真空镀膜机安全操作规程一．开机前作到：1.检查工作环境清洁、干净。2.检查电线无破损，接地牢固。3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。4.机械泵、罗茨泵油位过半。5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真空脂。6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％的铝丝。8.接通水、气、电，气压0

真空镀膜机安全操作规程1．在机床运转正常情况下，开动机床时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。5．易燃有毒物品要

真空镀膜工安全操作规程1．在机床运转正常情况下，开动机床时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。5．易燃有毒物品要

高真空镀膜仪操作流程1.开启循环水，并检查循环情况和是否漏水。2.开启电源总阀。3.打开真空室的手动放气阀放气，放气结束后关闭手动放气阀。接着打开真空室盖。4.放置蒸镀金属和样品，关闭真空室盖。5.开启真空计，开启机械泵，然后打开前级阀6.待真空度小于10Pa后开启分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后开始蒸镀（蒸镀期间不要关闭机械泵、前级阀和分子泵）。7.

真空镀膜操作规程准备：开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—440V；开启电容补偿器；确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压-3kg，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作正常，紧急冷却系统准备

JGP-560C双室磁控溅射沉积系统操作规范系统的气路图如图:一、前期准备：打开循环水（循环水能及时降温，主要是抽水泵能正常工作），打开墙上电源，打开总电源，打开控制电源注：循环水的有效降温同样是维持实验条件稳定和实验参数进行的有力保障。其主要影响设备是抽水泵。所以在确定水箱充有足够水的前提下还要确保泵的正常工作。二、抽真空：1.开机械泵开关；2.开旁抽阀V

文件编号：GD/FS-9694（操作规程范本系列）真空镀铝机安全操作规程详细版The Daily Operation Mode, It Includes All The Implementation Items, And Acts To Regulate Individual Actions, Regulate Or Limit All Their Beha

真空镀膜操作规程准备：1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—440V；2、开启电容补偿器；3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压-3kg ，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作

真空镀膜工艺流程一、真空镀膜的工艺流程大致可用以下的方框图表示：二、具体说明如下：1、表面处理：通常,镀膜之前,应对基材（镀件）进行除油、除尘等预处理,以保证镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料,如PE（聚乙烯）料等,还应对其进行改性,以达到镀膜的预期效果。2、底涂：底涂施工时,可以采用喷涂,也可采用浸涂,具体应视镀件大小、形状

真空镀膜工艺流程-标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII真空镀膜工艺流程一、真空镀膜的工艺流程大致可用以下的方框图表示：二、具体说明如下：1、表面处理：通常,镀膜之前,应对基材（镀件）进行除油、除尘等预处理,以保证镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料,如PE（聚乙烯）料等,

真空蒸镀实验操作步骤：1.先打开循环水的总开关，再打开循环水开关，转180度，待10秒钟后循环水流稳定后再转15～10度，在实验过程中，要时常检查循环水是否工作正常，观察出水口是否有水流出。2.打开总电源开关，在真空操作单元界面把旋钮由停旋至充气，待充气完毕后，升真空罩，同时一手扶着真空罩一手抓紧旋钮。3.将蒸发源安装在电极上，取出衬底托，将衬底安放在衬底托

真空镀膜本实验应用真空蒸发的方法：即在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面上来获得一质量优良的金属膜。●真空镀膜机真空镀膜机结构图●蒸发系统蒸发系统蒸发源蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。蒸发源真空蒸发实验的具体操作步骤：1. 检查真空镀膜机及复合真空计上各开关，并它们全部置在“关”的位置（特别

真空镀膜岗位安全操作规程(新版)The safety operation procedure is a very detailed operation description of the work content in the form of work flow, and each action is described in words.( 安全管理 )

真空镀膜操作规程精选文档TTMS system office room 【TTMS16H-TTMS2A-TTMS8Q8-真空镀膜操作规程一、准备：1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—440V；2、开启电容补偿器；3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷

真空镀膜操作规程 Prepared on 22 November 2020真空镀膜操作规程一、准备：1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—440V；2、开启电容补偿器；3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压-3kg，内部增压泵旋转正常，可采

真空镀膜机操作程序真空镀膜机操作程序，是参照北京仪器厂生产的DM-450C型说明书修改编写。具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。②打开总电源开关，设备送电。③低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘

真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。②打开总电源开关，设备送电。③低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。⑤落下钟罩。⑥启动抽真空机械泵。⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1

JGP-560C双室磁控溅射沉积系统操作规范系统的气路图如图:一、前期准备：打开循环水（循环水能及时降温，主要是抽水泵能正常工作），打开墙上电源，打开总电源，打开控制电源注：循环水的有效降温同样是维持实验条件稳定和实验参数进行的有力保障。其主要影响设备是抽水泵。所以在确定水箱充有足够水的前提下还要确保泵的正常工作。二、抽真空：1.开机械泵开关；2.开旁抽阀V

中山市东升镇冠新五金电器厂真空镀膜机作业指导书一，开机1，检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0.4Mpa以上）。2，检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0.5Mpa）3，开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1.2》《扩散泵1.2》四个开关。即扩散泵升温（

真空镀膜操作规程一、准备：1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—440V；2、开启电容补偿器；3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压1.5-3kg，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循