机械原理自测题 （
1、一对相啮合的标准齿轮，小轮的齿根厚度比大轮的齿根厚度大
（ ）
2、在曲柄滑块机构中，只要原动件是滑块，就必然有死点存在。
（ ）
3、 两构件之间以点、线接触所组成的平面运动副称为高副，它产生两个
约束，而保留一个自由度。
（ ） 4、 一对直齿轮啮合传动，模数越大，重合度也越大。
（ ） 5 、平面四杆机构有无急回特性取决于极位夹角是否大于零。
（ ） 6、对于刚性转子，已满足动平衡者，也必满足静平衡。 （ ） 7 、滚子从动件盘形凸轮的基圆半径和压力角应在凸轮的理论轮廓上度
量。 （）
8、 在考虑摩擦的转动副中，当匀速转动时，总反力作用线永远切于摩擦
圆。 （ ）
9、 当机构的自由度数大于零，且等于原动件数，则该机构具有确定的相
对运动。
（ ） 10、对于单个标准齿轮来说，节圆半径就等于分度圆半径。
（ ）
二、填空题； （10分）
1、 机器产生速度波动的类型有（ ）和（
2、 铰链四杆机构的基本型式有（
一、判断题
（正确的填写“ T ”，错误的填写“ F ”） （20 分）
）两种。
）三种
3、从效率观点分析，机械自锁的条件是（
4、凸轮的形状是由（）决定的。
5当两机构组成转动副时，其瞬心与（）重合。
三、选择题（10分）
1、为了减小机器运转中周期性速度波动的程度，应在机器中安装
（）。
A）调速器； B ）飞轮；C ）变速装置。
2、重合度￡ a = 1.6 表示在实际啮合线上有（）长度属于双齿啮合区。
A） 60% ; B ）40% ; C ）75%。
3、渐开线齿轮形状完全取决于（）。
A）压力角；B ）齿数；C ）基圆半径。
3、在从动件运动规律不变的情况下，对于直动从动件盘形凸轮机构，若缩小
凸轮的基圆半径，贝S压力角（）。
A）保持不变； B ）增大；C ）减小。
5、在计算机构自由度时，若计入虚约束，则机构自由度数（）。
A）增多； B ）减小；C ）不变。
四、计算作图题（共60分）
（注：凡图解题均需简明写出作图步骤，直接在试卷上作图，保留所有作图线。）
1、计算下列机构的自由度（10分）
2、瞬心法图解图4-2所示凸轮机构从动件的线速度。（10分）
3、由图4-3所示直动盘形凸轮的轮廓曲线，在图上画出此凸轮的基圆半径
r b、各运动角即升程角①、远休止角①s、回程角①’、和①S近休止角及从动件升程h。（10分）
4、已知如图4-4所示轮系各齿轮的齿数乙二60、Z2 = 20、Z = 2
5、
Z3 = 15、n i = 50转/分、n s= 50转/分，方向如图示，求n H的大小和方向。
（10 分）
5、如图4-5所示，已知机架AD = 50 mm摇杆CD离机架最近极限位置的夹角B = 45 ° , CD = 40 mm 该机构为曲柄摇杆机构，K = 1.4 。求曲柄AB和连杆BC的长度。（10分）
6、标准正常齿圆柱齿轮与一齿形角为20°的标准齿条无侧隙啮合，已知
乙二20 , m = 6 mm。用图解法求实际啮合线长度及重合度。
（10 分）
机械原理自测题（二）
一、判断题。（正确的填写“ T”，错误的填写“ F”）（20分）
1、一对相啮合的标准齿轮，小轮的齿根厚度比大轮的齿根厚度大。
（F ）
2、在曲柄滑块机构中，只要原动件是滑块，就必然有死点存在。
（T ）
3、两构件之间以点、线接触所组成的平面运动副称为高副，它产生两个
约束，而保留一个自由度。（F ）
4、一对直齿轮啮合传动，模数越大，重合度也越大。（F ）
5 、平面四杆机构有无急回特性取决于极位夹角是否大于零。（T ）
6、对于刚性转子，已满足动平衡者，也必满足静平衡。（T）
7、滚子从动件盘形凸轮的基圆半径和压力角应在凸轮的理论轮廓上度量。
（T ）
8、在考虑摩擦的转动副中，当匀速转动时，总反力作用线永远切于摩擦
9、当机构的自由度数大于零，且等于原动件数，则该机构具有确定的相
对运动。（T ）
10、对于单个标准齿轮来说，节圆半径就等于分度圆半径。（F ）
二、填空题；（10分）
1、机器产生速度波动的类型有（周期性）和（非周期性）两种。
2、铰链四杆机构的基本型式有（曲柄摇杆机构、双曲柄机构、双摇杆机构）三种。
3、从效率观点分析，机械自锁的条件是（效率小于零）。
4、凸轮的形状是由（从动件运动规律和基圆半径）决定的。
5当两机构组成转动副时，其瞬心与（转动副中心）重合。
三、选择题（10分）
1、为了减小机器运转中周期性速度波动的程度，应在机器中安装
（B ）。
A）调速器；B）飞轮；C ）变速装置。
2、重合度e a = 1.6 表示在实际啮合线上有（C ）长度属于双齿啮合区。
A） 60% ; B ）40% ; C）75%。
3、渐开线齿轮形状完全取决于（C ）。
A）压力角；B ）齿数；C ）基圆半径。
3、在从动件运动规律不变的情况下，对于直动从动件盘形凸轮机构，若缩小
凸轮的基圆半径，则压力角（B ）。
A）保持不变；B）增大；C ）减小。
