SU8200场发射扫描电镜技术说明文件
一、二次电子分辨率：
0.8 nm （加速电压 15 kV ，工作距离 4 mm）
1.1 nm （着陆电压 1 kV ，工作距离 1.5 mm）（减速模式）以上分辨率的测试都是基于日
立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）
二、放大倍率：
低倍模式： 20 到 2k
高倍模式： 100 到 1000k
三、电子光学：
1.电子枪：冷场发射电子枪（带有柔性 flash 功能）
2.加速电压 : 0.5 到 30 kV 着陆电压 : 0.01 到 2 kV
3.透镜系统三级电磁透镜系统
4.物镜光阑四孔可调光阑（内置加热自清洁功能）
5.扫描线圈
二级电磁式偏转线圈（高倍模
式）一级电磁式偏转线圈（低倍
模式）
6.消像散器八级电磁系统（ X， Y）
7.探测器：
低位（ Lower）、高位（ Upper ）、和顶位（ Top）三种探测器进行二次电子 / 背散射电子的接收能谱系统（选配）
8.束闸
电磁型
9.电位移：
12 m （工作距离 8 mm）注意：工作距离改变时，电位移范围会改变
四、样品室和样品台：
1.样品台控制：
五轴马达台
2.可移动范围和样品尺寸：
4. 换样
预抽室
5. 样品台控制：
图形界面控制自动样品更换位置定位功能样品台移动轨迹存储功能优中心旋转功能图片导航功能
五、显示系统
1.用户界面
电脑显示器上的图形用户界面
2.电脑
操作系统：微软Windows 7 专业版（32 位）操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标
配轨迹球，或选配操纵杆）
3.显示器
24.1 寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920 × 1,200 像素）
4.扫描模式：
二维图像显示
选区模式点分析模式平均浓度分析模式图像显示模式大屏显示模式（1280 960）单屏显示模式（800 600）双屏同时显示模式（800 600）
四屏同时显示模式（640 480）
选区显示模式（图像调整时使用）
5.电子光学对中：
电子束对中
光阑对中
像散对中
低倍对中
6.扫描模式
积分扫描
快扫
慢扫
缩小区域扫
高清捕图
积分捕图
荷电抑制扫描（CS 扫描）
7.扫描速度
TV：两级扫描速度（ Rapid1 ～ Rapid2 ）
快扫：两级扫描速度（ Fast1 ～ Fast2 ）慢扫：七级扫描速度（ Slow1～ Slow7 ） CS扫描：七级扫描速度（ CSS1～ CSS7）选区扫描
8.自动调节功能：
ABCC （自动亮度 / 对比度调节），自动聚焦
9.信号和图像处理功能：通过积分，图像的信噪比提高桢积分（最大积分数量： 1,024 ）（ TV和快扫模式）彩色图像显示
两种颜色混合图像显示（实时）伪彩图像显示（保存图像）存储图像处理
渐变转换 Gamma调节多重滤波处理
10.图像存储：
图像存储尺寸： 640 480 ，800 600 ，1,280 960 ，2,560 1,920 ， 5,120
3,840 像素
保存格式： BMP,TIFF（8 位）,JPEG
11.图像打印自由布局打印功能
12.保存数据图像的处理图像管理和处理（ SEM Data Manager）：
图片数据库管理缩略图显示多种图片处理功能
13.其他功能：束闸功能（图像冻结时）光栅旋转 / 倾斜补偿测量功能（实时图像或存储图
像）参数显示（照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间参数条被
底：透明、黑色
数据输入和标注（圆，矩形，箭头，尺寸线）
14.外部设备接口：
USB 接口
网卡接口
15.X 射线分析功能扫描模式：
点扫描
面扫描
DBC 接口（选配）
六、真空系统
1. 真空控制：完全自动气动阀系统
2. 真空泵：
离子泵： 60 L/s 1, 20 L/s 2
磁悬浮分子泵： 300 L/min 1 （主抽气）机械泵
＊为减轻污染，推荐使用干泵
3.真空量规：全量程量规，皮拉宁规两个（控制真空系统），潘宁规一个
4.真空度：
电子枪：﹤10-8 Pa
样品室：﹤10-4 Pa
5.样品交换室：
六寸预抽室
七、保护措施
断电保护、断水保护、漏气保护
八、循环水
冷却水循环
流速： 1.0 ～1.5 L/min （冷却物镜）
水压： 50～100 kPa
水温： 10 to 20 C （10分钟内最大可变化 0.5 度）
九、防污染措施
液氮冷阱
十、SU8200系列扫描电镜（SU8220,SU8230,SU8240）
主机 (1)
显示单元 (1)
机械泵 (1)
空压机 (1)
标配专用工具............ 1 套
