四轮定位仪的检测工作原理及结构
1：车轮前束和推力角的测量原理在下来前束时，必须保证车体摆正且方向盘位于中间位置，为了提供车轮前束值（或前束角）的测量精度，无论是拉线式、光学式还是电脑式的四轮定位仪，在检测车轮前束之前，常通过拉线或光线照射或反射的方式形成一封闭的直角四边形如图1所示。将待检车辆置于此四边形中，通过安装在车轮上的光学镜面或传感器不仅可以检测前轮前束、后轮前束，还可以检测出左右车轮的同轴度（即同一车轴上的左右车轮的同轴度）及推力角。因为四轮定位仪系统采用的传感器不同，测量方法亦有所不同，这里仅就光敏三极管式传感器来说明一下车轮前束的测量原理。
图1 光敏三极管为近红外线接收管，是一种光电变换器件，它的结构与外形如图2所示。其工作状态为：不加电压，利用P－N接在受光射时产生正向电压的原理，把它作为微笑光电池。在光敏三极管后面接一些用于接收信号的元件，以便及时对光敏三极管上所获得的信号进行分析处理。
图2 安装在两前轮和两后轮上的光敏三极管式传感器均有光线的接收和发射（或反射）功能，通过它们间的发射和接收刚好能形成类似于图2所示的四边形。在传感器的受光面上等距离地将光敏三极管排成一排，在不同位置光敏三极管接收到光线照射时，该光敏管产生的电信号就代表了前束角或推力角的大
小。下面进行具体说：当前束为零时，在同一轴左右轮上的传感器发射（或反射）出的光束应重合。当检测出上述两条光束相平行但不重合，说明此时左右两车轮不同轴（即车发生了错位），可以依据此时光敏管输出偏离量的信息，测量出左右轮的轴距差。
当左右轮存在前束时，在左轮传感器上接收到的光束位置会相对于原来的零点位置有一偏差值（注意正负号），这一偏差值即表示右侧车轮的前束值（或前束角）；同理，在右传感器上接收到的光束位置相对于原来零点位置的偏差值则表示左侧车轮前束值（或前束角）。其测量原理的简单示意图如图3所示。
图3图4 依据上述检测原理，同时可以检测出位于该四边形内的待检车辆前后轴的平行度（即推力角的大小和方向）,其检测原理的简单示意图如图4所示。同理，通过安装在后轮上的传感器，我们可以检测出后轮前束值（后轮前束角）的大小和方向。2：主销后倾角和主销内倾角的测量原理车轮外倾角、主销后倾角和主销内倾角这三个测量参数的测量都是关于角度的测量，除了光学式四轮定位仪测量车轮外倾角和车轮前束时，采用的不是测量角度的传感器，其余各种类型的四轮定位仪均是采用测量角度的传感器，包括车轮前束角都可以用角度传感器直接或间接测量。
主销后倾角和注销内倾角不能直接测出，只能用建立在几何关系上的间接测量。为了容易理解测量原理，我们不妨先从感性上来认识。
以套筒扳手为例，先将扳手杆垂直立于桌面上，扳手接杆与视线垂直并使扳手接杆保持水平，此杆即为转向节轴（面向车头看为左前轮轴）。将扳手杆下端向自己面前偏转一个角度，即形成主销后倾角，然后由此位置绕扳手手柄轴线分别向里、向外各转动角，这时就会发现扳手接杆绕水平面分别向上、向下偏转了角。
注销内倾角的测量原理，在扳手接杆头部系上一长接杆，长接杆与扳手接杆垂直。将扳手直立于桌面，使长接杆保持水平位置并与视线垂直，再将扳手柄下端向里偏转一个角度，即形成注销内倾角（相当于从左前轮外侧看），然后由此位置绕扳手手柄轴线分别向左、向右各转角，这时又会发现接杆分别沿逆时针、顺时针方向转动了角。
（一）主销后倾角的测量原理以左前轮为例，当车轮向左右各转动＝20°，ZO为主销轴线，OB为转向节车轮轴线，四边形DEFG表示水平面，四边形HIJK相对于平面的夹角为主销后倾角。LMNP平面是与主销垂直相交的平面，该平面是HIJK平面以ST为轴转动角（主销内倾角）形成的，OD为车轮向左转动20°时转向节轴平面的方向。线段L
D、A’B’、A
B、A”B”、MI、FN和KP均是水平面DEFG上的铅垂线。
上式表明为一特定角度时，主销后倾角测量角存在唯一确定关系。通常规定转角为20°，2sin＝0、68404，故有：（1）即主销后倾角为实际测量角度的
1、461倍。这样，用
1、461倍的关系标定仪器，就可直接读主销后倾角。
（二）主销内倾角的测量原理仍以左前轮为例，当车轮向左右转动时，ZO为主销轴线，OC为转向节轴线方向，OE为与车轮平面平行且水平的线段。同（1）所述，四边形DEFG表示水平面，四边形HIJK相对于水平面的夹角为主销后倾角。四边形LMNP为与主销垂直相交的平面，该平面是HIJK平面以ST为轴转动角（主销内倾角）形成的，OE是车轮向右转动20°，垂直于转向节轴线且在水平面内的线段，OF是车轮向左转动20°时，垂直于转向节轴线且在水平面的线段。由主销内倾角的测量计算图得（推导工程略）：
上式表明当为一特定角度时，主销内倾角与测量角存在唯一确定关系。通常规定转角为20°，2sin＝0、68404，故有：（2）即主销内倾角为实际测量角度的
1、461倍，这样，用
1、461倍的关系标定仪器，就可以直接读主销内倾角。
经过上述两部分的分析推导，了解了主销后倾角、注销内倾角的测量原理。但必须指出，在上述两部分推导工程中提及的、
为车轮向右转动20°时，传感器所测得的实际角度值；、为车轮左转动20°时传感器所测得的角度值。在实际测量中，只要按照公式（1）、（2）换算即可。现常见的四轮定位仪在出厂前就已用上述两式对仪表进行了标定，因此，可直接读主销倾角实际测量值。虽然四轮定位仪的类型有所不同，但它们测量主销倾角的原理是相同的，所不同的仅仅是它们各自采用的测量角度的传感器不同而已，为了便于理解四轮定位仪的测试过程检测方法，下面简单介绍几种常见的测量角度的传感器：
（1）光电编码器，基本上可以分为两大类：圆光栅编码器和绝对式编码器。它们的特点是：结构紧凑、信号质量好、稳定可靠和抗干扰能力强。
（2）光电电位器式角度传感器，没有金属丝电刷造成的摩擦力矩，其优点是：分辨率高、寿命长、扫描速度快。缺点是：输出电阻大、输出信号要经过阻抗匹配变换器。