5、在计算机构自由度时，若计入虚约束，则机构自由度数（B ）。
A）增多；
四、计算作图题B）减小；C ）不变（共60分）
机械原理复习题 一、机构组成 1、机器中各运动单元称为_________。 A 、零件B、构件 C 、机件D、部件 2、组成机器的制造单元称为_________。 A 、零件B、构件 C 、机件D、部件 3、机构中的构件是由一个或多个零件所组成，这些零件间产生相对运动。 A、可以 B、不能 C、不一定能 4、机构中只有一个。 A、闭式运动链 B、机架 C、从动件 D、原动件 5、通过点、线接触构成的平面运动副称为。 A、转动副 B、移动副 C、高副 6、通过面接触构成的平面运动副称为。 A、低副 B、高副 C、移动副 7、用简单的线条和规定的符号代表构件和运动副严格按照比例所绘制的机构图形称为__________。 A 、机构运动简图 B 、机构示意图C、运动线图 8、在机构中，某些不影响机构运动传递的重复部分所带入的约束为_______。 A、虚约束 B、局部自由度 C、复合铰链 9、基本杆组是自由度等于____________的运动链。 A、0 B、 1 C、原动件数 10、机构运动简图完全能表达原机械具有的运动特性。（） 11、虚约束在计算机构自由度时应除去不计，所以虚约束在机构中没有什么作用。（） 12、虚约束对机构的运动有限制作用。（） 13、在平面内考虑，低副所受的约束数为_________。 14、在平面内考虑，移动副所受的约束数为_________。 15、在平面内考虑，凸轮运动副所受的约束数为_________。 16、一平面机构由两个Ⅱ级杆组和一个Ⅲ级杆组组成，则此机构为_____级机构。 17、一平面机构由三个Ⅱ级杆组和一个Ⅲ级杆组组成，则此机构为_____级机构。 18、曲柄摇杆机构是_____级机构。
（一）注塑机结构分析及其工作原理 0…… 一、注塑机的工作原理 注塑成型机简称注塑机。 注塑成型是利用塑料的热物理性质，把物料从料斗加入料筒中，料筒外由加热圈加热，使物料熔融，在料筒内装有在外动力马达作用下驱动旋转的螺杆，物料在螺杆的作用下，沿着螺槽向前输送并压实，物料在外加热和螺杆剪切的双重作用下逐渐地塑化，熔融和均化，当螺杆旋转时，物料在螺槽摩擦力及剪切力的作用下，把已熔融的物料推到螺杆的头部，与此同时，螺杆在物料的反作用下后退，使螺杆头部形成储料空间，完成塑化过程，然后，螺杆在注射油缸的活塞推力的作用下，以高速、高压，将储料室内的熔融料通过喷嘴注射到模具的型腔中，型腔中的熔料经过保压、冷却、固化定型后，模具在合模机构的作用下，开启模具，并通过顶出装置把定型好的制品从模具顶出落下。 注塑机作业循环流程如图1所示。 图1 注塑机工作程序框图 二、注塑机的分类 按合模部件与注射部件配置的型式有卧式、立式、角式三种 （1）卧式注塑机：卧式注塑机是最常用的类型。其特点是注射总成的中心线与合模总成的中心线同心或一致，并平行于安装地面。它的优点是重心低、工作平稳、模具安装、操作及维修均较方便，模具开档大，占用空间高度小；但占地面积大，大、中、小型机均有广泛应用。 （2）立式注塑机：其特点是合模装置与注射装置的轴线呈一线排列而且与地面垂直。具有占地面积小，模具装拆方便，嵌件安装容易，自料斗落入物料能较均匀地进行塑化，易实现自动化及多台机自动线管理等优点。缺点是顶出制品不易自动脱落，常需人工或其它方法取出，不易实现全自动化操作和大型制品注射；机身高，加料、维修不便。 （3）角式注塑机：注射装置和合模装置的轴线互成垂直排列。根据注射总成中心线与安装基面的相对位置有卧立式、立卧式、平卧式之分：①卧立式，注射总成线与基面平行，而合模总成中心线与基面垂直；②立卧式，注射总成中心线与基面垂直，而合模总成中心线与基面平行。角式注射机的优点是兼备有卧式与立式注射机的优点，特别适用于开设侧浇口非对称几何形状制品的模具。
机械原理填空题复习 1.机构具有确定运动的条件是机构的自由度数等于原动件数目。 2.同一构件上各点的速度多边形必相似于对应点位置组成的多边形。 3.在转子平衡问题中，偏心质量产生的惯性力可以用质经积相对地表示。 4.机械系统的等效力学模型是具有等效转动惯量，其上作用有等效力矩的等效构件。 5.无急回运动的曲柄摇杆机构，极位夹角等于 0 ，行程速比系数等于 1 。 6.平面连杆机构中，同一位置的传动角与压力角之和等于 90 。 7.一个曲柄摇杆机构，极位夹角等于36o，则行程速比系数等于 1.5 。 8.为减小凸轮机构的压力角，应该增大凸轮的基圆半径。 9.凸轮推杆按等加速等减速规律运动时，在运动阶段的前半程作等加速运动，后半程作等减速运动。 10.增大模数，齿轮传动的重合度不变；增多齿数，齿轮传动的重合度增大。 11.平行轴齿轮传动中，外啮合的两齿轮转向相相反，内啮合的两齿轮转向相同。 12.轮系运转时，如果各齿轮轴线的位置相对于机架都不改变，这种轮系是定轴轮系。 13.三个彼此作平面运动的构件共有 3 个速度瞬心，且位于一条直线上。 