耗材及配件............ 1 套
操作手册.............. 1 套
一、尺寸及重量
长宽高重量主机（ SU8220）990 850 1,710 mm 665 kg
主机（ SU8230）990 850 1,745 mm
740 kg
主机（ SU8240）990 850 1,745 mm
745 kg
显示单元1,120 1,100 1,200mm 275 Kg
空压机210 420 520 mm 16 kg
减震器200 180 160 mm 40 kg
十二、主要选项附件
探测器：顶探头过滤器
YAG型 BSE探测器（ SU8220/ SU8230/SU8240 ）扫透探测器（ SU8220/ SU8230/SU8240 ）半导体型 BSE探测器（ SU8220/ SU8230/SU8240 ）视频放大单元光电倍增单元
法拉第杯能谱
CD测量功能：实时CD测量功能已保存图像的CD测量功能（图像管理选项）打印机（用户自配）外部设备控制：
DBC（外部信号扫描）外部通讯接口键盘/ 鼠标通用功能
其他：冷却循环水压缩机EDX系统
变压器
冷场发射扫描电子显微镜S4800操作说明（普通用户） 燕山大学材料学院材料管A104（场发射，钨灯丝） 编写人：李月晴吕益飞 普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。 高倍调清晰：局部放大(Red) →聚焦Focus→消像散 一、日常开机 1，开启冷却循环水电源。 2，按下Display开关至，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。 3，打开信号采集开关，位置打到1，为打开。 4，打开电源插排的开关。 5，打开装有EDS软件的主机电源。 6，记录仪器运行参数(右下角Mainte)，即钨灯丝真空度。如：IP1：0.0×10-8Pa；IP2：0.0×10-8Pa； IP3：9.6×10-7Pa。PeG-1，<1×10-3；PeG-2，<1×10+2。 注意：PeG≤1×10-3Pa时才能加高压测量。记录的参数：①点Flashing时会显示：In2(Ie)Flashing时电流最大值，如32.9μA；②加上高压后会显示，V ext=3.4kV。 二、轰击（点flashing，即在阴极加额外电压） 目的：高温去除针尖表面吸附的气体 1，最好在每天开始观察样品前一时做flashing； 2，选择flashing intensity为2 ； 3，若flashing运行时Ie小于20μA，则反复执行直至Ie值超过20μA且不再增加。 4，若flashing后超过8个小时仍继续使用，重新执行flshing 。 三、加液氮 容积不要超过1L，能维持4~6h。 四、样品制备及装入 样品制备简单，对样品要求较低，只要能放进样品室，都可进行观察。 1，化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。 2，样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。 3，带有磁性的样品，由于物镜有强磁性，制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入
场发射电子显微镜∑IGMA 详细描述： 品牌：卡尔·蔡司 型号：∑IGMA 制造商：德国卡尔蔡司公司 经销商：欧波同纳米技术有限公司 免费咨询电话：800-8900-558 【品牌故事】 世界顶级光学品牌，可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥），积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS 电子束技术在世界上创造了数个第一：
第一台静电式透射电镜 (1949) 第一台商业化扫描电镜 (1965) 第一台数字化扫描电镜(1985) 第一台场发射扫描电镜(1990) 第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992) 第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003) 第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003) CARL ZEISS以其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有电镜制造最核心最先进的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、是全球唯一为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案的电镜制造企业。