构和形貌,从而研究材料的尺寸效应、界面效应和量子效应等现象。
电子显微镜还可以用于纳米材料的成分分析和元素映像,以了解纳米材料的化学成分和元素分布情况。
这些研究对于开发和应用纳米材料在能源、电子器件和生物医学领域中具有重要意义。
总结起来,电子显微镜在材料科学领域中的应用广泛,包括材料结构表征、物理性质分析和纳米材料研究。
利用扫描电子显微镜获取材料表面形貌信息扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种用于观察和分析材料表面形貌的高分辨率显微镜。
利用其高能电子束和探测器,SEM可以提供高放大倍率和出色的表面清晰度,为研究人员提供详细的材料表面形貌信息。
本文将介绍扫描电子显微镜的原理,操作方法以及其在材料科学中的应用。
首先,让我们来了解一下扫描电子显微镜的工作原理。
SEM采用的是电子束扫描观察的原理。
它通过在材料上扫描射出高能电子束,当电子束与样品表面相互作用时,会发生多种与电子互作用的物理现象,如散射、逸出电子和背散射等。
SEM探测器将这些信号转换成图像,并以高分辨率的方式显示在显示器上。
此外,SEM还可以利用特殊的探头扫描电子显微镜,通过测量振荡电势,进一步获得材料的表面化学成分分布。
接下来,我们将介绍如何操作扫描电子显微镜来获取材料表面形貌信息。
首先,样品需要被制备成适合SEM观察的形式。
通常情况下,需要将样品表面进行金属或碳层涂覆,以增加导电性,然后将样品固定在SEM样品支架上。
样品准备的质量直接影响着SEM观察结果的准确性和可靠性,因此样品制备过程一定要严格控制。
接下来,将样品装载到SEM的样品舱中,关闭操作室门,开始抽真空。
当真空达到要求后,可以开始调整SEM的参数,如电子束加速电压、工作距离和探测器的选择等。
一旦调整完毕,可以将电子束聚焦在样品表面并开始扫描。
同时,可以调整探测器的位置和参数,以获得不同深度的信息。
最后,观察和记录SEM图像,并进一步分析和处理图像数据,以获得材料表面的形貌和结构信息。
扫描电子显微镜在材料科学中有着广泛的应用。
首先,SEM可以用于研究微观结构和形貌。
通过观察样品的表面形貌,可以获得材料的纹理、粗糙度、颗粒大小等信息,帮助研究人员了解材料的制备过程和性能。
其次,SEM还可以帮助分析材料的化学成分分布。
通过能谱仪等设备,可以测量样品表面的元素分布情况,从而研究材料的成分和相对丰度。
扫描电镜在材料中的应用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种广泛应用于材料科学领域的高分辨率显微镜。
它利用电子束与样品相互作用产生的信号来获取样品的形貌和成分信息,具有优越的分辨率和放大倍数,因此在材料研究中有着重要的应用。
在材料科学中,扫描电镜能够提供高分辨率的表面形貌观察。
与光学显微镜相比,扫描电镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率,能够观察到更细微的表面细节。
对于材料的表面形貌分析,扫描电镜能够帮助科研人员更全面地了解材料的结构特征、表面纹理和形貌变化等。
例如,在金属材料研究中,通过扫描电镜观察到的晶粒大小、晶界分布和表面缺陷等信息,可以为材料的性能提供重要的参考。
扫描电镜在材料中的应用还包括成分分析。
通过能谱仪等附加设备的配合,扫描电镜可以获取样品的元素成分信息。
利用能谱仪的能量分析功能,可以准确地确定材料中各种元素的含量和分布情况。
这对于材料的组分分析、杂质检测和成分控制等方面都非常重要。
例如,在半导体材料研究中,扫描电镜能够提供有关材料中杂质元素的存在情况和分布特征,并为材料的纯度和质量评估提供可靠的依据。
扫描电镜还可以应用于材料的微观结构研究。
通过扫描电镜观察材料的断口面,可以获取材料的断裂形态和断口特征。
这对于研究材料的断裂机制、强度和韧性等性能具有重要意义。
例如,在材料的力学性能研究中,扫描电镜可以观察到材料的断裂面形貌,进而分析材料的断裂方式和断裂机制,为材料的强度和韧性提供深入理解。
扫描电镜还可以应用于材料的表面形貌工程。
通过在材料表面进行局部处理,如蚀刻、涂覆等,可以改变材料的表面形貌和结构,从而调控材料的性能。
通过扫描电镜观察处理后的材料表面,可以评估处理效果,并优化处理参数。
例如,在涂层材料研究中,扫描电镜可以观察到涂层的厚度、均匀性和结构特征,为涂层材料的性能优化提供依据。
扫描电镜在材料科学中有着广泛的应用。
它可以提供高分辨率的表面形貌观察、成分分析、微观结构研究和表面形貌工程等方面的信息,为材料的研究和应用提供了重要的支持。
电子显微镜在材料科学中的应用与进展近年来,随着科学技术的不断发展和进步,电子显微镜作为一种高分辨率显微镜广泛应用于各个科学领域。
在材料科学中,电子显微镜的应用起到了至关重要的作用,并取得了显著的进展。
本文将介绍电子显微镜在材料科学中的应用以及相关的进展。
首先,电子显微镜在材料科学中的应用主要有以下几个方面。
第一,电子显微镜可以通过高分辨率的成像技术,观察材料的微观结构和形貌。
通过观察材料的原子尺度特征,可以深入了解材料的晶体结构、晶格缺陷等信息。
第二,电子显微镜可以进行局域化成分分析。
通过能量散射谱(EDS)和电子能谱仪(EELS)等技术,可以对材料的元素组成和化学环境进行分析,从而得到材料的化学信息。
第三,电子显微镜还可以进行原位观察和动态研究。
通过配合温度、电压或气氛等条件,在电子显微镜下对材料进行原位观察和研究,可以得到材料在实时变化下的显微结构和性能变化。
其次,电子显微镜在材料科学中的应用已经取得了一系列的进展。
首先,扫描透射电子显微镜(STEM)技术的发展大大提高了电子显微镜的分辨率和成像质量。
STEM技术通过探测透射电子的散射信号,可以实现单原子的分辨成像,从而揭示材料的原子结构和化学组成。
其次,透射电子显微镜(TEM)技术的进步使得我们可以观察到更加复杂的材料结构和界面。
通过调制TEM中的电场和磁场,可以对纳米结构和功能材料进行原位观察和控制,并对材料的性能进行深入研究。
此外,近年来,电子显微镜配合计算机模拟和人工智能技术的应用,使得我们可以通过电子显微镜的数据进行材料的结构模拟和预测,提高了材料科学的研究效率和准确度。
最后,电子显微镜在材料科学中的应用仍面临一些挑战和发展方向。
首先,高分辨率的成像技术需要更加复杂和灵敏的探测器和样品制备技术支撑。
解决探测器的灵敏度和样品制备的问题是提高分辨率和稳定性的关键。
其次,多模态、多尺度和高通量的电子显微镜技术的发展是一个重要的方向。
需要通过多种成像模式的结合和自动化技术的运用,实现对材料的全方位观察和分析。
电子显微学在材料科学中的研究应用电子显微学是一种高分辨率的显微学技术,在材料科学中有着广泛的应用。
它可以通过束缩小的高能电子来照射样品,从而观察到其微观结构和化学组成。
电子显微学技术主要包括透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子能谱分析(EDS)等,每种技术都有其独特的优点和应用范围。
首先,透射电子显微镜是一种在材料科学中最常用的电子显微学技术之一。
这种技术可以用来观察材料的微观结构,例如晶格、晶界、表面形貌等。