另外用于测量角度的传感器还有电感式倾斜传感器、小型双轴斜度传感器和电位式传感器。
3：转向20°时前张角的测量原理汽车使用时，由于前轮的碰撞冲击、长期在不平的路面上行驶和经常采用紧急刹车，对车辆的冲击作用都可能引起转向梯形的变形。因此会造成汽车在转向行驶工程中前轮异常磨损，操纵性变差并间接影响汽车的动力性和燃油经济性。
为了检测汽车的转向梯形臂与各连杆是否发生变形，在四轮定位仪中均设置了转向20°时，前张角的检测项目。其测量方法为：让被检车辆前轮停在转盘中心出，右轮沿直线行驶方向向右转20°时进行测量；左轮沿直线行驶方向左转动20°时进行测量（该转向角可直接从转盘上的刻度读出）。具体作法如下：右前轮向右转20°，读取左前轮下的转盘上的刻度X，则20°-X即为所要检测的转向20°时的前张角。
一般汽车在出厂时都已给出20°-X的合格范围，将测量值与出厂值进行比较即可检测出车辆的转向梯形臂与各连杆是否发生了变形，如果超出标准值或左右转向前张角部一致，则说明该车的转向梯形臂和各连杆已发生了变形，需要进行校正、调整或更换梯形臂和各连杆。汽车四轮定位仪的组成原理和零件部件工作原理四轮定位仪涉及了机械、光学、电子、计算机软件、数学模型等多项领域的知识，从构成来看，四轮定位仪主要由上位机和下位机组成。上位机包括箱体、电脑主机、显示器、打印机、软件、通讯系统。下位机由测量传感器、夹具、转角盘组成。
箱体：位于四轮定位仪前方，里面有计算机、打印机、显示器、键盘、鼠标以及夹具传感器或夹具反像板等。
电脑主机：它是运行主程序的载体，可以是电脑市场的组装机、品牌机、商用机。
软件：即所用的操作系统和四轮定位仪应用程序，与电脑主机共同决定了可视性、操作性、功能稳定性、测量速度等因素。操作系统可以是windows
98、windows2000、windowsXP。
通讯系统：分为有线与无线、蓝牙等方式。使用那种方式决定了使用的方便快捷性。
测量传感器：它是测量车辆四轮的尺子，决定了整机的测量精度。也从侧面反映了四轮定位仪的技术属性。传感器由壳体、单片机主板、传感元件（液体、光学或纯光学及CCD）、通讯系统、电池等部分组成。所用元器件多，非常精密，费用高。
夹具它是把测量传感器固定在车辆的轮子上的装置。四个夹具和测量传感器有一定的协调性，决定了其测量值是否标准准确。
目前市场上常见的四轮定位仪的检测方式主要有：激光、PS
D、CCD及3D。
激光是一种平行光束。由于激光都是以平行的直线束输出的，其束度的测量范围较窄，无补偿且需人工计算推力线，其测量精度低，检测速度慢。因光大与刻度的关系，而且激光很容易受外界干扰，因此用激光做光源应用于四轮定位仪并不理想。并且激光对人眼视力有一定伤害，得不到安全认证。
PSD又称光电位置传感器。它的工作原理是：当PSD的受光面某一位置存在光照的情况下，其输出电流会有相应变化，从而可
以得到光照位置，它是一种模拟器件。它只能测量单一光点。PSD 的温度漂移严重并且受环境光线的影响。温度变化可以使其输出的零位变化几毫伏，光线的影响使系统取值不稳定，这两项叠加在一起，便使PSD失去了测量精度和设备稳定性。CCD是一种半导体数字元器件（又称光电藕合器件），它分为线阵CCD和面阵CCD两种。它是在一块硅面上集成了数千个各自独立的光敏元，当激光照射到光敏面上时，受光光敏元将聚集光电子，通过移位的方式，将光量输出，产生光位置和光强的信息，CCD无温度系数、使用寿命长具有良好的环境适应能力等特点。现在国内大多使用此CCD测量传感器，但这种传感器具有机械加工精度高，电子元器件的维护，使用时要求小心怕碰，并在一定时间要做次校正。制造成本及配件价格高。
3D（三维）测量方式是采用数字图像识别技术，用数字CCD 相机采集装在车轮采像板上的图像信息，以测量出车轮的相对数值，通过前后移动车辆，由CCD摄像头同时采集采像板信息，电脑计算出其坐标和角度，通过软件三维重建，就能实时显示四轮的三维状态。这是一种相当先进的测量方式，利用图像识别技术，无需校正，具有测量精度高，无误差，操作简单等优点（相对四轮定位仪，三维重建技术已经非常成熟，在医疗、工业、公安、军事已经非常普及）。并且制造成本非常低，仅有两个（四个，一轮对应一个）CCD摄像头和四个采像板（成本配件价格低无电子元器件）和夹具。软件也具有非常的开发优势，可以实现三
维重建，动画调整，四轮结构显示，轮胎直径，实时三维测量数据，板金车身测量，照相等功能。可以与电脑检测仪，车轮平衡机，发动机分析仪，车身校正仪等测量仪器通过蓝牙结合在一台主机上。这是今后发展方向，通过软件可以实现更多四轮定位仪的卖点。
从生产成本上，3D的售价比CCD的应还要低，因3D的成本只用两个数字CCD，采像板无电子元器件，无需维护。而CCD四轮定位仪用了四个或八个CCD传感器，CCD测量传感器还有单片机、无线蓝牙通讯系统、电池等电子元器件故障率高，寿命短。3D四轮定位仪即使使用高像素CCD（专业数字CCD）+专业采集卡和高密集采像板提高测量精度，只是相对软件计算量加大,成本增加。但普通数字CCD（工业数字CCD）用在四轮定位仪已经足够（CCD四轮定位仪测量精度的10倍以上），成本低廉。要说软件开发成本大，可以与各大CCD和采集卡厂家合作，他们是图像计算处理专家，有自己的软件工程师帮您设计。合作开发自己维护，投入市场快，开发成本低。
就现在市场，还都是CCD四轮定位仪与其他四轮定位仪，市场巨大。一旦3D四轮定位仪占有市场，价格低廉，3D四轮定位仪将是一个重新中国的市场。
四轮定位的意义汽车悬吊系统主要的定位角度包括了：外倾角(Camber)，后倾角(Castor)，束角(Toe)，内倾角(K、
P、I、)，转向时的前展(Toe-out on Turn)等。其意义分述如下：
1、外倾角(Camber)
