作业指导书编 制
日 期日 期日 期批 准文件编号
审 核工序名称静电防护通用工艺
版本号1、人体静电对静电敏感元件的危害：
人体所感应的静电电压一般在2-4KV 以上，通常是人体的轻微动作或与绝缘物的摩擦而引起的。也就是说，倘若我们日常生活中所带的静电电位与IC 接触，那么几乎所有的IC 都将被破坏，这种危险存在于任何没有采取静电防护措施的工作环境中。静电对IC 的破坏不仅体现在电子元器件的制作工序当中，而且存在于IC 的运输、使用等过程中，因此承载IC 的容器应用专门的静电容器，任何人在没有采取有效的静电防护前提下，均禁止与IC 的直接接触。
2、防静电的目的：
由于人体的轻微工作或与绝缘物的摩擦会产生静电，因此当人体接触电子元件时会产生放电现象。有时人体与电子元件之间的电位差（电压）在人体与电子元件接触时，就会产生很大的瞬时电流，以致损坏电子元件。在生产中工人与电子元件的接触较多，容易引起电子元件的损坏，而且大多损害是隐性的，问题到了用户那里才会暴露出来。产生大量的不良品，造成大量的人力、物力的浪费，严重影响产品的质量，采用有效的防静电措施便可避免该问题的产生。
3、防静电的基本原则：
抑制静电荷的积聚，迅速、安全、有效的消除已产生的静电荷。
4、定义：
ESD ：静电放电electrostatic discharge ：两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起的两物体间的静电电荷的转移。
ESDS ：静电放电敏感产品electrostatic discharge items ：对ESD 损害敏感的零部件或组件。
EPA ：防静电工作区electrostatic discharge protected area 。
EBP ：接地连接点earth bonding point 。
5、生产场地防静电规定：
5.1、地极：防静电系统必须有独立可靠的接地地极，接地电阻应小于10Ω。
5.2、防静电接地线：不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。接地主干线截面积应不小于10 mm2，支干线截面积不小于6mm2，设备与工作台的接地线应采用截面积不小于1.25 mm2的多股塑料导线。接地主干线的连接方式应采用纤焊。
5.3、车间环境：地面使用防静电油漆或经特殊处理的水磨石地面，如敷设地网，渗碳或对地面喷涂抗静电剂。车间墙面可使用抗静电墙纸，一般可使用石灰涂料墙面，禁止使用普通墙纸和塑料墙纸。天花板材料应选用抗静电型材料制品，一般可使用石膏板制品，禁止使用塑料制品。
5.4、防静电工作台：由工作台、防静电桌垫、腕带接头和接地线等组成。防静电工作台上不允许堆放塑料盒、橡皮、纸板、玻璃等易产生静电的杂物，纸质文件资料应放入防静电文件袋内。
5.5、防静电腕带：固定岗位的人员均须带防静电腕带，腕带与人体皮肤有良好接触，腕带系统对地电阻值应在106—108 Ω范围内。
5.6、防静电工作服：进入静电工作区的人员和接触器件的人员均应穿防静电工作服，工作服应符合标准。
5.7、防静电工作鞋：进入工作区的人员必须穿防静电工作鞋，防静电工作鞋应符合标准。
5.8、防静电手套、指套：非固定岗位的人员可以不带防静电腕带但必须带防静电手套、指套，防静电手套、指套应符合标准。
5.9、防静电容器：生产场所的元件盒，托盘，周转箱，货架，推车等应具备防静电作用，不允许使用金属和普通容器。
5.10、工器具：生产场所使用的组装夹具、检测夹具、焊接工具、仪器、设备等都应有良好的防静电接地线。
5.11、下面表1引自防静电工作区技术要求。GJB3007-97