例如,透射电子显微镜可以用于研究材料的晶化和生长过程、界面多级结构、异形晶体的形成和演化等方面。
这种技术的优势在于其能够提供高分辨率的影像,使得研究人员可以更加准确地描述和了解材料的结构和特性。
其次,扫描电子显微镜也是一种广泛用于材料科学研究的电子显微学技术之一。
与透射电子显微镜不同,扫描电子显微镜可以用来研究材料的表面形貌和微观结构。
这种技术的优势在于,它可以提供高分辨率的三维表面形貌信息,并且能够观察研究超小微区,如材料表面的纳米结构、微区变形和腐蚀过程等。
最后,透射电子能谱分析是一种分析样品化学成分的技术。
这种技术通过电子示范的方式研究样品的元素分布和化学组成,可以辨别各种化学元素并检测它们在样品中的含量。
透射电子能谱分析可以用于研究材料的热力学过程、材料的物理和化学性质等方面。
总体而言,电子显微学技术在材料科学中具有广泛的应用。
它可以广泛地被用于研究不同类型的材料,例如晶体、生物样本、高分子材料等等。
在研究领域内,各种电子显微学技术和科研方法的研究和使用也在进行中,它能帮助我们更好地了解和解决材料科学中的各种问题。
总而言之,电子显微学技术在材料科学中是一个极其重要的工具,它在深入理解材料微观结构、表面形貌和化学成分等方面发挥着重要的作用。
未来,也有必要通过不断的研究和改进,促进电子显微学技术在材料科学中的应用,将其应用于更加详细和深入的研究,帮助我们更好的认知和发展材料科学。
扫描电子显微镜在材料科学中的广泛应用随着科技的不断进步,扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)作为一种高分辨率的显微镜技术,在材料科学领域中得到了广泛的应用。
它通过使用电子束来探测和成像材料的表面,能够提供非常详细的微观结构和化学成分信息。
本文将重点介绍扫描电子显微镜在材料科学中的广泛应用,包括其在材料分析、纳米尺度观测和表面形貌分析方面的作用。
首先,扫描电子显微镜在材料分析方面发挥了重要作用。
它可以被用于分析材料的成分和化学组成。
通过能量色散X射线光谱(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)技术,扫描电子显微镜能够检测并定量分析样品表面的元素组成。
这对于材料科学家而言是非常重要的,能够帮助他们了解材料的化学组成,从而优化材料的性能和制备过程。
其次,扫描电子显微镜在纳米尺度观测方面也具备巨大的优势。
传统的光学显微镜在观察样品时存在分辨率有限的问题,无法观察到细微的细节。
而SEM能够以非常高的分辨率来观察材料的表面和内部结构。
通过使用电子束来成像,它能够显示出非常细小的特征,如晶粒、孔隙和纳米颗粒等。
这对于研究纳米材料、纳米器件以及观察生物细胞和微生物等都具有重要意义。
此外,扫描电子显微镜在材料的表面形貌分析方面也发挥着关键作用。
材料的表面形貌信息对于理解材料的性能和功能至关重要。
SEM技术能够提供样品表面的三维形貌和其微观结构。
通过使用扫描探针技术,可以获得表面的粗糙度、薄膜厚度以及各种形状和尺寸的微观结构的表征。
这对于评估材料的质量和功能以及研究表面改性和加工工艺都具有重要的指导意义。
除了上述的应用以外,扫描电子显微镜还有许多其他的应用方向。
例如,它能够用来观察材料的断裂和疲劳行为,以及材料的电子结构和电子输运性质等。
扫描电子显微镜技术还可以与其他分析方法结合使用,如扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscopy,SPM)和拉曼光谱等,来实现更全面的材料分析。
电子显微镜在材料研究中的应用电子显微镜是一种高级的科技设备,它能够将物体的微观结构、表面形貌等细节信息表现出来。
它已经在材料科学研究中扮演了非常重要的角色,我们将在本文中探讨电子显微镜在材料研究中的应用。
第一部分:电子显微镜的基本原理在介绍电子显微镜在材料研究中的应用之前,我们来简单介绍一下电子显微镜的基本原理。
电子显微镜与光学显微镜类似,都是基于物体反射或透射的能力来观测物体的微观结构。
但是电子显微镜使用的是电子束而不是光束。
电子束比光束具有更短的波长,因此它能够提供更高分辨率的图像。
电子显微镜的核心是电子枪。
电子枪产生的电子束在通过一系列电磁透镜和准直器的作用下,能够聚焦于样品表面。
当电子束击打样品表面时,样品表面反射的电子将进入显微镜的探测器中。
通过对反射电子的检测和分析,我们能够获得关于材料微观结构的信息。
第二部分:电子显微镜在材料研究中的应用1. 表面形貌观测电子显微镜能够提供非常高分辨率的图像,因此在材料表面形貌的观测中得到广泛应用。
例如,当我们需要观察矿物结构、生物组织或者高分子材料的表面结构时,电子显微镜是非常有用的。
2. 纳米材料研究纳米材料是一种非常重要且广泛应用的材料。
然而,由于其尺寸过小,因此使用传统的分析方法很难对其进行研究。
电子显微镜提供了一种非常有力的手段来研究纳米材料。
通过球差校正电子显微镜技术,可以达到超过0.1纳米的分辨率。
3. 物质组成分析电子显微镜还可以帮助我们分析物质的组成。
通过电子衍射技术,我们可以获得样品的衍射图像。
这些衍射图像提供了材料晶体结构的信息,在结合X射线衍射实验等其他实验手段,我们能够对物质进行非常深入的组成分析。
4. 晶体形态分析在材料科学研究中,晶体的形态对其结构和性质具有重要影响。
电子显微镜可以帮助我们观测晶体的形态。
通过电子显微镜的准直器和显微镜屏幕等组件,我们能够观察晶体表面的结构和形态,并对其进行分析。
第三部分:结论电子显微镜是一种非常有用的工具,在材料科学研究中扮演着非常重要的角色。
扫描电镜技术在材料科学中的应用材料科学是一门应用学科,它研究各种物质的性质、结构、制备和应用等方面的科学问题。
在材料科学中,有很多研究方法和分析技术,其中扫描电镜技术是一种非常重要的方法。
本文将从扫描电镜技术的概念、优点以及在材料科学中的应用,探讨该技术在材料科学领域中的价值和发展前景。
一、扫描电镜技术的概念扫描电镜技术(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的材料表征、分析、观察的技术。
该技术利用高能电子束照射样品,观察样品在电场作用下发生的不同电子过程,通过收集样品表面反射、吸收、透射等电子的各种信号,进而获得样品表面形态、表面元素分布、晶体结构等信息。
扫描电镜技术主要分为三个步骤,包括样品制备、电子显微镜成像和信号检测等。
首先,样品需要进行处理和制备,以便于观察和分析,比如需要进行切片、抛光等处理。
然后,采用电子显微镜照射样品,通过收集样品表面反射、背散射等电子信号,来获得样品的形貌和结构等信息。
最后,通过图像的处理和分析,以及各种数据的比对和分析,来进一步分析样品的性质和结构等。
二、扫描电镜技术的优点扫描电镜技术的优点主要包括以下几个方面:1.分辨率高:扫描电镜技术的分辨率非常高,能够观察到极小的表面形貌和微观结构,甚至能够研究到纳米级别的材料结构。
2.实时性好:扫描电镜技术能够实时进行样品观察和分析,并且可以通过调整各种参数来达到最佳的显影效果和分析结果,具有成像速度快、操作简便等特点。
3.多功能性强:扫描电镜技术可以观察样品的形貌、成分分布、晶体结构等多方面信息,而且可以进行高分辨率的成像、分析、比对等操作,多功能性非常强。