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。 【总体描述】 采用先进的第三代GEMINI镜筒的∑IGMA场发射电子显微镜在处理所有材料方面有杰出表现。GEMINI 镜筒因其操作简单，极低压成像和超稳定探测电流等优势得到广大用户的认可，同时可提供高分辨率的能谱分析和波谱分析. ∑IGMA可处理直径达250mm和高为145mm的试样，此外，理想的共面设计使得能谱分析（EDS）和背散射电子分析（EBSD）同时使用。 【技术参数】 分辨率： 1.3nm@ 20KV 1.5nm@ 15KV 2.8nm@ 1KV 放大倍数：12 – 1,000,000x 加速电压：0.1-30KV 探针电流：4 pA - 20 nA (4pA-40nA 可选) 样品室： 330 mm (φ) x 270 mm (h) 样品台： 5轴优中心全自动 X = 125 mm Y = 125 mm Z = 50mm T = 0 - 90°
SIRION场发射扫描电镜操作规程 一.开机 1.首先检查循环水系统,压力显示约4.5，温度显示约11-18度,为正常范围。 2.检查不间断电源的”LINE”，”INV.”指示灯亮，上部6只灯仅一只亮是为正常。 3.开电镜电脑(白色机箱)的电源，通过密码进入WINDOWS后，先启动”SCS”，然后启 动”Microscope Control”。 二.操作过程 1.有关样品的要求： 需用电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。粉末样品用导电胶带粘结后，需敲击检查，或用吹风机吹去粘结不牢固的粉末。含有机成份的样品（包括聚合物等），需经过干燥处理。 2.交换样品特别注意点： 该电镜的样品台是4轴马达驱动的精密机械，定位精度1微米，同时也可以手动旋钮驱动。样品室中暴露着镜头极靴，二次电子探头，低压背散射电子探头，能谱探头，红外相机，涡轮分子泵等电镜的核心部件，样品台驱动过程中存在着碰撞的可能性，交换样品和驱动样品台时要特别小心。比如样品室门应轻拉轻推；样品要固定牢固，防止掉到镜筒里去；样品高度要合适，Z轴移动样品或手动倾斜样品前，用CCD图象检查样品位置等等。 3.换样品过程：换样品前必须先检查加速电压是否已经关闭，条件符合，可按放气键（“VENT”）。交换样品台操作必须戴干净手套。固定好样品台后（固紧内六角螺丝），必须用专用卡尺测量样品高度，不允许超过规定高度。推进样品室，左手按住样品室门上手柄，右手点击抽真空软件键”PUMP”。整个换样品过程中，不要手动调节样品台位置（倾动除外）。 4.关高压过程：按下软件键“xx kV”，稍等待，听到V6阀的动作声音后，键颜色由黄色变灰色,表示高压已正式关闭。 5.开高压过程：样品室抽真空到达5e -5 mBar以上，可以开高压，观察图象。开高压：检查“Detector”菜单项中的“SE”或“TLD”被选中，按“HT”键，数秒后按软键“xx kV”，应听到V6阀开启的声音，等待键颜色变黄色。图象出来后，同时会弹出一个窗口，提示首先必须聚焦图象，然后按“OK”，使电脑能测出实际的样品高度，次序不可颠倒。在数千倍聚焦完成后（In Focus），按“OK”。 6.聚焦图象：按住鼠标右键，左或右向移动鼠标来聚焦图象。 7.消像散：按住左Shift键，按住鼠标右键移动，消除像散。 8.拍照：按“F2”键，电镜开始单次扫描。扫描结束，过数秒，冻结键（雪花图形）自动激活（变黄色）。这时可用“InOut”菜单中的Image保存图象。 9.拷贝图象：须用新光盘或未开封的新软盘拷贝。 三.关机 1.先关高压，放气后，取出样品后，重抽真空，然后关“Microscope Control”，再关WINDOWS。 电镜的电脑是控制整台电镜的，电脑的CMOS管理，显示卡及驱动程序等与普通电脑不同，请不要当作普通电脑来使用。禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB
