激光干涉仪操作规程一、操作步骤1.系统的相互连接·将PC10计算机系统与ML10 激光干涉仪用通讯电缆连接。·如果需要，将PC10计算机系统与EC10 环境补偿单元用通讯电缆连接。·将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。·通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。2.激光的预热闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15～20分钟，

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。1.静态测量SJ6000激光干涉仪的系

雷妮绍激光干涉仪的使用

用激光干涉仪系统进行精确的线性测量—最佳操作及实践经验1 简介本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现0.1微米即0.1 ppm以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不

激光干涉仪使用技巧讲解

激光干涉仪测量方法

FANUC、OKUMA机床的激光干涉仪检测方法一、光的相干性二、激光干涉法测距原理三、FANUC螺补参数的设定四、关于FANUC系统正负方向补偿号的计算方法五、FANUC的检测用程式六、OKUMA螺补参数的设定七、OKUMA检测程式八、检测值输入的方法一、光的相干性相長性干涉當兩個波長相同的光束波形同步射出時，其波峰位置會如下圖2 一般重合，固稱為“相長性干

激光干涉仪概述SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出

∙ ∙ ∙ ∙三个安装杆（安装杆有M8螺丝钉可拧上底板、标准磁基或其它Renishaw装臵）M8适配器（可连接标准磁基或Renishaw的CMM探头）两个底板两个安装块和安装螺钉（

镭射干涉仪操作手册手册内容一.RENISHAW 公司简介 1二.镭射干涉仪原理 2(1)波的速度 3(2)干涉量测原理 3(3)镭射干涉仪 4(4)镭射干涉仪一般量测项目 4三.注意事项 5四.镭射干涉仪防止误差及保养 5(1)镭射干涉仪防止误差 5(2)镭射干涉仪保养方法 6五.安全及注意事项 6六.镭射光原理及特性7七.镭射硬件介绍8八.镭射架设流程图1

镭射干涉仪操作手册手册内容一.RENISHAW 公司简介 1二.镭射干涉仪原理 2(1)波的速度 3(2)干涉量测原理 3(3)镭射干涉仪 4(4)镭射干涉仪一般量测项目 4三.注意事项 5四.镭射干涉仪防止误差及保养 5(1)镭射干涉仪防止误差 5(2)镭射干涉仪保养方法 6五.安全及注意事项 6六.镭射光原理及特性7七.镭射硬件介绍8八.镭射架设流程图1

激光干涉仪对光操作指南6.1 使用前的工作6.1.1 为什么要对光？对光的目的是为了让检测的光线能准确返回激光干涉仪上，让激光干涉仪得到最强的反馈信息，以便计算实际的行程数值。6.1.2 影像线性测量精度的因素包括哪些？①、死程误差死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，这时已采用 EC10 自动补偿功能。在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。1.静态测量SJ6000激光干涉仪的系

用激光干涉仪系统进行精确的线性测量—最佳操作及实践经验1 简介本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现0.1微米即0.1 ppm以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不

用激光干涉仪系统进行精确的线性测量—最佳操作及实践经验1 简介本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在，用于实现0.1微米即0.1 ppm以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包

Precise Manufacturing Application | 精密加工应用基于FPS3010长行程高速位移测量Long distance and high-speed displacement measurements using the FPS3010图1：测量旋转物体运动误差机构。当轴旋转是，采用两个干涉传感器探头测量垂直于其转轴的两个方向上的

API激光干涉仪的镭射使用校验操作方式

激光干涉仪操作规程操作步骤1•系统的相互连接•将PC10计算机系统与ML10激光干涉仪用通讯电缆连接。•如果需要，将PC10计算机系统与EC10环境补偿单元用通讯电缆连接。•将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。-通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。2•激光的预热闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15〜20分钟，等激光指

激光干涉仪原理及应用概述

XL-30 激光干涉仪基本操作说明1、安装环境补偿单元：（1）取出补偿单元，将材料温度传感器和环境温度传感器连接到补偿单元；（2）将材料温度传感器放置到被测机床的工作台或导轨上，注意远离电机、排风扇等部位，将环境温度传感器放置到被测机床工作台或激光光路附近，利用安装磁力吸板，将环境补偿单元放置到激光光路附近。2、安装激光头：（1）取出三脚架，根据被测机床的高