4.适用范围广:扫描电镜技术适用于多种材料和样品,比如金属材料、半导体材料、生物医学材料等,在材料科学、生物医学等多领域有着广泛应用。
三、扫描电镜技术在材料科学领域中的应用非常广泛,主要应用于材料结构、形貌、成分、性能、缺陷等方面的研究。
扫描电镜技术在材料科学中的应用前景展望材料科学是现代工程制造、能源开采、生命科学等众多领域不可或缺的学科,而材料科学的发展又和材料微结构的研究密切相关。
如何对材料进行微观结构的观测和分析,以便更好地了解材料性质和改善材料性能,是一项关键性的技术。
在这方面,扫描电镜技术被广泛应用于材料科学领域中。
一、扫描电镜技术的介绍扫描电镜是利用电子束和样品之间的相互作用,形成高分辨率图像的一种电子显微技术。
传统电子显微镜只能获得样品的透射像,对于观测表面形貌和表面成分分布起不了作用。
而扫描电镜的电子束在扫描样品表面时,形成反射电子和散射电子,并采集这些电子的信号形成图像。
通过调节不同的电子束参数,扫描电镜能够获得材料的表面形貌、内部结构、化学组成等详尽信息,对于材料微观结构的观测起着非常重要的作用。
扫描电镜技术的主要优势在于具有非常高的分辨率,可观测到极小尺寸的微观结构,并能够进行三维重建等进一步分析。
此外,扫描电镜技术还能够进行成分分析,并可通过扫描透射电镜、电子能谱等技术进一步深入研究。
二、应用于材料科学中的扫描电镜技术扫描电镜技术在材料科学领域中广泛应用于各种材料的表面形貌观测、微观结构分析和元素分析等。
以下列举几种常见的例子:1. 金属材料的微观结构金属材料的微观结构对于材料的力学性质和表面光学性质等起着至关重要的作用。
扫描电镜技术可以观测到金属材料表面的成分分布和晶体形貌,并可以在不同倍数下观察到晶界、孔隙和裂纹等缺陷。
此外,扫描透射电镜与电子能谱等技术,还可以进行深入的晶体结构、原位变形以及局部应力和形貌的研究。
2. 纳米材料和表面涂层的成分分析传统的成分分析技术很难对于表面和微纳米结构进行准确分析,而扫描电镜技术通过搭载电子能谱和X射线能谱等技术,能够准确获取纳米结构和表面涂层的成分分布,并在不同区域进行区分。
此外,扫描电镜技术还可以通过原位实验,研究纳米结构的形变及变化规律等。
3. 碳纤维等复合材料的表面形貌和组织结构复合材料的微观结构和成分分布直接影响材料的物理、力学和化学性质。
扫描电镜在材料科学中的应用材料科学作为一门重要的基础学科,在工业、制造、医学等领域都有重要的应用,而扫描电镜则是材料科学领域中的一种关键仪器。
其应用范围广泛,包括材料形貌分析、显微组织观察、纳米科学等。
下面将从应用领域、分析原理和技术发展角度探讨扫描电镜在材料科学中的应用。
应用领域扫描电镜的应用非常广泛,例如在金属材料、高分子材料、陶瓷材料、半导体材料、生物材料等领域,都有广泛的应用。
在金属材料领域,扫描电镜可用于表面形态特征的研究和材料的腐蚀破坏分析。
在高分子材料领域,扫描电镜可用于研究聚合物的性质、晶体结构,以及材料的来源和成分。
在陶瓷材料领域,扫描电镜可以用于表面质量控制、断口形貌分析、气孔形成和等离子体喷涂。
在半导体材料领域,扫描电镜可用于制备工艺研究和材料表面特征分析。
在生物材料领域,扫描电镜主要用于细胞和器官结构的观察、组织学分析以及病原体形态学研究等。
分析原理扫描电镜利用电子束扫描样品表面,并采集所反射、所散射和所发射的电子信号来获得材料表面的形貌图像,并可以进行成分分析。
扫描电镜的原理可以分为两种模式:二次电子显像和反射电子显像。
其中,二次电子显像是在材料表面上,由于电子束的能量和角度,会产生二次电子信号,然后通过搜集这些二次电子信号的图像来反映样品表面的微观形貌信息。
反射电子显像是在场发射电子显像下,利用电子束入射或反射在样品界面处的反射电子,获得高表面灵敏度的信号。
技术发展扫描电镜技术在过去几十年里得到了快速的发展。
在器件制造、材料科学、生物医学等多个领域都有广泛的应用。
虽然传统的扫描电镜技术对成像的要求很高,像分辨率固定、深度范围小、必须提前确定成像模式等问题相当严重。
但随着新技术的不断出现,这些限制也在不断减少。
现如今出现了更多的高分辨率扫描电镜技术,如扫描透射电子显微镜、高角度向侧扫描电子显微镜、扫描局部震荡透射电镜和精密离子束切割等技术,使得扫描电镜具有了更广泛和更精确的应用空间。
电子显微镜技术在材料科学中的应用随着科技的不断发展,材料科学日益成为全球研究的热点领域之一。
材料科学的发展需要高级的仪器、设备和技术的支持。
电子显微镜技术作为一种高精度的仪器,被广泛应用在材料科学中。
电子显微镜技术能够帮助科学家探索材料的结构和性质,从而提高材料的性能和品质。
本文将从以下几个方面介绍电子显微镜技术在材料科学中的应用。
一、电子显微镜技术简介电子显微镜技术是一种高通量的物理学技术。
它利用电子束照射样本,通过对电子束的散射和透射等现象进行观察和分析,从而获得样品的形貌结构和元素成分信息。
电子显微镜技术可以对材料的晶体结构、表面形态、纳米结构和局部构型等进行研究。
同时也具有成像分辨率高、对样品破坏小、操作简单等优点。
二、材料晶体结构的分析电子显微镜技术在材料晶体结构研究中扮演着重要的角色。
电子显微镜能够对晶体结构进行观察和分析,从而研究晶体的结晶形态和晶面角度等。
通过电子束照射样品,形成衍射图案并进行衍射模拟,可以获得晶体结构的细节信息。
同时,电子显微镜与点阵显微镜之间的结合,更是使得晶体结构研究的精度和效率大大提高。
利用电子显微镜技术,科学家们还可以对不同晶体的表面形貌和位形结构进行比较研究。
三、纳米结构的研究电子显微镜技术在纳米结构研究中也展现出了强大的优势。
由于电子束的波长很短,因此它可以穿过材料的表面并照射到深层。
电子显微镜流程的数字化和自动化,使得在样品的坐标系下进行纳米尺度成像和量化的过程更加简单和快捷。
通过电子显微镜技术,可以对纳米材料的表面结构、晶体缺陷、电荷分布、力场等进行直观显示和分析,还可以对纳米材料的机械特性、传导性能、光学性质等进行研究和评价。
四、局部化学成分的分析电子显微镜技术还可以用于材料的化学成分分析。
在局部化学成分分析中,电子谱仪和成像技术的联合应用使得可以获得样品的化学成分和晶结构信息,从而研究材料的化学和物理性质。
针对于生物样品或其他大片材料化学分布分析问题,扫描的电子显微镜还可以进行元素分布的成像。
扫描电镜在材料分析中的应用摘要:随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。
细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题。
目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜。
电子显微镜可分为扫描电了显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。
本文主要介绍扫描电子显微镜工作原理、结构特点及其发展,阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应用。
