中科大介绍 PPT

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1.智能机械与机器人
我系早在1978年就与日本东京大学进行了机器人研究方面的合作，
并研制出多种示教机器人。在国内外机器人竞赛中也硕果累累：

2002 年 6 月，中国科大机器人代表队参加首届全国大学生机器人电 视大赛囊括冠亚军，同年 8 月中国科大机器人代表队在日本东京获 得首届亚广联机器人比赛亚军，并获得最佳技术奖。 2002 年，中国科大蓝鹰小型组机器人足球队参加了在上海举行的 “中国机器人竞赛”并取得了冠军。
精密机械与精密仪器系
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2.微、纳机电系统研究方向
微机电系统是21世纪主要研究方向之一，研究工作在国家自然科学基金、国
家自然科学基金重点项目、科学院和人事部“引进国外杰出人才”基金、教 育部留学回国人员基金、中科院“百人计划”基金和985工程重点科研基金等 经费的资助下进行。并与日本、西班牙、美国等国家的高校展开合作研究工 作，主要研究以下内容： （1）基于LIGA技术的微型机械制造技术研究； （2）飞秒激光双光子细微加工与高密度信息存储技术； （3） 新型显微成像技术：利用生物样品和水对软x射线在“水窗”波段的天然吸 收 衬度差来实现对生物样品的会提显微观测； （4）二维零位光栅：利用一组特殊的编码和对准标记实现二维坐标的高精度零 位对准，达到0.01mm精度； （5）微纳机电系统封装技术，包括低温阳极健合和表面活性化常温健合技术； （6）MENS智能材料（PZT制备，刻蚀加工和特性表征技术）； （7）实用微器件的研制，包括纳米计量用的微型传感器陈列，基于压电微探针 陈列的超高温密度信息读写头和微阵列式超声、红外成像传感器。
精密机械与精密仪器系
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其它基金

中国科技大学科研基金（1993-1995） 15万

近代力学系基础教研室
1978创建精密机械与精密仪器系
精密机械与精密仪器系
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学科建设
77年，考察了浙江大学、北京理工学院、 哈尔滨工业大学办学方向；确立理工结合，以 工为主；设计和工艺结合，以设计为主的学科 建设思路。 78年建立了精密机械与精密仪器系。 81年批准硕士点
– – –
机床和振动 精密仪器专业 精密机械
日本
交流 合作 英国
澳大 利亚 香港 地区 西班牙
韩国
德国
精密机械与精密仪器系
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现有教师情况
有2人进入“百人计划”，博士导师10名
教授 10 黄文浩、杨杰、 沈连婠、孔凡让、 竺长安、王克逸、 郑津津、禇家如、 冯志华、相里斌 副高 15 胡红专 李永新 邬玉亭 干方建 任传胜 王建平 杨 圣 邵鹏飞 王 翔 李为民 王硕桂 张世武 李 静 郑庆和 邓伟平李木军 中级 14 许旻 刘维来 刘志刚 李晓峰 文莉 张平 周增祥 龙 潜 赵 钢 安毅亭 陈宇航 李保庆 李家文（在职博） 刘永斌（在职博） 其它 9 骆念武 劳创海 陈苏锡 李 翔 博士后 4 吴青林 吕盼郞 魏珅
姓名研究方向电子邮件电话李永新光电计量技术自动控制技术和语音识别应用技术liyxustceducn3601479张世武智能材料仿生机器人多智能体系统复杂系统swzhangustceducn3601482翟超lamost光纤定位装置zhaichaoustceducn3600550杨圣纳米测控技术生物医学工程电力电子技术yangsustceducn3607317邵鹏飞计算机模拟仿真技术cadcamspfustceducn3601075胡红专基础课教学lamost项目研究huhzustceducn3600551王建平光机电一体化装置设计三维数字加工方面wjpustceducn3600551王硕桂材料表面处理及相变过程的研究wsgustceducn3600550李静光电测试技术和仪器激光和材料相互作用激光诱导等离子体光谱技术lijingustceducn3601471王翔微型机械及微细制造技术光快速成型技术机电一体化系统技术wxyfustceducn3601484李为民光电检测机器视觉机电控制技术liwmustceducn3996890任传胜计算机集成控制制造系统逆向工程技术rencsustceducn干方建机械系统动力学fjganustceducn3600551宋澜中高压开关动触点行程制导技术精密机械与精密仪器系中国科学技术大学精密机械与精密仪器系概况介绍郑津津200908热烈欢迎九系2012级新同学及家长们