场发射扫描电子显微镜参数： 1．工作条件: 1.1电源: 230V (-6%/+10%) / 50Hz (±1%) 1.2 主机功耗：< 3.0 kV A 1.3运行环境温度: 17-23 C 1.4运行环境：相对湿度< 80% (无冷凝) 1.5残余交流磁场<100nT (非同步频率)；<300nT (同步频率) 1.6噪音：< 60 dBC 1.7干燥无油压缩空气4-6 bar 1.8仪器运行的持久性：可连续运行 2．设备用途： 2.1高分辨扫描电子显微分析系统主要用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。独特的双物镜设计以及低电压成像技术，对导电性不好的样品等适用性更强。具有低真空功能，对不导电样品进行更全面的分析。 3．技术规格 3.1 电子光学系统 3.1.1 分辨率：二次电子（SE）像 * kV时优于1.0 nm；1 kV时优于1.4 nm（非减速模式） * 低真空模式：30kV时优于1.5nm * nm 3.1.3 放大倍率范围：1 ～1,000,000倍(根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自 动校准) 3.1.4 着陆电压：50V 至30 kV 3.1.5 电子枪：高稳定度Schottky肖特基场发射电子枪 * ～200 nA，连续可调，既保证对高分子纳米材料高分辨成像所需的低速流，也要保证EDS和EBSD分析所需的高束流高效率。 3.1.7 束流稳定性：每10小时< 0.4% *3.1.8 具有双物镜系统（电磁透镜和静电透镜），保证对纳米材料、不导电有机无机材料、合金、磁性材料的全方位分析 *3.1.9 物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。至少6孔光阑设计 电子束位移范围：不小于±110um 3.2 样品室和样品台 3.2.1 样品室尺寸：不小于360mm×360mm
一、分析测试步骤 开机 1、接通循环水（流速～2.0L/min ） 2、打开主电源开关。 3、在主机上插入钥匙，旋至“Start ”位置。 松手后钥匙自动回到“on ”的位置，真空系统开始工作。 4、等待10秒钟，打开计算机运行。 5、点击桌面的开始程序。 6、点击［JEOL ·SEM ］及［JSM-5000主菜单］。 7、约20分钟仪器自动抽高真空，真空度达到后，电子枪自动加高压，进入工作状态。 8、通过计算机可以进行样品台的移动，改变放大倍数、聚焦、象散的调整， 直到获得满意的图像 9、对于满意的图像可以进行拍照、存盘和打印。 10、若需进行能谱分析，要提前1小时加入液氮，并使探测器进入工作状态。 11、打开能谱部分的计算机进行谱收集和相应的分析。 12、需观察背散射电子像时，工作距离调整为15mm ，然后插入背散射电子探测器，用完后 随时拔出。 更换样品 1、点击“HT on ”,出现“HT Ready ”。 2、点击“Sample ”,再点击“Vent ”。 3、50秒后拉出样品台,从样品台架上取出样品台. 4、更换样品后,关上样品室门,再点击“EVAC ”,真空系统开始工作,重复开机10.1.8、。 关机 1、点击［EXIT ］,再点击［OK ］,扫描电镜窗口关闭,回到视窗桌面上. 2、电击桌面上的［Start ］。
3、退出视窗,关闭计算机. 4、关闭控制面板上的电源开关. 5、等待15分钟后关掉循环水. 6、关掉总电源. 二. 方法原理 1、扫描电镜近况及其进展 扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年已经被提出来了，直到1956年才开始生产商品扫描电镜。商品扫描电镜的分辨率从第一台的25nm提高到现在的，已经接近于透射电镜的分辨率，现在大多数扫描电镜都能同X 射线波谱仪、X 射线能谱仪和自动图像分析仪等组合，使得它是一种对表面微观世界能够进行全面分析的多功能的电子光学仪器。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在材料学、冶金学、地矿学、生物学、医学以及地质勘探，机械制造、生产工艺控制、产品质量控制等学科和领域中，促进了各有关学科的发展。随着纳米材料的出现，原有的钨灯丝扫描电镜由于分辨率低，不能满足纳米材料分析检测的要求，之后，电镜生产厂家推出了场发射扫描电子显微镜，使扫描电镜的分辨率提高到了。场发射扫描电子显微镜又分为冷场场发射扫描电子显微镜和热场场发射扫描电子显微镜，它们的共性是分辨率高。热场发射扫描电镜的束流大且稳定，适合进行能谱分析，但维护成本和要求高；冷场发射扫描电镜的束流小且不稳定，适合于做表面形貌观察，不适合能谱分析，相对而言维护成本和要求要低一些。环境扫描电镜的特点是对于生物样品、含水样品、含油样品，既不需要脱水，也不必进行导电处理，可在自然的状态下直接观察二次电子图像并分析元素成分。 2、扫描电镜的特点 能够直接观察样品表面的微观结构，样品制备过程简单，对样品的形状没有任何限制，粗糙表面也可以直接观察； 样品在样品室中可动的自由度非常大，可以作三度空间的平移和旋转，这对观察不规则形状样品的各个区域细节带来了方便； 图象富有立体感。扫描电镜的景深是光学显微镜的数百倍，是透射电镜的数十倍，故所得到的图象立体感比较强； 放大倍数范围大，从几倍到几十万倍连续可调。分辨率也比较高，介于光学显微镜和