关键词:电子显微镜;扫描电镜;材料;应用引言:自从1965年第一台商品扫描电镜问世以来,经过40多年的不断改进,扫描电镜的分辨率从第一台的25nm提高到现在的0.01nm,而且大多数扫描电镜都能通X射线波谱仪、X射线能谱仪等组合,成为一种对表面微观世界能过经行全面分析的多功能电子显微仪器。
扫描电镜已成为各种科学领域和工业部门广泛应用的有力工具。
从地学、生物学、医学、冶金、机械加工、材料、半导体制造、陶瓷品的检验等均大量应用扫描电镜作为研究手段。
在材料领域中,扫描电镜技术发挥着极其重要的作用,被广泛应用于各种材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。
利用扫描电镜可以直接研究晶体缺陷及其生产过程,可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界,也可以观察在不同条件下边界移动的方式,还可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等。
1.扫描电镜的原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope),简写为SEM,是一个复杂的系统,浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。
扫描电镜的基本工作过程如图1,用电子束在样品表面扫描,同时,阴极射线管内的电子束与样品表面的电子束同步扫描,将电子束在样品上激发的各种信号用探测器接收,并用它来调制显像管中扫描电子束的强度,在阴极射线管的屏幕上就得到了相应衬度的扫描电子显微像。
扫描电子显微镜的应用随着科技的不断发展,人们在日常生活中已经习以为常地接触到了许多先进的仪器设备。
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)就是其中之一,它已经成为了现代科学研究中不可或缺的工具。
具有高清晰度、高放大倍数和高分辨率的扫描电子显微镜可以帮助我们观察到微观世界中那些平常难以察觉的微小细节。
本文将讨论扫描电子显微镜的应用及其在科学研究、工业和医学领域中的重要性。
首先,扫描电子显微镜在科学研究领域发挥着重要的作用。
在材料科学中,研究人员可以利用扫描电子显微镜观察材料的微观结构和表面形貌,从而对材料的性质和性能进行深入研究。
例如,他们可以通过观察材料的晶体结构来了解材料的力学性质,或者通过观察材料的表面形貌来研究材料的表面性质。
此外,在生物学研究中,扫描电子显微镜也被广泛应用于观察细胞、组织和生物体的微观结构。
通过对细胞和组织的观察,研究人员可以更好地理解生物体的功能和疾病的发生机制,从而为疾病的预防和治疗提供更多的线索。
其次,扫描电子显微镜在工业领域也具有重要的应用价值。
现代工业中的许多产品都对材料的微观结构和表面形貌有着严格的要求。
通过使用扫描电子显微镜,工程师可以检查材料的质量和性能,从而确保产品的合格率。
此外,扫描电子显微镜还可以用于瑕疵检测,例如,可以观察金属表面的微小缺陷或裂纹。
通过检测这些瑕疵,工程师可以及早发现问题并采取相应的措施来避免生产中的潜在风险。
最后,扫描电子显微镜在医学研究和临床诊断中也发挥着重要的作用。
医学研究人员可以利用扫描电子显微镜观察病毒、细菌和癌细胞等微生物的微观结构,从而研究它们的生长方式和病理变化。
这些观察结果可以为疾病的治疗和诊断提供重要的参考。
在临床诊断中,医生可以通过扫描电子显微镜观察病患的细胞和组织的微观结构,从而帮助确诊疾病,并为治疗方案的制定提供依据。
综上所述,扫描电子显微镜在科学研究、工业和医学领域中的应用非常广泛,发挥着重要的作用。
扫描电子显微镜的原理及应用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种使用电子束而不是光束的显微镜,它通过对被测样品表面进行扫描和检测,以获取高分辨率的图像。
SEM具有优秀的分辨率和放大倍数,被广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术、地质学等领域。
SEM的工作原理如下:1. 产生电子束:通过电子枪产生高能电子束,电子枪包括一个热阴极和一根聚焦的阳极。
电子束可以通过区域限制器(aperture)来控制束流的大小。
2.加速电子束:电子束通过电子镜来加速,这是一个由透镜组成的系统。
电子束在电子镜中得到聚焦,束流变窄,成为高能、高分辨率的束流。
3.扫描样品:样品被放置在SEM的样品台上,电子束通过磁场的作用进行X、Y方向扫描。
扫描电子镜的样品台通常也可以进行上下方向的运动,以获得不同深度的图像。
4.接收和检测:当电子束照射在样品表面上时,样品中发生的相互作用将会发射出各种信号,包括二次电子、透射电子、X射线以及退火融合过程产生的光谱信号等。
SEM通过收集并检测这些信号,并将其转化为电信号。
5.构建显像:电信号被转化为亮度信号,并用于构建图像。
SEM可以生成大量的图像类型,包括二次电子图像(SE图像)、透射电子图像(BSE图像)、X射线能谱图(EDS图像)等。
6.分析和测量:SEM可以提供非常详细的样品表面形貌信息,包括形貌、尺寸、形状、纹理等。
还可以使用EDS技术分析样品的化学元素组成。
SEM的应用范围十分广泛:1.材料科学:SEM可以研究材料的微观结构、相变过程、表面形貌以及晶格结构等。
它可以用于分析金属、陶瓷、纤维、塑料等材料的微观结构,从而改进材料的性能和开发新材料。
2.生命科学:SEM非常适合观察生物样品的微观结构,如昆虫、细胞、细菌等。
它可以研究生物样品的组织结构、表面形貌,以及细胞壁、细胞器等微观结构。
3.纳米技术:SEM可以观察和测量纳米级别的颗粒、膜、纳米线、纳米管等纳米材料。
电子显微镜技术在材料科学中的应用电子显微镜(Electron Microscope,简称EM)是一种利用电子束通过物质与与原子或分子相互作用而产生的物态信息,对样品进行高分辨率显微观察的工具。
随着技术的进步,电子显微镜在材料科学中的应用越来越广泛,为材料研究提供了举足轻重的工具。
本文将介绍电子显微镜技术在材料科学中的应用,并探讨其对材料研究的影响。
一、电子显微镜的原理与优势电子显微镜是通过瞬间加速电子成束,并通过感应线圈聚焦、扩束,进而进行高分辨、大放大的成像设备。
相比光学显微镜,电子显微镜具有以下明显优势:1.1 高分辨率:由于电子的波长比可见光的波长要短很多,电子显微镜能够获得更高的分辨率,使得研究人员可以更清晰地观察晶体缺陷、晶体结构等微观信息。
1.2 高放大倍数:电子显微镜可以实现非常高的放大倍数,从而使得微观结构的细节能够被观察和研究。
这对于材料科学中的微观结构分析以及新材料的研究具有重要意义。
1.3 综合分析:电子显微镜不仅可以进行成像观察,还可以进行能谱分析、衍射分析等,综合了多种分析手段,为材料科学研究提供了更全面的信息。
二、电子显微镜在材料科学中的应用2.1 材料成分分析电子显微镜结合能谱分析仪可以实现材料的成分分析。
通过对样品进行电子束轰击,样品会发出特定能量的X射线,并通过能谱分析仪进行检测和分析。
这种方法可以帮助研究人员准确分析材料的成分,从而指导新材料的研发。
2.2 微观结构观察电子显微镜可以观察材料的微观结构。
