第２７卷第５期２００９年１０月
粉末冶金技术
ＰｏｗｄｅｒＭｅｔａｌｌｕｒｇｙＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
Ｖ０１．２７．Ｎｏ．５
Ｏｃｔ．２００９铝酸镧超细粉体的制备方法
田丁１）?‘赵艳民２’吴晓琳２’王修慧２’高宏２’翟玉春１’一＋
１）（东北大学材料与冶金学院，沈阳１１０００４）
２）（大连交通大学辽宁省无机超细粉体制备及应用重点实验室，辽宁大连１１６０２８）
摘要：综述了目前常用的制备铝酸镧粉体的各种方法之工艺过程、特点及其产物的性能特征。分析指出：纯度和粒度是粉体最重要的两个性能指标；降低合成温度、简化工艺过程是今后制备技术发展的趋势；金属醇盐ｂＴ能成为获得高纯度产物最有应用前景的前驱物，醇盐水解法有望成为最佳的制备工艺路线。
关键词：ＬａＡｌ０３；超微粉体；高性能；制备方法
Ｔｈｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｏｆｌａｎｔｈａｎｕｍａｌｕｍｉｎａｔｅｕｌｔｒａ－ｆｉｎｅｐｏｗｄｅｒｓ
ＴｉａｎＤｉｎｇ¨，ＺｈａｏＹａｎｍｉｎ”，ＷｕＸｉａｏｌｉｎ＂，ＷａｎｇＸｉｕｈｕｉ＂，ＧａｏＨｏｎｇ＂，ＺｈａｉＹｕｃｈｕｎｌ’１）（ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＭｅｔａｌｌｕｒｇｙ，ＮｏｒｔｈｅａｓｔｅｒｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ１１０００４，Ｃｈｉｎａ）
２）（ＬｉａｏｎｉｎｇＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＩｎｏｒｇａｎｉｃＳｕｐｅｒ—ｆｉｎｅＰｏｗｄｅｒｓ，ＤａｌｉａｎＪｉａｏｔｏｎｇ
Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ。ＤａｌｉａｎＬｉａｏｎｉｎｇ１１６０２８，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｖａｒｉｏｕｓｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｐｒｅｐａｒｉｎｇｌａｎｔｈａｎｕｍａｌｕｍｉｎａｔｅｐｏｗｄｅｒｓ，ａｎｄｔｈｅｉｒｐｒｏｄｕｃｔｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｒｅｒｅｖｉｅｗｅｄｂｒｉｅｆｌｙ．Ｉｔｓｐｕｒｉｔｙａｎｄｐａｒｔｉｃｌｅｓｉｚｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎａｒｅｔｗｏｍｏｓｔｉｍｐｏｒｔａｎｔｉｎｄｅｘｅｓｏｆｌａｎｔｈａｎｕｍａｌｕｍｉｎａｔｅｐｏｗｄｅｒｓ．Ｔｒｅｎｄｏｆｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓｉｓｔｏｌｏｗｅｒｓｙｎｔｈｅｓｉｓｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅａｎｄｓｉｍｐｌｉｆｙｐｒｏｃｅｓｓ．Ｍｅｔａｌａｌｋｏｘｉｄｅｓｍａｙｂｅｔｈｅｍｏｓｔｐｏｔｅｎｔｉａｌｐｒｅｃｕｒｓｏｒｓ．Ｍｅｔａｌａｌｋｏｘｉｄｅｈｙｄｒｏｌｙｓｉｓｍａｙｂｅｏｎｅｏｆｔｈｅｍｏｓｔｅｆｆｅｃｔｉｖｅｍｅｔｈｏｄｓ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＬａＡｌ０３；ｕｌｔｒａｆｉｎｅｐｏｗｄｅｒｓ；ｈｉｇｈｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ；ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ
ＬａＡＩＯ，属于钙钛矿结构的ＡＢＯ，化合物，具有良好的微波介电性能，并与高温超导材料、ＢＳＴ铁电薄膜等有良好的晶格匹配，因而被广泛地用作衬底材料‘卜２１。
铝酸镧单晶是目前最重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片。它与ＹＢａＣｕＯ等高温超导材料的品格匹配好，且介电常数低，微波损耗小，因此适于制作高温超导微波电子器件，如远程通讯中的高温超导微波滤波器等，有很好的现实及潜在的应用前景¨】。目前已有关于ＬａＡＩＯ，单晶和分别掺杂Ｎｄ３＋、Ｅｒ３＋、Ｅｕ３＋和ｃｅ３＋的ＬａＡＩＯ，单晶的光谱研究报道‘引。
在硅基上生长铝酸镧薄膜，成为当今国内外半导体研究领域的一个热点。用基于原子层控制异质外延技术，在硅基上实现了无界面层外延生长，制备出高介电常数的ＬａＡＩＯ，薄膜（如图ｌ所示），降低了超薄高介电常数薄膜漏电流，解决了下一代场效应器件的关键技术之一。ＬａＡＩＯ，有望代替二氧化硅，用来作为金属氧化物半导体场效应管器件新的栅介质，使半导体器件在尺寸缩小到６５ｎｍ及以下时，能继续遵从“摩尔定律””１。
制备高性能铝酸镧晶体需要高性能铝酸镧纳米粉体作原料，且粉体的纯度和粒度等指标非常重要，而这些指标与铝酸镧粉体的制备方法密切相关。
?国家重点基础研究发展计划资助项目（２００７ＣＢ６１３６０３）；辽宁省教育厅计划资助项目（２００８０８８）??田丁（１９５６一），男，东北大学博士研究生。
?｝?翟玉春（１９４６一），男，教授，博士生导师。
收稿日期：２００８一０７一Ｏｌ
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