定义为由车前方看轮胎中心线与垂直线所成的角度，向外为正，向内为负。其角度的不同能改变轮胎与地面的接触点及施力点，直接影响轮胎的抓地力及磨耗状况。并改变了车重在车轴上的受力分布，避免轴承产生异常磨损。此外，外倾角的存在可用来抵消车身荷重后，悬吊系统机件变形及活动面间隙所产生的角度变化。外倾角的存在也会影响车子的行进方向，这正如摩托车可利用倾斜车身来转弯，因此左右轮的外倾角必须相等，在力的平衡下不致影想车子的直进性，再与束角(Toe)配合，提高直进稳定性及避免轮胎耗不均。增加负的外倾角需配合增加Toe-out；增加正的外倾角则需配合增加Toe-in。
2、内倾角(K、P、I、)
定义为转向轴中心线与垂直线所成的角度。有了内倾角可使车重平均分布在轴承之上，保护轴承不易受损，并使转向力平均，转向轻盈。反之，若内倾角为0，则车重和地面的反作用力会在车轴产生很大的横向切应力，易使车轴受损，转向也会变得沉重无比。此外，内倾角也是前轮转向后回正力的来源。内倾角在车辆悬吊设计之初就已设定好，通常是不可调整的。
3、束角(Toe)
定义为由上方看左右两个轮胎所成的角度，向内为Toe-in，向外为Toe-out。束角的功用在于补偿轮胎因外倾角及路面阻力所导致向内或向外滚动的趋势，确保车子的直进性。Toe-in会造成转向不足，Toe-out则会增大转向过度的趋势。
4、后倾角(Caster)
定义为由车侧看转向轴中心线与垂直线所成的夹角，向前为负，向后为正。后倾角的存在可使转向轴线与路面的交会点在轮胎接地点的前方，可利用路面对轮胎的阻力让车子保持直进，其原理就如购物推车的前轮会自动转至你施力的方向并保持直进一般。后倾角越大车子的直进性越好，转向后方向盘的回复性也越好，但却会使转向变得沈重。一般车子的后倾角大约在1~2度之间。
5、转向时前展(Toe-out on Turn)
定义为转向时两前轮转向角度之差。过弯时弯内轮所转的角度通常大于弯外轮，相差在2度左右，其目的是在过弯时使车子能以后轴延伸线的瞬时中心为圆心顺利过弯。此外当弯内轮转角较大时，阻力也较大，阻力的不同可使车子偏向阻力大的一方使转向容易(请想像坦克车的转弯方式）。
Off-set Off-set定义为轮圈的接合面(Mounting Surface)和轮圈中心(Center of Rim)的距离，往外侧方向的为正(Positive Offset)，往轮圈内侧的为负(Negative Offset)。改变轮圈的Offset会改变车子的轮距，而轮距是指轮胎中心线间的
距离，因此若只是单纯的加大轮圈和轮胎而不改变Off-set，对轮距并不造成影响。
改变Off-set的影响若改用正的Off-set值较小的轮圈会将轮距加宽，如此可减少过弯时车身重心的转移，提高车子的过弯速度极限。但相对的也因为加大了转向轴中心与轮胎中心的距离，使得转向变得困难且使转向机构负荷加重，造成方向机连杆的变形量加大，因此必须适度的增加Toe-in来修正。不过这都是不正常的方式，所以应该尽可能使前轮的Off-set接近原来的Off-set值。
对后轮来说，改用较大的轮圈时，若不改变Off-set常会遇到轮胎内侧碰到悬吊机构的问题，因此在不会磨到轮拱的情况下，使用正Off-set值较小的轮圈倒是有好处的。但需注意的是对后轮为独立悬吊的车来说，如此的改变在加速及刹车时会加大后轮Toe的变化量，这对一般街车尚无影响，但对赛车来说却是个大问题。
我们以BMW的５系列(E34)为例来看看加大轮圈时Off-set应如何改变。起初原厂提供的铁圈为15*7J、Off-set47，铝圈则为15*6J、Off-set36；改用17吋铝圈时，原厂提供的是17*
7、5J、Off-set35，Racing-Dydamic提供的是前轮17*
8、5J、Off-set18，后轮17*9J、Off-set13，HARTGE提供的是前轮17*
8、5J、后轮17*9J，Off-set则皆为18。
改变Off-set也会影响轴承的负荷，一般的车辆Off-set的设计都是以直行时最低的轴承负荷为目标，使用正Off-set值较小的轮圈虽会稍微增大车子直行时轴承的负荷（Off-set变化在50mm以内都不必过分忧虑轴承负荷的问题），但却可使过弯时的负荷减低。
百斯巴特四轮定位仪使用培训教程 吉林机电工程学校 曲斌
什么情况下需要做四轮定位 1、一般车辆行驶2万公里或者1年时间时（以先到达者为准）必须做一次四轮定位。 2、当汽车在平直的道路上直行时需要用力握紧方向盘以保证车辆不跑偏时。 3、在汽车正常行驶时感觉车身漂浮或摇摆不定，如同转弯和在崎岖的路面上行驶。 4、汽车前后轮有一侧磨损特别严重时。 5、汽车直行时车子向左或者向右拉。 6、在汽车换上新轮胎或者因为碰撞事故、转向或悬挂系统维修后，建议最好做一次四轮定位。 7、新车购买行驶3000公里左右。 做四轮定位有什么好处 1、保证车辆行驶的稳定性能。 2、杜绝因为车辆跑偏而导致的交通事故的发生。 3、可以减轻汽车轮胎的磨损，延长轮胎的使用寿命。 4、可以降低油耗，因为做了四轮定位后可以减轻汽车行驶时的吃胎现象，因此也可以降低汽车行驶的油耗。 5、减少汽车转向和悬挂系统的损耗，延长这些机件的使用寿命。 建议： 选择有实力的维修店做四轮定位
Beissbarth Easy8 系列定位仪操作说明书 百斯巴特ML TECH系列定位仪包括TECH-8和TECH-8R两种类型。其中TECH-8R定位仪采用无线测量方式，TECH-8定位仪采用有线测量方式。 TECH-8R所测量的数据经由无线电通讯的方式发送到主机的接收器，再传输到计算机进行处理。TECH-8所测量的数据经由与传感器相连接的通讯电缆传输到计算机进行处理。 VAG1995K型四轮定位仪属于TECH-8型定位仪。 如果在打开定位仪包装后立刻开始测试定位仪传感器的话，请确保各传感器之间至少相距1.5米。 请确认各镜头之间没有障碍物阻挡红外测量光线！ 每个传感器装备有两个CCD镜头，使用红外线进行测量。相对应镜头之间的光线不能被遮挡！ 四轮定位对配套使用的举升器的水平具有严格要求。