通过调整电子束的条件,研究人员可以观察到微观尺度下材料的晶体结构、晶格缺陷以及晶粒的形貌等。
这些观察结果对于理解材料的性能和改进材料的工艺具有重要的指导作用。
2.3 材料缺陷分析材料的缺陷对材料的性能具有重要影响。
通过电子显微镜,研究人员可以观察到材料中的缺陷,如晶体缺陷、位错等,帮助分析和评估材料的质量和性能。
这对于材料科学研究和材料的改进具有重要的意义。
2.4 新材料研发电子显微镜可以帮助研究人员观察到新材料的微观结构和性能。
扫描电镜的原理及应用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用电子束扫描样品表面并通过检测电子束与样品交互产生的多种信号来获得样品表面形貌和成分信息的显微镜。
相比传统光学显微镜,扫描电镜具有更高的分辨率和深度,广泛应用于材料科学、生物学、地质学、电子学等多个领域。
1.电子源:扫描电镜使用热阴极或场发射电子枪产生电子源,通过激光或电子束对电子源进行刺激,使其产生电子。
2.真空系统:扫描电镜需要在真空中进行工作,以避免电子与空气分子的相互作用。
真空系统可确保电子束能够稳定地通过管道进入样品表面。
3.电子束的聚焦和定位:经过加速和聚焦装置后,电子束被聚焦到非常小的直径,同时通过扫描线圈控制电子束在样品表面上进行移动和定位。
4.样品表面的信号检测:样品表面与电子束交互后,产生多种信号,包括二次电子、背散射电子、X射线、荧光等。
通过相应的检测元件,如二次电子检测器和能谱仪,来收集这些信号。
5.数据处理和成像:通过对收集到的信号进行放大、滤波、扫描等处理,将数据转化为像素点,通过屏幕或计算机显示成像。
扫描电镜具有很多应用领域,以下是其中的几个主要应用:1.材料科学:扫描电镜可用于研究材料表面形貌、晶体结构以及纳米材料的性质。
通过观察和分析材料表面形貌和成分,可以揭示材料的微观结构、缺陷、晶胞排列等信息。
2.生物学:扫描电镜对于生物学研究也有很大的帮助。
可以观察细胞、组织和器官的微观形态、细胞器的分布和关系。
通过扫描电镜的成像,可以研究细胞的形态和结构与功能的关系,以及疾病的发生机制。
3.地质学:扫描电镜可用于研究岩石和矿石的成分、结构、矿物组成等信息。
可以观察到岩石和矿石的微观结构、矿物晶型、矿物交代等特征,为地质学和矿物学研究提供重要的信息。
4.电子学:在微电子制造中,扫描电镜可用于观察和分析电子元件的形态和结构、探测缺陷和纳米线路的状况。
这对于电子元件的设计和质量控制非常重要。
扫描电子显微镜原理和应用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种现代的高分辨率显微镜,利用电子束对样品进行扫描来获得其表面形貌和成分分布的信息。
它以其出色的分辨率和深度视野而在科学研究、材料分析、生物学和工程等领域得到广泛应用。
SEM的原理基于电子物理学。
它主要包含了两个关键组件:电子光源和探测器。
电子光源通常使用热阴极或场致发射器来发射电子束。
这些电子被加速并聚焦成一个细束,然后由透镜系统进行进一步聚焦,形成一个小的光斑。
电子束的能量通常在数千至数万伏特之间。
SEM相比于传统的光学显微镜具有更高的分辨率和更大的深度视野。
其分辨率通常在纳米级别,远远超过了光学显微镜的分辨能力。
同时,SEM还能提供三维表面形貌信息。
由于它的高分辨率和深度视野,SEM在许多领域的研究和实践中得到了广泛应用。
在材料科学和工程领域,SEM常用于材料表面形貌的观察和分析。
通过SEM,可以观察到材料中的微观结构、晶粒大小和排列方式等细节信息。
SEM也被应用于表面覆盖层分析,如金属薄膜、涂层和液晶显示屏等。
通过SEM,可以定量评估这些表面层的质量和均匀性。
在生物学研究中,SEM被广泛应用于生物样品的形态学研究。
通过SEM,可以观察和研究生物细胞、细胞器和细胞表面的微结构。
SEM还可以用来观察昆虫、植物花粉和微生物等微小生物的形貌。
SEM还在矿物学、地质学和考古学等领域中发挥重要作用。
通过SEM,能够观察到矿物和岩石中的微观结构和成分分布。
这些信息对于分析矿物的形成过程、岩石的变质和变形等具有重要意义。
在考古学中,SEM可以用于观察和分析古物的微观特征,并帮助研究人员了解古代文化和艺术的制造技术。
总之,扫描电子显微镜是一种非常强大的工具,能够提供高分辨率的表面形貌和成分分布信息。
它在科学研究、材料分析、生物学和工程领域有着广泛的应用前景,为我们对微观世界的研究提供了有力的支持。
电子显微镜技术在材料科学研究中的应用随着科技的发展,电子显微镜技术在材料科学研究中的应用越来越广泛。
电子显微镜是一种利用电子束而非光线进行成像的仪器。
相比于传统的光学显微镜,电子显微镜可以获得更高的分辨率和更强的成像能力,因此在材料科学研究中具有重要的作用。
一、电子显微镜技术的基本原理电子显微镜利用电子束的散射和透射来对样品进行成像。
一般来说,电子束从电子枪中发射出来,通过磁场的控制,可以使它聚集成细束,然后通过透镜系统,使电子束成为一个平行的束,进一步撞击样品。
这时,样品吸收或散射电子,可以得到不同信息,例如样品的形貌、结构、化学成分等。
二、电子显微镜技术在材料科学研究中的应用1.材料的表面形貌观察电子显微镜可以非常清晰地观察材料表面的形貌,比如纳米颗粒。
以金属为例,金属表面包含许多晶界和缺陷,通过高分辨率的电子显微镜可以清晰地观察这些缺陷的形貌和长度。
这样就可以更好地控制和改善金属材料的性能。
2.材料的结构观察除了表面形貌,电子显微镜也可以观察材料内部的结构。
例如,金属材料中的晶粒结构和原子排列可以通过透射电子显微镜来研究。
另外,也可以通过电子衍射得到材料的晶格结构和相变的特征,这对于研究材料的动力学行为非常重要。
3.材料的成分分析利用能量色散谱(EDS)和电子能量损失谱(EELS)等技术,可以确定材料中元素的分布和化学成分。
这对于研究材料的性质和制备工艺有着重要的意义。
4.纳米材料的研究电子显微镜在纳米科学和纳米技术中也有着广泛的应用。
如通过高分辨率的透射电子显微镜可以观察到纳米材料的内部结构和缺陷,这对于纳米材料的制备和性能研究有很大的帮助。
三、未来电子显微镜技术的发展趋势电子显微镜技术发展已经有了很长的历史,未来电子显微镜技术会呈现以下趋势:1. 进一步提高分辨率和灵敏度已经有很多新型电子显微镜被研制出来,这些电子显微镜可以进一步提高分辨率和灵敏度,例如全场发射电子显微镜(FESEM)和新一代透射电子显微镜(TEM)等。