SU8200场发射扫描电镜技术说明文件 一、二次电子分辨率： 0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm) 1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式) 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品） 二、放大倍率： 低倍模式：?20 到?2k 高倍模式：?100 到?1000k 三、电子光学： 1.电子枪： 冷场发射电子枪（带有柔性flash功能） 2.加速电压: 0.5 到 30 kV 着陆电压: 0.01到 2 kV 3.透镜系统 三级电磁透镜系统 4.物镜光阑 四孔可调光阑(内置加热自清洁功能) 5.扫描线圈 二级电磁式偏转线圈（高倍模式） 一级电磁式偏转线圈（低倍模式） 6.消像散器 八级电磁系统（X，Y） 7.探测器： 低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收能谱系统 (选配) 8.束闸 电磁型 9.电位移： ±12 μm (工作距离8 mm) 注意：工作距离改变时，电位移范围会改变 四、样品室和样品台：
1.样品台控制： 五轴马达台 2.可移动范围和样品尺寸： 3.可安装样品高度 4.换样 预抽室 5.样品台控制： 图形界面控制 自动样品更换位置定位功能 样品台移动轨迹存储功能 优中心旋转功能 图片导航功能 五、显示系统
1.用户界面 电脑显示器上的图形用户界面 2.电脑 操作系统：微软Windows 7 专业版（32位） 操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆）3.显示器 24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920×1,200像素） 4.扫描模式： 二维图像显示 选区模式 点分析模式 平均浓度分析模式 图像显示模式 大屏显示模式 (1280 ? 960) 单屏显示模式 (800 ? 600) 双屏同时显示模式 (800 ? 600) 四屏同时显示模式 (640 ? 480) 选区显示模式（图像调整时使用） 5.电子光学对中： 电子束对中 光阑对中 像散对中 低倍对中 6.扫描模式 积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图 荷电抑制扫描(CS扫描) 7.扫描速度 TV：两级扫描速度（Rapid1～Rapid2）
场发射新扫描电镜基本操作规程 1检查仪器状态,放入样品,必须戴手套操作,将制备好的样品放入样品座中。调节样品高度，样品不得高于样品座上边沿。 2 预抽室放气，按下“Vent”键，打开预抽室仓门，将样品座平边推入样品座卡槽，关上仓门并扣紧，按下“EVAC”键，抽真空。 3观察样品，待真空抽至“4.4×10-4”后，点加电压“ON”，待电流上升 至10uA的发射电流后，按下“GUN”。 4 加速电压逐步从低到高升到5kv，工作距离一般选用10mm。 5 控制图像移动可用鼠标右键单击实现，可将点击目标移至屏幕中央。 6 Low Mag（快速移动到要观察的样品上），ACB（自动黑白对比）--调焦—改变放大倍数--配合Alignment，和像散调节—得到一幅满意的图像； 7 图像存储，在保存一幅图像之前，直接在Quick View时按Photo键，在操作下一步之前点Freeze解除。 8 取出样品，先关闭“Gun”灯亮，关闭高压，按下“Exchange P osition”键。确认“EXCH POSN”灯亮； 9 将样品杆放下置水平位置，向前轻推样品杆至无法再推动为止。 10 按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，松开预抽室锁扣，打开预抽室，取出样品，将预抽室抽好真空（按“EVAC”键）。
场发射新扫描电镜注意事项 （1）在接触到样品座的所有操作，必须戴手套； （2）在拧样品座上的螺丝时，要轻拧，不得使大力，防止固定螺丝损坏；（3）换样品时样品杆只能在水平方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等，样品杆操作要在水平方向上轻推轻拉； （4）样品预抽室放大气前必须关闭高压系统； （5）关闭高压系统前必须先关闭“Gun”--灯亮。操作顺序不得反转；（6）在打开“Gun”--灯灭时，样品室真空度必须达到4.4×10-4Pa；（7）严禁测试磁性材料样品； （8）样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，防止悬浮颗粒进入电镜； （9）禁止操作样品杆、样品升降台、轨迹球外旋钮、背散射按钮（否则出现问题，后果自负，仪器损坏，负责赔偿）.
