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霍尔式压力传感器
磁钢
霍尔元件
N S
S N 波登管 压力P
图9-9 霍尔压力传感器结构原理图
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霍尔式压力传感器由两部分组 成:一部分是弹性敏感元件的 波登管用以感受压力P,并将P 转换为弹性元件的位移量x, 即x=KPP,其中系数KP为常数。 另一部分是霍尔元件和磁系统, 磁系统形成一个均匀梯度磁场, 如右图所示,在其工作范围内, B=KBx,其中斜率KB为常数; 霍尔元件固定在弹性元件上, 因此霍尔元件在均匀梯度磁场 中的位移也是x。
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理想情况下,不等位电 势 UM=0 ,对应于电桥的平衡 状态,此时R1=R2=R3=R4。 如果霍尔元件的 UM≠0 , 则电桥就处于不平衡状态, 此时R1、R2、R3、R4的阻值有 差异, UM 就是电桥的不平衡 输出电压。 只要能使电桥达到平衡 的方法都可作为不等位电势 的补偿方法。
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(一)基本补偿电路
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合理选择负载电阻
如上图所示,若霍尔电势输出端接负载电阻RL, 则当温度为T时,RL上的电压可表示为: RL UL UH RL R0 式中 R0—霍尔元件的输出电阻。
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当温度由T变为T+ΔT时,则RL上的电压变为 RL U L U L U H (1 T ) RL R0 (1 T )
需施加极高的电压才能产生很小 的电流。因此霍尔元件一般采用N 型半导体材料
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2)霍尔电压UH与元件的尺寸有关。 高,所以霍尔元件的厚度都比较薄, 但d太小,会使元件的输入、输出电 阻增加。 霍尔电压UH与控制电流及磁场强 度成正比,当磁场改变方向时,也改 变方向。
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d 愈小,KH 愈大,霍尔灵敏度愈