第24卷 第2期 吉 林 化 工 学 院 学 报Vol .24No .2 2007年4月JOURNAL OF J I L I N I N STI T UTE OF CHE M I C AL TECHNOLOGYApr . 2007收稿日期:2007-03-02作者简介:朱 琳(1966-),女,吉林九台人,吉林化工学院工程师,主要从事分析化学及仪器分析方面的研究. 文章编号:100722853(2007)022*******扫描电子显微镜及其在材料科学中的应用朱 琳(吉林化工学院分析中心,吉林吉林132022)摘要:介绍了扫描电子显微镜的工作原理、结构特点及其发展,阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应用.关键词:扫描电子;微镜;材料;应用中图分类号:T N 16 文献标识码:B 二十世纪60年代以来,出现了扫描电子显微镜(SE M )技术,这样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃.依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法,扫描电子显微镜(SE M )迅速成为一种不可缺少的工具,并且广泛应用于科学研究和工程实践中.近年来,随着现代科学技术的不断发展,相继开发了环境扫描电子显微镜(ESE M )、扫描隧道显微镜(SE M )、原子力显微镜(AF M )等其它一些新的电子显微技术.这些技术的出现,显示了电子显微技术近年来自身得到了巨大的发展,尤其是大大扩展了电子显微技术的使用范围和应用领域.在材料科学中的应用使材料科学研究得到了快速发展,取得了许多新的研究成果.1 扫描电子显微镜原理扫描电镜(Scanning Electr on M icr oscope ),简写为SE M,是一个复杂的系统,浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术.扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束.在试样表面进行扫描,激发出各种信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,以便对试样表面进行分析.入射电子与试样相互作用产生如图1所示的信息种类.这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变(这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等),是将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号,再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度,就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图.如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号,就可以由计算机做进一步的处理和存储.扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察,因而在设计上突出了景深效果,一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面.图1 电子束探针照射试样产生的各种信息扫描电子显微镜(SE M )中的各种信号及其功能如表1所示.表1 扫描电镜中主要信号及其功能收集信号类别功 能二次电子形貌观察背散射电子成分分析特征X 射线成分分析俄歇电子成分分析扫描电镜可做如下观察:(1)试样表面的凹凸和形状;(2)试样表面的组成分布;(3)可测量试样晶体的晶向及晶格常数;(4)发光性样品的结构缺陷,杂质的检测及生物抗体的研究;(5)电位分布;(6)观察半导体器件结构部分的动作状态;(7)强磁性体的磁区观察等.传统扫描电镜的主要结构如图2所示.[1~8]图2 传统扫描电镜的主体结构扫描电子显微镜有如下七种分类方法:(1)按照电子枪种类分:钨丝枪、六硼化镧、场发射电子枪;(2)按照样品室的真空度分:高真空模式、低真空模式、环境模式;(3)按照真空泵分:油扩散泵、分子泵;(4)按照自动化程度分:自动、手动;(5)按照操作方式分:旋钮操作、鼠标操作;(6)按照电器控制系统分:模拟控制、数字控制;(7)按照图像显示系统分:模拟显像、数字显像.2 扫描电镜的发展扫描电镜的设计思想早在1935年便已提出,1942年在实验室制成第一台扫描电镜,但因受各种技术条件的限制,进展一直很慢.1965年,在各项基础技术有了很大进展的前提下才在英国诞生了第一台实用化的商品仪器.此后,荷兰、美国、西德也相继研制出各种型号的扫描电镜,日本二战后在美国的支持下生产出扫描电镜,中国则在20世纪70年代生产出自己的扫描电镜.前期近20年,扫描电镜主要是在提高分辨率方面取得了较大进展.80年代末期,各厂家的扫描电镜的二次电子像分辨率均已达到4.5n m.在提高分辨率方面各厂家主要采取了如下措施:(1)降低透镜球像差系数,以获得小束斑;(2)增强照明源即提高电子枪亮度(如采用La B6或场发射电子枪);(3)提高真空度和检测系统的接收效率;(4)尽可能减小外界振动干扰.目前,采用钨灯丝电子枪扫描电镜的分辨率最高可以达到3.0n m;采用场发射电子枪扫描电镜的分辨率可达1n m.到20世纪90年代中期,各厂家又相继采用计算机技术,实现了计算机控制和信息处理.2.1 场发射扫描电镜采用场发射电子枪代替普通钨灯丝电子枪,这项技术从1968年就已开始应用,这项技术大大提高了二次电子像分辨率;近几年来,各厂家采用多级真空系统(机械泵+分子泵+离子泵),提高了真空度,真空度可达10~7Pa;同时,采用磁悬浮技术,噪音振动大为降低;灯丝寿命也有增加.场发射扫描电镜的特点是二次电子像分辨率高,可达到1n m .如果采用低加速电压技术,在T V 状态下背散射电子(BSE )成像良好,对于未喷涂非导电样品也可得到高倍像.所以,场发射扫描电镜将对半导体器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的发展起到很大的作用[9].2.2 环境扫描电镜(ESE M )低真空扫描电镜样品室最高低真空压力为400Pa,现在有厂家使用专利技术,可使样品室的低真空压力达到2600Pa ,也就是样品室可容纳分子更多,在这种状态下,可配置水瓶向样品室输送水蒸气或输送混合气体,若跟高温或低温样品台联合使用则可模拟样品的周围环境,结合扫描电镜观察,可得到环境条件下试样的变化情况.环扫实现较高的低真空,其核心技术就是采用两级压差光栅和气体二次电子探测器,还有一些其它相关技术也相继得到完善.它是使用1个分子泵和2个机械泵,2个压差(压力限制)光栅将主体分成3个抽气区,镜筒处于高真空,样品周围为环境状态,样品室和镜筒之间存在一个缓冲过渡状态.使用时,高真空、低真空和环境3个模式可根据情况任意选择,并且在3种情况下都配有二次电子探测器,都能达到3.5n m 的二次电子图像分辨率.ESE M 的特点是:(1)非导电材料不需喷镀导电膜,可直接观察,分析简便迅速,不破坏原始形貌;(2)可保证样品在100%湿度下观察,即可28 吉 林 化 工 学 院 学 报 2007年 进行含油含水样品的观察,能够观察液体在样品表面的蒸发和凝结以及化学腐蚀行为;(3)可进行样品热模拟及力学模拟的动态变化实验研究,也可以研究微注入液体与样品的相互作用等[10~15].因为这些过程中有大量气体释放,只能在环扫状态下进行观察.环境扫描电镜技术拓展了电子显微的研究领域.3 扫描电镜在材料研究中的应用3.1 材料的组织形貌观察材料剖面的特征、零件内部的结构及损伤的形貌,都可以借助扫描电镜来判断和分析.反射式的光学显微镜直接观察大块试样很方便,但其分辨率、放大倍数和景深都比较低.