N
I Q
1 N
Ik
Q
k 1
假设在掩模面的光强分布是均匀为1，每束光的相对光 强为1/N
➢ 各种模型接近式紫外光刻模拟结果
5μm*5μm方孔
半径2μm，45o角的扇形在不同间隙下的模拟结果
2 μm线宽的十字形的模拟结果
齿轮模型，参数：齿数8，分度圆直径16μm， 齿顶圆直径20μm
MEMS微结构紫外光刻仿真
Spline surface
Two adjacent patches joined with C1 continuity.
They share common boundary points (◦).
control vectors (−→) and(···→)
Irregular closed mesh
I (z,t) I (z,t)[AM (z,t) B] z
M (z,t) I (z,t)M (z,t)C t
其中z为从胶表面垂直向下的深度；t表示已曝光的时间；I和 M分别表示在该深度该时刻的光照分布和光致化合物的归一 化浓度分布；A、B、C为光刻胶的曝光参数，它们可以通过 对光透过率曲线T(t)的测量后计算得到。
特点
照明光源、掩模与光刻胶之间的间隙、 光刻胶的厚度都得到了较为准确的处理和考虑
（ICIA2007；中国科技大学学报2007 ）
接近式光刻计算机模拟
➢ 模拟模型建立
照明系统示意图
蝇眼透镜及点光源阵列
基于标量衍射理论的点光源阵列 衍射光场非相干叠加模型
➢ 对每束光采用基尔霍夫衍射理论
光刻胶表面X0Y0内一点Q(x0,y0)的复振幅分布
Ao内光强值大于 阈值的点数
➢ 校正策略

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1.智能机械与机器人
我系早在1978年就与日本东京大学进行了机器人研究方面的合作，
并研制出多种示教机器人。在国内外机器人竞赛中也硕果累累：

2002 年 6 月，中国科大机器人代表队参加首届全国大学生机器人电 视大赛囊括冠亚军，同年 8 月中国科大机器人代表队在日本东京获 得首届亚广联机器人比赛亚军，并获得最佳技术奖。 2002 年，中国科大蓝鹰小型组机器人足球队参加了在上海举行的 “中国机器人竞赛”并取得了冠军。
年级
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精密机械与精密仪器系
本科生毕业去向统计
人数
100 80 60 40 20 0 96级 97级 98级 99级 00级 01级 02级 03级 04级 总人数 推荐、考研 出国 工作
年级
精密机械与精密仪器系
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硕士研究生就业统计
人数
20 15 10 5 0 Ë Ê ¶ ¿ ±© Ö ² ¡ ¢ × ª ² © ö ¹ ³ ú ¤÷ ¹ ×
学制、授予学位及 学制为四年制，在规定的期限内修满160学分，（包括完成通 毕业基本要求 实课程、学科群基础课、专业课程及集中实践），成绩合格 ，准予毕业，授予工学学士学位。
主干课程
机械制图 （1）、（2） 精密机械设计基础（1） 工程光学 自动控制原理 测试技术 光电技术 仪器电路 机械设计基础实验（2） 光电测控技术实验（1） 精密仪器设计
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精密机械与精密仪器系
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机械设计制造及其自动化专业培养方案
培养目标 适应21世纪科学技术和社会经济发展需要, 本专业培养数理基 础好，有较强机械设计能力，扎实的工艺知识，有光、机、 电综合素质的富有创新精神的高级专门人才。