中医经络检测仪如何识别亚健康 随着社会竞争越来越激烈，越来越多的人开始出现亚健康状态。而根据调查发现，都市白领是亚健康的高发人群，尤其其中的女性白领占多数。 据调查，处于亚健康状态的患者多是青壮年，年龄范围多在18至45岁之间，很明显，这个年龄段的人，要么就面临高考升学，压力重大，要么就是忙着商务应酬、企业经营、人际交往、职位竞争等社会活动，如此长期处于紧张的环境压力中，就容易进入亚健康状态，因此科学地自我调适和自我保护就显得很重要了。 亚健康现在还没有明确的医学指标来诊断，因此易被人们所忽视。一般来说，如果你没有什么明显的病症，但又长时间处于以下的一种或几种状态中，注意亚健康已向你发出警报了：失眠、乏力、无食欲、易疲劳、心悸，抵抗力差、易激怒、经常性感冒或口腔溃疡、便秘等等。处在高度紧张工作、学习状态的人应当特别注意这些症状。而预防、消除脑力疲劳，从亚健康状态中走出来的办法很多，首要的一条是学会识别疲劳。 照镜子识别亚健康识别疲劳的最简单办法是早晨起床后照镜子。照镜子首先是观察一下自己的面色。有人比喻人的面色是健康的调色板，所以，观察面色对自我保健有着非常重要的意义。就一般而言，经过一个晚上休息，疲劳应该消除，精神充沛，面色红润，而且有光泽，说明健康状况良好。 如果有面色晦暗，或者萎黄，口唇发紫，眼圈发黑等情况时，提示疲劳没有消除，亚健康已经发生，甚至是过劳或疾病已经来到。这时应尽快设法进行自我调节，适当减轻工作量，能缓办的事尽量缓办，适当增加休息时间和营养。 接着观察一下头发，头发乌黑有光泽，说明健康状况良好，头发蓬松、枯黄提示营养状况特别是钙营养欠佳，或者有病。如果是头发奉送枯黄的话，就要注意了。 看舌苔识别亚健康观察面色后，再看舌苔和舌质。观看舌苔和舌质要张口，然后自然地将舌头伸出口外，伸舌不要过分紧张，以免引起舌颜色改变，但又要充分暴露舌体。先看舌苔，依次从舌尖、舌中及舌根两旁，再沿舌尖至舌边观察舌苔。一般说，正常的舌苔薄而均匀地分布在舌面，中央较厚。正常舌质的颜色呈淡红，不浅不深(多看了慢慢体会，就掌握了)。如果舌质颜色发生改变，太红或太淡时提示有病，应及时请医生诊治。 自我感觉识别亚健康，最后体会一下自我感觉，如果精神倦怠、周身乏力、注意力不易集中、写作时容易出错、头昏、目眩、耳鸣、牙龈浮肿、口苦无味、吃东西不香、甚至饭量减少等情况发生时说明你疲劳没有消除，亚健康已经发生，甚至疾病已经出现。这时千万不能再勉强挺下去，更不能乱服兴奋剂、喝浓茶、饮咖啡，否则会像给疲惫的马匹加鞭一样，虽然可以强迫马儿暂时快跑几步，然而坚持不了多久，马儿就会衰竭倒地。
操作规程编号：LX-FS-A20289 四轮定位仪操作安全规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
四轮定位仪操作安全规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1、定位前车辆检查 （1）检查车辆悬挂装置、车轮轴承、转向系统等没有不允许存在的间隙和损坏。 （2）一个车轿上的轮胎胎纹深度最多允差 2mm。轮胎充气压力合乎规定。 （3）车辆装备为全装置重量。 2、定位要求 （1）将车辆安置在定痊举升器上，车辆应倒入举入器。车辆中心与举升器和转盘中心重合。 （2）检查、必要时更改车辆规格。 （3）应严格按显示步骤进行操作，不允许省
略。如应按要求作车轮偏差补偿和轮胎检测。轮胎检测的有关内容应按要求输入仪器。 （4）各轮定位参数（前束、外倾角）的调整应符合各车型“维修手册”的要求，对检测不符合规定要求的均应进行调整（原车不能调整的除外）。 （5）各定位参数的调整方法应符合各车型“维修手册”的要求。 （6）定位结果应予以保存和打印。 请在该处输入组织/单位名称 Please Enter The Name Of Organization / Organization Here
光 刻 工 艺 一、目的： 按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理： 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 （一）光刻原理图 （一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例： 感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂－－环己酮。 增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程： 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 （二）光刻设备及工具： 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口
1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。 图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。 图（三）光刻工艺流程示意图