而扫描电子显微镜的样品制备简单,可以实现试样从低倍到高倍的定位分析,在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动,还能够根据观察需要进行空间转动,以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析;扫描电子显微图像因真实、清晰,并富有立体感,在金属断口(图4)和显微组织三维形态(如图3)的观察研究方面获得了广泛地应用[16~20].图3 用S E M观察集成电路芯片的剖面多层结构图图4 用SE M 观察环氧树脂断口图3.2 镀层表面形貌分析和深度检测金属材料零件在使用过程中不可避免地会遭受环境的侵蚀,容易发生腐蚀现象.为保护母材,成品件,常常需要进行诸如磷化、达克罗等表面防腐处理.有时为利于机械加工,在工序之间也进行镀膜处理.由于镀膜的表面形貌和深度对使用性能具有重要影响,所以常常被作为研究的技术指标.镀膜的深度很薄,由于光学显微镜放大倍数的局限性,使用金相方法检测镀膜的深度和镀层与母材的结合情况比较困难,而扫描电镜却可以很容易完成.使用扫描电镜观察分析镀层表面形貌是方便、易行的最有效的方法,样品无需制备,只需直接放入样品室内即可放大观察.3.3 微区化学成分分析在样品的处理过程中,有时需要提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料,以便能够更全面、客观地进行判断分析.为此,相继出现了扫描电子显微镜—电子探针多种分析功能的组合型仪器.扫描电子显微镜如配有X 射线能谱(E DS )和X 射线波谱成分分析等电子探针附件,可分析样品微区的化学成分等信息.材料内部的夹杂物等,由于它们的体积细小,因此,无法采用常规的化学方法进行定位鉴定.扫描电镜可以提供重要的线索和数据.工程材料失效分析常用的电子探针的基本工作方式为:(1)对样品表面选定微区作定点的全谱扫描定性;(2)电子束沿样品表面选定的直线轨迹作所含元素浓度的线扫描分析;(3)电子束在样品表面作面扫描,以特定元素的X 射线讯号调制阴极射线管荧光屏亮度,给出该元素浓度分布的扫描图像.一般而言,常用的X 射线能谱仪能检测到的成分含量下限为0.1%(质量分数).可以应用在判定合金中析出相或固溶体的组成、测定金属及合金中各种元素的偏析、研究电镀等工艺过程形成的异种金属的结合状态、研究摩擦和磨损过程中的金属转移现象以及失效件表面的析出物或腐蚀产物的鉴别等方面.3.4 显微组织及超微尺寸材料的研究钢铁材料中诸如回火托氏体、下贝氏体等显微组织非常细密,用光学显微镜难以观察组织的细节和特征.在进行材料、工艺试验时,如果出现这类组织,可以将制备好的金相试样深腐蚀后,在扫描电镜中鉴别.下贝氏体与高碳马氏体组织在光学显微镜下的形态均呈针状,且前者的性能优于后者.但由于光学显微镜的分辨率较低,无法显示其组织细节,故不能区分.电子显微镜却可以通38 第2期朱 琳:扫描电子显微镜及其在材料科学中的应用 过对针状组织细节的观察实现对这种相似组织的鉴别.在电子显微镜下(SE M),可清楚地观察到针叶下贝氏体是有铁素体和其内呈方向分布的碳化物组成.纳米材料是纳米科学技术最基本的组成部分.现在可以用物理、化学及生物学的方法制备出只有几个纳米的“颗粒”.由于纳米材料表面上的原子只受到来自内部一侧的原子的作用,十分活泼,所以使用纳米金属颗粒粉作催化剂,可加快化学反应过程.纳米材料的应用非常广泛,比如通常陶瓷材料具有高硬度、耐磨、抗腐蚀等优点,但又具有脆性和难以加工等缺点,纳米陶瓷在一定的程度上却可增加韧性,改善脆性.复合纳米固体材料亦是一个重要的应用领域.例如含有20%超微钴颗粒的金属陶瓷是火箭喷气口的耐高温材料;金属铝中含进少量的陶瓷超微颗粒,可制成重量轻、强度高、韧性好、耐热性强的新型结构材料[21~29].纳米材料的一切独特性能主要源于它的超微尺寸,因此必须首先切确地知道其尺寸,否则对纳米材料的研究及应用便失去了基础.目前该领域的检测手段和表征方法可以使用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜(ST M)、原子力显微镜(AF M)等技术[8],但高分辨率的扫描电镜(SE M)在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检测方面因具有简便、可操作性强的优势,也被大量采用.4 结 论扫描电子显微镜在材料的分析和研究方面应用十分广泛,主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等.随着材料科学和高科技的迅速发展,这样也迫使检测技术水平不断提高.目前,高温样品台、动态拉伸台、能谱仪和扫描电镜的组合,这样扫描电镜在得到较好的试样形貌像的前提下,同时得到成分信息和晶体学的信息,使得扫描电镜必将在材料工艺研究和品种开发等方面发挥更大的作用.参考文献:[1] 泉美治小川雅F 器分析のてびき[M].日本:二本化学同人編集部,1985,76-97.[2] 干蜀毅.常规扫描电子显微镜的特点与发展[J].分析仪器,2000,(1):34-36.[3] 李占双景晓燕.近代分析测试技术[M].哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2005,158-192.[4] Egger M d.The devel opment of conf ocal m icr oscopy[J].TI N S,1989,(12):11-12.[5] 霍霞.激光共聚焦显微镜与光学显微镜之比较[J]..激光生物学报,240(1):76-78.[6] 石德珂.材料科学基础[M].北京:机械工业出版社,1999,178-213.[7] 黄惠忠.表面分析仪器与技术进展之四———扫描探针显微术[J].国外分析仪器技术与应用,1999,(1):13-16.[8] 黄惠忠.表面分析仪器和技术进展2ST M[J].国外分析仪器,1996,(3):23-26.[9] 蒋建国.电子显微技术的现状与发展2ST M[J].扬州教育学院学报,2003,(9):14-16.[10]NagorniM,Hell S W.4Pi2confocal m icr oscopy p r ovidesthree2di m ensi onal i m ages of the m icr otubule net w orkwith1002t o150n m res oluti on[J],J,Struct.B i ol.,1998,123(5)236-247.[11]B rakenhoff G.J.,van der Boort HT M,van Sp r onsenEa,et al.32di m ensi onal i m aging of bi ol ogical structuresby high res oluti on conf ocal scanninglaser m icr oscopy[J].Scan M icr oscope,1988,(2):33-40.