14.铰链四杆机构中传动角γ为90度，传动效率最大。 15.连杆是不直接和机架相联的构件；平面连杆机构中的运动副均为低副。 16.偏心轮机构是通过扩大转动半径由铰链四杆机构演化而来的。 17.机械发生自锁时，其机械效率小于等于0 。 18.刚性转子的动平衡的条件是偏心质量产生的惯性力和惯性力矩矢量和为0。 19.曲柄摇杆机构中的最小传动角出现在曲柄与机架两次共线的位置时。 20.具有急回特性的曲杆摇杆机构行程速比系数k 大于 1。 21.四杆机构的压力角和传动角互为余角，压力角越大，其传力性能越差。 β的斜齿圆柱齿轮，其当量齿数为 z/cos3β。 22.一个齿数为Z，分度圆螺旋角为 23.设计蜗杆传动时蜗杆的分度圆直径必须取标准值值，且与其模数相匹配。 24.差动轮系是机构自由度等于 2 的周转轮系。 25.平面低副具有 2 个约束， 1 个自由度。 26.两构件组成移动副，则它们的瞬心位置在垂直移动路线的无穷远处。 27.机械的效率公式为η=输出功/输入功=理想驱动力/实际驱动力，当机械发生自锁时其效率为小于等于0。 28.标准直齿轮经过正变位后模数不变，齿厚增加。 29.曲柄摇杆机构出现死点，是以摇杆作主动件，此时机构的转动角等于零。
光 刻 工 艺 一、目的： 按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理： 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 （一）光刻原理图 （一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例： 感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂－－环己酮。 增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程： 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 （二）光刻设备及工具： 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口
1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。 图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。 图（三）光刻工艺流程示意图
第二章 机构的结构分析 一．填空题 1．组成机构的基本要素是 和 。机构具有确定运动的条件是： 。 2．在平面机构中，每一个高副引入 个约束，每一个低副引入 个约束，所以平面机构自由度的 计算公式为F = 。应用该公式时，应注意的事项是： 。 3．机构中各构件都应有确定的运动，但必须满足的条件是： 。 二．综合题 1．根据图示机构，画出去掉了虚约束和局部自由度的等效机构运动简图，并计算机构的自由度。设标有箭头者为原动件，试判断该机构的运动是否确定，为什么？ 2．计算图示机构的自由度。如有复合铰链、局部自由度、虚约束，请指明所在之处。 3．计算图示各机构的自由度。 A D E C H G F I B K 1 2 3 4 56 78 9
4．计算机构的自由度，并进行机构的结构分析，将其基本杆组拆分出来，指出各个基本杆组的级别以及机构的级别。 （a）（b） 5．计算机构的自由度，并分析组成此机构的基本杆组。如果在该机构中改选FG为原动件，试问组成此机构的基本杆组是否发生变化。 6．试验算图示机构的运动是否确定。如机构运动不确定请提出其具有确定运动的修改方案。
（a）（b）
第三章平面机构的运动分析 一、综合题 1、试求图示各机构在图示位置时全部瞬心的位置（用符号ij P直接在图上标出）。 2、已知图示机构的输入角速度ω1,试用瞬心法求机构的输出速度ω3。要求画出相应的瞬心，写出ω3的表达式，并标明方向。
3、在图示的齿轮--连杆组合机构中，试用瞬心法求齿轮1与3的传动比ω1/ω2。 4、在图示的四杆机构中，AB l =60mm, CD l =90mm, AD l =BC l =120mm, 2ω=10rad/s ，试用瞬心法求： （1）当?=165°时，点C 的速度c v ； （2）当?=165°时，构件3的BC 线上速度最小的一点E 的位置及其速度的大小； （3）当 0c v =时，?角之值（有两个解） 。 5、如图为一速度多边形，请标出矢量AB v 、BC v 、CA v 及矢量A v 、B v 、C v 的方向？ 6、已知图示机构各构件的尺寸，构件1以匀角速度ω1转动，机构在图示位置时的速度和加速度多边形如图b)、c) 所示。（1）分别写出其速度与加速度的矢量方程，并分析每个矢量的方向与大小，（2）试在图b)、c) 上分别标出各顶点的符号，以及各边所代表的速度或加速度及其指向。