第四节汽轮发电机 汽轮发电机是同步发电机的一种，它是由汽轮机作原动机拖动转子旋转，利用电磁感应原理把机械能转换成电能的设备。 汽轮发电机包括发电机本体、励磁系统及其冷却系统等。 一、汽轮发电机的工作原理 按照电磁感应定律，导线切割磁力线感应出电动势，这是发电机的基本工作原理。汽轮发电机转子与汽轮机转子高速旋转时，发电机转子随着转动。发电机转子绕组内通入直流电流后，便建立一个磁场，这个磁场称主磁极，它随着汽轮发电机转子旋转。其磁通自转子的一个极出来，经过空气隙、定子铁芯、空气隙、进入转子另一个极构成回路。 根据电磁感应定律，发电机磁极旋转一周，主磁极的磁力线北装在定子铁芯内的U、V、W三相绕组（导线）依次切割，在定子绕组内感应的电动势正好变化一次，亦即感应电动势每秒钟变化的次数，恰好等于磁极每秒钟的旋转次数。 汽轮发电机转子具有一对磁极（即1个N极、一个S极），转子旋转一周，定子绕组中的感应电动势正好交变一次（假如发电机转子为P对磁极时，转子旋转一周，定子绕组中感应电动势交变P次）。当汽轮机以每分钟3000转旋转时，发电机转子每秒钟要旋转50周，磁极也要变化50次，那么在发电机定子绕组内感应电动势也变化50次，这样发电机转子以每秒钟50周的恒速旋转，在定子三相绕组内感应出相位不同的三相交变电动势，即频率为50Hz的三相交变电动势。这时若将发电机定子三相绕组引出线的末端（即中性点）连在一起。绕组的首端引出线与用电设备连接，就会有电流流过，这个过程即为汽
轮机转子输入的机械能转换为电能的过程。 二、汽轮发电机的结构 火力发电厂的汽轮机发电机皆采用二极、转速为3000r/min的卧式结构。发电机与汽轮机、励磁机等配套组成同轴运转的汽轮发电机组。 发电机最基本的组成部件是定子和转子。 为监视发电机定子绕组、铁芯、轴承及冷却器等各重要部位的运行温度，在这些部位埋置了多只测温元件，通过导线连接到温度巡检装置，在运行中进行监控，并通过微机进行显示和打印。 在发电机本体醒目的位置装设有铭牌，标出发电机的主要技术参数，作为发电机运行的技术指标。 （一）定子 发电机的定子由定子铁芯、定子绕组、机座、端盖及轴承等部件组成。 1.定子铁芯 定子铁芯是构成磁路并固定定子绕组的重要部件，通常由0.5mm或0.35mm厚，导磁性能良好的冷轧硅钢片叠装而成。大型汽轮发电机的定子铁芯尺寸很大，硅钢片冲成扇形，再用多片拼装成圆形。 2.定子绕组 定子绕组嵌放在定子铁芯内圆的定子槽中，分三相布置，互成120°电角度，以保证转子旋转时在三相定子绕组中产生互成120°相位差的电动势。每个槽内放有上下两组绝缘导体（亦称线棒），每个线棒分为直线部分（置于铁芯槽内）和两个端接部分。直线部分是切割磁力线并产生感应电动势的有效边，端接部分起连接作用，把各线棒按一定的规律连接起来，构成发电机的定子绕
四轮定位仪的检测工作原理及结构 目前常用的定位仪有拉线式、光学式、电脑拉线式和电脑激光式四种，它们的测量原理是一致的，只有采用的测量方法（或使用的传感器的类型）及数据记录与传输的方式不同，这里仅介绍四轮定位仪可测量的几个重要检测项目的测量原理。 1：车轮前束和推力角的测量原理 在下来前束时，必须保证车体摆正且方向盘位于中间位置，为了提供车轮前束值（或前束角）的测量精度，无论是拉线式、光学式还是电脑式的四轮定位仪，在检测车轮前束之前，常通过拉线或光线照射或反射的方式形成一封闭的直角四边形如图1所示。将待检车辆置于此四边形中，通过安装在车轮上的光学镜面或传感器不仅可以检测前轮前束、后轮前束，还可以检测出左右车轮的同轴度（即同一车轴上的左右车轮的同轴度）及推力角。因为四轮定位仪系统采用的传感器不同，测量方法亦有所不同，这里仅就光敏三极管式传感器来说明一下车轮前束的测量原理。 图1 光敏三极管为近红外线接收管，是一种光电变换器件，它的结构与外形如图2所示。其工作状态为：不加电压，利用P－N接在受光射时产生正向电压的原理，把它作为微笑光电池。在光敏三极管后面接一些用于接收信号的元件，以便及时对光敏三极管上所获得的信号进行分析处理。
图2 安装在两前轮和两后轮上的光敏三极管式传感器均有光线的接收和发射（或反射）功能，通过它们间的发射和接收刚好能形成类似于图2所示的四边形。在传感器的受光面上等距离地将光敏三极管排成一排，在不同位置光敏三极管接收到光线照射时，该光敏管产生的电信号就代表了前束角或推力角的大小。下面进行具体说： 当前束为零时，在同一轴左右轮上的传感器发射（或反射）出的光束应重合。当检测出上述两条光束相平行但不重合，说明此时左右两车轮不同轴（即车发生了错位），可以依据此时光敏管输出偏离量的信息，测量出左右轮的轴距差。 当左右轮存在前束时，在左轮传感器上接收到的光束位置会相对于原来的零点位置有一偏差值（注意正负号），这一偏差值即表示右侧车轮的前束值（或前束角）；同理，在右传感器上接收到的光束位置相对于原来零点位置的偏差值则表示左侧车轮前束值（或前束角）。其测量原理的简单示意图如图3所示。 图3
( 操作规程 ) 单位：_________________________ 姓名：_________________________ 日期：_________________________ 精品文档 / Word文档 / 文字可改 四轮定位仪操作规程(新版) Safety operating procedures refer to documents describing all aspects of work steps and operating procedures that comply with production safety laws and regulations.
四轮定位仪操作规程(新版) 1、定位前车辆检查 （1）检查车辆悬挂装置、车轮轴承、转向系统等没有不允许存在的间隙和损坏。 （2）一个车轿上的轮胎胎纹深度最多允差2mm。轮胎充气压力合乎规定。 （3）车辆装备为全装置重量。 2、定位要求 （1）将车辆安置在定痊举升器上，车辆应倒入举入器。车辆中心与举升器和转盘中心重合。 （2）检查、必要时更改车辆规格。 （3）应严格按**显示步骤进行操作，不允许省略。如应按要求作车轮偏差补偿和轮胎检测。轮胎检测的有关内容应按要求输入仪
器。 （4）各轮定位参数（前束、外倾角）的调整应符合各车型“维修手册”的要求，对检测不符合规定要求的均应进行调整（原车不能调整的除外）。 （5）各定位参数的调整方法应符合各车型“维修手册”的要求。 （6）定位结果应予以保存和打印。 云博创意设计 MzYunBo Creative Design Co., Ltd.