场发射扫描电镜技术标书
附件：场发射扫描电镜技术标书 一、设备用途 扫描电镜是一种多功能的仪器，广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电的固体材料进行表面形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察，可实现对超细晶材料尤其是纳米材料的表征。基于相关附件，也可以对材料在温度及应力作用下的动态变化进行原位观察。 仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系统、应用软件及数据处理软件、X射线能谱分析仪（EDS）、背散射电子衍射分析仪（EBSD）、原位加热台。 二、技术参数 1．运行环境 1.1工作温度：可以在15~25环境温度工作 1.2 相对湿度：湿度小于60%RH时正常工作1.3工作电压：在220V(±10%)、50Hz电压下，仪器可连续使用
次电子探测器1个，高灵敏度低电压固体背散射探测器1个 4.3相机：样品室红外高清CCD相机 4.4检测器分辨率 *4.4.1二次电子分辨率：30kV时小于1.0nm或20kV时小于1.3nm，1kV时优于3.0 nm *4.4.2背散射电子分辨率：30kV时小于2.5nm，1kV时优于3.0nm 5．样品室和样品台 5.1样品台：自动马达驱动5轴以上(X、Y、Z 、T 、R) *5.2移动范围：X≥100mm、Y≥ 100mm、 Z≥50mm、T=-5~70°、R=360°连续旋转 5.3移动精度：优于2μm 5.4样品室尺寸：内径不小于300mm，高度不小于200mm，可容纳样品直径不小于200mm 5.5样品室有EDS、EBSD接口 *5.6可加配加热台和原位拉伸台，加热台运行时应保证成像系统和EBSD能够同步运行 6．图像处理系统 6.1存储分辨率：不低于30002000像素
SIRION场发射扫描电镜操作规程 一、开机 1、首先检查循环水系统，压力显示约4.5，温度显示约11～18度，为正常范围。 2、检查不间断电源的“LINE”，“INV”指示灯亮，上部6只灯仅一只亮是为正常。 3、开电镜电脑（白色机箱）的电源，通过密码进入WINDOWS后，先启动“SCS”，然后启动“Microscope Control”。 二、操作过程 1、有关样品的要求：需用电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。粉末样品用导电胶带粘结后，需敲击检查，或用吹风机吹去粘结不牢固的粉末。含有机成份的样品（包括聚合物等），需经过干燥处理。 2、交换样品特别注意点：该电镜的样品台是4轴马达驱动的精密机械，定位精度1微米，同时也可以手动旋钮驱动。样品室中暴露着镜头极靴、二次电子探头、低压背散射电子探头、能谱探头、红外相机、涡轮分子泵等电镜的核心部件，样品台驱动过程中存在着碰撞的可能性，交换样品和驱动样品台时要特别小心。比如样品室门应轻拉轻推；样品要固定牢固，防止掉到镜筒里去；样品高度要合适，Z轴移动样品或手动倾斜样品前，用CCD图象检查样品位置等等。 3、换样品过程：换样品前必须先检查加速电压是否已经关闭，条件符合，可按放气键（“VENT”）。交换样品台操作必须戴干净手套。固定好样品台后（固紧内六角螺丝），必须用专用卡尺测量样品高度，不允许超过规定高度。推进样品室，左手按住样品室门上手柄，右手点击抽真空软件键“PUMP”。整个换样品过程中，不要手动调节样品台位置（倾动除外）。 4、关高压过程：按下软件键“xx kV”，稍等待，听到V6阀的动作声音后，键颜色由黄色变