水性印刷机机械结构及工作原理——课程小结 一、水性印刷机的种类 1、水性印刷机的组成：主要由送纸单元、印刷单元、开槽单元、模切单元、堆叠单元组成。 2、水性印刷机的种类：低档型、中档型、高档型。 二、水性印刷机各部位名称及功能 ◆中档上印带开槽模切机构造原理图 1、工作原理： 此类型机是采用后踢式送纸（或前缘吸附滚轮摩擦方式），利用每个机组单元的带纸压轮传送瓦楞纸板；在纸板传送过程中，纸板的面纸与印刷滚筒上的印版相接触，通过压印辊和印版的压力印刷出图文后，进入压线开槽和模切单元作业，最终成纸箱未接合形状。 2、送纸单元各部位名称及功能： 送纸单元主要由：前、后、左、右挡板，推板，吸风装置，除尘毛刷和上、下送纸胶辊构成。 3、印刷单元各部位名称及功能： 印刷单元主要由：胶辊、网纹辊、印刷辊、底压辊、带纸压轮和输墨装置构成。 4、开槽单元各部位名称及功能： 开槽单元主要由：预压线轮、压线轮和开槽刀轮构成。 5、模切单元各部位名称及功能： 模切单元主要由：模版辊、砧垫辊、修磨装置和带纸压轮构成。 6、堆叠单元各部位名称及功能： 堆叠单元主要由：接纸臂、输送台和收纸台构成。 ◆高档下印带开槽模切机构造原理图 1、工作原理： 此类机型是采用前缘吸附滚轮摩擦方式送纸，利用每个印刷单元的真空吸附系统，将所要生产的瓦楞纸板背面平整的吸附在传送小轮上，在纸板传送过程中，纸板的面纸与印刷滚筒上的印版相接触，通过压印辊和印版的压力印刷出图文后进入干燥单元，干燥单元配有的干燥装置将对纸板表面的水墨进行干燥，最后进入压线开槽和模切单元作业成纸箱未接合形状。 2、送纸单元各部位名称及功能：
送纸单元主要由：前、后、左、右挡板，前缘送纸机构，吸风装置，除尘毛刷和上、下送纸胶辊构成。 3、印刷单元各部位名称及功能： 印刷单元主要由：腔式刮刀（或胶辊）、网纹辊、印刷辊、压印辊、真空吸附机构、传送小轮和输墨装置构成。 4、干燥单元各部位名称及功能： 干燥单元主要由：真空吸附机构、传送小轮和干燥装置（热风装置、红外线装置等）构成。 5、开槽单元各部位名称及功能： 开槽单元主要由：预压线轮、压线轮和开槽刀轮构成。 6、模切单元各部位名称及功能： 模切单元主要由：模版辊、砧垫辊、修磨装置和带纸压轮构成。 7、堆叠单元各部位名称及功能： 堆叠单元主要由：震动接纸臂、输送台和收纸台构成。 三、揭开网纹辊的神秘面纱 1、网纹辊的作用：定量均匀的向印版传递油墨。 2、网纹辊分为“金属网纹辊”和“陶瓷网纹辊”两大类。 3、金属网纹辊的特点： ①制造成本低；②适合印刷普通文字、线条和实地；③加工速度慢，加工精度低；④网墙宽阔，网孔形状一般为菱形；⑤网穴排列角度为45°；⑥网纹辊线数较低；⑦耐磨性差、使用寿命短。 4、陶瓷网纹辊的特点： ①陶瓷层化学稳定性好，辊面耐腐蚀性佳，使用寿命长；②网穴平滑，载墨量大，传墨性好；③蜂巢形网穴排布，且网穴墙壁薄细坚硬，可获得较均匀的水墨墨层，图文色调再现性好；④能加工成高网线数，改善印刷精美度，并可抑制网点扩大现象。 5、网纹辊网穴的形状： 网穴（也称网孔）是指在网纹辊辊体表面上，雕刻出形状一致、分部均匀的细小凹孔。其形状有斜齿形、四棱锥形、六棱锥形、四棱台型和六棱台型等。目前被广泛采用的网穴形状多是六棱台形的。 6、网纹辊网穴结构： ◆单个网穴的结构： 网穴开口：表示网纹辊表面单个细小网孔的宽度； 网穴深度：表示网纹辊表面单个细小网孔的深度； 网墙：表示相邻两个网孔之间的隔离距离。 7、载墨量：网纹辊网穴储存水墨的能力，单位为BCM/in2。 8、传墨量：水墨自网纹辊网穴中转移到印版的能力，单位为BCM/in2。 9、网纹辊的线数与传墨性能的关系：网纹辊的线数是指单位长度里的网线的线数，单位为线/英寸（LPI 或Lin）或线/厘米（LPCM或L/cm）。网纹辊的线数决定着：传墨量的大小；传墨量的均匀性。 10、网纹辊的日常保养技巧 ◆要注重的细节 ①保持设备的清洁干净；②使用干净的水性油墨；③保证擦版布的干净；④注意原纸的质量；⑤严禁对网纹辊进行刮、碰、撞。 ◆做好网纹辊的清洁工作 1）、日常清洗 ①要有足够的清洗时间；②用铜刷（金属网纹辊）或钢刷（陶瓷网纹辊）进行清洗；③用洗机水或专用网纹辊清洗液清洗。 2）、定期清洗 ①使用网纹辊专用清洗液进行清洗；②低压喷射清洗法；③超声波清洗法；④化学溶剂浸泡法。3）、其他方面 ①使用干净的水清洗网纹辊；②定期清洁夹持刮刀的金属板；③防止网纹辊靠近热源。 11、网纹辊的检查方法：①外观检查②用放大镜检查网穴