《四轮定位的检查与调整》课堂教学设计方案 一、设计理念 以汽车维修企业四轮定位工作岗位的工序设计学习进程，以学生未来岗位的职业能力培养为宗旨，注重学生四轮定位操作能力的培养。序化教学任务、突出知识和技能点、培养学生可持续发展的关键能力。 (1)以工作过程为主线。按照四轮定位检查与调整的工序与知识的关系来设计教学任务,以四轮定位检查与调整任务为中心整合理论与实践，为学生提供完整的四轮定位检查与调整过程的学习。 (2)以职业能力培养为宗旨。强调四轮定位岗位的针对性，加强学生四轮定位操作能力的培养，以培养职业能力为宗旨，设计教学方案。 二、教学内容与学情分析 汽车四轮定位的检查与调整是《汽车底盘结构与维修》课程“任务二汽车行驶系故障检修”的一个重要教学内容，具有较强的实践性和应用性。学习前应当具备“汽车行驶系的基本知识”，同时为“汽车行驶系的故障诊断与排除”奠定基础，是汽车服务企业从事汽车底盘检修岗位工作必备的知识与技能。 高职学生特点： 三、教学目标 结合教学内容与学情分析，通过本堂课的学习，学生应具有汽车四轮定位相关的专业知识和实践技能；具备从事汽车四轮定位检查与调整岗位的良好职业能力和素养。 （一）知识目标
1．准确理解汽车四轮定位的基础知识； 2．掌握四轮定位检查与调整的工作流程。 （二）能力目标 1．学会正确使用四轮定位仪； 2．能按规范完成四轮定位的检查与调整。 （三）素质目标 1．培养学生自主学习、团结协作的能力； 2．提高学生安全环保意识。 四、教学重点与难点 教学重点：四轮定位的检查方法与步骤，四轮定位的调整方法与工艺； 教学难点：四轮定位的准确调整。 五、教学方法 本堂课在实施中主要采取以下教学方法： 1、四步教学法——以对“四轮定位检查与调整”的基本知识和实际操作技能的掌握为主要教学目标，通过讲解、示范、模仿、练习四个环节的教学组织，实现对学生对四轮定位检查与调整专业知识和技能的掌握及熟练运用。 2、小组讨论法——小组成员可通过讨论制定检查与调整计划及实施方案等。在完成四轮定位检查与调整任务过程中每个工序遇到问题均可讨论，充分发挥每位成员的学习主动性与创新性。 3、演示教学法——是通过教师对“四轮定位检查与调整”过程的示范性操作，向学员介绍“四轮定位检查与调整”过程不易调整的部分工序，使抽象、复杂的教学内容变得直观、易于理解。 4、角色扮演法——在学生训练过程中，分配学员分别担任接待、协调员、维修工及交接员等角色进行“四轮定位检查与调整”的职业岗位训练，培养学生团队协作与沟通、协调的能力。 六、板书设计
投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，
实验电脑四轮定位仪 一、实验目的： 1．掌握电脑四轮定位仪的原理及组成； 2．掌握电脑四轮定位仪的安装及使用方法； 3．掌握有关项目的检测； 4．了解有关车轮定位的调整方法及有关技术要求。 二、实验器材： 电脑四轮定位仪一套 汽车一辆 气泵一台 四柱举升机一台 三、实验要求： 实验前学习实验指导书内容，实验中严格遵守实验指导步骤进行仪器的操作。 四、实验内容： （一）有关车辆四轮定位的的基本情况了解 1．车辆行驶方面的问题及出现故障的现象； 2．检查各零部件有无异常现象，必要时进行检修或更换，以确保检测质量； （二）检测仪器的安装 1．将电子转盘按其标记“L”和“R”分别放置在四柱举升机器左右支撑板凹槽内； 2．将被测车辆停放在举升机上，并将前轮停放在转盘上（车轮与转盘对正）： 3．将仪器的四个夹具分别安装在前后轮上，同时将测试头装在夹具上； 4．测试仪连线：分别将每侧前后车轮上的测试头连线，接口的“O”口分别连到控制柜相应接口上，电子转盘分别与对应车轮测试头连接； 5．分别调整四个测试头水平。 6．连接控制柜电源线 （三）测试 1．接通电源，开启计算机； 2．被测车辆数据输入：可得到被测车辆的标准数据（用以与检测数据对照，便于调整）； 3．轮胎压力（按所没车辆的标准压力）； 4．轮辋跳动补偿操作：分别将前、后轮利用二次举升机举起，车轮每次转动90，按补偿输入键（测试头中间键），转动四次完成跳动补偿（此程序不做会导致测量数值有0.1～0.5°误差）； 5．使用抵压板将制动压板压下，并固定； 6．拔下电子转盘固定销； 7．按显示屏幕上所提示的项目操作：分别将方向盘转至“车轮正直方向”，“右侧至极限位置”，“右侧测量位置”，“左侧测量位置”，“左侧极限位置”；每次须出现“绿柱”并待消失后再进行下一程序。8．测试完毕，显示出测试数据与标准数据。 （四）车辆调整 1．调整时按照先调后轮，再调前轮； 2．后轮先调外倾角，后调束角； 3．前轮先调主销后倾角，后调车轮外倾角，再调车轮束角； 4．可对照显示数据调整到数字变绿为合格。 （五）试车
十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。
微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如，如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版，这样也许仍 然是经济的。不过，在大 部分生产应用中，加工和 机器的产率是很重要的， 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射
四轮定位仪使用说明 四轮定位维的好处 1.增加行驶安全； 2.减少轮胎磨损； 3.保持直行时转向盘正直， 4.转向后转向盘自动归正； 5.增加驾驶控制感； 6.减少燃料消耗； 7.减低悬挂部 什么情况下要做四轮定位 1 每驾驶10000km或六个月 2 直行时车子往左边或右边拉 3 直行时需要紧握转向盘； 4 直行时方向盘不正 5 感觉车身飘浮或摇摆不定； 6 前轮或后轮单轮磨损 7 安装新的轮胎后； 8 碰撞事故维修后； 9 换装新的悬架或转向及有关配件后； 10 新车驾驶 3000km 后。 四轮定位调整顺序：后轮外倾角→后轮前束→前轮后倾角→前轮外倾角→前轮前束 使用说明 先把要定位的车辆开到举升上面.并保证二前轮位于定位专用举升机的二个转盘中心位置.并拉好手刹,打正方向盘,并用方向盘固定器固定好方向盘,用刹车器固定好刹车.检查四条轮胎气压是不是车辆所示的标准气压,轮胎花纹是否一样,深度是否在安全线上,球头拉杆有没有松动.以上各项如果有问题请更换后再进行定位操作. 1.安装轮夹及探杆.并启动探杆.调整水平 2.按下举升机上升按钮把车辆举升到一定高度,并落下安全锁. 3.打开主机电源.电脑自动进入操作界面 4.选择车型 5.按照电脑提示进行偏心补偿操作 6.按照定位调整顺序:后轮外倾角→后轮前束→前轮后倾角→前轮外倾角→前轮前束 7.按屏幕数据对照车辆出厂标准值依次进行各部位的调整.直到各数值都在标准值范围内 8.保存数据并跟据需要打印出来。 9.拆下探杆及轮夹 10.到路面试车 定位角度概念功能 后倾角上球形接头和减振器间的角度转向盘稳定及回转转向盘外倾角车轮内外倾斜的角度掌控轮胎车身重量压力点前束角左右轮前后距离之差别减低轮胎磨损滚动阻力推进线以车身中心线为准，两后轮共同滚动（推进）的方向（角度） 内倾角SAI 上球形接头到轮胎地面中心点和地面垂直线间的角度驾驶向稳定性和车身重量着力点位置