场发射扫描电镜技术参数 一、系统基本信息： 1.1系统名称：场发射扫描电镜。 1.2系统数量：1套。 1.3系统组成：主机，Schottky型场发射电子源，无交叉光路Gemini镜筒,圆形 一体化样品室，5轴全自动马达驱动样品台，环形Inlens二次电子探测器，样品室二次电子探测器，背散射电子探测器，CCD摄像机，计算机系统，操作软件，真空系统，循环水冷却系统、空气压缩机、能谱仪，原装进口离子溅射仪，备用热场发射灯丝1根，导电胶带2卷。 二、用途：该设备主要用于金属材料、非金属材料、纳米材料的检测，可以对样 品进行直接的超高分辨微观形貌观察和微区元素分析。 三、技术要求： 1工作条件： 1.1电源电压：220V±10V,单相50Hz，工作温度：18°C-25°C，磁场：≤3mGauss， 湿度：≤60%RH，接地：独立的接地线。 1.2仪器运行的持久性：长时间连续工作。 2性能指标： ★2.1分辨率：0.8nm@15kV 1.6nm@1kV ★2.2加速电压：0.02-30kV ★2.3加速电压调整步长：每档10V连续可调 2.4探针电流：12pA-20nA 2.5稳定性：优于0.2%/h 2.6放大倍数范围： 10-1,000,000× 3电子光学系统： 3.1电子发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源。 ★3.2 Gemini镜筒：无交叉光路设计，电子束仅在样品表面进行一次汇聚，彻底消除电子束交叉三次发生能量扩散大的问题。 ★3.3电子束加速器：无需切换模式即可实现低电压模式下电子束在镜筒内维持较高能量到达样品表面，可低至20V。能适应的表面凹凸不平样品不导电样品、成分复杂样品、需要倾斜观测的样品。 ★3.4透镜系统：电磁透镜/静电透镜式复合物镜。在任何电压条件下样品表面不形成磁场，在极短工作距离下对磁性样品的高分辨成像。 3.5聚焦：工作距离：范围可由1mm至50mm。具有灵敏度与放大倍数相关的粗调 和细调。在整个加速电压变化范围内，自动补偿。对倾斜样品进行聚焦矫正。 3.7消像散器：八极电磁式系统 3.8光栏 3.8.1数量：七孔光阑.通过自动补偿套件可达到精准合轴 3.8.2调整：电磁选择和软件调整 3.8.3光阑尺寸：7μm,10μm,15μm,20μm,30μm,60μm,120μm 3.9扫描速率：17档扫描速度可选 3.10扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿 3.11电子束位移宽度：±1 4.5μm 4样品室
场发射扫描电镜技术标书附件：场发射扫描电镜技术标书 一、设备用途 扫描电镜是一种多功能的仪器，广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电的固体材料进行表面形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察，可实现对超细晶材料尤其是纳米材料的表征。基于相关附件，也可以对材料在温度及应力作用下的动态变化进行原位观察。 仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系统、应用软件及数据处理软件、X射线能谱分析仪
(EDS)、背散射电子衍射分析仪(EBSD)、原位加热台。 二、技术参数 1 . 运行环境 1.1工作温度：可以在15?25环境温度工作1.2相对湿度：湿度小于60%RH时正常工作1.3工作电压：在220V( ±0%)、50Hz电压下，仪器可连续使用
2.电子光学系统 2.1电子枪：Schottky场发射电子枪 2.2加速电压：0?2kV?30KV，步长10V连续可2.3电子束流:束流连续可调，稳定性优于 0.2%/h 2.4放大倍数：15倍?100万倍 2.5工作距离：5?50mm,粗调、精调两种模式 2.6物镜：无漏磁物镜，能有效观测磁性样品 2.7物镜光阑：具备自清洁功能 3.真空系统 3.1机械泵、分子泵、离子泵三级抽真空系统*3.2真空模式：能够满足基本的成像、分析的高真空模式，同时满足原位加热台等附件工作的需要模式3?3真空度：电子枪真空度优于10-7Pa.样品室高真空优于104Pa 3.4抽真空时间：不高于5min 4?检测器及成像系统 4.1成像模式：背散射成像、二次电子成像、任 意比例混合模式成像 4.2检测器：电子探测器不少于3个，镜筒内二