复习题 一、填空题 f v ，则螺旋副发生自锁的条 1. 若螺纹的升角为，接触面的当量摩擦系数为 件是。 2. ．在设计滚子从动件盘状凸轮廓线时，若发现工作廓线有变尖现象，则在尺寸参数改变上应采取的措施是。 3. ．对心曲柄滑块机构以曲柄为原动件时，其最大传动角等于。 4. ．曲柄滑块机构是改变曲柄摇杆机构中的而形成的。在曲柄滑块机构中改变而形成偏心轮机构。在曲柄滑块机构中以而得到回转导杆机构。 5. ．当原动件作等速转动时，为了使从动件获得间歇的转动，则可以采用 机构。(写出三种机构名称。) 6. ．符合静平衡条件的回转构件，其质心位置在。静不平衡的回转构件，由于重力矩的作用，必定在位置静止，由此 可确定应加上或去除平衡质量的方向。 7. ．斜齿轮面上的参数是标准值，而斜齿轮尺寸计算是针对面进行的。 8. ．为了减少飞轮的质量和尺寸，应将飞轮安装在轴上。 9. ．蜗轮的螺旋角应蜗杆的升角，且它们的旋向应该。 10 ．运动链成为机构的条件是。 11 ．用飞轮进行调速时，若其它条件不变，则要求的速度不均匀系数越小，飞 轮的转动惯量将越，在满足同样的速度不均匀系数条件下，为了减小飞轮的转 动惯量，应将飞轮安装在轴上。 12 ．能实现间歇运动的机构有、、。 13 ．图a）、b）所示直动平底从动件盘形凸轮机构的压力角数值分别为 和。
14 ．在平面机构中，一个低副引入个约束，而一个高副引入个约束。 15 ．齿轮渐开线的形状取决于。 16 ．斜齿轮的正确啮合条件是。 17 ．移动副的自锁条件是。 18 ．已知一铰链四杆机构ABCD 中，已知l AB 30 mm ，l BC 80 mm ， l CD 130 mm ，l AD 90 mm ，构件AB 为原动件，且AD 为机架，BC 为AD 的对边，那么，此机构为机构。 19 ．对于绕固定轴回转的构件，可以采用的方法使构件上所 有质量的惯性力形成平衡力系，达到回转构件的平衡。若机构中存在作往复运动或 平面复合运动的构件应采用方法，方能使作用于机架上的总 惯性力得到平衡。 20 ．直动从动件盘形凸轮的轮廓形状是由决定的。 二、试计算图示机构的自由度，如有复合铰链、局部自由度和虚约束，需明确 指出。图中画箭头的构件为原动件，DE 与FG 平行且相等。 L 三、一对心直动尖顶推杆偏心圆凸轮机构，O 为凸轮几何中心，O1为凸轮转动 中心，O 1O=0.5 OA，圆盘半径R=60 mm 。 1.．根据图 a 及上述条件确定基圆半径r0、行程h，C 点压 力角C和D 点接触 时的位移S D 及压力角D。
《机械原理》复习题 一.填空题: 1两构件通过点、线接触而构成的运动副称为( 高副 )；两构件通过面接触构成的运动副称为( 低副 )。 2在其它条件相同时，槽面摩擦大于平面摩擦，其原因是( 正压力分布不均 )。 3设螺纹的升角为λ，接触面的当量摩擦系数为（ fv ）,则螺旋副自锁的条件为（ v arctgf ≤λ ）。 4 度 ）。 5 成的。块机构中以( 6 ( 高速 )轴( 模数和压力角应分 ); 8一对斜齿圆柱齿轮传动的重合度由( 端面重合度，轴向重合度 )两部分组成,斜齿轮的当量齿轮是指( 以法向压力角为压力角，以法向模数为模数作的 )的直齿轮; 9、3个彼此作平面平行运动的构件间共有( 3 )个速度瞬心,这几个瞬心必定位于( 同一条直线上 )上; 10、含有6个构件的平面机构,其速度瞬心共有( 15 )个,其中有
( 5 )个是绝对瞬心,有( 10 )个是相对瞬心; 11周期性速度波动和非周期性速度波动的调节方法分别为( 安装飞轮 )和( 使用电动机，使等效的驱动力矩和等效阻力矩彼此相互适应 ); 12 在凸轮机构推杆的四种常用运动规律中( 一次多项式) 运动规律有刚性冲击, ( 二次多项式 ) 运动规律有柔性冲击; ( 正弦 ) 运动规律无冲击; 13 凸轮的基圆半径是指( 凸轮回转轴心 )至 14 15 而（基）圆及（分 2，则称其为（差动轮系），若自由度为1，则称其为（行星轮系）。 18 一对心曲柄滑块机构中，若改为以曲柄为机架，则将演化为（回转导杆）机构。 19 在平面四杆机构中，能实现急回运动的机构有（曲柄摇杆机构）、（双曲柄机构）等。 20 蜗轮蜗杆的正确啮合条件是（蜗杆的轴面模数和压力角分别等于
投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，
欢迎阅读 机械原理复习题 第2章机构的结构分析 1.组成机构的要素是构件和运动副；构件是机构中的运动单元体。 2.具有若干个构件的入为组合体、各构件间具有确定的相对运动、完成有用功或实现能量转换等三个特征的构件组合体称为机器。 3.机器是由原动机、传动部分、工作机所组成的。 机构中的复合铰链是指由三个或三个以上构件组成同一回转轴线的转动副；局部自由度是指不影响输入与输出件运动关系的自由度；虚约束是指在特定的几何条件下，机构中不能起独立限制运动作用的约束。 18.划分机构杆组时应先按低的杆组级别考虑，机构级别按杆组中的最高级别确定。 19.机构运动简图是用简单的线条和规定的符号代表构件和运动副，并按一定比例绘制各运动副的相对位置，因而能说明机构各构件间相对运动关系的简单图形。