国家计量技术规范目录JJF （截止2014年05月） JJF 1001-2011 通用计量术语及定义 JJF 1002-2010 国家计量检定规程编定规则 JJF 1004-2004 流量计量名词术语及定义 JJF 1005-2005 标准物质常用术语和定义 JJF 1006-1994 一级标准物质技术规范 JJF 1007-2007 温度计量名词术语及定义 JJF 1008-2008 压力计量名词术语及定义 JJF 1009-2006 容量计量术语及定义 JJF 1010-1987 长度计量名词术语及定义 JJF 1011-2006 力值与硬度计量术语及定义 JJF 1012-2007 湿度与水分计量名词术语及定义 JJF 1013-1989 磁学计量常用名词术语及定义(试行) JJF 1014-1989 罐内液体石油产品计量技术规范 JJF 1015-2002 计量器具型式评价和型式批准通用规范 JJF 1016-2009 计量器具型式评价大纲编写导则 JJF 1017-1990 使用硫酸铈-亚铈剂量计测量γ射线水吸收剂量标准方法JJF 1018-1990 使用重铬酸钾(银)剂量计测量γ射线水吸收剂量标准方法JJF 1019-1990 60Co远距离治疗束吸收剂量的邮寄监测方法 JJF 1020-1990 r射线辐射加工剂量保证监测方法 JJF 1021-1990 产品质量检验机构计量认证技术考核规范 JJF 1022-1991 计量标准命名规范 JJF 1023-1991 常用电学计量名词术语(试行) JJF 1024-2006 测量仪器可靠性分析 JJF 1025-1991 机械秤改装规范 JJF 1026-1991 光子和高能电子束吸收剂量测定方法 JJF 1028-1991 使用重铬酸钾银剂量计测量γ射线水吸收剂量标准方法JJF 1029-1991 电子探针定量分析用标准物质研制规范
四轮定位仪标定作业指导书文件编号WI-QC-046 版次A/0 页次1/18 1．目的：为四轮定位仪计量内校提供依据。 2．适用范围：适用于公司的S811型四轮定位仪。 3．定义：四轮定位仪传感器零点标定完成后,从电脑服务程序中,选择翻转检测.翻转检测的结果在0.16度范围内.准予使用。 4．管制流程：（无） 5．要求 5.1概述 在使用传感器之前必须进行标定。标定失败将禁止使用定位仪所有功能。标定数据保存在传感器中。可对传感器进行零点标定和完全标定。传感器出厂时已完成零点和范围标定。为保证传感器的精度，每半年要进行零点标定。在安装新的传感器后，要进行零点标定。仅在传感器电路板或感测器更换或调整后，才需要进行零点和范围标定。 注意：传感器成套标定并保存。如果混和使用传感器，必须进行零点标定。 5.2 DSP506i长标定杆及附件 序号说明 1 .....…………………… 长标定杆 2 ......………………… 长标定杆支架 3 .......………………… 支架螺母 4 ......…………………..标定杆螺母 NO. 修改申请 单号 修改内容修改人修改日期修订单位 1 2 3 4 5
页次2/18 5.3使用长杆标定架进行标定 5.3.1 DSP传感器准备工作 从轮胎夹具上取下传感器。 把传感器轴上的标记转动到12点位置。 使用传感器锁紧螺母在此位置固定轴。 5.3.2安装标定杆 标定架放置在相对水平、坚硬的台面上来进行标定工作。建议使用举升机的前面部分。 注意：屏幕上的照片显示定位仪控制台在举升机的前端。 在标定过程中，标定架不能移动。 四轮定位仪标定作业指导书 文件编号WI-QC-046 版次A/0 标记 传感器锁 紧螺母
Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X
不解体探伤仪地方检定规程 本规程经吉林省质量技术监督局2004 年08 月01 日批准，并自2004 年10月01日起施行。 归口单位：吉林省质量技术监督局 起草单位：吉林省计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负责解释
本规程主要起草人： 房法成(吉林省计量科学研究院) 曲卓(吉林省计量科学研究院) 姜成(吉林省计量科学研究院) 王玉昊(吉林省计量科学研究院) 参加起草人： 闫有余(吉林省计量科学研究院) 刘云(吉林省计量科学研究院) 范永轩(吉林省计量科学研究院) 李枫(吉林省计量科学研究院)
目录 1范围 (1) 2概述 (1) 3计量性能要求 (1) 3.1零点误差和零点漂移 (1) 3.2灵敏度检查 (1) 3.3示值误差和示值重复性误差 (1) 4通用技术要求 (1) 5计量器具控制 (2) 5.1检定条件 (2) 5.2检定项目及检定方法 (2) 5.4检定周期 (3)
不解体探伤仪检定规程 1范围 本规程适用于新制造、使用中和修理后的汽车不解体探伤仪的计量检定。 2概述 汽车不解体探伤仪是是一种用以保证汽车行驶安全的无需对汽车解体而进行无损检测伤痕、裂纹的计量器具。 3计量性能要求 3.1零点误差和零点漂移 3.1.1零点误差不应超过仪表满量程的±5％(F·S)。 3.1.2零点漂移不应超过仪表满量程的±3％(F·S)。 3.2灵敏度检查 对于试件表面深于0.1mm的裂纹应能指示，浅于0.1mm的裂纹应能调至无明显反应。 3.3示值误差和示值重复性误差 3.3.1示值误差不应超过仪表满量程的±20％(F·S)。 3.3.2示值重复性误差不应超过仪表满量程的±15％(F·S)。 4通用技术要求 4.1汽车不解体探伤仪应有清晰的铭牌，标明规格型号、制造厂名、出厂日期、出厂编号和额定电压、功率等。 4.2汽车不解体探伤仪仪表面板应完好，应无影响检定时读取数据的机械损伤、划痕现象。 4.3仪表指针应平直，在旋转过程中不得有刮、碰表盘及仪表面板现象，也不得有停滞、跳动的现象。 4.4开关、旋钮、按键等应有明显文字或符号标志，操作时应灵活可靠。 4.5探伤仪主机、探头不得有缺损、变形等影响测量准确度的缺陷，连接电缆应无断路现象。 4.6可充电的不解体探伤仪，不用交流电源供电时仪器应能正常工作；当机内充电电池无电或电压值低时，面板“欠压”指示灯应亮；当用220V／50Hz交流电源供电时，充电指示灯应 - 1 -
