DOI :10.16185/j .j xatu.
https://www.doczj.com/doc/312834571.html,.2018.03.006光学元件面形评价参数的稳定性及关联性
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刘佳妮,田爱玲,刘丙才,朱学亮,王红军
(西安工业大学光电工程学院,西安710021)摘一要:一为了选取最优评价参数以消除峰谷值(PV )
参数出现的敏感性二波动性和不确定性等弊端,文中通过对不同波面的分析和重复性的讨论,对PV 二PV m 二PV 20二PV q 和PV r 评价参数的稳定性进行分析;对传统抛光加工方式下仅含单项像差的波面和一般波面中PV 相关评价参数与均方根值(RMS )的关系进行研究.结果表明:PV q 和PV r 参数有较好的稳定性.
对于仅含单项像差的波面,PV 相关参数和RMS 的比值均为恒定值,采用单一的参数评价面形质量;对于一般的面形测量,PV 相关参数和RMS 的比值无确定的关系,
采用PV 和RMS 参数综合评价光学元件的面形质量.关键词:一光学元件;
面形评价;全局稳定性;关联性中图号:一O436.1;TP274一一一文献标志码:一A 文章编号:一1673-9965(2018)03-0219-07
Stabilit y and Relevance of Surface Evaluation Parameters of O p tical Elements
LIU J iani ,TIAN Ailin g ,LIU Bin g cai ,Z HU Xuelian g ,WANG H on gj un
(School of O p toelectronic En g ineerin g ,Xi an Technolo g ical Universit y ,Xi an 710021,China )
Abstract :一In order to select the best evaluation p arameters to eliminate the sensitivit y ,volatilit y ,uncertaint y of PV p arameters ,the p a p er anal y zes the stabilit y of PV ,PV m ,PV 20,PV q and PV r based on the discussion of different wave front and re p eatabilit y of the p arameters.The relationshi p between the PV correlation p arameters and the RMS in the g eneral wave front and the wavefront with onl y one aberration is studied.The results show that PV q and PV r have g ood stabilit y .For the wavefront with onl y one aberration ,the ratios of PV p arameters and the RMS are constant ,and the surface q ualit y is evaluated b y usin g one sin g le p arameter.For the g eneral surface ,there is no definite relationshi p between the ratios of PV p arameters and RMS ,and the surface q ualit y is evaluated com p rehensivel y b y usin g both PV and RMS p arameters.Ke y words :一o p tical element ;surface evaluation ;g lobal stabilit y ;
relevance 一一光学元件的面形精度决定其成像质量,
也是决定仪器总体质量的重要因素之一[1],因此对光学元第38卷第3期2018年6月一一一一一一一一一一一西一安一工一业一大一学一学一报Journal of Xi an Technolo g ical Universit y 一一一一一一一一一一一Vol.38No.3Jun.2018?收稿日期:2017-10-16基金资助:科技部国际合作项目(2015DFA10360);总装备部(JCKY2016208A001)第一作者简介:刘佳妮(1994-),女,西安工业大学硕士研究生.通信作者:田爱玲(1964-),女,西安工业大学教授,主要研究方向为光学检测二光电测量和光学制造技术.E -mail :ailintian@https://www.doczj.com/doc/312834571.html,.万方数据