20.在图示平面运动链中，若构件1为机架，构件5为原动件，则成为Ⅲ级机构；若以构件2为机架，3为原动件，则成为Ⅱ级机构；若以构件4为机架，5为原动件，则成为Ⅳ级机构。 速度瞬心是两刚体上瞬时相对速度_ 10.铰链四杆机构共有6个速度瞬心，其中3个是绝对瞬心，3个是相对瞬心。 11.作相对运动的3个构件的3个瞬心必位于一直线上。 12.在摆动导杆机构中，当导杆和滑块的相对运动为移动，牵连运动为转动时，两构件的重合点之间将有哥氏加速度。哥氏加速度的大小为2ωv r；方向与将v r沿ω转向转90?的方向一致。 第4章平面机构的力分析
1.对机构进行力分析的目的是：(1)确定各运动副的约束反力；(2)为了使原动件按给定规律运动而应加于机械中的平衡力(或力矩)。 2.所谓静力分析是指不计入惯性力的一种力分析方法，它一般适用于低速机械或对高速机械进行辅助计算情况。 3.所谓动态静力分析是指将惯性力视为外力加到构件上进行静力平衡计算的一种力分析方法，它一般适用于高速机械情况。 4.绕通过质心并垂直于运动平面的轴线作等速转动的平面运动构件，其惯性力P I=0，在运动平面中的惯性力偶矩M I= 0 。 f 满足动平衡条件方能平稳地运转。如不平衡，必须至少在二个校正 平衡质量，方能获得平衡。 3.只使刚性转子的惯性力得到平衡称静平衡，此时只需在一个平衡平面中增减平衡质量；使惯性力和惯性力偶矩同时达到平衡称动平衡，此时至少要在二个选定的平衡平面中增减平衡质量，方能解决转子的不平衡问题。 4.刚性转子静平衡的力学条件是质径积的向量和等于零，而动平衡的力学条件是 质径积向量和等于零，离心力引起的合力矩等于零。 5.符合静平衡条件的回转构件，其质心位置在回转轴线上。静不平衡的回转构件，由于重力矩的作用，必定在质心在最低处位置静止，由此可确定应加上或去除平衡质量的方向。
十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。
微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如，如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版，这样也许仍 然是经济的。不过，在大 部分生产应用中，加工和 机器的产率是很重要的， 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射
一、填空题 1．机构中的速度瞬心是两构件上（）为零的重合点，它用于平面机构（）分析。 2．下列机构中，若给定各杆长度，以最长杆为连架杆时，第一组为 （）机构；第二组为（）机构。 b a c (1) a = 250 b = 200 c = 80 d = 100； (2) a = 90 b = 200 c = 210 d = 100 。 3.机构和零件不同，构件是（），而零件是（）。 4．凸轮的基圆半径越小，则机构尺寸（）但过于小的基圆半径会导致压力角（）。 5．用齿条型刀具范成法切制渐开线齿轮时，为使标准齿轮不发生根切，应使刀具的（）。 6．当要求凸轮机构从动件的运动没有冲击时，应选用（）规律。 7．间歇凸轮机构是将（）转化为（）的运动。 8．刚性转子的平衡中，当转子的质量分布不在一个平面内时，应采用 （）方法平衡。其平衡条件为（）。 9．机械的等效动力学模型的建立，其等效原则是：等效构件所具有的动能应（）。等效力、等效力矩所作的功或瞬时功率应（）。 10．平面机构结构分析中，基本杆组的结构公式是（）。而动态静力分析中，静定条件是（）。 一、选择题 1．渐开线齿轮齿条啮合时，若齿条相对齿轮作远离圆心的平移，其啮合角（）。 A)增大； B)不变； C)减少。 2．为保证一对渐开线齿轮可靠地连续传动，应便实际啮合线长度（）基圆齿距。 A)等于； B)小于； C)大于。 3．高副低代中的虚拟构件的自由度为（）。 A) -1 ； B) +1 ； C) 0 ； 4．压力角是在不考虑摩擦情况下，作用力与作用点的（）方向的夹角。 A)法线； B)速度； C)加速度； D)切线； 5．理论廓线相同而实际廓线不同的两个对心直动滚子从动件盘形凸轮，其推杆的运动规律是（）。 A)相同的； B)不相同的； C)不一定的。 6．飞轮调速是因为它能（）能量，装飞轮后以后，机器的速度波动可以（）。 ① A)生产； B)消耗； C)储存和放出。 ② A)消除； B)减小； C)增大。 7．作平面运动的三个构件有被此相关的三个瞬心。这三个瞬心（）。 A)是重合的； B)不在同一条直线上； C)在一条直线上的。
机械原理复习思考题 .构件——独立的运动单元。 .零件——独立的制造单元。 .运动副——两个构件的相关联（接触、联接）部位，并能产生某种相对运动。 .构成运动副个条件：a)两个构件、b) 直接接触、c) 有相对运动 运动副元素——直接接触的部位的形态（点、线、面）。 . P7两个构件之间的相对运动为转动副的运动副称为转动副或回转副，也称为铰链；相对运动为移动的运动副称为移动副；相对运动为螺旋运动的运动副称为螺旋副；相对运动为球面运动的运动副称为球面运动副。 运动链P9——构件通过运动副的连接，构成可相对运动的系统称为运动链。.原动件P10——机构中按给定运动规律运动构件称为原动件。（或主动件）.机构简图——用以说明机构中各构件之间的相对运动关系的简单图形。 .机构（定义）——具有确定运动的运动链称为机构。 .机构运动简图的作用1）用以说明机构中各构件之间的相对运动关系的简单图形：2）作为运动分析和动力分析的依据。