四轮定位仪操作规程 一.检查轮胎 1.车轮和轮胎尺寸匹配情况、轮胎磨损情况； 2.转向拉杆，车轮负载和轴承状态； 3.悬挂状态； 4.轮胎气压； 5.检查车轮是否偏摆。 二．安装转角盘和侧滑板 1.利用举升机将车辆距离地面大约6cm； 2.将转角盘放在前轮下，侧滑板放到后轮下； 三.按机器预设步骤修正与操作 1.打开主电源开关，正常启动显示屏显示； 2.F1键为关机键（进入定位模式后F1键为返回键）； 3.F2键为定位机设置 a.语言设置； b.各种车型数据升级设定； c.定位校正设定； d.日期、时间设置 e.打印机设定。 4.F3键为车型数据保存目录；
5.按F4键进入各车系目录（分为国产和进口车系） （进入定位模式后F4键可为确定键）； 6.国际标准键盘上、下键选择正确车型； 按F4键进入车型数据设定（依次设定车型生产年份、钢圈直径和车型各标准数据）； 7.安装四轮夹具和传感器，打开机体后蓝牙开关，放下车身， 校正四轮传感器至水平位置；选择其中一个传感器，按下显示屏提示的确定键确定； 8.自动进入设定方向模式，方向校正，再将方向盘固定，踩 下刹车板； 9.按F4键确定，进入设定后标准数据目录，依次向下进入 前轮页面调整数据显示，将前轮数据调整至标准范围，按F4键确定； 10.进入后轮页面调整数据显示，将后轮数据调整至标准范 围，按F4键确定； 11.保存调整后数据； 12.按F1键返回至首页，首页页面按F3键进入车型保存目 录；选择保存好的车系，打开打印机电源，放好打印纸张，按下F2键，显示是否打印，按F4键确定打印，打印完毕，关闭打印机开关； 13.按F1键返回至首页，再按下F1键显示“你确定吗”，按 F4键确定关机，等待保存，关闭显示屏。
计量标准技术报告 计量标准名称四轮定位仪检定装置 计量标准负责人李新介 建标单位名称（公章）重庆市万州计量质量检测中心填写日期2012年06月20日
目录 一、建立计量标准的目的……………………………………………………（1 ） 二、计量标准的工作原理及其组成…………………………………………（ 2 ） 三、计量标准器及主要配套设备……………………………………………（ 3 ） 四、计量标准的主要技术指标………………………………………………（4 ） 五、环境条件…………………………………………………………………（ 4 ） 六、计量标准的量值溯源和传递框图………………………………………（5 ） 七、计量标准的测量重复性考核……………………………………………（6 ） 八、计量标准的稳定性考核…………………………………………………（7 ） 九、检定或校准结果的测量不确定度评定 (8) 十、检定或校准结果的验证 (9) 十一、结论 (14) 十二、附加说明 (14)
一、建立计量标准的目的 随着社会经济的发展，汽车的使用量迅速增加，汽车售后服务站、修理厂，检测线等也随之不断增加，作为保证汽车安全行驶的四轮定位仪车辆检测设备正在不断增多，为填补该项目在本地属于空白，建立该检定项目，以确保车检仪器的准确可靠，确保国家和人民财产及人身安全。
二、计量标准的工作原理及其组成 依照计量校准规范JJF1154--2006《四轮定位仪校准规范》建标。四轮定位校准装置的主要校准项目是汽车车轮的角度示值误差。 测量四轮定位仪的标准装置及与被检四轮定位仪传感器探头的连接方法见下面的示意图： 1－模拟轮毂２－旋钮３－夹具 4－传感器机头 5－四轮定位仪校准装置 图一 利用四轮定位仪校准装置分别给出一组标准的单轮前束角、车轮外倾角、主销内倾角，根据被测四轮定位仪的显示值计算示值误差。
光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要： 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变，传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字：光刻；原理；提高性能；浸没式光刻；下一代光刻 引言： 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸，是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此，了解光刻技术的基本原理，了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理： 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形，首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日，已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前，对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有：甩胶、喷胶和气相沉积，但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转，将多余的胶甩出去，而在芯片上留下一层均匀的胶层，通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性（边缘除外）。胶层的厚度由下式决定： 式中：F T为胶层厚度，ω为角速度，η为平衡时的粘度，ρ为胶的密度，t为时间。由该式可见，胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系，此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有：气泡、彗星（胶层上存在的一些颗粒）、条纹、边缘效应等，其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。