1700系列质量流量计

2700/1700面板操作

一. 屏幕显示说明:

SELECT--- 确认键 SCROLL---- 选择键

LED---状态指示灯

二. 显示器密码:

如果需要密码,CODE的字样就会出现在密码屏幕的顶部. 输入密码时候,通过使用SCROLL来选择数字, 并用SELECT移到下一个字符, 一次只好输入一个字符.

如果你面对显示器密码屏幕, 却不知道密码, 在60秒内不按下任何显示器光敏开关.则此密码屏幕将自动退回到初始屏幕.

三. 调零步骤:

四. 显示器回路测试:

五. 显示器查看报警:

LED指示灯状态及报警查看

六. 管理累积量和库存量:

七: 测量单位设置:

SELECT+SCROLL 按4秒 SEE ALARM [SCROLL]

OFFLINE MAINTAIN [SELECT] [SCROLL]

CONFIG [SELECT]

MASS

[SELECT]

可以按SCROLL选择你要的单位

选定后按SELECT

按SCROLL直到出现EXIT

[SELECT]

体积单位和密度单位设置和上述步骤相同

八

量程设置(LRV URV)

[SELECT+SCROLL] 按4秒 SEE ALARM [SCROLL]

OFFLINE MAINTAIN [SELECT] 继续按SCROLL直到出

现MAO1 [SELECT] SRC MAO1 [SELECT]

MFLOW [SELECT] SRC MAO1 [SCROLL]

4 MAO1 输入最小量程 [SCROLL+SELECT] 4 MAO1

[SCROLL] 20 MAO1 [SELECT] 输入最

艾默⽣罗斯蒙特2700_1700质量流量计中⽂⼿册

2700/1700⾯板操作

⼀. 屏幕显⽰说明:SELECT--- 确认键 SCROLL---- 选择键

LED---状态指⽰灯

⼆. 显⽰器密码:

如果需要密码,CODE的字样就会出现在密码屏幕的顶部. 输⼊密码时候,通过使

⽤SCROLL来选择数字, 并⽤SELECT移到下⼀个字符, ⼀次只好输⼊⼀个字符.

如果你⾯对显⽰器密码屏幕, 却不知道密码, 在60秒内不按下任何显⽰器光敏开关.则此密码屏幕将⾃动退回到初始屏幕.

三. 调零步骤:

四. 显⽰器回路测试:

五. 显⽰器查看报警:LED指⽰灯状态及报警查看

六. 管理累积量和库存量:

七: 测量单位设置:SELECT+SCROLL 按4秒SEE ALARM [SCROLL]

OFFLINE MAINTAIN [SELECT] [SCROLL]

CONFIG [SELECT] MASS [SELECT]

可以按SCROLL选择你要的单位选定后按SELECT按SCROLL直到出现EXIT [SELECT]

体积单位和密度单位设置和上述步骤相同

⼋量程设置(LRV URV)[SELECT+SCROLL] 按4秒SEE ALARM [SCROLL]

OFFLINE MAINTAIN [SELECT] 继续按SCROLL直到出现MAO1 [SELECT] SRC MAO1 [SELECT]

MFLOW [SELECT] SRC MAO1 [SCROLL]

4 MAO1 输⼊最⼩量程 [SCROLL+SELECT] 4 MAO1

[SCROLL] 20 MAO1 [SELECT] 输⼊最⼤量程 [SELECT+SCROLL] 20 MAO1 [SCROLL] EXIT 按SELECT退出.

其他量程设置和上述步骤相同.NOTE: SELECT+SCROLL 表⽰两个键同时按下

九: 报警代码和解决办法

MKS 1559A多用途的大流量质量流量控制器

MKS 1559A系列多用途大

流量质量流量控制器是应用于多

用途的大流量流量控制，涵盖了

从20SLM到200SLM的量程。

和其他流量控制器相比，1559A

独特的控制阀门消除了运行中的

振动和提供了更快的响应时间。

通过平衡力阀门的设计可以自动

中和在控制阀门内产生的管线压

力所导致的不平衡。

快速的启动，快速的响应时间和1%的测量精度（氮气），这些特点在减少

设备的停顿时间和保证正确的气体流量到工艺腔体内都是很重要的。

MKS 1559A有杰出的RFI（射频干扰）保护能力，在阀门控制信号小于全

量程的0.2%时有一个噪音的安全防护，MKS同样提供了一个可全面兼容的、

独立的电源/读数单元，包括246C、247D和647C。

MKS 558只是显示流量的流量计，558可输出0-5VDC的线性信号，涵盖

了和1559A相同的量程。同样，阀门的可用型号就是154A（1559A的阀门部

分）。

产品特点：

● 用于大流量应用的从20SLM到200SLM的全量程 ● 平衡力阀门设计将由于管路压力的波动所导致的振动降到最小 ● 小于30分钟的快速启动时间将宝贵的生产停顿时间降到最小 ● 小于2秒的响应时间可以快速达到所需要的设定值 ● 可接受外部压力信号的输入（0-10VDC）来进行压力控制 ● 可提供用于大流量监控的流量计（型号558MFM） ● 1年质量保证确保了产品质量和客户的满意度 ● 符合欧洲CE认证标志 应 用：

由于1559A稳定，测量精确等特点，使其成为单晶炉和多晶炉设备配套的

首选，如美国的GT Solar，国内的绍兴精工，华盛天龙，北京京运通，北京京

仪，上虞晶盛，杭州凯克斯等等公司都配套了MKS的1559大流量质量流量计。

技术参数：

全量程范围： 20slm 到 200slm

最大入口压力：100Psig

正常的操作差分压力：

20 到 100slm N2 15 到 40 Psid

艾默生质量流量计1700C 状态报警及是否能组态

报警代码 状态消息 默认等级 注释 可组态？

A001 EEPROM错误（核心处理器） 故障 否

A002 RAM 错误（核心处理器） 故障 否

A003 传感器无响应 故障 是

A004 温度超限 故障 否

A005 质量流量超限 故障 是

A006 需要特征化 故障 是

A008 密度超限 故障 是

A009 变送器正在初始化/正在预热化 故障 是

A010 标定失败 故障 否

A011 零点标定失败：低 故障 是

A012 零点标定失败：高 故障 是

A013 零点标定失败：不稳定 故障 是

A014 变送器故障 故障 否

A016 传感器 RTD 故障 故障 是

A017 T 系列 RTD 故障 故障 是

A018 EEPROM 错误（变送器） 故障 否

A019 RAM 错误（变送器） 故障 否

A020 无流量标定值 故障 是

A021 不正确的传感器类型 (K1) 故障 否

A022 组态数据库损坏（核心处理器） 故障 仅适用于配有标准核心处理器的流量计。 否

A023 内部总量被破坏（核心处理

器） 故障 仅适用于配有标准核心处理器的流

量计。 否

A024 程序损坏（核心处理器） 故障 仅适用于配有标准核心处理器的流

量计。 否

A025 引导扇区故障（核心处理

器） 故障 仅适用于配有标准核心处理器的流

量计。 否

A026 传感器/变送器通讯故障 故障 否

A028 核心处理器写入失败 故障 否

A031 电源不足 故障 仅适用于配有增强型核心处理器的

流量计。 否 A032 正在进行仪表校验：输出设

置为“故障” 变化 仅适用于带有智能仪表校验的变送

器。

如果输出设置为 Last Measured

Value

（上次测量值），则强度级别为

Info

（信息）。如果输出设置为 Fault（故