.机构运动简图应满足的条件： 1）构件数目与实际相同；2）运动副的性质、数目与实际相符；3）.运动副之间的相对位置以及构件尺寸与实际机构成比例。 .机构具有确定运动的条件为：自由度数目＝原动件数目 .最小阻力定律P15：当机构原动件数目小于机构自由度数目时，机构的运动将遵守最小阻力定律，即优先沿阻力最小的方向运动。 .欠驱动机构---机构原动件数目少于自由度~。P15图2-9 冗驱动机构---机构原动件数目多于自由度~。P16图2-10 .虚约束---对机构的运动不起实际作用的约束。 .试计算下例机构简图的自由度，首先明确标注杆件数量？复合铰链点？高副接触？原动件?对原动件的运动进行 分析说明。 （1）控掘机机构及自由度计算。 解：机构自由度为F＝3n－2m－p ＝3×11－2×15－0＝3；原动件为液压油
起重机的组成及工作原理 起重机由驱动装置、工作机构、取物装置、操纵控制系统和金属结构组成。通过对控制系统的操纵，驱动装置将动力的能量输入，转变为机械能，在传递给取物装置。取物装置将被搬运物体与起重机联系起来，通过工作机构单独或组合运动，完成物体搬运任务。可移动金属结构将各组成部分连接成一个整体，并承载起重机的自重和吊重。 起重机的组成及工作原理 图2-3起重机的工作原理 一、驱动装置 驱动装置是用来驱动工作机构的动力设备。常见的驱动设备有电力驱动、内燃机驱动和人力驱动等，电能是清洁、经济的能源，电力驱动是现代起重机的主要驱动方式。 二、工作机构 工作机构包括：起升机构、运行机构。 a)起升机构是用来实现物体的垂直升降的机构是任何起重机部可缺少的部分，因此它是起重机最主要、最基本的机构。 b)运行机构是通过起重机或起升小车来实现水平搬运物体的机构，可分为有轨运行和无轨运行。 三、取物装置 取物装置是通过吊钩将物体与起重机联系起来进行物体吊运的装置。根据被吊物体不同的种类、形态、体积大小，采用不同种类的取物装置。合适的取物装置可以减轻工作人员的劳动强度，大大提高工作效率。防止吊物坠落，保证工作人员的安全和吊物不受损伤时对取物装置安全的基本要求。 四、金属结构 金属结构是以金属材料轧制的型钢和钢板做为基本构件，通过焊接、铆接、螺栓连接等方法，按一定的组成规则连接，承受起重机的自重和载荷的钢结构。
金属结构的重量大约是整台起重机的40%-70%左右，重型起重机可达到90%；金属结构按照它的构造可分为实腹式和格构式两类，组成起重机的基本受力构件。起重机金属结构的工作特点有受力复杂、自重大、耗材多和整体可移动性。起重机的金属结构是起重机的重要组成部分，它是整台起重机的骨架，将起重机的机械和电气设备连接组合成一个有机的整体，承受和传递作用在起重机上的各种载荷并形成一定的作业空间，以便使起吊的重物搬运到指定的地点。 五、控制操纵系统 通过电气系统控制操纵起重机各机构及整机的运动，进行各种起重作业。 控制操纵系统包括各种操纵器、显示器及相关元件和线路，是人机对话的接口。该系统的状态直接影响到起重机的作业、效率和安全等。 起重机与一般的机器的显着区别是庞大、可移动的金属结构和多机构组合工作。间歇式的循环作业、起重载荷的不均匀性、各机构运动循环的不一定性、机构负载的不等时性、多人参与的配合作业的特点，又增加了起重机的复杂性、安全隐患多、危险范围大。 纽科伦（新乡）起重机有限公司
考研机械原理选择+填空题(含答案) 1．速度影像的相似原理只能应用于同一构件的各点，而不能应用于整个机构的各点。 2．在右图所示铰链四杆机构中，若机构以AB杆为机架时，Array则为双曲柄机构；以BC杆为机架时，则为 曲柄摇杆机构；以CD杆为机架时，则为双摇杆 机构；以AD杆为机架时，则为曲柄摇杆机构。 3．在凸轮机构推杆的几种常用运动规律中，等速运动规律有刚性冲击；等加速等减速运动规律和余弦加速 度运动规律有柔性冲击；高次多项式运动规律和正弦加速度运动规律没有刚性冲击也没有柔性冲击。 4．机构瞬心的数目Ｎ与机构的构件数k的关系是N=k（k-1）/2. 5．作相对运动的3个构件的3个瞬心必然共线。 6．所谓定轴轮系是指所有轴线在运动中保持固定，而周转轮系是指至少有一根轴在运动中位置是变化的。 7. 渐开线齿廓上K点的压力角应是法线方向和速度方向所夹的锐角。 2、作用于机械上驱动力的方向与其作用点速度方向之间的夹角为锐角（锐角，钝角，直角或其他）。 3、当回转件的d/b>5时需进行_静_____平衡,当d/b<5时须进行__动____平衡。 4、铰链四杆机构的三种基本类型是曲柄摇杆机构、双曲柄机构和双摇杆机构。 5、凸轮机构的从动件常用运动规律中，等速运动规律具有刚性冲击，等加速等减速运动规律具有柔性冲 击。 