[12]W ils on T,Tan JB.Three2di m ensi onal i m age reconstruc2ti on in conventi onal and conf ocal m icr oscopes[J].B i oi m aging,1993,(1):176-184.[13]W ade MH.Fluorescence Quantificati on in living cells[J].B i omed Tech.,1992,87(2):43-48.[14]B rakenhoff GJ,B l om P.,Barends P.Conf ocal scanninglight m icr oscopy with high aperture i m mersi on lenses[J].J M icr osc.,1979,117:219-232.[15]谈育煦.材料研究方法[M].北京:机械工业出版社,2004,59-105.[16]Booth MJ,Hell S W.Continuous wave excitati on t w o2phot on fluorescence m icr oscopy exe mp lified with the647n m A rkrlaser line[J].J M icr osc,1998,90(1):298-304.[17]陈世朴.金属电子显微分析[M].北京:机械工业出版社,1992,131-167.[18]W illia m s R M,Pist on DW,W ebb WW,et al.22phot onmolecular excitati on p r ovides intrinsic32di m ensi onalres oluti on for laser2based m icr oscopyand m icr ophot o2che m istry[J].F ASE B J,1994,(8):804-813. [19]张志琨,崔作林.纳米技术与纳米材料[M]北京:国防工业出版社,2000,37-78.(下转第92页)Co m par ison theore m s for second order neutra lnon li n ear d i fferen ti a l equa ti on sHOU Chen2m in,HE Yan2sheng(Dep t.of mathe matics,College of Science,Yanbian University,Yanji133002,China)Abstract:So me differential inequalities are established,and the oscillati on for the second order neutral non2 linear differential equati ons is discussed.The results generalize s ome comparis on theore m in reference.Key words:neutral differential equati ons;oscillati on;differential inequality;comparis on theore m(上接第84页)参考文献:[20]C.R.Books and B.L.Mcgill.The App licati on of Scan2ning Electr on M icr oscopy t o Fract ography[J].M icr o2structural Characterizati on,1994,(33):195-243. [21]M insky M.Memoir on inventing the conf ocal scanningm icr oscope[J].Scanning,1988,(10):128-138. [22]W ils on T,Tan JB.Three2di m ensi onal i m age reconstruc2ti on in conventi onal and confocal m icr oscopes[J].B i oi m aging,1993,(1):176-184.[23]W illia m s D.A.,Quantitative intracellular calciu m i m a2ging with laser scaning conf ocal m icr oscopy[J].Sci2ence,1990,248:73-76.[24]张春阳,李艳平,马辉,等.双光子及共聚焦激光扫描显微镜同时多参数观察三尖杉酯碱诱导的HL260细胞凋亡[J].中国科学(C辑),34(3):179. [25]张立德,牟季美.纳米材料学[M].沈阳:辽宁科学技术出版社,1994,45-98.[26]W ade MH.Fluorescence Quantificati on in living cells[J].B i omed Tech.,1992,87:43-48.[27]D ias p r o A,Annunziata S,Rai m ondo M,et al.A single2p inhole conf ocal laser scanning m icr oscope f or32D i m2aging of bi ostructures[J].I EEEEngM ed B i ol.,1999,18:106-110.[28]DavinMS.Confocal scanning op ticalm icr oscopy and itsapp licati ons f or bi ol ogical s peci m ens[J].J Cell Sci2ence,1989,94:175-182.[29]Stelzer EHK,L idek S,A lbrecht S,et al.A ne w t ool forthe observati on of e mbryos and other large s peci m ens:conf ocal theta fluorescence m icr os opy[J].J M icr osc.,1995,179:1-10.SE M and its appli ca ti on i n ma ter i a l sc i enceZHU L in(Center of Analysis and M easure ment,J ilin I nstitute of Che m ical Technol ogy,J ilin City132022,China)Abstract:The p rinci p le,structure and devel opment of the Scanning Electr on M icr oscope(SE M)are intr o2 duced in this thesis.The app licati on of SE M in the field of material science is discussed.Key words:Scanning Electr on M icr oscope(SE M);material;app licati on。