6、斜齿圆柱齿轮的法面参数为标准值。 7、国家标准规定将蜗杆分度圆直径标准化是为了__减少蜗轮滚刀的数量__。 8．标准斜齿圆柱齿轮传动的中心距与模数，齿数和螺旋角等参数有关。 1、齿轮齿廓上压力角的定义为啮合点受力方向和速度方向之间所夹的锐角，标准压力角的位置在分度圆上， 在齿顶圆压力角最大。 2、标准齿轮的概念是m、a、h a*、c*四个基本参数为标准值，分度圆齿厚与槽宽相等，具有标准齿顶高和 齿根高。 3、渐开线齿廓的正确啮合条件是m1=m2,α1= α2；标准安装条件是分度圆与节圆重合；连续传动条件是应 使实际啮合线段大于或等于基圆齿距，此两者之比称为重合度。 4、齿轮传动的实际啮合线为从动轮齿顶与啮合线交点B2，一直啮合到主动轮的齿顶与啮合线的交点B1为 止，理论啮合线为两齿轮基圆的内公切线，即啮合极限点N1与N2间的线段。 5、与标准齿轮比较，变位齿轮的齿厚、齿顶圆、齿根圆等参数发生了变化，齿数、模数、压力角等参数没 有发生了变化。在模数、齿数、压力角相同的情况下，正变位齿轮与标准齿轮相比较，下列参数的变化是： 齿厚增加；基圆半径不变；齿根高减小。 7、对渐开线直齿圆柱齿轮传动时，如重合度等于 1.3，这表示啮合点在法线方向移动一个法节的距离时， 有百分之 30 的时间是二对齿啮合，有百分之70 的时间是一对齿啮合。 8、对无侧隙啮合的一对正传动齿轮来说，两轮分度圆的相对位置关系是相离，齿顶高降低系数大于零。 9、用范成法加工渐开线直齿圆柱齿轮，发生根切的原因是刀具的顶线超过了啮合起始点。 10、一对渐开线直齿圆柱齿轮传动,其啮合角的数值与节圆上的压力角总是相等。 1、两个构件直接接触而组成的可动联接称为运动副。 2、使不平衡的转子达到静平衡，至少需要在一个平衡面上进行平衡配重；如要达到动平衡，则至少需要 两个平衡面。 3、在机械运转的启动阶段，总驱动功大于总阻力功；在停车阶段，总驱动功小于总阻力功。 4、平行四边形机构有两个个曲柄。
Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X
工业机器人内部结构及基本组成原理详解 工业机器人详解你对工业机器人有着什么样的了解？关于工业机器人，我们过去也反反复复推送了很多的文章，在这一次，我们将尝试解决有关--- 在工业环境中使用的最常见的机器人和作业时经常会遇到的问题。关于工业机器人定义什么可以被认为是一个工业机器人?什么不能被称为工业机器人？工业机器人直到最近才能避开这种混乱。不是在工业环境中使用的每个机电设备都可以被认为是机器人。根据国际标准组织的定义，工业机器人是一种可编程的三自由度或多轴自动控制的可编程多用途机械手。这几乎是在谈论工业机器人时被接受的定义。工业机器人自中年以来发生了什么变化？越来越多的工程师和企业家正在寻找越来越多的机器人技术，帮助在工业环境中优化工作流程的方式。随着时代的发展和机器人技术的进步，机器人手臂必须为诸如仓储中使用的群组AGV 等新手铺路。我们经常说典型的工业机器人由工具，工业机器人手臂，控制柜，控制面板，示教器以及其他外围设备组成。那么这些是什么？这些部分通常都在一起，控制柜类似于机器人的大脑。控制面板和示教器构成用户环境。工具（也称为末端执行器）是为特定任务设计的设备（例如焊接或喷涂）。机器人手臂基本上是移动工具的 东西。但并不是每个工业机器人都像一个手臂。不同机器人有不同 类型的结构。控制面板--- 操作员使用控制面板来执行一些常规任
务。（例如：改变程序或控制外围设备）。应用“机器人工人” --------------- 什么时候应该使用工业机器人而不是 人工？相信这个问题大家思考的次数并不少了。理想情况下，这应该是双赢的。想快速看到效果，你需要知道什么是别人最不喜欢的工作。想得最多的是那些重复的，乏味的工作，需要从工作人员那边进行大量单调的行动，这个思考是正确的，因为正是如此，例如从一个输送机到另一个输送机。如果总是相同的任务，您可以使用专门针对您的需求量身定制的自动化解决方案。工厂的工作处理需要越来越灵活，在这些情况下，正确的解决方案是：可以试用用于不同任务的可重新编程的机器人进行任务操作。此外，就是那些对人类工作有害的任务。（例如：用危险化学品进行表面处理，这是在有害环境中工作。在许多情况下，长期使用机器人比聘用工人更聪明和便宜。）当然，还有的是人类难以操作的工作。（例如：举或搬运重物或在不适合人类生活的条件下工作。）同样，在许多这些情况下，可以应用特定的自动化解决方案。然而，如果任务需要灵活性处理，还需要考虑要用到的机器人。以下是最常见的机器人应用程序列表：电弧焊、部件、涂层、去毛刺、压铸、造型、物料搬运、选择、码垛、打包、绘画、点焊、运输，仓储关于工 业机器人的结构-- 如何构建机器人手臂？（这很重要）在 本文中，将只列出工业机器人中使用的最常见的机器人结构类型。（详细内容公众号历史记录在“机器人类型”部分深入介绍这些类